CN209520832U - 一种分子泵拆卸装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种分子泵拆卸装置,涉及工装夹具领域，包括平板小车、安装在平板小车上的升降机构、安装在升降机构上的安装板；所述安装板上固定安装有横向滑动的横向导轨平台，且横向导轨平台上安装有纵向滑动的纵向导轨平台，且纵向导轨平台上还固定安装有V型块。本实用新型结构简单，功能易行，减轻了安装、拆卸劳动强度；使整个装卸工程中，只需2个人员操作即可完成。

Description

一种分子泵拆卸装置

技术领域

本实用新型涉及工装夹具领域，具体而言，涉及一种分子泵拆卸装置。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵；是加速器、电子对撞机、激光器等系统的必需设备，具有广泛的应用领域。其抽气机理是，在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。从分子泵的抽气原理得知：分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度，具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。

目前，用于镀膜机中的分子泵大部分安装于腔室底部，在安装和拆卸时，一般有两种方式安装/拆卸分子泵：①人工装卸，需要3人同时协作，其中两人先将分子泵抬升至指定高度，另外一人则负责安装/拆卸固定螺栓；②使用一种C字形工装，将分子泵安装至C字形工装的V形块上，使用行车将C字形工装吊装至分子泵安装腔室底部进行装配。

在以上两种装卸方式中，第一种安装/拆卸分子泵的方式不仅劳动强度大，且需要多个配合才能完成，整个过程复杂、费时，且工作相率低；第二种安装/拆卸分子泵的方式，首先需要使用行车将大概50KG的C字形工装吊装至离地面40cm的高度；并使整体垂直于地面，将分子泵安放于C字形工装中的V形块上；然后使用行车将分子泵提升至1.4m的安装高度，通过调节行车的左、右、上、下方向，对齐分子泵的安装法兰孔，最后再通过固定螺栓对分子泵进行固定安装。在此过程中相对较为费时，随着行车左右方向的调整，也存在一定的惯性，对行车的操作人员的熟练程度也有一定的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种分子泵拆卸装置，以解决上述问题。

为实现本实用新型目的，采用的技术方案为：一种分子泵拆卸装置，包括平板小车、安装在平板小车上的升降机构、安装在升降机构上的安装板；所述安装板上固定安装有横向滑动的横向导轨平台，且横向导轨平台上安装有纵向滑动的纵向导轨平台，且纵向导轨平台上还固定安装有V型块。

进一步的，所述平板小车包括底架，安装在底架上的扶手；所述底架的下方固定安装有定向轮和万向轮，且定向轮和万向轮分别位于底架的前后两端。

进一步的，所述定向轮和万向轮均为两个，且两个定向轮位于底架的前端，两个万向轮位于底架的后端。

进一步的，所述底架包括相对排布的L型板和Z型板，且L型板和Z型板上共同安装有两个相对排布的U型板。

进一步的，所述升降机构包括至少一个折叠剪叉机构组，每个折叠剪叉机构组包括两个折叠剪叉机构，每个折叠剪叉机构为两个交叉铰接的连杆组成，其中一个连杆的下端铰接安装在L型板上，另一个连杆的下端滑动安装在U型板；且其中一个连杆的上端铰接安装在安装板上，另一个连杆的上端滑动安装在安装板上。

进一步的，所述升降机构还包括铰接安装在Z型板上的推动油缸和控制油缸的压杆；所述推动油缸的另一端与折叠剪叉机构中的其中一个连杆铰接，且压杆铰接安装在Z型板的下方。

进一步的，所述安装板上还固定安装有两个横向导轨，两个横向导轨上均滑动安装有横向滑块，且横向导轨平台共同安装在两个横向滑块上。

进一步的，所述安装板上还转动支承有横向丝杠，且横向导轨平台上固定安装有第一固定块，横向丝杠与第一固定块螺纹配合；所述横向丝杠的一端还固定安装有横向转动手柄。

进一步的，所述横向导轨平台上还固定安装有两个纵向导轨，两个纵向导轨上均滑动安装有纵向滑块，且纵向导轨平台共同安装在两个纵向滑块上。

进一步的，所述横向导轨平台上还转动支承有纵向丝杠，且纵向导轨平台上固定安装有第二固定块，纵向丝杠与第二固定块螺纹配合；所述纵向丝杠的一端还固定安装有纵向转动手柄。

