CN207414604U - 一种用于硅片切割机的夹紧机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于硅片切割机的夹紧机构，包括放置板，所述放置板的底端四角均安装有垂直设置的固定柱，放置板的底端中间位置焊接有固定块，固定块上安装有水平设置的双头气缸，双头气缸的两个活塞杆均焊接有活动块，活动块滑动连接在放置板的底端侧壁上，活动块的两端均开有安装孔，安装孔内固定有垂直设置的单头气缸，活动块两端的单头气缸分别位于放置板的两侧，单头气缸的活塞杆焊接有水平设置的压装板，压装板的底端粘连有第一橡胶块，放置板的顶端粘连有第二橡胶块。本实用新型能够对能够对不同大小的硅片夹持固定，硅片稳定性好，能够对出水喷头的角度进行调整，方便对切割处进行清洁和散热，切割效果好。

Description

一种用于硅片切割机的夹紧机构

技术领域

本实用新型涉及硅片制作技术领域，尤其涉及一种用于硅片切割机的夹紧机构。

背景技术

硅片切割机又名硅片激光切割机，激光划片机。是激光划片机在电子行业硅基片的切割的又一新领域的应用，激光划片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的，因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点，能量密度高，现有的硅片在进行切割时，需要对其进行固定，现有的夹紧机构不能根据硅片大小进行夹持固定，夹持效果差，为此我们提出一种用于硅片切割机的夹紧机构。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于硅片切割机的夹紧机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于硅片切割机的夹紧机构，包括放置板，所述放置板的底端四角均安装有垂直设置的固定柱，放置板的底端中间位置焊接有固定块，固定块上安装有水平设置的双头气缸，双头气缸的两个活塞杆均焊接有活动块，活动块滑动连接在放置板的底端侧壁上，活动块的两端均开有安装孔，安装孔内固定有垂直设置的单头气缸，活动块两端的单头气缸分别位于放置板的两侧，单头气缸的活塞杆焊接有水平设置的压装板，压装板的底端粘连有第一橡胶块，放置板的顶端粘连有第二橡胶块，一个压装板的顶端焊接有伸缩杆，伸缩杆的顶端转动连接有喷头，喷头的底端连接有弧形转动片，弧形转动片上开有多个均匀分布的定位孔，伸缩杆的顶端开有弧形滑槽，弧形滑槽上螺纹连接有固定螺钉，固定螺钉的一端螺纹连接在定位孔内。

优选的，所述固定块的两侧均设有两个滑槽，滑槽位于放置板的底端侧壁上，活动块的顶端设有两个滑块，滑块滑动连接在滑槽内，且滑块与活动块为一体式结构。

优选的，所述压装板的横截面为矩形结构，且压装板上开有两个矩形通孔。

优选的，所述放置板上开有多个均匀分布的导水孔。

优选的，所述第一橡胶块和第二橡胶块均为蜂窝式结构。

优选的，所述固定柱的底端安装有顶端开口的接水盒。

本实用新型的有益效果：通过固定柱、活动块、放置板、压装板、伸缩杆、出水喷头、双头气缸、固定块和单头气缸的设置，能够对不同大小的硅片夹持固定，固定效果好，在进行硅片切割时，硅片稳定性好；通过伸缩杆、出水喷头、固定螺钉、定位孔和弧形转动片的设置，能够对出水喷头的角度进行调整，方便对切割处进行清洁和散热，本装置能够对能够对不同大小的硅片夹持固定，硅片稳定性好，能够对出水喷头的角度进行调整，方便对切割处进行清洁和散热，切割效果好。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于硅片切割机的夹紧机构的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种用于硅片切割机的夹紧机构的活动块、放置板、压装板和单头气缸的结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种用于硅片切割机的夹紧机构的局部结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种用于硅片切割机的夹紧机构的压装板的结构示意图。

