CN207650119U - 一种晶圆自动检测系统 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及了一种晶圆自动检测系统,包括传送装置、工业相机、图像处理装置、控制器、及报警装置。通过传送装置上的传送带将晶圆传送至检测位置,工业相机对晶圆表面进行拍照取像,而后将其传送至图像处理装置,该图像处理装置根据设置于其内的产品标准参数与工业相机所取得的图像进行对比,从而判断该晶圆是否破片或具有表面缺陷,并发出判断信号给控制器,经过分析、处理,而后对报警装置发生动作指令信号,提醒操作人员对不合格晶圆进行分拣处理。该晶圆自动检测系统采用流水线连续检测模式,具有检测效率高、准确性高的优点。

Description

一种晶圆自动检测系统
技术领域
[0001] 本实用新型涉及晶圆加工技术领域,尤其涉及一种晶圆自动检测系统。
背景技术
[0002] 在晶圆制造领域中,晶棒通过割刀分隔成多个片状晶圆,目前,基本依靠人工对晶 圆表面情况进行目视检测,自动化程度低,劳动强度大,检测效率低且时有错检、漏检情况 发生。 实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种结构简单,流水线连 续检测,检测效率高,且确保检测准确的晶圆自动检测系统。
[0004] 为了解决上述技术问题,本实用新型涉及了一种晶圆自动检测系统,包括:
[0005] 传送装置,通过其上设置的传送带进行晶圆传送;
[0006] 工业相机,其设置于传输装置的正上方,用于采集晶圆影像信息;
[0007]图像处理装置,用于根据对设于其内的产品标准参数和工业相机所取得图像进行 对比,来判断晶圆是否合格,并发出判断信号;
[0008]控制器,其实时接收图像处理装置得到的判断信号,并经过分析、处理后发生相应 动作指令信号;
[0009]报警装置,其与控制器相连,并根据所接收的上述动作指令信号发出警报。
[001 0]通过传送装置上的传送带将晶圆传送至检测位置,工业相机对晶圆表面进行拍照 取像,而后将其传送至图像处理装置,该图像处理装置根据设置于其内的产品标准参数和 工业相机所取得的图像进行对比,来判断该晶圆是否破片或具有表面缺陷,并发出判断信 号。控制器实时接收上述判断信号,并经过分析、处理,而后对报警装置发生动作指令信号, 提醒操作人员对不合格晶圆进行分拣处理。该晶圆自动检测系统采用流水线连续检测模 式,具有检测效率高、准确性高的优点。
[0011]作为本实用新型的进一步改进,该晶圆自动检测系统还包括与控制器相连的标识 装置。
[0012]当图像处理装置对该晶圆作出不合格的判定后,及时地对其进行标记,以防止由 于工作人员漏捡或错捡使其流入后道工序中,避免不必要的成本浪费。
[0013]作为本实用新型的进一步改进,标识装置包括有喷墨单元。
[0014]采用喷墨的方式对晶圆进行标记,具有标识度高,成本低廉的特点。
[0015]作为本实用新型的进一步改进,该晶圆自动检测系统还包括捡取机构,其与控制 器相连,并根据动作指令信号对不合格晶圆进行捡取。
[0016]控制器对图像处理装置发出的判断信号分析、处理后,发出相应动作指令信号对 捡取机构进行控制,对合格晶圆和不合格及时地进行分类捡取,并分不同区域摆放,从而避 免不合格晶圆流入下道工序。在此期间,完全无需人工干涉,自动化程度高。
[0017] 作为本实用新型的进一步改进,捡取机构包括真空吸盘。
[0018] 该捡取机构采用真空吸盘对晶圆进行捡取,功能可靠,吸附牢固,且便于进行自动 化控制。
[0019]作为本实用新型的进一步改进,控制器为PLC控制器。
[0020] PLC控制器具有能够实时对控制过程进行自动检测,可编程控制,系统稳定,相应 速度快的特点,可以较好地应用于流水线自动化检测。
[0021] 作为本实用新型的进一步改进,工业相机为高速(XD相机。
[0022] 高速CCD相机具有响应速度快,分辨率高的特点。
[0023]作为本实用新型的进一步改进,所述警报为声光警报。
[0024]作为本实用新型的进一步改进,图像处理装置包括一DSP数字信号处理器和一高 速RISC简化指令集计算机。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提 下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本实用新型晶圆自动检测系统第一种实施方式的结构示意图。
[0027]图2是本实用新型晶圆自动检测系统第二种实施方式的结构示意图。
[0028]图3是本实用新型晶圆自动检测系统中自动检测、标识及捡取控制原理图。
[0029] 1-传送装置;11-传送带;12-传动轮;2-晶圆;3-工业相机;4-捡取机构;41-真空吸 盘;5-标识装置。
具体实施方式
[0030] 下面结合具体实施例,对本实用新型的内容做进一步的详细说明:
