CN209849455U - 激光清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供的一种激光清洗装置,激光清洗装置包括:多个激光发生器,反射镜组,其具有转动轴线,所述反射镜组包括多个绕所述转动轴线排布的反射面;多个所述反射面与多个所述激光发生器相对应,每个所述激光发生器用于向对应的所述反射面发出光线;且每个所述光线能通过对应的所述反射面反射;驱动装置,所述驱动装置与所述反射镜组传动连接,所述驱动装置用于驱动所述反射镜组绕所述转动轴线转动,以使每个所述反射面能相对于对应的所述激光发生器转动;进而多个所述反射面所反射的光线能形成大致呈环形的光斑。本申请实施方式提供了一种激光清洗装置,其能降低清洗工作的复杂程度和生产成本,且提高清洗工作的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光清洗领域,尤其涉及一种激光清洗装置。
背景技术
激光清洗装置可以用于将脉冲式的激光发射至污染层上产生冲击波,并通过冲击波使污染物变成碎片进而被剔除。
现有的激光清洗装置一般通过振镜对光进行处理。且利用振镜对光进行处理后得到的光束是线性的。而对于精密仪器或者其他需要清洗的物品来说,存在一些环形、圆形、锥形或者不规则的物体,因此采用线性光束进行清洗则需要借助其他途径来完成,从而增加了清洗工作的复杂程度和生产成本,降低了清洗工作的效率。
因此,有必要提出一种激光清洗装置,以克服上述缺陷。
实用新型内容
有鉴于此,本申请实施方式提供了一种激光清洗装置,其能降低清洗工作的复杂程度和生产成本,且提高清洗工作的效率。
本实用新型的上述目的可采用下列技术方案来实现:一种激光清洗装置,包括:多个激光发生器,反射镜组,其具有转动轴线,所述反射镜组包括多个绕所述转动轴线排布的反射面;多个所述反射面与多个所述激光发生器相对应,每个所述激光发生器用于向对应的所述反射面发出光线;且每个所述光线能通过对应的所述反射面反射;驱动装置,所述驱动装置与所述反射镜组传动连接,所述驱动装置用于驱动所述反射镜组绕所述转动轴线转动,以使每个所述反射面能相对于对应的所述激光发生器转动;进而多个所述反射面所反射的光线能形成大致呈环形的光斑。
作为一种优选的实施方式,每个所述反射面的延伸方向与所述转动轴线的延伸方向相一致。
作为一种优选的实施方式,多个所述反射面相交于一直线,且所述直线形成所述转动轴线。
作为一种优选的实施方式,每个所述激光发生器具有中心轴,每个所述激光发生器能沿其中心轴的延伸方向发出光线,且每个所述中心轴的延伸方向与对应的所述反射面的延伸方向之间形成的不为0°或180°的第一夹角相等。
作为一种优选的实施方式,所述转动轴线沿上下方向延伸,每个所述激光发生器位于对应的所述反射面的下方;且每个所述激光发生器的中心轴倾斜延伸。
作为一种优选的实施方式,多个所述反射面绕所述转动轴线均匀排布,且多个激光发生器绕所述转动轴线均匀排布以使每个所述反射面转动时能在同一点分别接收来自多个所述激光发生器所发出的所述光线。
作为一种优选的实施方式,每个所述反射面包括在垂直于所述转动轴线的方向上相背对的第一表面和第二表面。
作为一种优选的实施方式,每个所述反射面通过连接器相连,所述驱动装置为电机,所述电机的转轴与所述连接器相连。
作为一种优选的实施方式,其包括:聚焦镜,所述聚焦镜位于所述反射镜组的一侧,且多个所述反射面所反射的光线能在所述聚焦镜背对所述反射镜组的一侧形成所述光斑。
作为一种优选的实施方式,所述激光发生器包括用于发出光线的激光器和具有中心轴的机械臂,所述机械臂能相对于所述激光器转动,以对所述光线的传播方向进行调节。