图中：1固定柱、2活动块、3放置板、4压装板、5伸缩杆、6 出水喷头、7双头气缸、8固定块、9单头气缸、10固定螺钉、11定位孔、12弧形转动片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-4，一种用于硅片切割机的夹紧机构，包括放置板3，放置板3的底端四角均安装有垂直设置的固定柱1，放置板3的底端中间位置焊接有固定块8，固定块8上安装有水平设置的双头气缸7，双头气缸7的两个活塞杆均焊接有活动块2，活动块2滑动连接在放置板3的底端侧壁上，活动块2的两端均开有安装孔，安装孔内固定有垂直设置的单头气缸9，活动块2两端的单头气缸9分别位于放置板3的两侧，单头气缸9的活塞杆焊接有水平设置的压装板4，压装板4的底端粘连有第一橡胶块，放置板3的顶端粘连有第二橡胶块，一个压装板4的顶端焊接有伸缩杆5，伸缩杆5的顶端转动连接有喷头6，喷头6的底端连接有弧形转动片12，弧形转动片12上开有多个均匀分布的定位孔11，伸缩杆5的顶端开有弧形滑槽，弧形滑槽上螺纹连接有固定螺钉10，固定螺钉10的一端螺纹连接在定位孔11 内，固定块8的两侧均设有两个滑槽，滑槽位于放置板3的底端侧壁上，活动块2的顶端设有两个滑块，滑块滑动连接在滑槽内，且滑块与活动块2为一体式结构，压装板4的横截面为矩形结构，且压装板 4上开有两个矩形通孔，放置板3上开有多个均匀分布的导水孔，第一橡胶块和第二橡胶块均为蜂窝式结构，固定柱1的底端安装有顶端开口的接水盒。

工作原理：在使用时，将待切割硅片放置在放置板，双头气缸7 带动两个活动块2左右运动，使得两个压装板4均位于待切割硅片的上方，与硅片的大小相适配，单头气缸9带动压装板4向下运动，使得待切割硅片被固定在放置板3上，同时通过蜂窝式橡胶块的设置，能够使得在压紧过程中，硅片不容易磨损，根据切割刀头的位置，调整出水喷头6的角度，拧下固定螺钉10，转动出水喷头6，出水喷头 6带动弧形转动片12转动，使得出水喷头6的角度合适，拧紧固定螺钉，能够对能够对不同大小的硅片夹持固定，硅片稳定性好，能够对出水喷头的角度进行调整，方便对切割处进行清洁和散热，切割效果好。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于硅片切割机的夹紧机构，包括放置板(3)，其特征在于，所述放置板(3)的底端四角均安装有垂直设置的固定柱(1)，放置板(3)的底端中间位置焊接有固定块(8)，固定块(8)上安装有水平设置的双头气缸(7)，双头气缸(7)的两个活塞杆均焊接有活动块(2)，活动块(2)滑动连接在放置板(3)的底端侧壁上，活动块(2)的两端均开有安装孔，安装孔内固定有垂直设置的单头气缸(9)，活动块(2)两端的单头气缸(9)分别位于放置板(3)的两侧，单头气缸(9)的活塞杆焊接有水平设置的压装板(4)，压装板(4)的底端粘连有第一橡胶块，放置板(3)的顶端粘连有第二橡胶块，一个压装板(4)的顶端焊接有伸缩杆(5)，伸缩杆(5)的顶端转动连接有喷头(6)，喷头(6)的底端连接有弧形转动片(12)，弧形转动片(12)上开有多个均匀分布的定位孔(11)，伸缩杆(5)的顶端开有弧形滑槽，弧形滑槽上螺纹连接有固定螺钉(10)，固定螺钉(10)的一端螺纹连接在定位孔(11)内。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割机的夹紧机构，其特征在于，所述固定块(8)的两侧均设有两个滑槽，滑槽位于放置板(3)的底端侧壁上，活动块(2)的顶端设有两个滑块，滑块滑动连接在滑槽内，且滑块与活动块(2)为一体式结构。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割机的夹紧机构，其特征在于，所述压装板(4)的横截面为矩形结构，且压装板(4)上开有两个矩形通孔。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割机的夹紧机构，其特征在于，所述放置板(3)上开有多个均匀分布的导水孔。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割机的夹紧机构，其特征在于，所述第一橡胶块和第二橡胶块均为蜂窝式结构。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片切割机的夹紧机构，其特征在于，所述固定柱(1)的底端安装有顶端开口的接水盒。