CN208497364U - 一种硅棒切片机加工底座 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于硅片加工设备技术领域，涉及一种硅棒切片机加工底座；其结构包括底座和滑动板；底座由四周的边框组成中空长方体结构，滑动板通过滑轨与底座滑动连接；滑动板中央位置开设有凹槽；凹槽内一端设置有连接块，另一端设置有电机；电机输出端与旋转轴一端连接；旋转轴另一端与连接块相对旋转式连接；旋转轴两侧设置有方向相反的螺纹，旋转轴两侧分别与两个移动块螺纹连接；移动块上方与夹块固定连接；连接块上方可拆卸式连接有伸缩杆，伸缩杆顶面通过螺钉二连接有支撑杆，支撑杆的端部固定设置有伸缩油缸，伸缩油缸输出端连接上定位块；该加工底座实现了对硅棒的准确定位和位置固定，提高了整体工作效率，节能环保。

Description

一种硅棒切片机加工底座

技术领域

本实用新型属于硅片加工设备技术领域，涉及一种硅棒切片机加工底座。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，利用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体、自动化和计算机等技术的发展，硅片的应用非常广泛，涉及航空航天、工业、农业和国防等多个领域。硅片在加工时，通常采用切割装置将硅棒切割为一定厚度的硅片，传统的切割装置加工底座不能对硅棒较好的固定，且结构复杂，使用不便。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于克服现有技术存在的缺点，提出设计一种硅棒切片机加工底座，以解决现有技术中对硅棒固定效果不佳、操作不便的问题。

本实用新型涉及的硅棒切片机加工底座，其主体结构包括底座和滑动板；所述的底座由四周的边框组成中空长方体结构，其中一对平行的边框上设置有滑轨，滑动板通过滑轨与底座滑动连接；滑动板中央位置开设有凹槽；凹槽内一端设置有连接块，另一端设置有电机；电机输出端与旋转轴一端连接；旋转轴另一端与连接块相对旋转式连接；旋转轴两侧设置有方向相反的螺纹，旋转轴两侧分别与两个移动块螺纹连接；移动块上方与夹块固定连接；连接块上方可拆卸式连接有伸缩杆，伸缩杆包括上伸缩杆和下伸缩杆，上伸缩杆和下伸缩杆均匀开设有定位孔，上伸缩杆和下伸缩杆通过螺钉一进行定位，螺钉一与定位孔螺纹连接，伸缩杆顶面通过螺钉二连接有支撑杆，支撑杆的端部固定设置有伸缩油缸，伸缩油缸输出端连接上定位块，上定位块用于对硅棒的上下位置固定。

作为优化，所述的夹块与上定位块上设置有与硅棒表面相匹配的弧形结构，用于对硅棒的位置进行更好的固定。

作为优化，所述的左侧夹块底面右侧可拆卸式连接有矩形盖板；盖板的两个长边上设置有滑槽；所述的滑动板上位于凹槽内设置有与滑槽匹配使用的凸沿；盖板上表面低于滑动板上表面，用于盖住位于硅棒下方的凹槽，有利于防凹槽内的灰尘接触硅棒，且该设置方便盖板的安装和拆卸，应用灵活。

作为优化，所述的盖板的长度大于硅棒的直径，以保证硅棒下方的凹槽能够完全被盖住。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：通过电机和旋转轴同时控制两个夹块的移动，能够保证夹块同步移动，有助于硅棒的定位，且有利于节省电能；伸缩杆与连接块可拆卸式连接，方便拆装，伸缩杆的高度能够上下调节，便于对不同直径的硅棒进行夹持固定；盖板能够防止凹槽内灰尘与硅棒的接触，保证了硅棒的清洁，并通过凸沿滑动设置，方便拆卸；其整体结构简单，操作方便，实现了对硅棒的准确定位和位置固定，提高了整体工作效率，节能环保。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构原理示意图；

图2为本实用新型部分结构放大图；

图3为本实用新型的左侧夹块结构放大图；

图4为本实用新型的旋转轴结构放大图；

图5为本实用新型的滑动板结构放大图；

其中，1底座、2滑动板、3电机、4旋转轴、5移动块、6夹块、7伸缩杆、8盖板、9凸沿、11边框、12滑轨、21凹槽、22连接块、71上伸缩杆、72下伸缩杆、73定位孔、74螺钉一、75螺钉二、76支撑杆、77伸缩油缸、78上定位块、81滑槽。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

