CN207852624U - 一种多晶硅片制绒清洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种多晶硅片制绒清洗机，包括设备本体、上料装置、下料装置、操作平台，机械臂，清洗工位，烘干装置，配液补液系统，进液排液系统，自动控制系统，其中清洗工位包括碱预清洗槽，漂洗槽，酸洗槽，酸制绒槽，碱洗槽，酸处理槽，预脱水槽，每个槽位配有独立抽风系统，多晶硅片制成绒面反射率低，光学性能优异，硅片表面清洗充分，实现了制绒清洗工序的自动化，碎片率较低；本实用新型适用于多晶硅片制绒清洗自动化。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶制绒清洗机，特别是一种多晶硅片制绒清洗机。
背景技术
传统的多晶硅片采用的是砂浆线切割方法，此方法切割的多晶硅片，成本高，污染大，随着金刚线生产技术的进步，金刚线切片的成本远远低于传统的砂浆线切片，无污染，传统的砂浆线已被市场淘汰。
金刚线切割的多晶硅片表面光滑、损伤层前，使用传统的多晶硅片制绒清洗机及工艺方法，制绒出来的多晶硅片表面损伤层浅，反射率高，分布不均匀，硅片电池效率低，与单晶电池硅片相比，市场竞争处于明显的劣势。
本实用新型提供的一种多晶硅片制绒清洗机,解决了金刚线切割的多晶硅片制绒问题，实现了硅片清洗的自动化，降低劳动成本，提高生产效率。
实用新型内容
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为，提供一种多晶硅片制绒清洗机，实现了多晶硅片制绒-清洗-烘干的全自动化，降低金刚线切割多晶硅片反射率，提高硅片光学特性，实现了硅片清洗的自动化，降低劳动成本，提高生产效率。
本实用新型使用的工艺方法，该方法的工艺流程为：碱预清洗-碱预清洗-漂洗-漂洗- 酸清洗-酸制绒-酸制绒-漂洗-去金属离子-去金属离子-漂洗-酸处理-漂洗-碱洗-漂洗-酸洗- 漂洗-酸洗-漂洗-漂洗-预脱水-烘干-烘干。
本实用新型使用的工艺方法，使用的化学品有，硝酸，氢氟酸，氢氧化钾，氨水，双氧水，盐酸，添加剂。
本实用新型通过以下方案来实现整个工艺流程，使用一种多晶硅片制绒清洗机，包括花篮传送料台，清洗本体，清洗槽体，烘干槽体，机械臂，自动盖，配液补液管路，进液管路，排液管路，液位控制装置，自动控制系统，清洗槽体包括碱预清洗槽，漂洗槽，酸洗槽，酸制绒槽，去金属离子槽，碱洗槽，预脱水槽，烘干槽，每个槽位配有独立抽风管路。
优选的，碱预清洗槽包括碱预清洗槽槽体、溢流口、花篮定位块、加热器、温度传感器，加热器位于碱预清洗槽槽体底部。
优选的，漂洗槽包括漂洗槽槽体、溢流口、花篮定位块、鼓泡管，鼓泡管位于漂洗槽槽体底部。
优选的，酸洗槽包括酸洗槽槽体、溢流口、花篮定位块、鼓泡管，鼓泡管位于漂洗槽槽体底部。
优选的，酸制绒槽包括酸制绒槽体、溢流口、温度传感器、花篮定位块、加热器、鼓泡管、泵浦循环装置、泵浦吐出口、泵浦吸入口，加热器位于酸制绒槽体底部，鼓泡管位于加热器下方，泵浦吸入口位于酸制绒槽体底部，泵浦吐出口位于酸制绒槽体上方两侧，泵浦循环装置位于酸制绒槽外将泵浦吸入口和泵浦吐出口相连。
优选的，去金属离子槽包括去金属离子槽槽体、溢流口、温度传感器、花篮定位块、加热器，加热器位于去金属离子槽体底部。
优选的，酸处理槽包括酸处理槽槽体、溢流口、温度传感器、花篮定位块、制冷副槽、 PFA毛细管、泵浦吐出口、泵浦吸入口、泵浦循环装置、冰水机，制冷副槽位于酸处理槽下方，酸处理槽与制冷副槽通过管路连接，泵浦吸入口位于制冷副槽底部，泵浦吐出口位于酸处理槽上方两侧，泵浦循环装置位于酸处理槽外将泵浦吸入口和泵浦吐出口相连，冰水机置于清洗本体外，制冷副槽内PFA毛细管接头与冰水机相连。
优选的，碱洗槽包括碱洗槽槽体、溢流口、花篮定位块。
优选的，预脱水槽包括去预脱水槽槽体、溢流口、温度传感器、花篮定位块(0124)、加热器，加热器位于去金属离子槽体底部。
优选的，烘干槽包括烘干槽槽体、花篮定位块、温度传感器、石英加热管、轴流风轮、耐高温电机，烘干槽槽体喷涂特氟龙。
一种多晶制绒清洗工艺方法，包括以下步骤。
