CN208765821U - 液态试剂监测系统 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种液态试剂监测系统。该系统包括：重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。本公开涉及的液态试剂监测系统及方法，能够在液态试剂不满足安全条件时给出警告信息，从而提高机台利用率，预防光阻管路空管导致产品的报废。

Description

液态试剂监测系统

技术领域

本公开涉及芯片制造领域，具体而言，涉及一种液态试剂监测系统。

背景技术

试剂，又称生物化学试剂或试药。主要是实现化学反应、分析化验、研究试验、教学实验、化学配方使用的纯净化学品。一般按用途分为通用试剂、高纯试剂、分析试剂、仪器分析试剂、临床诊断试剂、生化试剂、无机离子显色剂试剂等。

在芯片制造中，经常需要用到的液态试剂为光刻胶，光刻胶是一个用在许多工业制程上的光敏材料。光刻胶根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能，将光刻胶作涂层，就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。

光刻胶是一种感光介质，因而上述承载光阻剂所用的光阻瓶均为不透明的塑料瓶或者玻璃瓶，从而使得工作人员很难观察每瓶光阻剂的剩余量，无法对光阻瓶内光阻剂的剩余状态进行监控，给生产带来了不便。而且，光刻胶随着使用被消耗，如果不能及时的对光刻胶进行替换会导致产品质量出现严重的问题。但是现有技术中暂时没有对光阻瓶内的光阻剂进行监控的方案。

因此，需要一种新的液态试剂监测系统。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

实用新型内容

有鉴于此，本公开提供一种液态试剂监测系统，能够在液态试剂不满足安全条件时给出警告信息，从而提高机台利用率，预防光阻管路空管导致产品的报废。

本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。

根据本公开的一方面，提出一种液态试剂监测系统，该系统包括：重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

在本公开的一种示例性实施例中，所述重量监测装置包括：电子磅秤、模数转换器、以及通信线路；其中，所述电子磅秤位于所述液态试剂瓶底部。

在本公开的一种示例性实施例中，所述容量检测装置包括：容量传感器和通信线路；其中，所述容量传感器放置于所述蓄液箱内，所述容量传感器放置于所述蓄液箱底部。

在本公开的一种示例性实施例中，所述报警装置包括：判断模块，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件；以及警告模块，用于在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

在本公开的一种示例性实施例中，所述判断模块包括：第一判断单元，用于判断所述重量数据是否小于第一阈值，在所述重量数据小于第一阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件；以及第二判断单元，用于判断所述容量数据是否小于第二阈值，在所述容量数据小于第二阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第二安全条件。

在本公开的一种示例性实施例中，所述警告模块包括：第一警告单元，用于在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件时，生成第一警告信息，所述警告信息包括短信提醒信息，语音提醒信息，以及邮件提醒信息。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一警告单元还用于在生成第一告警信息后的预设时间点，生成第二警告信息。

在本公开的一种示例性实施例中，所述警告模块包括：第二警告单元，用于在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件和第二安全条件时，生成第三警告信息。

在本公开的一种示例性实施例中，根据所述第三警告信息禁止所述液态试剂的机台运作。

根据本公开的一方面，提出一种液态试剂监测方法，该方法包括：实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件；在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息；其中，所述液态试剂包括光刻胶。

根据本公开的液态试剂监测系统，能够在液态试剂不满足安全条件时给出警告信息，从而提高机台利用率，预防光阻管路空管导致产品的报废。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本公开。

附图说明

通过参照附图详细描述其示例实施例，本公开的上述和其它目标、特征及优点将变得更加显而易见。下面描述的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测系统及方法的系统框图。

图2是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测方法的流程图。

图3是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测系统的框图。

图4是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测系统的框图。

图5是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测系统的示意图。

图6是根据一示例性实施例示出的一种电子设备的框图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。

此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知方法、装置、实现或者操作以避免模糊本公开的各方面。

附图中所示的方框图仅仅是功能实体，不一定必须与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。

附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的内容和操作/步骤，也不是必须按所描述的顺序执行。例如，有的操作/步骤还可以分解，而有的操作/步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。

应理解，虽然本文中可能使用术语第一、第二、第三等来描述各种组件，但这些组件不应受这些术语限制。这些术语乃用以区分一组件与另一组件。因此，下文论述的第一组件可称为第二组件而不偏离本公开概念的教示。如本文中所使用，术语“及/或”包括相关联的列出项目中的任一个及一或多者的所有组合。

