CN209859963U - 一种太阳能rena链式机台滚轮改造结构 - Google Patents
一种太阳能rena链式机台滚轮改造结构 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提出一种太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，包括电机和热风刀，电机的输出轴连接有若干个上转轴和若干个下转轴，上转轴与下转轴在机台内上下对应安装，上转轴与下转轴之间留有用于硅片横向通过的空隙；热风刀安装在上转轴一侧，且热风刀的出风口与上转轴的下底边齐平；下转轴的外壁均匀固定套接有m个滚轮组，每个滚轮组包括n个硬质圈状滚轮。本实用新型有效降低了热风刀处滚轮与硅片的接触面积，降低了硅片被滚轮上的药液污染的可能性；减少硅片正面、背面残留的药液产生复合，减少EL黑点、EL黑斑的出现；降低停机拆卸擦拭、清洗的频率，以及减少跑假片验证的次数。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能刻蚀技术领域，尤其是一种太阳能RENA链式机台滚轮改造结构。
背景技术
现有RENA Intex链式8道机台运行滚轮采用了roller螺纹状直型滚轮，如图1所示，增加了硅片接触面积，降低了机碎比率，但增大热风刀处硅片与下滚轮接触面积。若硅片运行过程中隐裂、碎片导致在酸碱槽中发生叠片，叠片硅片表面残留的酸碱药液很容易污染热风刀处滚轮。同时由于滚轮与硅片接触面积大，使得后续正常硅片极易被滚轮上的药液污染，导致后续热氧、背钝化、Pecvd工序中，硅片正面及背面残留的药液导致复合，出现EL黑点、EL黑斑。且由于Roller滚轮成螺纹状，被药液污染后必须停机拆卸擦拭，清洗，跑假片验证。
发明内容
本实用新型针对背景技术中存在的问题，提出了一种能够降低不良片产生的太阳能 RENA链式机台滚轮改造结构。
实现本实用新型目的的技术解决方案为：
一种太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，包括电机和热风刀，电机的输出轴连接有若干个上转轴和若干个下转轴，上转轴与下转轴在机台内上下对应安装，上转轴与下转轴之间留有用于硅片横向通过的空隙；热风刀安装在上转轴一侧，且热风刀的出风口与上转轴的下底边齐平；下转轴的外壁均匀固定套接有m个滚轮组，滚轮组之间间隔 10cm～15cm，每个滚轮组包括n个硬质圈状滚轮，同一组内的硬质圈状滚轮之间的间隔为5cm，且m≥4，n≥2。
进一步的，本实用新型的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，所述硬质圈状滚轮的厚度d为1cm～6cm，外径为6cm～8cm，材质为PVDF。
进一步的，本实用新型的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，优选滚轮组数量m＝4，优选硬质圈状滚轮数量n＝4，优选硬质圈状滚轮厚度d＝3cm。
本实用新型采用以上技术方案与现有技术相比，具有以下技术效果：
1、本实用新型的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构有效降低了热风刀处滚轮与硅片的接触面积，从而降低了硅片被滚轮上的药液污染的可能性；
2、本实用新型的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构能够有效减少硅片正面、背面残留的药液产生复合，减少EL黑点、EL黑斑的出现；
3、本实用新型的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构能够降低停机拆卸擦拭、清洗的频率，以及减少跑假片验证的次数。
附图说明
图1是太阳能RENA链式机台滚轮现有结构图；
图2是本实用新型的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构示意图；
图3是本实用新型的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构使用状态图。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
一种太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，包括电机3和热风刀6，电机3的输出轴连接有若干个上转轴1和若干个下转轴2，上转轴1与下转轴2在机台内上下对应安装，上转轴1与下转轴2之间留有用于硅片横向通过的空隙；热风刀6安装在上转轴1一侧，且热风刀6的出风口与上转轴1的下底边齐平；下转轴2的外壁均匀固定套接有m个滚轮组4，如图2所示，滚轮组4之间间隔10cm～15cm，每个滚轮组4包括n个硬质圈状滚轮5，同一组内的硬质圈状滚轮5之间的间隔为5cm，硬质圈状滚轮5的厚度d为 1cm～6cm，外径为6cm～8cm，材质为PVDF，且m≥4，n≥2。
实施例1
一种太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，如图3所示，包括电机3和热风刀6，电机3的输出轴连接有若干个上转轴1和若干个下转轴2，上转轴1与下转轴2在机台内上下对应安装，上转轴1与下转轴2之间留有用于硅片横向通过的空隙；热风刀6安装在上转轴1一侧，且热风刀6的出风口与上转轴1的下底边齐平；下转轴2的外壁均匀固定套接有4组滚轮组4，如图2所示，滚轮组4之间的间隔为10cm，每组滚轮组4包括4个硬质圈状滚轮5，硬质圈状滚轮5的厚度d＝3cm，硬质圈状滚轮5的材质为PVDF，同一组内的硬质圈状滚轮5之间的间隔为5cm。
实施例2
一种太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，包括电机3和热风刀6，电机3的输出轴连接有若干个上转轴1和若干个下转轴2，上转轴1与下转轴2在机台内上下对应安装，上转轴1与下转轴2之间留有用于硅片横向通过的空隙；热风刀6安装在上转轴1一侧，且热风刀6的出风口与上转轴1的下底边齐平；下转轴2的外壁均匀固定套接有6组滚轮组4，滚轮组4之间的间隔为15cm，每组滚轮组4包括2个硬质圈状滚轮5，硬质圈状滚轮5的厚度d＝1cm，硬质圈状滚轮5的材质为PVDF，同一组内的硬质圈状滚轮5之间的间隔为1cm。
本方案的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，能够降低热风刀处滚轮与硅片的接触面积，降低因碎片叠片导致在滚轮上残留药液的概率，减少后续热氧、Maia、Pecvd 工序外观及EL测试黑斑黑点问题片发生概率，有效减少返工次数。
以上所述仅是本实用新型的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，其特征在于，包括电机(3)和热风刀(6)，电机(3)的输出轴连接有若干个上转轴(1)和若干个下转轴(2)，上转轴(1)与下转轴(2)在机台内上下对应安装，上转轴(1)与下转轴(2)之间留有用于硅片横向通过的空隙；热风刀(6)安装在上转轴(1)一侧，且热风刀(6)的出风口与上转轴(1)的下底边齐平；下转轴(2)的外壁均匀固定套接有m个滚轮组(4)，滚轮组(4)之间间隔10cm～15cm，每个滚轮组(4)包括n个硬质圈状滚轮(5)，同一组内的硬质圈状滚轮(5)之间的间隔为5cm，且m≥4，n≥2。
2.根据权利要求1所述的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，其特征在于，所述硬质圈状滚轮(5)的厚度d为1cm～6cm，外径为6cm～8cm，材质为PVDF。
3.根据权利要求1所述的太阳能RENA链式机台滚轮改造结构，其特征在于，滚轮组(4)数量m＝4，硬质圈状滚轮(5)数量n＝4，硬质圈状滚轮(5)厚度d＝3cm。
Priority Applications (1)
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Country Status (1)
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2019
- 2019-01-16 CN CN201920068094.4U patent/CN209859963U/zh active Active
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