CN208701202U - 一种导轨柱及真空腔体 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种导轨柱及真空腔体，涉及真空技术领域。导轨柱用于真空镀膜设备，其包括固定件和限位件，固定件固定安装于真空镀膜设备的真空腔体内，限位件可拆卸地安装于固定件。真空腔体包括上述导轨柱。本导轨柱能够避免补焊干涉，本真空腔体能够降低补焊难度，提高补焊质量。

Description

一种导轨柱及真空腔体

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，具体而言，涉及一种导轨柱及真空腔体。

背景技术

真空镀膜过程中，抽、破真空会造成腔体的微弱形变，腔体焊缝处的反复形变易导致“疲劳开裂”，此时需对开裂处进行补焊。为了充分利用腔体空间，导轨柱一般直接焊接在靠近腔体内侧面的位置，导轨柱高度接近于腔体内空间高度。该位置接近腔体焊缝，会对补焊造成干涉影响，增加补焊难度，降低补焊质量。

实用新型内容

本实用新型的目的包括提供一种导轨柱，其能够避免补焊干涉。

本实用新型的另一目的包括提供一种真空腔体，其能够降低补焊难度，提高补焊质量。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种导轨柱，用于真空镀膜设备，其包括固定件和限位件，固定件固定安装于真空镀膜设备的真空腔体内，限位件可拆卸地安装于固定件。

进一步地，上述固定件和限位件螺纹连接。

进一步地，上述固定件设置有第一螺纹部，限位件设置有与第一螺纹部配合的第二螺纹部，第一螺纹部和第二螺纹部两者中的一个为螺柱，另一个为螺孔。

进一步地，上述第一螺纹部为螺孔，第二螺纹部为螺柱。

进一步地，上述第一螺纹部为螺柱，第二螺纹部为螺孔。

进一步地，上述固定件设置有第一卡接部，限位件设置有与第一卡接部配合的第二卡接部，第一卡接部和第二卡接部两者中的一个为凸台，另一个为凹槽。

进一步地，上述第一卡接部为凹槽，第二卡接部为凸台。

进一步地，上述第一卡接部为凸台，第二卡接部为凹槽。

一种真空腔体，其包括上述导轨柱。

进一步地，上述真空腔体还包括外壳、载盘及传输滚轮；载盘、传输滚轮、导轨柱均设置于外壳内，传输滚轮设置于载盘底部，多个导轨柱分别位于载盘两侧，导轨柱用于限制载盘的移动方向。

本实用新型实施例的有益效果包括：本导轨柱用于真空镀膜设备，其包括固定件和限位件，固定件固定安装于真空镀膜设备的真空腔体内，限位件可拆卸地安装于固定件。本真空腔体包括上述导轨柱。本导轨柱采用可拆卸的结构，能够避免补焊干涉，本真空腔体能够降低补焊难度，提高补焊质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型第一实施例中导轨柱的装配示意图；

图2为本实用新型第一实施例中另一形式导轨柱的装配示意图；

图3为本实用新型第二实施例中导轨柱的装配示意图；

图4为本实用新型第二实施例中另一形式导轨柱的装配示意图；

图5为本实用新型第三实施例中真空腔体正常工作时的结构示意图；

图6为本实用新型第三实施例中真空腔体补焊时的结构示意图。

图标：100－导轨柱；110－固定件；112－第一螺纹部；120－限位件；122－第二螺纹部；212－第一卡接部；222－第二卡接部；300－真空腔体；310－外壳；312－焊缝；320－载盘；330－传输滚轮。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

第一实施例

请参照图1和图2，本实施例提供一种导轨柱100，用于真空镀膜设备，其包括固定件110和限位件120，固定件110固定安装于真空镀膜设备的真空腔体内，限位件120可拆卸地安装于固定件110。

其中，固定件110和限位件120螺纹连接。具体地，固定件110设置有第一螺纹部112，限位件120设置有与第一螺纹部112配合的第二螺纹部122，第一螺纹部112和第二螺纹部122两者中的一个为螺柱，另一个为螺孔。

请参照图1，当第一螺纹部112为螺孔，第二螺纹部122为螺柱时，设置于限位件120端面的螺柱伸入固定件110的螺孔内，第一螺纹部112和第二螺纹部122相配合，固定件110和限位件120连接在一起组成导轨柱100。当需要时，可将限位件120拆离固定件110。

请参照图2，当第一螺纹部112为螺柱，第二螺纹部122为螺孔时，设置于固定件110端面的螺柱伸入限位件120的螺孔内，第一螺纹部112和第二螺纹部122相配合，固定件110和限位件120连接在一起组成导轨柱100。当需要时，可将限位件120拆离固定件110。