本领域技术人员可以理解，附图只是示例实施例的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本公开所必须的，因此不能用于限制本公开的保护范围。

图1是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测系统及方法的系统框图。

如图1所示，系统架构100可以包括终端设备101、102、103，网络104和服务器105。网络104用以在终端设备101、102、103和服务器105之间提供通信链路的介质。网络104可以包括各种连接类型，例如有线、无线通信链路或者光纤电缆等等。

用终端设备101、102、103可以通过网络104与服务器105交互，以接收或发送消息等。终端设备101、102、103上可以安装有各种通讯客户端应用，例如即时通信工具、邮箱客户端等。

终端设备101、102、103可以是监测功能的各种电子设备，包括但不限于重量检测装置、液体传感器等。

服务器105可以是提供各种服务的服务器，可对终端设备101、102、103所发送的监测数据进行处理，并将处理结果(例如第一警告信息、第二警告信息)反馈给其他终端设备或用户。

终端设备101、102、103可例如实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；终端设备101、102、103可例如实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；服务器105可例如根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件；服务器105可例如在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

服务器105可以是一个实体的服务器，还可例如为多个服务器组成，服务器105中的一部分可例如作为监测系统，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件；在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息；以及服务器105中的一部分还可例如作为光刻工艺中的仪器控制系统，用于在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件和第二安全条件时，生成第三警告信息，并根据所述第三警告信息停止相关仪器设备的工作。

需要说明的是，本公开实施例所提供的液态试剂监测方法可以由服务器105和终端设备101、102、103共同执行，相应地，液态试剂监测装置可以设置于服务器105及终端设备101、102、103中。而对液态试剂进行检测的装置一般位于终端设备101、102、103中。

图2是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测方法的流程图。液态试剂监测方法20至少包括步骤S202至S208。

如图2所示，在S202中，实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据。其中，所述液态试剂可例如为光刻胶。

在一个实施例中，可例如通过电子磅秤实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据。其中，所述电子磅秤位于所述液态试剂瓶底部。

在一个实施例中，电子磅秤获取的重量数据可例如为模拟数据，还可例如通过模数转换器将模拟数据转换为数字信号，以便通过通信线路进行传输。

在S204中，实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据。可例如通过容量传感器实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据。还可例如通过通信线路将容量数据进行传输。

在一个实施例中，所述容量传感器放置于所述蓄液箱内，所述容量传感器放置于所述蓄液箱底部。

在S206中，根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件。

在一个实施例中，判断所述重量数据是否小于第一阈值，在所述重量数据小于第一阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件。

在一个实施例中，判断所述容量数据是否小于第二阈值，在所述容量数据小于第二阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第二安全条件。

在S208中，在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。其中，所述警告信息包括短信提醒信息，语音提醒信息，以及邮件提醒信息。

在一个实施例中，在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件时，生成第一警告信息。可例如，经由电子磅秤感应材料液体的重量，重量小于阈值时，以手机短信或电子邮件提醒生产人员，准备更换材料液体，以缩短生产人员发现机台第一报警信息的时间，提高机台利用率。

在一个实施例中，在生成第一告警信息后的预设时间点，生成第二警告信息。可例如，经由电子磅秤感应材料液体的重量不满足第一安全条件，发出第一告警信息后，延迟10分钟后，再次以手机短信或电子邮件的方式提醒相关人员查看机台材料液体有无被更换或异常。

在一个实施例中，在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件和第二安全条件时，生成第三警告信息。经由电子磅秤感应材料液体的重量，以及容量传感器的感测，当材料液体的重量为零且容量传感器也感测不到有材料液体时，生成第三告警信息。

在一个实施例中，根据所述第三警告信息禁止所述液态试剂的机台运作。将第三告警信息发送至设备运行系统中，以便设备运行系统将涉及到该液体实际的机台禁止工作，以防止光刻胶材料液体空管，导致产品的报废。

根据本公开的液态试剂监测方法，通过实时监测液态试剂瓶中液态试剂的重量和蓄液箱中液态试剂的容量，能够在液态试剂不满足安全条件时给出警告信息，从而提高机台利用率，预防光阻管路空管导致产品的报废。