将装有多晶硅片的花篮置于花篮传送料台，花篮传送料台将花篮传送至设备内部，由机械臂抓取花篮按工艺流程依次送至碱预清洗槽、碱预清洗槽、漂洗槽、漂洗槽、酸洗槽、酸制绒槽、酸制绒槽、漂洗槽、去金属离子槽、去金属离子槽、漂洗槽、酸处理槽、漂洗槽、碱洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、漂洗槽、预脱水槽、烘干槽、烘干槽，其中为提高产能碱预清洗槽、酸制绒槽、去金属离子槽为并行槽。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于碱预清洗槽中，去除硅片表面损伤层。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于漂洗槽中，去除残留在硅片表面的碱液。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于酸洗槽中，去除残留在硅片表面的碱液。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于酸制绒槽中，对硅片表面进行挖孔。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于漂洗槽中，去除残留在硅片表面的酸液。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于去金属离子槽中，去除残留在硅片表面的酸液及金属离子。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于漂洗槽中，去除残留在硅片表面的碱液。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于酸处理槽中，对硅片表面进行扩孔。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于漂洗槽中，去除残留在硅片表面的酸液。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于碱洗槽中，去除残留在硅片表面的多孔硅及酸液。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于漂洗槽中，去除残留在硅片表面的碱液。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于酸洗槽中，去除残留在硅片表面的碱液及其他残留物。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于漂洗槽中，去除残留在硅片表面的酸液。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于酸洗槽中，进一步去除残留在硅片表面的残留物。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于漂洗槽中，去除残留在硅片表面的酸液。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于预脱水槽中，减少硅片表面水份，提高硅片温度。
优选的，机械臂将装有多晶硅片的花篮置于烘干槽中，去除硅片表面水份。
优选的，设定在经过碱预清洗槽、碱预清洗槽、漂洗槽、漂洗槽、酸洗槽、酸制绒槽、酸制绒槽、漂洗槽、去金属离子槽、去金属离子槽、漂洗槽、酸处理槽、漂洗槽、碱洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、漂洗槽、预脱水槽、烘干槽、烘干槽过程中，还包括实时监测液位、槽盖状态、机械手到位状态、阀门启停状态、加热器启停状态以及各槽体温度数据。
优选的，碱预清洗槽、酸洗槽、酸制绒槽、去金属离子槽、碱洗槽、酸处理槽带有自动配液，自动补液功能。
本实用新型的有益效果是：多晶硅片表面绒面可调控，降低多晶硅片表面反射率，提高电池片的电性能。
能对整个清洗过程进行监控和预警，有利于生产后的过程追溯以及质量精细化管控。
实现了多晶硅片制绒、清洗、烘干自动批量生产，相对于手动清洗或者半自动化清洗，降低了劳动成本，提高了工作效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的抽风管路和控制平台结构示意图；
图3为本实用新型的花篮传送料台结构示意图；
图4为本实用新型的配液补液管路、进水管路、排液管路、液位控制装置结构示意图；
图5为本实用新型的碱预清洗槽结构示意图；
图6为本实用新型的漂洗槽结构示意图；
图7为本实用新型的酸洗槽结构示意图；
图8为本实用新型的酸制绒槽结构示意图；
图9为本实用新型的去金属离子槽结构示意图；
图10为本实用新型的酸处理槽结构示意图；
图11为本实用新型的碱洗槽结构示意图；
图12为本实用新型的预脱水槽结构示意图；
图13为本实用新型的烘干槽结构示意图；
