CN209389012U - 高效干法刻蚀托举装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种高效干法刻蚀托举装置，其包括框架等，四个第一延伸架、四个支撑柱、四个第五延伸架都分别位于框架的内侧四周，第一延伸架、第五延伸架分别位于支撑柱的两侧，第一延伸架、第二延伸架、第三延伸架、第四延伸架、第五延伸架上都设有一个凸起，多个定位孔位于框架的四周上，第二延伸架、第三延伸架、第四延伸架分别位于支撑柱的三侧，横向气缸与第一伸缩杆的一端连接。本实用新型提高作业效率，结构简单，成本低。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种刻蚀托举装置，特别是涉及一种高效干法刻蚀托举装置。
背景技术
现在专业半导体干法刻蚀设备的刻蚀速率约3000A/min，但是设备采用的单腔体加工，单次加工片数只有一片，加上传接片、抽真空等动作，作业二十五片需要花费约三十分钟，作业效率低。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种高效干法刻蚀托举装置，其提高作业效率，结构简单，成本低。
本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种高效干法刻蚀托举装置，其特征在于，其包括框架、第一延伸架、定位孔、支撑柱、第二延伸架、第三延伸架、第四延伸架、凸起、第五延伸架、横向气缸、第一伸缩杆、第一连接板、第二伸缩杆、第二连接板、竖向气缸，四个第一延伸架、四个支撑柱、四个第五延伸架都分别位于框架的内侧四周，第一延伸架、第五延伸架分别位于支撑柱的两侧，第一延伸架、第二延伸架、第三延伸架、第四延伸架、第五延伸架上都设有一个凸起，多个定位孔位于框架的四周上，第二延伸架、第三延伸架、第四延伸架分别位于支撑柱的三侧，横向气缸与第一伸缩杆的一端连接，第一伸缩杆的另一端通过第一连接板与框架的一侧连接，竖向气缸与第二伸缩杆的一端连接，第二伸缩杆的另一端通过第二连接板与框架的另一侧连接。
优选地，所述框架的形状为回字形。
优选地，所述凸起上设有一个垫块。
优选地，所述凸起的宽度小于第一延伸架的宽度、第二延伸架的宽度、第三延伸架的宽度、第四延伸架的宽度、第五延伸架的宽度。
优选地，所述四个支撑柱分别为两两相对设置。
本实用新型的积极进步效果在于： 本实用新型提高作业效率，节省作业时间，结构简单，成本低，能实现批量生产。
附图说明
图1为本实用新型高效干法刻蚀托举装置的结构示意图。
图2为本实用新型的工作原理图。
具体实施方式
下面结合附图给出本实用新型较佳实施例，以详细说明本实用新型的技术方案。
如图1至图2所示，本实用新型高效干法刻蚀托举装置包括框架1、第一延伸架2、定位孔3、支撑柱4、第二延伸架5、第三延伸架6、第四延伸架7、凸起8、第五延伸架9、横向气缸10、第一伸缩杆11、第一连接板12、第二伸缩杆13、第二连接板14、竖向气缸15，四个第一延伸架2、四个支撑柱4、四个第五延伸架9都分别位于框架1的内侧四周，第一延伸架、第五延伸架分别位于支撑柱的两侧，第一延伸架2、第二延伸架5、第三延伸架6、第四延伸架7、第五延伸架9上都设有一个凸起8，多个定位孔3位于框架1的四周上，第二延伸架5、第三延伸架6、第四延伸架7分别位于支撑柱4的三侧，横向气缸10与第一伸缩杆1的一端连接，第一伸缩杆11的另一端通过第一连接板12与框架1的一侧连接，竖向气缸15与第二伸缩杆13的一端连接，第二伸缩杆13的另一端通过第二连接板1与框架1的另一侧连接。
框架的形状为回字形，这样可以提供更多的，另外结构对称，增加稳定性。
凸起8上设有一个垫块16，这样更好地夹持晶圆片，防止损坏晶圆片17。
凸起的宽度小于第一延伸架的宽度、第二延伸架的宽度、第三延伸架的宽度、第四延伸架的宽度、第五延伸架的宽度，这样方便使用。
四个支撑柱分别为两两相对设置，这样对称，方便夹持晶圆片，使圆片不易滑落。
本实用新型高效干法刻蚀托举装置能一次夹持五个晶圆片，这样本实用新型提高作业效率，节省作业时间，结构简单，成本低，能实现批量生产。横向气缸、竖向气缸可以分别调节框架的左右上下移动，这样提高精确度。定位孔可以进行定位，这样提高精确度。框架用于安装延伸架、定位孔、支撑柱等。
以上所述的具体实施例，对本实用新型的解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种高效干法刻蚀托举装置，其特征在于，其包括框架、第一延伸架、定位孔、支撑柱、第二延伸架、第三延伸架、第四延伸架、凸起、第五延伸架、横向气缸、第一伸缩杆、第一连接板、第二伸缩杆、第二连接板、竖向气缸，四个第一延伸架、四个支撑柱、四个第五延伸架都分别位于框架的内侧四周，第一延伸架、第五延伸架分别位于支撑柱的两侧，第一延伸架、第二延伸架、第三延伸架、第四延伸架、第五延伸架上都设有一个凸起，多个定位孔位于框架的四周上，第二延伸架、第三延伸架、第四延伸架分别位于支撑柱的三侧，横向气缸与第一伸缩杆的一端连接，第一伸缩杆的另一端通过第一连接板与框架的一侧连接，竖向气缸与第二伸缩杆的一端连接，第二伸缩杆的另一端通过第二连接板与框架的另一侧连接。
2.如权利要求1所述的高效干法刻蚀托举装置，其特征在于，所述框架的形状为回字形。
3.如权利要求1所述的高效干法刻蚀托举装置，其特征在于，所述凸起上设有一个垫块。
4.如权利要求1所述的高效干法刻蚀托举装置，其特征在于，所述凸起的宽度小于第一延伸架的宽度、第二延伸架的宽度、第三延伸架的宽度、第四延伸架的宽度、第五延伸架的宽度。
5.如权利要求1所述的高效干法刻蚀托举装置，其特征在于，所述四个支撑柱分别为两两相对设置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920325940.6U CN209389012U (zh) | 2019-03-15 | 2019-03-15 | 高效干法刻蚀托举装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920325940.6U CN209389012U (zh) | 2019-03-15 | 2019-03-15 | 高效干法刻蚀托举装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209389012U true CN209389012U (zh) | 2019-09-13 |
Family
ID=67854569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920325940.6U Active CN209389012U (zh) | 2019-03-15 | 2019-03-15 | 高效干法刻蚀托举装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209389012U (zh) |
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2019
- 2019-03-15 CN CN201920325940.6U patent/CN209389012U/zh active Active
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