应清楚地理解，本公开描述了如何形成和使用特定示例，但本公开的原理不限于这些示例的任何细节。相反，基于本公开公开的内容的教导，这些原理能够应用于许多其它实施例。

本领域技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分步骤被实现为由CPU执行的计算机程序。在该计算机程序被CPU执行时，执行本公开提供的上述方法所限定的上述功能。所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，该存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

此外，需要注意的是，上述附图仅是根据本公开示例性实施例的方法所包括的处理的示意性说明，而不是限制目的。易于理解，上述附图所示的处理并不表明或限制这些处理的时间顺序。另外，也易于理解，这些处理可以是例如在多个模块中同步或异步执行的。

下述为本公开装置实施例，可以用于执行本公开方法实施例。对于本公开装置实施例中未披露的细节，请参照本公开方法实施例。

图3是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测系统的框图。液态试剂监测系统30包括：重量监测装置302，容量检测装置304，以及报警装置306。

重量监测装置302用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；所述重量监测装置包括：电子磅秤、模数转换器、以及通信线路；其中，所述电子磅秤位于所述液态试剂瓶底部。

容量检测装置304用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；所述容量检测装置包括：容量传感器和通信线路；其中，所述容量传感器放置于所述蓄液箱内，所述容量传感器放置于所述蓄液箱底部。

报警装置306用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

根据本公开的液态试剂监测系统，通过重量监测装置302实时监测液态试剂瓶中液态试剂的重量和通过容量检测装置304实时监控蓄液箱中液态试剂的容量，能够在液态试剂不满足安全条件时给出警告信息，从而提高机台利用率，预防光阻管路空管导致产品的报废。

图4是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测系统的框图。液态试剂监测系统40在液态试剂监测系统30的基础上报警装置306还包括：判断模块3062，警告模块3064。

判断模块3062用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件。

其中，所述判断模块还包括：第一判断单元与第二判断单元。

第一判断单元(图中未示出)用于判断所述重量数据是否小于第一阈值，在所述重量数据小于第一阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件；

第二判断单元(图中未示出)用于判断所述容量数据是否小于第二阈值，在所述容量数据小于第二阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第二安全条件。

警告模块3064用于在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

其中，所述警告模块还包括：第一警告单元与第二警告单元。

第一警告单元(图中未示出)用于在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件时，生成第一警告信息，所述警告信息包括短信提醒信息，语音提醒信息，以及邮件提醒信息。所述第一警告单元还用于在生成第一告警信息后的预设时间点，生成第二警告信息。

第二警告单元(图中未示出)用于在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件和第二安全条件时，生成第三警告信息。可例如根据所述第三警告信息禁止所述液态试剂的机台运作。

图5是根据一示例性实施例示出的一种液态试剂监测系统的示意图。如图5所述，液态试剂瓶中的液态试剂可例如为光刻胶，在机器运作过程中，光刻胶由液态试剂瓶中被自动的取出，流入蓄液箱，然后再由蓄液箱流入到产线中。电子磅秤位于所述液态试剂瓶底部，所述容量传感器放置于所述蓄液箱内的底部。通过电子磅秤感应材料液体的重量，通过容量传感器的感测蓄液箱中液态的容量。以上信号通过通信线路传输至远端的服务器进行处理。

可例如，经由电子磅秤感应材料液体的重量小于阈值时，远端服务器以手机短信或电子邮件提醒生产人员，准备更换材料液体，以缩短生产人员发现机台第一报警信息的时间，提高机台利用率。

可例如，经由电子磅秤感应材料液体的重量不满足第一安全条件，发出第一告警信息后，延迟10分钟后，服务器再次以手机短信或电子邮件的方式提醒相关人员查看机台材料液体有无被更换或异常。

可例如，经由电子磅秤感应材料液体的重量，以及容量传感器的感测蓄液箱中液态的容量，当材料液体的重量为零且容量传感器也感测不到有材料液体时，生成第三告警信息。服务器还可将第三告警信息发送至设备运行系统中，以便设备运行系统将涉及到该液体实际的机台禁止工作，以防止光刻胶材料液体空管，导致产品的报废。

图6是根据一示例性实施例示出的一种电子设备的框图。

下面参照图6来描述根据本公开的这种实施方式的电子设备200。图6显示的电子设备200仅仅是一个示例，不应对本公开实施例的功能和使用范围带来任何限制。

如图6所示，电子设备200以通用计算设备的形式表现。电子设备200的组件可以包括但不限于：至少一个处理单元210、至少一个存储单元220、连接不同系统组件(包括存储单元220和处理单元210)的总线230、显示单元240等。