[0031] 为了达到本实用新型的目的,图1示出了本实用新型晶圆自动检测系统第一种实 施方式的结构示意图。该晶圆自动检测系统由传送装置1、工业相机3、控制器、报警装置、标 识装置5、图像处理装置等几部分组成。传送装置1其上设置有用于承载、运送晶圆2的传送 带11,其通过位于两端的传动轮12进行驱动。在传输装置的正上方设置有工业相机3,用于 实时对晶圆2表面进行拍照取像,优选响应速度快,分辨率高的高速CCD相机。图像被传送至 图像处理装置,该图像处理装置根据对设于其内的产品标准参数和该图像进行对比,来判 断该晶圆是否破片或具有表面缺陷,并发出判断信号。该图像处理装置包括一DSP数字信号 处理器和一高速RISC简化指令集计算机。该晶圆控制系统设置的控制器用来实时接收上述 图像处理装置发出的判断信号,并经过分析、处理后,发生相应动作指令信号给报警装置, 提醒操作人员对不合格晶圆进行分拣处理。该控制器优选PLC控制器,PLC控制器具有实时 对控制过程进行自动检测,可编程控制,系统稳定,相应速度快的优点,可以较好地引用于 流水线自动化检测。该晶圆自动检测系统采用流水线连续检测模式,检测效率高、准确性高 的优点。作为进一步改进,该晶圆自动检测系统还包括与控制器相连的标识装置5,优选具 标识度高,成本低廉的喷墨方式。这样一来,当图像处理装置该晶圆2作出不合格的判定后, 标识装置5可及时地对其进行标记,以防止由于工作人员漏捡或错捡使不合格晶圆流入后 道工序,避免不必要的成本浪费。
[0032]、图2示出了本实用新型晶圆自动检测系统第二种实施方式的结构示意图,该晶圆 自动检测系统与上述第一种实施方式中晶圆自动检测系统的区别仅仅在于:该晶圆自动检 测系统还设置有捡取机构4。控制器根据图像处理装置发出的判断信号对其进行控制,使其 能及时地对合格晶圆和不合格晶圆进行分类捡取并分不同区域摆放,避免流入下道工序。 在此期间,完全无需人工干涉,自动化程度高。该捡取机构优选真空吸盘,其功能可靠,吸附 牢固,便于进行自动化控制。
[0033]图3示出了本实用新型晶圆自动检测系统中自动检测、标识及捡取控制原理图。大 致过程如下:首先,通过工业相机3实时对位于传送带n上且连续运行的晶圆2进行拍照取 像,然后,该图像被传送至图像处理装置,经过与设于其内的产品标准参数进行对比来确定 该晶圆2是否合格,并给出判断信号。再然后,控制器接收到上述判断信号,分析、处理后分 别对报警装置、标识装置5或捡取机构4发出动作指令信号,从而使得该晶圆自动检测系统 相应具有自动标识、自动警告、自动捡取的功能。
[0034]对所公开的实施例的所述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定 义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因 此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理 和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1. 一种晶圆自动检测系统,其特征在于,包括: 传送装置,通过其上设置的传送带进行晶圆传送; 工业相机,其设置于所述传送装置的正上方,用于采集晶圆影像信息; 图像处理装置,用于根据对设于其内的产品标准参数和所述工业相机所取得图像进行 对比,来判断晶圆是否合格,并发出判断信号; 控制器,其实时接收所述图像处理装置得到的判断信号,并经过分析、处理后发生相应 动作指令信号; 报警装置,其与上述控制器相连,并根据所接收的上述动作指令信号发出警报; 还包括与所述控制器相连的标识装置; 所述标识装置包括有喷墨单元; 所述传送装置其上设置有用于承载、运送所述晶圆的传送带,其通过位于两端的传动 轮进行驱动。
2. 根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统,其特征在于,还包括捡取机构,其与所述 控制器相连,并根据所述动作指令信号对不合格晶圆进行捡取。 ,
3. 根据权利要求2所述的晶圆自动检测系统,其特征在于,所述捡取机构包括真空吸 盘。 >
4. 根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统,其特征在于,所述控制器为PLC控制器。
5. 根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统,其特征在于,所述工业相机为高速⑶1^® 机。 .
6. 根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统,其特征在于,所述警报为声光警报。
7. 根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统,其特征在于,所述图像处理装置包括 dsp数字信号处理器和一高速Rise简化指令集计算机。
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CN110759087A (zh) * 2019-09-25 2020-02-07 南京泰治自动化技术有限公司 一种基板计数取料装置及取料方法
WO2020038359A1 (zh) * 2018-08-21 2020-02-27 深圳中科飞测科技有限公司 检测系统及方法
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