进一步的，所述V型块为两个，且两个V型块对称排布在纵向导轨平台上。

本实用新型的有益效果是,

通过将升降机构安装在平板小车上，并在固定在升降机构的安装板上安装横向导轨平台，在横向导轨平台上安装纵向导轨平台，最后将V型块安装在纵向导轨平台上，使需要对分子泵进行安装或拆卸时，可通过推动平板小车，并通过升降机构、横向导轨平台、纵向导轨平台的配合，使V型块实现横向、纵向、竖向的三个方向移动，从而使分子泵快速的与安装位置对应，使分子泵的安装和拆卸更加方便快速。

本实用新型结构简单，功能易行，减轻了安装、拆卸劳动强度；使整个装卸工程中，只需2个人员操作即可完成；且具有可动性，方便移动到任何所需的场所使用。

附图说明

图1是本实用新型提供的分子泵拆卸装置的结构图1；

图2是本实用新型提供的分子泵拆卸装置的结构图2；

图3是图2的左视图；

图4是图2的俯视图。

附图中标记及相应的零部件名称：

1、平板小车，2、升降机构，3、安装板，4、横向导轨平台，5、纵向导轨平台，6、V型块，7、推动油缸，8、压杆，9、横向导轨，10、横向滑块，11、横向丝杠，12、第一固定块，13、横向转动手柄，14、纵向导轨，15、纵向滑块，16、纵向丝杠，17、第二固定块，18、纵向转动手柄，19、第二U型板；

101、底架，102、扶手，103、定向轮，104、万向轮；

1001、L型板，1002、Z型板，1003、U型板；

201、折叠剪叉机构，2001、连杆。

具体实施方式

下面通过具体的实施例子并结合附图对本实用新型做进一步的详细描述。

图1、图2、图3、图4所示出了本实用新型提供的一种分子泵拆卸装置，包括平板小车1、安装在平板小车1上的升降机构2、安装在升降机构2上的安装板3；所述安装板3上固定安装有横向滑动的横向导轨平台4，且横向导轨平台4上安装有纵向滑动的纵向导轨平台5，且纵向导轨平台5上还固定安装有V型块6。

所述平板小车1可在地面随意前进，且在平板小车1上安装升降机构2，通过升降机构2的升降，使安装板3的高度发生变化；所述横向导轨平台4沿安装板3的横向方向进行滑动，纵向导轨平台5位于横向导轨平台4的上方，且纵向导轨平台5在横向导轨平台4的纵向方向进行滑动；所述V型块6的下表面呈水平状，使V型块6通过螺钉固定安装在纵向导轨平台5上，从而使V型块6实现横向、纵向、垂直方向的移动，当需要对分子泵在安装时，不需要人工将分子泵抬起，且能使分子泵能快速的与待安装位置对应，使分子泵的安装更加快速方便；当需要对分子泵在拆卸时，V型块6能快速的与分子泵对接，人们直接通过松动固定分子泵的螺栓即可，当分子泵拆下时，直接通过平板小车1将分子泵搬运至分子泵存放处即可。

所述平板小车1包括底架101，安装在底架101上的扶手102；所述底架101的下方固定安装有定向轮103和万向轮104，且定向轮103和万向轮104分别位于底架101的前后两端。所述底架101为框架结构，扶手102位于底架101的一侧，且扶手102采用无缝钢管一次性折弯成型，扶手102表面采用环保喷塑处理，有效的防锈防腐，光滑表面让推行更加舒适、轻松。所述扶手102通过铰接耳转动安装在底架101上，具体的，铰接耳可以为扇形，且铰接耳的一侧呈封闭状，使扶手102不仅能通过铰接耳进行转动，且能通过铰接耳进行限位，当本实用新型闲置不用时，可以折叠扶手102，节约空间，方便实用。当需要挪动平板小车1时，可直接拉动扶手102，从而牵动平板小车1移动。所述定向轮103位于底架101的前端，万向轮104位于底架101的后端，使人们在推动平板小车1时，平板小车1的专项更加方便控制，使本实用新型在使用时更加方便。

