CN209024300U - 一种新型半导体行业废水过滤系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开的一种新型半导体行业废水过滤系统，包括废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元，所述废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元依次通过管路连接。与现有技术相比，本实用新型提供的一种新型半导体行业废水过滤系统，采用物理性过滤，减少药剂费用，不投入药剂对废水的影响小，通过复合膜过滤装置后的废液再经超滤膜装置进行净化处理，保证回用水的水质稳定，净化处理后的废水可循环利用；而经复合膜过滤装置过滤下的浓液再经袋式过滤装置进行过滤后再重复经过复合膜过滤装置循环过滤，降低浊度，去除水中的颗粒物再进行超滤膜装置的净化处理，如此不断循环过滤，节省资源，具有一定的经济效益。

Description

一种新型半导体行业废水过滤系统

技术领域

本实用新型涉及废水处理系统技术领域，具体是一种新型半导体行业废水过滤系统。

背景技术

半导体行业的研磨废水，常规工艺是通过投加混凝剂以及絮凝剂等药剂使废水中的细小悬浮物聚集成沉淀物从而与水分离出来，如此通过一级或二级反应之后的废水可以达到排放标准排放，污泥通过压滤机压滤后送交有资质的单位进行处理。采用传统方法处理半导体行业研磨废水需要投加多种药剂进行反应，投加量也较大，因此产生较高的药剂费用，而且废水由于加药量较大，经过沉淀后会产生大量的污泥，通过压滤之后污泥量也极大，相应的产生较高的污泥处理费用，通常采用加多种药剂的处理方法由于需要建造各种水池与设备间，所需占地面积较大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型半导体行业废水过滤系统，以解决背景技术中的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种新型半导体行业废水过滤系统，包括废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元，所述废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元依次通过管路连接，所述一级循环过滤单元包括复合膜过滤装置、浓液存储装置和袋式过滤装置，所述复合膜过滤装置入料口与所述废液存储装置的出料口连通，所述浓液存储装置在所述复合膜过滤装置和袋式过滤装置之间，所述浓液存储装置的出料口与所述袋式过滤装置的入料口连接，所述袋式过滤装置出料口再与所述复合膜过滤装置连通进行循环过滤；所述二级过滤单元与所述复合膜过滤装置连通。

所述二级过滤单元包括超滤膜装置和清液回收装置，所述超滤膜装置的出料口与所述清液回收装置的入料口连通，所述复合膜过滤装置与所述超滤膜装置连通。

所述袋式过滤装置的出料口与所述复合膜过滤装置之间还设有中间池，所述中间池用于放置经所述袋式过滤装置过滤后的液体。

所述袋式过滤装置外接有固体回收装置，用于回收过滤后的固体颗粒物。

所述浓液存储装置与复合膜过滤装置之间、所述复合膜过滤装置与浓液存储装置之间、所述浓液存储装置与袋式过滤装置之间、所述袋式过滤装置与中间池之间、所述中间池与复合膜过滤装置之间、所述复合膜过滤装置与超滤膜装置之间、所述超滤膜装置与清液回收装置之间均设有提升水泵。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种新型半导体行业废水过滤系统，采用物理性过滤，减少药剂费用，不投入药剂对废水的影响小，通过复合膜过滤装置后的废液再经超滤膜装置进行净化处理，保证回用水的水质稳定，净化处理后的废水可循环利用；而经复合膜过滤装置过滤下的浓液再经袋式过滤装置进行过滤后再重复经过复合膜过滤装置循环过滤，降低浊度，去除水中的颗粒物再进行超滤膜装置的净化处理，如此不断循环过滤，节省资源，具有一定的经济效益。

附图说明

图1：一种新型半导体行业废水过滤系统示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

具体实施1：请参阅图1，本实用新型实施例中，一种新型半导体行业废水过滤系统，包括浓液存储装置1、一级循环过滤单元和二级过滤单元，所述废液存储装置1、一级循环过滤单元和二级过滤单元依次通过管路连接，所述一级循环过滤单元包括复合膜过滤装置2、浓液存储装置3和袋式过滤装置4，所述复合膜过滤装置2与所述浓液存储装置3连通，所述浓液存储装置3在所述复合膜过滤装置2和袋式过滤装置4之间，所述浓液存储装置3的出料口与所述袋式过滤装置4的入料口连接，所述袋式过滤装置4出料口再与所述复合膜过滤装置2连通进行循环过滤；所述二级过滤单元与所述复合膜过滤装置2连通。

