CN206321728U - 带激光感应报错的晶振片检测机 - Google Patents

带激光感应报错的晶振片检测机 Download PDF

Info

Publication number
CN206321728U
CN206321728U CN201621461067.6U CN201621461067U CN206321728U CN 206321728 U CN206321728 U CN 206321728U CN 201621461067 U CN201621461067 U CN 201621461067U CN 206321728 U CN206321728 U CN 206321728U
Authority
CN
China
Prior art keywords
detection
vibration
chip
crystal
pan feeding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201621461067.6U
Other languages
English (en)
Inventor
陈愿勤
蔡婷
李永芳
谢曦
陈怡君
罗文静
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhong Shantaiwei Electronics Co Ltd
Original Assignee
Zhong Shantaiwei Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhong Shantaiwei Electronics Co Ltd filed Critical Zhong Shantaiwei Electronics Co Ltd
Priority to CN201621461067.6U priority Critical patent/CN206321728U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN206321728U publication Critical patent/CN206321728U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本实用新型公开了一种带激光感应报错的晶振片检测机,包括弹匣式送料机构,用于将装有晶振片的载盘运送到入料工作位,入料传送机构,用于将位于入料工作位的晶振片吸取到分度机构上,电极检测机构,用于检测位于分度机构中的晶振片,抓取转送机构,用于将检测后的晶振片从分度机构吸取出并送到出料工作位,出料传送机构,用于将位于出料工作位的晶振片吸取到空载盘中,通过上述机构能够实现晶振片的自动检测及收集,因而不仅降低了检测时间及需要的人工,而且可以保证晶振片在检测时不被划伤,从而也相应降低了企业的成本,提高了企业的生产效率,提升了产品在市场上的竞争力。

Description

带激光感应报错的晶振片检测机
技术领域
本实用新型涉及一种带激光感应报错的晶振片检测机。
背景技术
晶振片主要应用在膜厚控制仪器领域,薄薄圆圆的晶振片来源于多面体石英棒,先被切成六面体棒,再经过反复的切割和研磨,石英棒最终被做成一堆薄薄的石英片,每个石英片经切边、抛光和清洗,最后镀上金属电极成为晶振片,适用于不同应力膜料的镀膜控制。
目前的加工工艺不能保证所有的晶振片都是合格的,因而难免会出现少部分有瑕疵的晶振片,为了将这些有瑕疵的晶振片挑出就必须通过检测,以前都是通过人工将晶振片取出然后放入一个带圆形槽的铜座中固定,铜座中具有三个凸起的触点,触点与晶振片接触,且该触点与导体检测设备连接,检测设备加载检测电流于晶振片上,然后通过收集加载了检测电流的晶振片上所产生的负载阻抗及电容等各项参数与预定的参数进行对比,从而判定晶振片是否合格。上述过程比较耗费时间,因而单位时间检测的晶振片数量少;而且在检测拿取过程中,容易造成晶振片划伤而导致晶振片无法使用。
综上所述,以前的检测工艺耗费了大量人力及时间,也相应大大增加了企业的成本。因而有必要设计一款带激光感应报错的晶振片检测机来解决上述问题。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种自动化的带激光感应报错的晶振片检测机,从而提高生产效率,降低成本。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