图中，花篮传送料台001，清洗本体002，横移机械臂003，排风口004，碱预清洗槽005，漂洗槽006，酸洗槽007，酸制绒槽008，去金属离子槽009，酸处理槽010，碱洗槽011，预脱水槽012，烘干槽013，自动盖014，控制平台201，抽风管路202，传送带301，花篮 302，配液补液管路401，进水管路402，排液管路403，液位控制装置404，手动球阀405，气动隔膜阀406，总进水管407，电容传感器408，碱预清洗槽槽体501，碱预清洗槽溢流口 502，碱预清洗槽花篮定位块503，碱预清洗槽加热器504，碱预清洗槽温度传感器505，漂洗槽槽体601，漂洗槽溢流口602，漂洗槽花篮定位块603，漂洗槽鼓泡管604，酸洗槽槽体 701，酸洗槽溢流口702，酸洗槽花篮定位块703，酸洗槽鼓泡管704，酸制绒槽体801，酸制绒槽溢流口802，酸制绒槽温度传感器803，酸制绒槽花篮定位块804，酸制绒槽加热器805，酸制绒槽鼓泡管806，酸制绒槽泵浦循环装置807，酸制绒槽泵浦吐出口808，酸制绒槽泵浦吸入口809，去金属离子槽槽体901，去金属离子槽溢流口902，去金属离子槽温度传感器903，去金属离子槽花篮定位块904，去金属离子槽加热器905，酸处理槽槽体0101，酸处理槽溢流口0102，酸处理槽温度传感器0103，酸处理槽花篮定位块0104，制冷副槽0105，PFA毛细管0106，酸处理槽泵浦吐出口0107，酸处理槽泵浦吸入口0108，酸处理槽泵浦循环装置 0109，冰水机0110，碱洗槽槽体0111，碱洗槽溢流口0112，碱洗槽花篮定位块0113，预脱水槽槽体0121，预脱水槽溢流口0122，预脱水槽温度传感器0123，预脱水槽花篮定位块0124，预脱水槽加热器0125，烘干槽槽体0131，烘干槽花篮定位块0132，烘干槽温度传感器0133，石英加热管0134，轴流风轮0135，耐高温电机0136。
具体实施方式
下面结合具体实施例，对本实用新型的内容做详细说明。
如图1、图2、图3，一种多晶制绒清洗机包括清洗本体002，清洗本体002前端和后段设有花篮传送料台001，清洗本体(002设有多组机械臂003，清洗本体002一侧设有对清洗过程进行操作和实时监控的控制平台201，清洗本体上设有排风口004，清洗本体002内还设有碱预清洗槽005，漂洗槽006，酸洗槽007，酸制绒槽008，去金属离子槽009，酸处理槽 010，碱洗槽011，预脱水槽012，烘干槽013，每个槽根据工艺的要求相应槽体配有进水管路402，配液补液管路401，排液管路403，液位控制装置404，数据监控系统，各管路系统与清洗本体002相连。
本实用新型清洗机的多组机械臂003包含4个单机械臂，多组机械臂003在花篮传送料台001和各槽位之间上方移动，按工艺流程抓取花篮，机械臂003的运行，由伺服系统控制，可精确的运行到设定槽位。
本实用新型清洗机碱预清洗槽005，酸洗槽007，酸制绒槽008，去金属离子槽009，酸处理槽010，碱洗槽011，槽内配有酸碱化学溶液，为减少设备内部酸碱气体，提高设备寿命，每个槽配有自动盖014和独立抽风管路202，抽风管路抽风口位于槽体一端边缘上方，可快速将槽内及清洗本体002内酸碱气体排出，烘干槽013配有自动盖014，可减少热量散失，降低功耗。
如图5所示，碱预清洗槽005包括碱预清洗槽槽体501、碱预清洗槽溢流口502、碱预清洗槽花篮定位块503、碱预清洗槽加热器504、碱预清洗槽温度传感器505。
如图6所示，漂洗槽006包括漂洗槽槽体601、漂洗槽溢流口602、漂洗槽花篮定位块603、漂洗槽鼓泡管604。
如图7所示，酸洗槽007包括酸洗槽槽体701、酸洗槽溢流口702、酸洗槽花篮定位块703、酸洗槽鼓泡管704。
如图8所示，酸制绒槽008包括酸制绒槽体801、酸制绒槽溢流口802、酸制绒槽温度传感器803、酸制绒槽花篮定位块804、酸制绒槽加热器805、酸制绒槽鼓泡管806、酸制绒槽泵浦循环装置807、酸制绒槽泵浦吐出口808、酸制绒槽泵浦吸入口809。
如图9所示，去金属离子槽009包括去金属离子槽槽体901、金属离子槽溢流口902、金属离子槽温度传感器903、金属离子槽花篮定位块904、金属离子槽加热器905。
如图10所示，酸处理槽010包括酸处理槽槽体0101、酸处理槽溢流口0102、酸处理槽温度传感器0103、酸处理槽花篮定位块0104、制冷副槽0105、PFA毛细管0106、酸处理槽泵浦吐出口0107、酸处理槽泵浦吸入口0108、酸处理槽泵浦循环装置0109、冰水机0110。