所述定向轮103和万向轮104均为两个，且两个定向轮103位于底架101的前端，两个万向轮104位于底架101的后端，使两个定向轮103能均匀的对底架101的前端进行支撑，两个万向轮104能均匀的对底架101的后端进行支撑，使底架101受到的支撑力更加均衡，使本实用新型在前进过程中更加平稳，同时，方便本实用新型在使用过程中的方向控制。两个所述定向轮103和两个所述万向轮104均采用5寸聚氨酯静音脚轮，使定向轮103和万向轮104在运转过程中，可以更好地保护地面，且使用时更静音，具有较好的耐磨性，推拉更为省力。

所述底架101包括相对排布的L型板1001和Z型板1002，且L型板1001和Z型板1002上共同安装有两个相对排布的U型板1003。所述L型板1001位于底架101的前端，Z型板1002位于底架101的后端，且扶手102安装在Z型板1002的上表面，使U型板1003两端的安装固定更加方便。两个所述U型板1003的两端分别与L型板1001、Z型板1002焊接固定，从而使底架101形成稳固的框架结构。

所述升降机构2包括至少一个折叠剪叉机构组，每个折叠剪叉机构组包括两个折叠剪叉机构201，每个折叠剪叉机构201为两个交叉铰接的连杆2001组成，其中一个连杆2001的下端铰接安装在L型板1001上，另一个连杆2001的下端滑动安装在U型板1003；且其中一个连杆2001的上端铰接安装在安装板3上，另一个连杆2001的上端滑动安装在安装板3上。当折叠剪叉机构201组为多个时，多个折叠剪叉机构201组依次铰接安装；每个折叠剪叉机构201中的两个连杆2001的铰接点位于连杆2001的中心，使铰接后的连杆2001的两端长度相等。两个所述U型板1003的开口相对排布，两个U型板1003内均安装有滚动的滚轮，且连杆2001的下端与滚轮铰接，通过滚轮在U型板1003内滚动，使连杆2001的下端沿U型板1003的长度方向互动，从而实现连杆2001与U型板1003的滑动安装。所述连杆2001与L型板1001的铰接通过铰接耳铰接，即，先将铰接耳固定安装在L型板1001上，然后将连杆2001的下端铰接在铰接耳上，从而实现连杆2001与L型板1001的铰接。

所述安装板3的下表面上固定安装有两个第二U型板19，且连杆2001的上端与第二U型板19滑动连接，从而实现连杆2001的上端与安装板3的滑动连接。具体的，连杆2001上端与第二U型板19的连接方式与连杆2001下端与U型板1003的连接方式相同，保证连杆2001的上端能沿安装板3进行充分的滑动。

所述升降机构2还包括铰接安装在Z型板1002上的推动油缸7和控制油缸的压杆8；所述推动油缸7的另一端与折叠剪叉机构201中的其中一个连杆2001铰接，且压杆8铰接安装在Z型板1002的下方。所述推动油缸7的型号为HSG30，通过推动油缸7的伸长和缩短，使折叠剪叉机构201的交叉角度发生变化，从而使安装板3的高度发生变化。通过连续的脚踏动作施加于压杆8上，使推动油缸7逐渐伸长，从而使折叠剪叉机构201的交叉角度变小，从而使安装板3的向上移动，使安装板3的高度变高；当需要对安装板3降低时，通过踩踏控制油缸的卸油阀，油缸中的液压油退回至油缸，实现推动油缸7的缩回，使折叠剪叉机构201的交叉角度变大，从而使安装板3向下移动，使安装板3的高度变小。

所述安装板3上还固定安装有两个横向导轨9，两个横向导轨9上均滑动安装有横向滑块10，且横向导轨平台4共同安装在两个横向滑块10上。两个所述横向导轨9均沿安装板3的长度方向延伸，两个横向导轨9均通过螺钉固定安装在安装板3上，且两个横向导轨9沿安装板3的宽度方向对称排布；所述横向导轨9为“工”字型，横向滑块10的下表面上开设有与横向导轨9配合的“凸”字型通槽，使横向滑块10在横向导轨9上充分的滑动，有效防止横向滑块10在横向导轨9上滑动时脱落，使横向滑块10的滑动更加平稳，从而使固定安装在两个横向滑块10上的横向导轨平台4更加平稳。