带激光感应报错的晶振片检测机,其特征在于:包括机台,机台上设置有:
弹匣式送料机构,用于将装有晶振片的载盘运送到入料工作位,
入料传送机构,用于将位于入料工作位的晶振片吸取到分度机构上,
电极检测机构,用于检测位于分度机构中的晶振片,
抓取转送机构,用于将检测后的晶振片从分度机构吸取出并送到出料工作位,
出料传送机构,用于将位于出料工作位的晶振片吸取到空载盘中,
所述弹匣式送料机构包括送料匣及取料机构,该送料匣的两侧壁上相对设有若干支撑台,该支撑台用于支撑装有晶振片的载盘,且机台下方还安装有推动送料匣升降的升降驱动机构及驱动取料机构移动的平移驱动机构,所述升降驱动机构能够驱动送料匣升降而将载盘放置于取料机构上,且所述平移驱动机构能够驱动取料机构移动而将载盘从送料匣送到入料工作位,
所述入料传送机构包括入料传送座,入料传送座上设有入料电机、入料滑板、入料导轨副及入料丝杆副,所述入料电机与入料丝杆副连接,入料滑板通过入料导轨副安装于入料传送座上,且入料滑板上安装有入料升降机构,该入料升降机构上安装有用于吸取晶振片的入料吸嘴,
所述分度机构包括分度电机及与分度电机连接的分度盘,分度盘上环形均布有检测块,检测块中设有检测槽,检测槽中设有检测孔,且机台上设有感应支架,感应支架上设有激光发射器及激光感应器,所述激光发射器所发射的光速能够透过检测孔为激光感应器所接收,
所述电极检测机构包括检测安装座,检测安装座上设有轴孔及安装有检测驱动电机,检测驱动电机的电机轴一端穿过轴孔与位于轴孔另一侧的偏心块偏心连接,该偏心块上偏心设有偏心轴,所述检测安装座上还设有通过检测滑动机构与检测安装座连接的检测升降滑板,该检测升降滑板上设有导孔,所述偏心轴的一端位于导孔中,且检测升降滑板上设有电路板,电路板上设有探测晶振片的检测针及连接有导线,且检测针通过导线与检测设备电连接,所述检测驱动电机通过驱动偏心块转动而带动偏心轴转动,而偏心轴通过与导孔的配合而带动检测升降滑板升降,从而带动电路板及检测针升降,
所述抓取转送机构包括设置于机台上的转送座,转送座上设有电机孔及安装有转送升降电机及翻转电机,所述转送升降电机的电机轴一端穿过电机孔与位于电机孔另一侧的圆轮偏心连接,所述翻转电机通过升降导引机构安装于转送座上,翻转电机上装有可转动的翻转臂,翻转臂上装有能够吸取晶振片的真空吸头,且升降导引机构上设有能够转动的转送滚轮,所述圆轮通过推顶滚轮而使升降导引机构带动翻转电机升降,
所述出料传送机构包括出料传送座,出料传送座上设有出料电机、出料滑板、出料导轨副及出料丝杆副,所述出料电机与出料丝杆副连接,出料滑板通过出料导轨副安装于出料传送座上,且出料滑板上安装有出料升降机构,该出料升降机构上安装有用于吸取晶振片的出料吸嘴。
所述升降驱动机构包括设置于机台上的直线电机及升降导轨,所述直线电机的动力输出端与送料匣固定,所述升降导轨与送料匣两侧的升降滑槽配合。
所述取料机构包括取料电机、取料托盘、平移导轨及与其配合的平移滑块、平移丝杆及与其配合的平移螺母,所述取料电机与平移丝杆连接而驱动平移丝杆转动,所述取料托盘与平移螺母固定,且通过平移滑块于平移导轨上移动。
所述偏心轴的端部安装有顶升滚轮。
所述检测安装座及检测升降滑板间设有检测拉簧,该检测拉簧的一端与检测安装座固定,且检测拉簧的另一端与检测升降滑板固定。
所述升降导引机构包括安装于转送座上的直导轨,直导轨上配有导轨滑块,导轨滑块上安装有升降板,所述翻转电机均安装于升降板上。
所述转送座上设有一端与转送座固定的辅助拉簧,该辅助拉簧的另一端与升降板连接。
本实用新型的有益效果是:本实用新型的包括弹匣式送料机构,用于将装有晶振片的载盘运送到入料工作位,入料传送机构,用于将位于入料工作位的晶振片吸取到分度机构上,电极检测机构,用于检测位于分度机构中的晶振片,抓取转送机构,用于将检测后的晶振片从分度机构吸取出并送到出料工作位,出料传送机构,用于将位于出料工作位的晶振片吸取到空载盘中,通过上述机构能够实现晶振片的自动检测及收集,因而不仅降低了检测时间及需要的人工,而且可以避免因人工检测造成晶振片的划伤,从而也相应降低了企业的成本,提高了企业的生产效率,提升了产品在市场上的竞争力。