下面通过具体实施例并结合附图对本实用新型作进一步说明。

实施例1：

本实施例所述的硅棒切片机加工底座，其主体结构包括底座1和滑动板2；所述的底座1由四周的边框11组成中空长方体结构，其中一对平行的边框11上设置有滑轨12，滑动板通过滑轨12与底座1滑动连接；滑动板2中央位置开设有凹槽21；凹槽21内一端设置有连接块22，另一端设置有电机3；电机3输出端与旋转轴4一端连接；旋转轴4另一端与连接块22相对旋转式连接；旋转轴4两侧设置有方向相反的螺纹，旋转轴4两侧分别与两个移动块5螺纹连接；移动块5上方与夹块6固定连接；连接块22上方可拆卸式连接有伸缩杆7，伸缩杆7包括上伸缩杆71和下伸缩杆72，上伸缩杆71和下伸缩杆72均匀开设有定位孔73，上伸缩杆71和下伸缩杆72通过螺钉一74进行定位，螺钉一74与定位孔73螺纹连接，伸缩杆7顶面通过螺钉二75连接有支撑杆76，支撑杆76的端部固定设置有伸缩油缸77，伸缩油缸77输出端连接上定位块78，上定位块78用于对硅棒的上下位置固定。

本实施例所述的夹块6与上定位块78上设置有与硅棒表面相匹配的弧形结构，用于对硅棒的位置进行更好的固定。

本实施例所述的左侧夹块6底面右侧可拆卸式连接有矩形盖板8；盖板8的两个长边上设置有滑槽81；所述的滑动板2上位于凹槽21内设置有与滑槽81匹配使用的凸沿9；盖板8上表面低于滑动板2上表面，用于盖住位于硅棒下方的凹槽21，有利于防凹槽21内的灰尘接触硅棒，同时不影响硅棒的放置，且该设置方便盖板8的安装和拆卸，应用灵活。

本实施例所述的盖板8的长度大于硅棒的直径，以保证硅棒下方的凹槽21能够完全被盖住。

本实施例在使用时，将硅棒放置在滑动板2的中央位置，通过电机3的正向旋转带动旋转轴4转动，从而带动两侧的移动块5均向旋转轴4的中央方向移动，至移动块5刚好夹住硅棒，从而对硅棒左右位置进行固定；通过伸缩油缸77带动上定位块7向下移动，对硅棒的上下位置进行固定，其中，用于支撑上定位块78的伸缩杆7设置在互动版2的一侧，不仅方便拆卸，而且能够调节整体高度，当硅棒切割完成后，将伸缩杆7调节至最短，并通过螺栓一74进行固定，节省空间，易于放置；当切割机对硅棒切割过程中，滑动板2在底座1上的滑轨12中滑动，切割后的切料通过底座1的中空结构储存在下部的收纳槽中；切割完毕后，电机3的反向旋转，使两侧的移动块5向背离旋转轴4的中央方向移动，通过胜过伸缩油缸77带动上定位块7向上移动，然后按照上述步骤进行下一次的硅棒切割操作。

上述具体实施方式仅是本实用新型的具体个案，本实用新型的专利保护范围包括但不限于上述具体实施方式的产品形态和式样，任何符合本实用新型权利要求书且任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应落入本实用新型的专利保护范围。

Claims (4)

1.一种硅棒切片机加工底座，其主体结构包括底座（1）和滑动板（2）；其特征在于：所述的底座（1）由四周的边框（11）组成中空长方体结构，其中一对平行的边框（11）上设置有滑轨（12），滑动板通过滑轨（12）与底座（1）滑动连接；滑动板（2）中央位置开设有凹槽（21）；凹槽（21）内一端设置有连接块（22），另一端设置有电机（3）；电机（3）输出端与旋转轴（4）一端连接；旋转轴（4）另一端与连接块（22）相对旋转式连接；旋转轴（4）两侧设置有方向相反的螺纹，旋转轴（4）两侧分别与两个移动块（5）螺纹连接；移动块（5）上方与夹块（6）固定连接；连接块（22）上方可拆卸式连接有伸缩杆（7），伸缩杆（7）包括上伸缩杆（71）和下伸缩杆（72），上伸缩杆（71）和下伸缩杆（72）均匀开设有定位孔（73），上伸缩杆（71）和下伸缩杆（72）通过螺钉一（74）进行定位，螺钉一（74）与定位孔（73）螺纹连接，伸缩杆（7）顶面通过螺钉二（75）连接有支撑杆（76），支撑杆（76）的端部固定设置有伸缩油缸（77），伸缩油缸（77）输出端连接上定位块（78）。

2.根据权利要求1所述的硅棒切片机加工底座，其特征在于：所述的夹块（6）与上定位块（78）上设置有与硅棒表面相匹配的弧形结构。

3.根据权利要求1所述的硅棒切片机加工底座，其特征在于：所述的左侧夹块（6）底面右侧可拆卸式连接有矩形盖板（8）；盖板（8）的两个长边上设置有滑槽（81）；所述的滑动板（2）上位于凹槽（21）内设置有与滑槽（81）匹配使用的凸沿（9）；盖板（8）上表面低于滑动板（2）上表面。

4.根据权利要求3所述的硅棒切片机加工底座，其特征在于：所述的盖板（8）的长度大于硅棒的直径。