所述安装板3上还转动支承有横向丝杠11，且横向导轨平台4上固定安装有第一固定块12，横向丝杠11与第一固定块12螺纹配合；所述横向丝杠11的一端还固定安装有横向转动手柄13。所述横向丝杠11的长度方向与横向导轨9的长度方向相同，且横向丝杠11的两端均通过轴承座转动支承，使横向丝杠11在被支撑的同时能进行充分的转动；所述第一固定块12固定安装在横向导轨平台4的下表面上，且横向导轨平台4与两个横向滑块10通过螺钉固定安装；所述第一固定块12上开设有与横向丝杠11配合的螺纹孔，从而使横向丝杠11与第一固定块12螺纹配合，使横向丝杠11转动时，横向丝杠11带动第一固定块12沿横向丝杠11的长度方向移动，从而实现横向导轨平台4的移动。所述横向转动手柄13通过螺纹固定安装在横向丝杠11的一端，当横向丝杠11需要进行转动时，可直接转动横向转动手柄13。

所述横向导轨平台4上还固定安装有两个纵向导轨14，两个纵向导轨14上均滑动安装有纵向滑块15，且纵向导轨平台5共同安装在两个纵向滑块15上。两个所述纵向导轨14均沿横向导轨平台4的长度方向延伸，两个纵向导轨14均通过螺钉固定安装在横向导轨平台4的上表面上，且两个纵向导轨14沿横向导轨平台4的宽度方向对称排布；所述纵向导轨14为“工”字型，纵向滑块15的下表面上开设有与纵向导轨14配合的“凸”字型通槽，使纵向滑块15在纵向导轨14上充分的滑动，有效防止纵向滑块15在纵向导轨14上滑动时脱落，使纵向滑块15的滑动更加平稳，从而使固定安装在两个横向滑块10上的纵向导轨平台5更加平稳。

所述横向导轨平台4上还转动支承有纵向丝杠16，且纵向导轨平台5上固定安装有第二固定块17，纵向丝杠16与第二固定块17螺纹配合；所述纵向丝杠16的一端还固定安装有纵向转动手柄18。所述纵向丝杠16的长度方向与纵向导轨14的长度方向相同，且纵向丝杠16的两端均通过轴承座转动支承，使纵向丝杠16在被支撑的同时能进行充分的转动；所述第二固定块17固定安装在纵向导轨平台5的下表面上，且纵向导轨平台5与两个纵向滑块15通过螺钉固定安装；所述第二固定块17上开设有与纵向丝杠16配合的螺纹孔，从而使纵向丝杠16与第二固定块17螺纹配合，使纵向丝杠16转动时，纵向丝杠16带动第二固定块17沿纵向丝杠16的长度方向移动，从而实现纵向导轨平台5的移动。所述纵向转动手柄18通过螺纹固定安装在纵向丝杠16的一端，当纵向丝杠16需要进行转动时，可直接转动纵向转动手柄18。

所述V型块6为两个，且两个V型块6对称排布在纵向导轨平台5上；所述两个V型块6均通过螺钉固定安装在纵向导轨平台5，且两个V型块6沿纵向导轨平台5的宽度方向对称排布，使分子泵在拆卸或安装时，两个V型块6能对分子泵的两端进行支撑，从而能限制分子泵4个方向的自由度，使分子泵存放更加稳定。所述纵向导轨14上还开设有多个固定螺纹孔，多个固定螺纹孔沿纵向导轨平台5的宽度方向均匀间隔排布，当两个所述V型块6之间的间距需要进行调整时，可通过V型块6固定在不同的固定螺钉孔处，从而使两个V型块6之间的间隙得到调整。

当需要对分子泵进行拆卸时，先握住扶手102，将本实用新型推至分子泵的正下方，然后踩踏压杆8，使推动油缸7伸长，使折叠剪叉机构201中的其中一个连杆2001的下端沿U型板1003滑动，折叠剪叉机构201中的其中一个连杆2001的上端沿安装板3滑动，使两个折叠剪叉机构201的夹角变小，从而使安装板3的高度变高；分子泵位于V型块6内时，通过转动横向转动手柄13，使横向丝杠11转动，使横向丝杠11带动第一固定块12移动，从而使横向导轨平台4移动；然后转动纵向转动手柄18，使纵向丝杠16转动，使纵向丝杠16带动第二固定块17移动，从而使纵向导轨平台5移动，最终使V型块6与分子泵精准对位，此时松动固定分子泵的螺栓，使分子泵被拆卸，而拆卸后的分子泵则位于V型块6内。