而且机台上设有感应支架,感应支架上设有激光发射器及激光感应器,所述激光发射器所发射的光速能够透过检测孔为激光感应器所接收,因而当抓取转送机构动作失误没有将检测槽中检测过的晶振片吸走,那么晶振片会遮住检测孔,从而在分度盘转动到与激光发射器相应的位置时,激光发射器发射的光速不能透过检测孔为激光感应器所接收,那么激光感应器就会发送信号给控制中心报警,从而停机使操作者可以及时处理。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的俯视示意图;
图2是送料匣及直线电机的示意图;
图3是电极检测机构的剖面示意图;
图4是抓取转送机构的示意图。
具体实施方式
参照图1至图4,本实用新型公开了一种带激光感应报错的晶振片检测机,包括机台1,机台1上设置有弹匣式送料机构,用于将装有晶振片的载盘2运送到入料工作位,入料传送机构,用于将位于入料工作位的晶振片吸取到分度机构上,电极检测机构,用于检测位于分度机构中的晶振片,抓取转送机构,用于将检测后的晶振片从分度机构吸取出并送到出料工作位,出料传送机构,用于将位于出料工作位的晶振片吸取到空载盘2中。
弹匣式送料机构包括送料匣3及取料机构,载盘2为一方形板,载盘2上阵列设置有若干用于放置晶振片的圆形凹槽,满载晶振片的若干载盘2通过人工上下顺序放置于送料匣3内,且通过送料匣3的两侧壁上相对设置的支撑台4支撑,支撑台4的具体结构在于:支撑台4为一凸出于送料匣3内壁的条状凸块,且机台1下方还安装有推动送料匣3升降的升降驱动机构及驱动取料机构移动的平移驱动机构,所述升降驱动机构能够驱动送料匣3升降而将载盘2放置于取料机构上,且所述平移驱动机构能够驱动取料机构移动而将载盘2从送料匣3送到工作位。
升降驱动机构的具体结构在于:升降驱动机构包括设置于机台1上的直线电机5及升降导轨,所述直线电机5的动力输出端与送料匣3固定,所述升降导轨与送料匣3两侧的升降滑槽配合。
取料机构的具体结构在于:所述取料机构包括取料电机6、取料托盘、平移导轨及与其配合的平移滑块、平移丝杆及与其配合的平移螺母,所述取料电机6与平移丝杆连接而驱动平移丝杆转动,所述取料托盘与平移螺母固定,且通过平移滑块于平移导轨上移动。
入料传送机构包括入料传送座7,入料传送座7上设有入料电机8、入料滑板、入料导轨副及入料丝杆副,所述入料电机8与入料丝杆副连接,入料滑板通过入料导轨副安装于入料传送座7上,且入料滑板上安装有入料升降机构,该入料升降机构上安装有用于吸取晶振片的入料吸嘴,入料升降机构包括入料升降板、入料升降电机及同步带传动机构, 入料吸嘴安装于入料升降板上,入料升降板与同步带传动机构的皮带固定,因而通过入料升降电机驱动同步带传动机构就可带动入料升降板及入料吸嘴上下移动。
分度机构包括分度电机及与分度电机连接的分度盘9,分度盘9上环形均布有检测块10,检测块10中设有检测槽,检测槽底设有检测孔,而且机台1上设有感应支架,感应支架上设有激光发射器及激光感应器,所述激光发射器所发射的光速能够透过检测孔为激光感应器所接收。
电极检测机构包括设置于机台1上的检测安装座11,检测安装座11上有安装板,安装板上设有轴孔,且安装板的一侧固定安装有检测驱动电机12,检测驱动电机12的电机轴一端穿过轴孔与位于轴孔另一侧的矩形偏心块13偏心连接,该偏心块13上偏心设有偏心轴14,所述检测安装座11上还设有通过检测滑动机构与检测安装座11连接的检测升降滑板15,该检测升降滑板15上设有导孔,该导孔为一长条形孔,所述偏心轴14的一端位于导孔中,且检测升降滑板15上设有电路板16,电路板16上设有探测晶振片的两根检测针17及连接有导线,且检测针17通过导线与检测设备电连接,所述检测驱动电机12通过驱动偏心块13转动而带动偏心轴14转动,而偏心轴14通过与导孔的配合而带动检测升降滑板15升降,从而带动电路板16及检测针17升降。
检测滑动机构的具体结构在于:检测滑动机构包括安装于检测安装座11上的导轨及设置于检测升降滑板15上的滑槽,所述滑槽与导轨滑动配合,当然上述只是一种具体结构,检测滑动机构还可以是直线导轨与滑块。
作为本结构的优选,偏心轴14的端部安装有顶升滚轮,该顶升滚轮也可为一轴承,这样在偏心轴14转动时为滚动摩擦而不会与导孔内壁产生滑动摩擦,从而避免两者间有大的磨损,从而延长了部件的使用寿命。