本申请提供的激光清洗装置的有益效果是:本申请实施方式的激光清洗装置设置有多个激光发生器、反射镜组以及驱动装置,其中,反射镜组包括多个绕转动轴线排布的反射面;如此每个反射面在驱动装置驱动反射镜组绕转动轴线转动时能相对于对应的激光发生器转动,从而每个反射面所反射的光线能沿周向形成弧形光斑,进而多个反射面所反射的光线能形成大致呈环形的光斑。当需要清洗的精密仪器或者其他的物品存在一些环形、圆形、锥形或者不规则的物体的时,只需要将本申请实施方式所述的激光清洗装置伸入待清洗的装置内壁,使光斑打在内壁上,即可沿周向对内壁进行清洗,从而不需要借助其他途径来完成,如此降低了清洗工作的复杂程度和生产成本,提高了清洗工作的效率。因此,本申请实施方式提供了一种激光清洗装置,其能降低清洗工作的复杂程度和生产成本,且提高清洗工作的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型实施方式所提供的激光清洗装置的正视图;
图2是本实用新型实施方式所提供的激光清洗装置的俯视图;
图3是本实用新型实施方式所提供的激光清洗装置的侧视图;
图4是本实用新型实施方式所提供的反射镜组的结构示意图。
附图标记说明:
11、激光发生器;13、反射面;15、驱动装置;23、连接器;25、聚焦镜;27、机械臂;29、激光器;31、顶壁;33、底壁;35、侧壁;37、光线。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至图4。本申请一种实施方式提供的激光清洗装置,其可以包括:多个激光发生器11,反射镜组,其具有转动轴线,所述反射镜组包括多个绕所述转动轴线排布的反射面13;多个所述反射面13与多个所述激光发生器11相对应,每个所述激光发生器11用于向对应的所述反射面13发出光线37;且每个所述光线37能通过对应的所述反射面13反射;驱动装置15,所述驱动装置15与所述反射镜组传动连接,所述驱动装置15用于驱动所述反射镜组绕所述转动轴线转动,以使每个所述反射面13能相对于对应的所述激光发生器11转动;进而多个所述反射面13所反射的光线37能形成大致呈环形的光斑。
从以上技术方案可以看出:本申请实施方式的激光清洗装置设置有多个激光发生器11、反射镜组以及驱动装置15,其中,反射镜组包括多个绕转动轴线排布的反射面13;如此每个反射面13在驱动装置15驱动反射镜组绕转动轴线转动时能相对于对应的激光发生器11转动,从而每个反射面13所反射的光线37能沿周向形成弧形光斑,进而多个反射面13所反射的光线37能形成大致呈环形的光斑。当需要清洗的精密仪器或者其他的物品存在一些环形、圆形、锥形或者不规则的物体的时,只需要将本申请实施方式所述的激光清洗装置伸入待清洗的装置内壁,使光斑打在内壁上,即可沿周向对内壁进行清洗,从而不需要借助其他途径来完成,如此降低了清洗工作的复杂程度和生产成本,提高了清洗工作的效率。
如图1至图3所示,在本实施方式中,激光发生器11为多个。也即激光发生器11至少为2个、3个、4个等。对此本申请不做规定。优选地,激光发生器11为3个。从而通过3个激光发生器11所发出的光线37的反射光能形成一个完整的环形的光斑(既形成一个沿周向连续的光斑)。如此保证待清洗的装置的内壁均能被清洗到,也即本申请实施方式的激光清洗装置没有清洗死角,从而进一步降低了清洗工作的复杂程度和生产成本,提高了清洗工作的效率。
在一个实施方式中,激光发生器11包括用于发出光线37的激光器29和具有中心轴的机械臂27,机械臂27能相对于激光器29转动,以对光线37的传播方向进行调节。从而通过调节光线37的传播方向,调节激光发生器11所发出的光线37的位置和方向。且能通过调节光线37的传播方向使得多个反射面13所形成的光斑的大小能够调节,从而使得本申请实施方式的激光清洗装置能适应内径不同的待清洗的装置。具体地,该激光器29可以采用现有的构造,对此本申请不作规定。该机械臂27与激光器29之间可以采用销轴连接,当然该机械臂27与激光器29之间不限于采用销轴连接,还可以是其他的连接方式,例如铰接,对此本申请不做规定。