此外，固定件110的轴向长度应小于限位件120的轴向长度，以避免真空镀膜设备的真空腔体进行补焊时发生干涉。

导轨柱100的工作原理是：用于真空镀膜设备的导轨柱100，其包括固定件110和限位件120，固定件110固定安装于真空镀膜设备的真空腔体内，限位件120可拆卸地安装于固定件110。当真空镀膜设备的真空腔体需要进行补焊时，可将限位件120拆离于固定件110，避免固定件110对补焊造成干涉影响。

第二实施例

请参照图3和图4，本实施例提供一种导轨柱100，其整体结构、工作原理及取得的技术效果与第一实施例基本相同，不同之处在于：

固定件110设置有第一卡接部212，限位件120设置有与第一卡接部212配合的第二卡接部222，第一卡接部212和第二卡接部222两者中的一个为凸台，另一个为凹槽。凸台与凹槽可根据需要设置其形状，在本实施例中，凸台与凹槽为长方体，在其他实施例中，也可以为三棱柱等，仅需满足第一卡接部212和第二卡接部222的稳定连接。

请参照图3，当第一卡接部212为凹槽，第二卡接部222为凸台时，设置于限位件120端面的凸台伸入固定件110的凹槽内，第一卡接部212和第二卡接部222相配合，固定件110和限位件120连接在一起组成导轨柱100。

请参照图4，当第一卡接部212为凸台，第二卡接部222为凹槽时，设置于固定件110端面的凸台伸入限位件120的凹槽内，第一卡接部212和第二卡接部222相配合，固定件110和限位件120连接在一起组成导轨柱100。

第三实施例

请参照图5，本实施例提供一种真空腔体300，其包括第一实施例或第二实施例提供的导轨柱100。同时，真空腔体300还包括外壳310、载盘320及传输滚轮330；载盘320、传输滚轮330、导轨柱100均设置于外壳310内，传输滚轮330设置于载盘320底部，多个导轨柱100分别位于载盘320两侧，导轨柱100用于限制载盘320的移动方向，避免载盘320发生侧向移动。

此外，当导轨柱100的固定件110与限位件120使用螺纹连接时，导轨柱100螺纹松动方向应设置为与载盘320运动方向相反，以避免载盘320传输过程中导轨柱100松脱。

真空腔体300的工作原理是：当外壳310的弯折处焊缝312(请参照图6)出现疲劳断裂时，将相应位置附近的导轨柱100的限位件120拆离固定件110，即可进行补焊，避免了补焊干涉，待补焊完毕，将限位件120重新装回固定件110。因此，真空腔体300能够降低补焊难度，提高补焊质量。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种导轨柱，用于真空镀膜设备，其特征在于，包括固定件和限位件，所述固定件固定安装于所述真空镀膜设备的真空腔体内，所述限位件可拆卸地安装于所述固定件。

2.根据权利要求1所述的导轨柱，其特征在于，所述固定件和所述限位件螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的导轨柱，其特征在于，所述固定件设置有第一螺纹部，所述限位件设置有与所述第一螺纹部配合的第二螺纹部，所述第一螺纹部和所述第二螺纹部两者中的一个为螺柱，另一个为螺孔。

4.根据权利要求3所述的导轨柱，其特征在于，所述第一螺纹部为所述螺孔，所述第二螺纹部为所述螺柱。

5.根据权利要求3所述的导轨柱，其特征在于，所述第一螺纹部为所述螺柱，所述第二螺纹部为所述螺孔。

6.根据权利要求1所述的导轨柱，其特征在于，所述固定件设置有第一卡接部，所述限位件设置有与所述第一卡接部配合的第二卡接部，所述第一卡接部和所述第二卡接部两者中的一个为凸台，另一个为凹槽。

7.根据权利要求6所述的导轨柱，其特征在于，所述第一卡接部为所述凹槽，所述第二卡接部为所述凸台。

8.根据权利要求7所述的导轨柱，其特征在于，所述第一卡接部为所述凸台，所述第二卡接部为所述凹槽。

9.一种真空腔体，其特征在于，包括权利要求1－8中任意一项所述的导轨柱。

10.根据权利要求9所述的真空腔体，其特征在于，还包括外壳、载盘及传输滚轮；所述载盘、所述传输滚轮、所述导轨柱均设置于所述外壳内，所述传输滚轮设置于所述载盘底部，多个所述导轨柱分别位于所述载盘两侧，所述导轨柱用于限制所述载盘的移动方向。