作为本结构的优选,所述检测安装座11及检测升降滑板15间设有检测拉簧,该检测拉簧的一端与检测安装座11固定,且检测拉簧的另一端与检测升降滑板15固定,因电机在转动时很难控制检测针17与晶振片接触时的压力,压力过大晶振片易碎,压力过小又会造成接触不良,而且更重要的是电机在转动过程中突然收到反向阻力使其停止的话容易烧毁电机,因而我们设计电机只旋转到一定角度使检测针17移动到与晶振片接近的位置,余下的行程通过检测拉簧拉动检测升降滑板15下移而使检测针17下移与晶振片接触,而接触的压力我们可以通过选择弹簧的长度及线径来控制,从而调节方便,不会造成晶振片易碎或接触不良的缺陷。
本电极检测机构通过检测驱动电机12带动偏心块13及偏心轴14转动, 偏心轴14位于检测升降滑板15上的导孔内其移动受导孔的限制相对于导孔的运动只能是横移,因而其到完成转动就必须要通过导孔的上下移动配合才能实现,因而偏心轴14在转动时会通过导孔带动检测升降滑板15上下移动, 从而实现在有晶振片的时候通过偏心轴14与导孔的配合而使检测升降滑板15下降,从而能够带动电路板16及检测针17下降检测,同时并通过导线将数据传送于检测设备;而检测完成后检测驱动电机12反转,从而带动电路板16及检测针17上升复位,上述不仅能够自动完成晶振片的检测步骤,而且结构简单可靠、易加工装配及维护、并且成本低廉,避免了采用一些复杂精密的传动结构所带来的装配工艺高及成本高的缺点。
抓取转送机构包括设置于机台1上的转送座18,转送座18上设有电机孔及安装有转送升降电机及翻转电机,所述转送升降电机的电机轴一端穿过电机孔与位于电机孔另一侧的圆轮19偏心连接,所述翻转电机通过升降导引机构安装于转送座18上,且翻转电机上装有可转动的翻转臂20,所述翻转臂20为L型结构,翻转臂20上装有能够吸取晶振片的真空吸头21,且升降导引机构上设有能够转动的转送滚轮22,所述圆轮19通过推顶转送滚轮22而使升降导引机构带动翻转电机升降,所述升降导引机构具体结构在于:升降导引机构包括安装于转送座18上的直导轨,直导轨上配有导轨滑块,导轨滑块上安装有升降板23,所述翻转电机安装于升降板23上。
所述转送座18上设有一端与转送座18固定的辅助拉簧,该辅助拉簧的另一端与升降板23连接,通过上述结构的设置,因为升降板23下降主要是通过重力的作用,因而在下降时会因为摩擦的缘故导致下降速度慢或是下降不到位,因而通过辅助拉簧的拉力能够保证升降板23迅速随圆轮19下降到预定位置。
所述升降板23上设有感应片,所述转送座18上设有能够感应该感应片的感应器,感应器感应到感应片后能够发出位置控制信号给控制中心,从而控制升降板23的下降位置。
所述出料传送机构包括出料传送座24,出料传送座24上设有出料电机25、出料滑板、出料导轨副及出料丝杆副,所述出料电机25与出料丝杆副连接,出料滑板通过出料导轨副安装于出料传送座24上,且出料滑板上安装有出料升降机构,该出料升降机构上安装有用于吸取晶振片的出料吸嘴,出料升降机构包括出料升降板、出料升降电机及同步带传动机构, 出料吸嘴安装于出料升降板上,出料升降板与同步带传动机构的皮带固定,因而通过出料升降电机驱动同步带传动机构就可带动出料升降板及出料吸嘴上下移动。
本设备的工作原理简述为:人工将放满晶振片的多个载盘2上下顺序放入供料弹匣内,顶升弹匣电机带动供料弹匣上下运动,当达到设定位置时,取料托盘通过取料电机6的驱动移动到供料弹匣内的一片载盘2下,直线电机5带动供料弹匣下降,载盘2落于下面的取料托盘上,然后取料托盘通过取料电机6的驱动再移动到入料工作位,载盘2中的晶振片被送走后,取下载盘2,取料托盘移动到供料弹匣内开始运送下一载盘2;处于入料工作位的晶振片被入料吸嘴吸取,而入料吸嘴通过入料电机8驱动于入料传送座7上平移,移动到分度盘9上的检测块10上方时降下,将晶振片放入检测槽中,然后入料吸嘴复位;通过检测驱动电机12带动偏心块13及偏心轴14转动,通过偏心轴14与检测升降滑板15上的导孔配合带动检测升降滑板15下降,使电路板16及检测针17下降,通过检测针17接触晶振片而检测,检测完成后检测针17上升复位;当检测后的晶振片从分度盘9转动到可吸取的位置时,转送升降电机带动偏心设置的圆轮19旋转,圆轮19的最高顶点下降,转送滚轮22随之下降,从而真空吸头21、升降板23及翻转电机均下降,降到预定工作位后,真空吸头21能够将检测槽中的晶振片从检测槽中吸取出,然后转送升降电机带动圆轮19反向旋转,圆轮19将转送滚轮22顶起,从而使真空吸头21、升降板23及翻转电机均升起,升到预定位置后,翻转电机驱动翻转臂20转动180度,将晶振片至于翻转臂20的上面且位于出料工作位处,处于出料工作位的晶振片被出料吸嘴吸取,而出料吸嘴通过出料电机25驱动于出料传送座24上平移,移动到空载盘上时降下,将晶振片放入载盘2的圆形凹槽中,然后出料吸嘴复位,装满了晶振片的载盘2由人工收集。