如图1至图4所示,在本实施方式中,反射镜组具有转动轴线。例如如图1、图4所示,该转动轴线沿上下方向延伸。反射镜组包括多个绕转动轴线排布的反射面13。该多个反射面13即反射面13至少为2个、3个、4个等。对此本申请不做规定。但多个反射面13与多个激光发生器11相对应。也即反射面13的数量与激光发生器11的数量相等。例如,激光发生器11为3个。反射面13为3个。进一步地,由于多个反射面13绕转动轴线排布,从而每个反射面13转动时所反射的光线37能沿转动轴线的周向形成弧形光斑。
进一步地,每个激光发生器11用于向对应的反射面13发出光线37。也即多个激光发生器11分别向其对应的反射面13发出光线37。每个光线37能通过对应的反射面13反射。也即当激光发生器11为3个,且反射面13为3个时,通过3个激光发生器11所发出的光线37的反射光能通过3个反射面13射出。
在一个实施方式中,每个反射面13的延伸方向与转动轴线的延伸方向相一致。该相一致是指每个反射面13的延伸方向与转动轴线的延伸方向相平行或转动轴线位于每个反射面13内。如图4所示,转动轴线沿上下方向竖直延伸。每个反射面13沿上下方向竖直延伸,且转动轴线位于每个反射面13内。从而使得当每个反射面13相对于对应的激光发生器11转动时,每个反射面13所形成的弧形光斑的中心能位于转动轴线上。且多个反射面13所形成的弧形光斑能沿周向排布进而形成大致呈环形的光斑。光斑可以是指光线37投射在水面或地面上形成的一道光点。进一步地,多个反射面13所反射的光线37所形成的光斑的中心能位于转动轴线上,也即多个反射面13所反射的光线37的能量相对于转动轴线的周向分布均匀。如此当需要清洗的精密仪器或者其他的物品存在一些环形、圆形、锥形或者不规则的物体的时,只需要将本申请实施方式所述的激光清洗装置伸入待清洗的装置内壁,使光斑打在内壁上,即可沿周向对内壁进行均匀清洗,如此保证了清洗的质量。
如图4所示,具体地,每个反射面13包括在转动轴线的方向上相背对的顶壁31和底壁33以及位于顶壁31和底壁33之间的两个侧壁35,两个侧壁35在垂直于转动轴线的方向上相背对。优选地,每个反射面13包括在垂直于转动轴线的方向上相背对的第一表面和第二表面。从而使得每个反射面13转动时,能通过第一表面和第二表面对激光发生器11发出的光线37进行反射,从而提高反射面13的反射光的能量,进而提高用于清洗的光线37的能量。
进一步地,每个反射面13为双面镜构成。也即每个双面镜在上下方向上竖直放置。该双面镜的大小相同。
在一个实施方式中,多个反射面13相交于一直线。且该直线形成转动轴线。例如如图4所示,多个反射面13相交于中心线A上。该中心线A形成转动轴线。也即每个反射面13绕中心线A转动,从而使得多个反射面13所反射的光线37所形成的环形的光斑的中心能位于中心线A上。具体地,每个反射面13的一个侧壁35相连,从而使多个反射面13相交于一直线上。
在一个实施方式中,每个激光发生器11具有中心轴。具体地,该中心轴为机械臂27的中心轴。如图1所示,每个激光器29的机械臂27相对于对应的反射面13倾斜设置。因此,每个机械臂27的中心轴相对于对应的反射面13倾斜延伸。每个激光发生器11能沿其中心轴的延伸方向发出光线37。例如如图1所示,每个激光发生器11能沿相对于对应的反射面13倾斜延伸的方向发出光线37。
进一步地,每个中心轴的延伸方向与对应的反射面13的延伸方向之间形成的不为0°或180°的第一夹角相等。从而保证每个反射面13所反射的光线37的反射角不为0°或180°。进而保证每个反射面13所反射的光线37能形成弧形光斑,而不是汇聚于一点。另一方面保证每个激光发生器11所发出的光线37的入射角相等。如此,每个反射面13所反射的光线37的反射角相等。从而使得多个反射面13所反射的光线37的能量相对于转动轴线的周向分布均匀。
进一步地,多个反射面13绕转动轴线均匀排布。例如如图4所示,3个反射面13中相邻反射面13之间的夹角为120°。从而使得多个反射面13所反射的光线37能形成完整的环形的光斑。