其中，所述存储单元存储有程序代码，所述程序代码可以被所述处理单元210执行，使得所述处理单元210执行本说明书上述电子处方流转处理方法部分中描述的根据本公开各种示例性实施方式的步骤。例如，所述处理单元210可以执行如图2中所示的步骤。

所述存储单元220可以包括易失性存储单元形式的可读介质，例如随机存取存储单元(RAM)2201和/或高速缓存存储单元2202，还可以进一步包括只读存储单元(ROM)2203。

所述存储单元220还可以包括具有一组(至少一个)程序模块2205的程序/实用工具2204，这样的程序模块2205包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。

总线230可以为表示几类总线结构中的一种或多种，包括存储单元总线或者存储单元控制器、外围总线、图形加速端口、处理单元或者使用多种总线结构中的任意总线结构的局域总线。

电子设备200也可以与一个或多个外部设备300(例如键盘、指向设备、蓝牙设备等)通信，还可与一个或者多个使得用户能与该电子设备200交互的设备通信，和/或与使得该电子设备200能与一个或多个其它计算设备进行通信的任何设备(例如路由器、调制解调器等等)通信。这种通信可以通过输入/输出(I/O)接口250进行。并且，电子设备200还可以通过网络适配器260与一个或者多个网络(例如局域网(LAN)，广域网(WAN)和/或公共网络，例如因特网)通信。网络适配器260可以通过总线230与电子设备200的其它模块通信。应当明白，尽管图中未示出，可以结合电子设备200使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理单元、外部磁盘驱动阵列、RAID系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员易于理解，这里描述的示例实施方式可以通过软件实现，也可以通过软件结合必要的硬件的方式来实现。因此，根据本公开实施方式的技术方案可以以软件产品的形式体现出来，该软件产品可以存储在一个非易失性存储介质(可以是CD-ROM，U盘，移动硬盘等)中或网络上，包括若干指令以使得一台计算设备(可以是个人计算机、服务器、或者网络设备等)执行根据本公开实施方式的上述方法。

本领域技术人员可以理解上述各模块可以按照实施例的描述分布于装置中，也可以进行相应变化唯一不同于本实施例的一个或多个装置中。上述实施例的模块可以合并为一个模块，也可以进一步拆分成多个子模块。

通过以上的实施例的描述，本领域的技术人员易于理解，这里描述的示例实施例可以通过软件实现，也可以通过软件结合必要的硬件的方式来实现。因此，根据本公开实施例的技术方案可以以软件产品的形式体现出来，该软件产品可以存储在一个非易失性存储介质(可以是CD-ROM，U盘，移动硬盘等)中或网络上，包括若干指令以使得一台计算设备(可以是个人计算机、服务器、移动终端、或者网络设备等)执行根据本公开实施例的方法。

以上具体地示出和描述了本公开的示例性实施例。应可理解的是，本公开不限于这里描述的详细结构、设置方式或实现方法；相反，本公开意图涵盖包含在所附权利要求的精神和范围内的各种修改和等效设置。

Claims (9)

1.一种液态试剂监测系统，其特征在于，包括：

重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；

容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及

报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述重量监测装置包括：

电子磅秤、模数转换器、以及通信线路；

其中，所述电子磅秤位于所述液态试剂瓶底部。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述容量检测装置包括：容量传感器和通信线路；

其中，所述容量传感器放置于所述蓄液箱内，所述容量传感器放置于所述蓄液箱底部。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述报警装置包括：

判断模块，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件；以及

警告模块，用于在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述判断模块包括：

第一判断单元，用于判断所述重量数据是否小于第一阈值，在所述重量数据小于第一阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件；以及

第二判断单元，用于判断所述容量数据是否小于第二阈值，在所述容量数据小于第二阈值时，确定当前液态试剂状态不满足所述第二安全条件。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述警告模块包括：

第一警告单元，用于在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件时，生成第一警告信息，所述警告信息包括短信提醒信息，语音提醒信息，以及邮件提醒信息。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述第一警告单元还用于在生成第一告警信息后的预设时间点，生成第二警告信息。

8.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述警告模块包括：

第二警告单元，用于在当前液态试剂状态不满足所述第一安全条件和第二安全条件时，生成第三警告信息。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，根据所述第三警告信息禁止所述液态试剂的机台运作。