此时，踩动推动油缸7的泄油阀，使推动油缸7收缩，推动油缸7在收缩时，推动油缸7带动连杆2001摆动，使折叠剪叉机构201的夹角变大，从而使安装板3的向下移动，此时，推动本实用新型将分子泵搬运至分子泵存放位置即可。

当需要对分子泵进行安装时，先将分子泵放置在V型块6上，推动本实用新型，将分子泵运送至待安装位置的正下方，然后踩踏压杆8，使推动油缸7伸长，使折叠剪叉机构201中的其中一个连杆2001的下端沿U型板1003滑动，折叠剪叉机构201中的其中一个连杆2001的上端沿安装板3滑动，使两个折叠剪叉机构201的夹角变小，从而使安装板3的高度变高；最后，通过转动横向转动手柄13，使横向丝杠11转动，使横向丝杠11带动第一固定块12移动，从而使横向导轨平台4移动；转动纵向转动手柄18，使纵向丝杠16转动，使纵向丝杠16带动第二固定块17移动，从而使纵向导轨平台5移动，最终使V型块6与分子泵精准对位，此时将分子泵采用螺栓固定安装即可。

当分子泵安装完毕后，踩动推动油缸7的泄油阀，使推动油缸7收缩，推动油缸7在收缩时，推动油缸7带动连杆2001摆动，使折叠剪叉机构201的夹角变大，从而使安装板3的向下移动，最后将本实用新型搬走即可。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种分子泵拆卸装置，其特征在于，包括平板小车、安装在平板小车上的升降机构、安装在升降机构上的安装板；所述安装板上固定安装有横向滑动的横向导轨平台，且横向导轨平台上安装有纵向滑动的纵向导轨平台，且纵向导轨平台上还固定安装有V型块。

2.根据权利要求1所述的分子泵拆卸装置，其特征在于，所述平板小车包括底架，安装在底架上的扶手；所述底架的下方固定安装有定向轮和万向轮，且定向轮和万向轮分别位于底架的前后两端。

3.根据权利要求2所述的分子泵拆卸装置，其特征在于，所述定向轮和万向轮均为两个，且两个定向轮位于底架的前端，两个万向轮位于底架的后端。

4.根据权利要求2或3所述的分子泵拆卸装置，其特征在于，所述底架包括相对排布的L型板和Z型板，且L型板和Z型板上共同安装有两个相对排布的U型板。

5.根据权利要求3所述的分子泵拆卸装置，其特征在于，所述升降机构包括至少一个折叠剪叉机构组，每个折叠剪叉机构组包括两个折叠剪叉机构，每个折叠剪叉机构为两个交叉铰接的连杆组成，其中一个连杆的下端铰接安装在L型板上，另一个连杆的下端滑动安装在U型板；且其中一个连杆的上端铰接安装在安装板上，另一个连杆的上端滑动安装在安装板上。

6.根据权利要求5所述的分子泵拆卸装置，其特征在于，所述升降机构还包括铰接安装在Z型板上的推动油缸和控制油缸的压杆；所述推动油缸的另一端与折叠剪叉机构中的其中一个连杆铰接，且压杆铰接安装在Z型板的下方。

7.根据权利要求1所述的分子泵拆卸装置，其特征在于，所述安装板上还固定安装有两个横向导轨，两个横向导轨上均滑动安装有横向滑块，且横向导轨平台共同安装在两个横向滑块上。

8.根据权利要求7所述的分子泵拆卸装置，其特征在于，所述安装板上还转动支承有横向丝杠，且横向导轨平台上固定安装有第一固定块，横向丝杠与第一固定块螺纹配合；所述横向丝杠的一端还固定安装有横向转动手柄。

9.根据权利要求1所述的分子泵拆卸装置，其特征在于，所述横向导轨平台上还固定安装有两个纵向导轨，两个纵向导轨上均滑动安装有纵向滑块，且纵向导轨平台共同安装在两个纵向滑块上。

10.根据权利要求9所述的分子泵拆卸装置，其特征在于，所述横向导轨平台上还转动支承有纵向丝杠，且纵向导轨平台上固定安装有第二固定块，纵向丝杠与第二固定块螺纹配合；所述纵向丝杠的一端还固定安装有纵向转动手柄。