进一步地,多个激光发生器11绕转动轴线均匀排布以使每个反射面13转动时能在同一点分别接收来自多个激光发生器11所发出的光线37。也即为了使得旋转的反射面13能在同一点获得待反射的激光,多个激光发生器11绕转动轴线均匀排布。从而保证多个反射面13所反射的光线37的能量能形成规则的图形,例如为锥形。具体地,如图2所示,3个激光发生器11的中心轴的延伸方向相交成正三角形。从而使得每个激光发生器11所发出的光线37的传播方向相交成正三角形。进而保证旋转的3个反射面13能在同一点获得待反射的激光。
进一步地,如图1所示,由于3个激光发生器11绕转动轴线均匀排布,多个反射面13绕转动轴线均匀排布。从而3个反射面13所反射的光线37所形成的锥形为正圆锥形。如此进一步保证本申请实施方式所述的激光清洗装置能对待清洗装置进行均匀清洗,从而保证了清洗的质量。
优选地,转动轴线沿上下方向延伸,每个激光发生器11位于对应的反射面13的下方;且每个激光发生器11的中心轴倾斜延伸。从而使多个反射面13所反射的光线37能向上倾斜延伸,从而在激光发生器11的上方形成环形的光斑。进一步地,当激光发生器11为3个时,3个激光发生器11的中心轴呈正棱锥形分布。从而在反射镜组高速运转下,3个反射面13所反射的光线37形成了一个无头的圆锥状几何图形。圆锥的内部有空白。
在本实施方式中,驱动装置15为电机。驱动装置15与反射镜组传动连接。具体地,电机的转轴与反射镜组传动连接。进一步地,电机的转轴的延伸方向与转动轴线的延伸方向共线。也即电机的转轴在上下方向上竖直延伸。从而当电机转动时,电机能通过其转轴带动反射镜组转动。
在一个实施方式中,每个反射面13通过连接器23相连,电机的转轴与连接器23相连。具体地,该连接器23位于反射镜组的下方。该连接器23的一端与反射镜组相连,连接器23的另一端与电机的转轴相连。该连接方式可以螺钉连接、螺栓连接、焊接、一体成型等。
在本实施方式中,驱动装置15用于驱动反射镜组绕转动轴线转动,以使每个反射面13能相对于对应的激光发生器11转动,进而完成对对应的激光发生器11发出的光线37的出光方向和扫描频率的转变。从而使多个反射面13所反射的光线37能沿周向形成光斑。具体地,该驱动装置15能够驱动反射镜组绕转动轴线高速旋转。
在一个实施方式中,本申请实施方式的激光清洗装置还包括:聚焦镜25。该聚焦镜25用于对反射面13所发射出来的光线37进行聚焦,以使得反射面13所发射出来的光线37变得相对集中,从而提高光线37的能量。
进一步地,聚焦镜25位于反射镜组的一侧。例如如图1所示,聚焦镜25位于反射镜组的上侧。多个反射面13所反射的光线37能在聚焦镜25背对反射镜组的一侧形成光斑。例如如图1所示,多个反射面13所反射的光线37能在聚焦镜25的上侧形成光斑。
本申请实施方式所述的激光清洗装置的使用方法如下:
第一步,激光器29产生光束,经过机械臂27的调节,光束打在反射镜上面。此时,电机处于静态状态。
第二步,启动电机,电机带动反射镜高速转动,光的方向经过反射镜的第一表面或者第二表面后发生改变,此时经过一个反射镜反射的光线37可形成一个弧形的光斑,当三个机械臂27的中心轴相对于对应的反射镜的第一夹角相同时,三个反射镜形成的光斑可形成一个光束圆环,当三个机械臂27的中心轴相对于对应的反射镜的第一夹角不同时,形成另一种非圆形的弧形光束。
第三步,在聚焦镜25的作用下,反射镜组反射的光线37可呈圆环状打在物体表面。进而经过聚焦镜25后,出射光具有清洗能力。
第五步,将此清洗头伸入待清洗的装置内壁,调节各个机械臂27的中心轴相对于对应的反射镜的第一夹角的角度,使光斑打在内壁上的大小合适。
第六步,开始清洗装置内壁。
需要说明的是,在本申请的描述中,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象,两者之间并不存在先后顺序,也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外,在本申请的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