所述二级过滤单元包括超滤膜装置7和清液回收装置8，所述超滤膜装置7的出料口与所述清液回收装置8的入料口连通，所述复合膜过滤装置2与所述超滤膜装置7连通。

所述袋式过滤装置4的出料口与所述复合膜过滤装置2之间还设有中间池5，所述中间池5用于放置经所述袋式过滤装置4过滤后的液体。

所述袋式过滤装置4外接有固体回收装置6，用于回收过滤后的固体颗粒物。

所述废液存储装置1与复合膜过滤装置2之间、所述复合膜过滤装置2与浓液存储装置3之间、所述浓液存储装置3与袋式过滤装置4之间、所述袋式过滤装置4与中间池5之间、所述中间池5与复合膜过滤装置2之间、所述复合膜过滤装置与2所述超滤膜装置7之间、所述超滤膜装置7与清液回收装置8之间均设有提升水泵9。

工作原理：将待处理废水放入废液存储装置中，经提升水泵将废液打入复合膜过滤装置内，去除水中悬浮物等颗粒物体，经复合膜过滤装置过滤的液体为一级废液，复合膜过滤装置的过滤精度可达0.1μm，再将过滤后的一级废液经提升水泵打入超滤膜装置内，将一级废液经超滤膜装置装置进行二次净化，进一步去除水中悬浮物，超滤膜装置过滤的精度可达0.01μm，经二级过滤后的水中悬浮物含有量为0.01％-0.03％，将一级废液中的悬浮物基本过滤完全，将净化后的水通过清液回收装置进行回收利用；而在复合膜过滤装置沉淀下来的为浓液，浓液被放置在浓液存储装置内，浓液经袋式过滤装置进行二次过滤，将浓液内的颗粒物等杂质进行过滤去除，残留的固化颗粒物经固体回收装置进行回收处理，过滤后的浓液为二级废液，将二级废液再经复合膜过滤装置进行相同的过滤净化，如此不断循环过滤。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种新型半导体行业废水过滤系统，采用物理性过滤，减少药剂费用，不投入药剂对废水的影响小，通过复合膜过滤装置后的废液再经超滤膜装置进行净化处理，保证回用水的水质稳定，净化处理后的废水可循环利用；而经复合膜过滤装置过滤下的浓液再经袋式过滤装置进行过滤后再重复经过复合膜过滤装置循环过滤，降低浊度，去除水中的颗粒物再进行超滤膜装置的净化处理，如此不断循环过滤，节省资源，具有一定的经济效益。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于前述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是前述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种新型半导体行业废水过滤系统，其特征在于：包括废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元，所述废液存储装置、一级循环过滤单元和二级过滤单元依次通过管路连接，所述一级循环过滤单元包括复合膜过滤装置、浓液存储装置和袋式过滤装置，所述复合膜过滤装置入料口与所述废液存储装置的出料口连通，所述浓液存储装置在所述复合膜过滤装置和袋式过滤装置之间，所述浓液存储装置的出料口与所述袋式过滤装置的入料口连接，所述袋式过滤装置出料口再与所述复合膜过滤装置连通进行循环过滤；所述二级过滤单元与所述复合膜过滤装置连通。

2.根据权利要求1所述的一种新型半导体行业废水过滤系统，其特征在于：所述二级过滤单元包括超滤膜装置和清液回收装置，所述超滤膜装置的出料口与所述清液回收装置的入料口连通，所述复合膜过滤装置与所述超滤膜装置连通。

3.根据权利要求1所述的一种新型半导体行业废水过滤系统，其特征在于：所述袋式过滤装置的出料口与所述复合膜过滤装置之间还设有中间池，所述中间池用于放置经所述袋式过滤装置过滤后的液体。

4.根据权利要求1所述的一种新型半导体行业废水过滤系统，其特征在于：所述袋式过滤装置外接有固体回收装置，用于回收过滤后的固体颗粒物。

5.根据权利要求3所述的一种新型半导体行业废水过滤系统，其特征在于：所述浓液存储装置与复合膜过滤装置之间、所述复合膜过滤装置与浓液存储装置之间、所述浓液存储装置与袋式过滤装置之间、所述袋式过滤装置与中间池之间、所述中间池与复合膜过滤装置之间、所述复合膜过滤装置与超滤膜装置之间、所述超滤膜装置与清液回收装置之间均设有提升水泵。