如图11所示，碱洗槽011包括碱洗槽槽体0111、碱洗槽溢流口0112、碱洗槽花篮定位块0113。
如图12所示，预脱水槽012包括去预脱水槽槽体0121、预脱水槽溢流口0122、预脱水槽温度传感器0123、预脱水槽花篮定位块0124、预脱水槽加热器0125。
如图13所示，烘干槽013包括烘干槽槽体0131、烘干槽花篮定位块0132、烘干槽温度传感器0133、石英加热管0134、轴流风轮0135、耐高温电机0136。
本实用新型提供了一种多晶硅片制绒清洗工艺方法，具体包括以下步骤：
S1：将装有多晶硅片的多组花篮放置于花篮传送料台上，花篮传送料台的传送带将多组花篮传送至设备本体内部，由机械臂抓取，将花篮依次放入碱预清洗槽、碱预清洗槽、漂洗槽、漂洗槽、酸洗槽、酸制绒槽、酸制绒槽、漂洗槽、去金属离子槽、去金属离子槽、漂洗槽、酸处理槽、漂洗槽、碱洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、漂洗槽、预脱水槽、烘干槽、烘干槽内进行清洗，清洗完成后，机械抓取花篮放入烘干槽内，烘干时间和温度已设定好，烘干时间到，硅片表面已无水渍，机械臂抓取花篮，放置于花篮传送料台，传送带将花篮传送至出料口。
S2:在本实施例中，设定在经过各个清洗槽位和烘干槽处理的过程中，还包括实时监测液位、槽盖状态、机械手到位状态、阀门启停状态、加热器启停状态、空气压力值以及各槽体温度数据。
本实用新型的有益效果是：可实现整个清洗过程的自动化，降低劳动成本，提高工作效率，制成多晶硅片的绒面均匀，降低硅片的反射率且反射率可控，使制绒出来的多晶硅片具有更好的光性能。
以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，各结构之间的组合视为本实用新型的保护范围，本实用新型的具体保护范围有附加的权利要求书限定；本领域技术人员可以在本实用新型的实质保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。
Claims (1)
1.一种多晶硅片制绒清洗机，包括清洗本体(002)，清洗本体(002)前端和后端设有花篮传送料台(001)，花篮传送料台(001)设有传送带(301)，清洗本体(002)设有多组机械臂(003)，清洗本体(002)一侧设有对清洗过程进行操作和实时监控的控制平台(201)，清洗本体上设有排风口(004)，清洗本体(002)内设有碱预清洗槽(005)、漂洗槽(006)、酸洗槽(007)、酸制绒槽(008)、去金属离子槽(009)、酸处理槽(010)、碱洗槽(011)、预脱水槽(012)、烘干槽(013)，每个槽根据工艺的要求相应槽体配有进水管路(402)，配液补液管路(401)，排液管路(403)，液位控制装置(404)，数据监控系统，各管路系统与清洗本体(002)相连。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN109346425A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-02-15 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 一种多通道链式湿法设备 |
| CN109841545A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-06-04 | 镇江仁德新能源科技有限公司 | 一种可吹扫的黑硅制绒装置 |
| CN110438571A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-11-12 | 中节能太阳能科技有限公司 | 一种高效单晶制绒工艺及其设备 |
| CN110473810A (zh) * | 2019-08-21 | 2019-11-19 | 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司 | 单晶硅制绒工艺及装置 |
| CN114413177A (zh) * | 2022-01-26 | 2022-04-29 | 晶澳太阳能有限公司 | 一种用于异常硅片的药液添加装置及其工艺 |
-
2018
- 2018-01-15 CN CN201820048725.1U patent/CN207852624U/zh active Active
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