应该理解,以上描述是为了进行图示说明而不是为了进行限制。通过阅读上述描述,在所提供的示例之外的许多实施方式和许多应用对本领域技术人员来说都将是显而易见的。因此,本教导的范围不应该参照上述描述来确定,而是应该参照前述权利要求以及这些权利要求所拥有的等价物的全部范围来确定。出于全面之目的,所有文章和参考包括专利申请和公告的公开都通过参考结合在本文中。在前述权利要求中省略这里公开的主题的任何方面并不是为了放弃该主体内容,也不应该认为申请人没有将该主题考虑为所公开的申请主题的一部分。
Claims (10)
1.一种激光清洗装置,其特征在于,包括:
多个激光发生器,
反射镜组,其具有转动轴线,所述反射镜组包括多个绕所述转动轴线排布的反射面;多个所述反射面与多个所述激光发生器相对应,每个所述激光发生器用于向对应的所述反射面发出光线;且每个所述光线能通过对应的所述反射面反射;
驱动装置,所述驱动装置与所述反射镜组传动连接,所述驱动装置用于驱动所述反射镜组绕所述转动轴线转动,以使每个所述反射面能相对于对应的所述激光发生器转动;进而多个所述反射面所反射的光线能形成大致呈环形的光斑。
2.根据权利要求1所述的激光清洗装置,其特征在于:每个所述反射面的延伸方向与所述转动轴线的延伸方向相一致。
3.根据权利要求1所述的激光清洗装置,其特征在于:多个所述反射面相交于一直线,且所述直线形成所述转动轴线。
4.根据权利要求1所述的激光清洗装置,其特征在于:每个所述激光发生器具有中心轴,每个所述激光发生器能沿其中心轴的延伸方向发出光线,且每个所述中心轴的延伸方向与对应的所述反射面的延伸方向之间形成的不为0°或180°的第一夹角相等。
5.根据权利要求4所述的激光清洗装置,其特征在于:所述转动轴线沿上下方向延伸,每个所述激光发生器位于对应的所述反射面的下方;且每个所述激光发生器的中心轴倾斜延伸。
6.根据权利要求4所述的激光清洗装置,其特征在于:多个所述反射面绕所述转动轴线均匀排布,且多个激光发生器绕所述转动轴线均匀排布以使每个所述反射面转动时能在同一点分别接收来自多个所述激光发生器所发出的所述光线。
7.根据权利要求1所述的激光清洗装置,其特征在于:每个所述反射面包括在垂直于所述转动轴线的方向上相背对的第一表面和第二表面。
8.根据权利要求1所述的激光清洗装置,其特征在于:每个所述反射面通过连接器相连,所述驱动装置为电机,所述电机的转轴与所述连接器相连。
9.根据权利要求1所述的激光清洗装置,其特征在于,其包括:聚焦镜,所述聚焦镜位于所述反射镜组的一侧,且多个所述反射面所反射的光线能在所述聚焦镜背对所述反射镜组的一侧形成所述光斑。
10.根据权利要求1所述的激光清洗装置,其特征在于:所述激光发生器包括用于发出光线的激光器和具有中心轴的机械臂,所述机械臂能相对于所述激光器转动,以对所述光线的传播方向进行调节。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201920280878.3U CN209849455U (zh) | 2019-03-06 | 2019-03-06 | 激光清洗装置 |
Publications (1)
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Family
ID=68932902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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Cited By (2)
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CN111659674A (zh) * | 2019-03-06 | 2020-09-15 | 苏州德威尔卡光电技术有限公司 | 激光清洗装置 |
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