以上对本实用新型实施例所提供的一种带激光感应报错的晶振片检测机,进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (7)

1.带激光感应报错的晶振片检测机,其特征在于:包括机台,机台上设置有:
弹匣式送料机构,用于将装有晶振片的载盘运送到入料工作位,
入料传送机构,用于将位于入料工作位的晶振片吸取到分度机构上,
电极检测机构,用于检测位于分度机构中的晶振片,
抓取转送机构,用于将检测后的晶振片从分度机构吸取出并送到出料工作位,
出料传送机构,用于将位于出料工作位的晶振片吸取到空载盘中,
所述弹匣式送料机构包括送料匣及取料机构,该送料匣的两侧壁上相对设有若干支撑台,该支撑台用于支撑装有晶振片的载盘,且机台下方还安装有推动送料匣升降的升降驱动机构及驱动取料机构移动的平移驱动机构,所述升降驱动机构能够驱动送料匣升降而将载盘放置于取料机构上,且所述平移驱动机构能够驱动取料机构移动而将载盘从送料匣送到入料工作位,
所述入料传送机构包括入料传送座,入料传送座上设有入料电机、入料滑板、入料导轨副及入料丝杆副,所述入料电机与入料丝杆副连接,入料滑板通过入料导轨副安装于入料传送座上,且入料滑板上安装有入料升降机构,该入料升降机构上安装有用于吸取晶振片的入料吸嘴,
所述分度机构包括分度电机及与分度电机连接的分度盘,分度盘上环形均布有检测块,检测块中设有检测槽,检测槽中设有检测孔,且机台上设有感应支架,感应支架上设有激光发射器及激光感应器,所述激光发射器所发射的光速能够透过检测孔为激光感应器所接收,
所述电极检测机构包括检测安装座,检测安装座上设有轴孔及安装有检测驱动电机,检测驱动电机的电机轴一端穿过轴孔与位于轴孔另一侧的偏心块偏心连接,该偏心块上偏心设有偏心轴,所述检测安装座上还设有通过检测滑动机构与检测安装座连接的检测升降滑板,该检测升降滑板上设有导孔,所述偏心轴的一端位于导孔中,且检测升降滑板上设有电路板,电路板上设有探测晶振片的检测针及连接有导线,且检测针通过导线与检测设备电连接,所述检测驱动电机通过驱动偏心块转动而带动偏心轴转动,而偏心轴通过与导孔的配合而带动检测升降滑板升降,从而带动电路板及检测针升降,
所述抓取转送机构包括设置于机台上的转送座,转送座上设有电机孔及安装有转送升降电机及翻转电机,所述转送升降电机的电机轴一端穿过电机孔与位于电机孔另一侧的圆轮偏心连接,所述翻转电机通过升降导引机构安装于转送座上,翻转电机上装有可转动的翻转臂,翻转臂上装有能够吸取晶振片的真空吸头,且升降导引机构上设有能够转动的转送滚轮,所述圆轮通过推顶滚轮而使升降导引机构带动翻转电机升降,
所述出料传送机构包括出料传送座,出料传送座上设有出料电机、出料滑板、出料导轨副及出料丝杆副,所述出料电机与出料丝杆副连接,出料滑板通过出料导轨副安装于出料传送座上,且出料滑板上安装有出料升降机构,该出料升降机构上安装有用于吸取晶振片的出料吸嘴。
2.根据权利要求1所述的带激光感应报错的晶振片检测机,其特征在于:所述升降驱动机构包括设置于机台上的直线电机及升降导轨,所述直线电机的动力输出端与送料匣固定,所述升降导轨与送料匣两侧的升降滑槽配合。
3.根据权利要求1所述的带激光感应报错的晶振片检测机,其特征在于:所述取料机构包括取料电机、取料托盘、平移导轨及与其配合的平移滑块、平移丝杆及与其配合的平移螺母,所述取料电机与平移丝杆连接而驱动平移丝杆转动,所述取料托盘与平移螺母固定,且通过平移滑块于平移导轨上移动。
4.根据权利要求1所述的带激光感应报错的晶振片检测机,其特征在于:所述偏心轴的端部安装有顶升滚轮。
5.根据权利要求1所述的带激光感应报错的晶振片检测机,其特征在于:所述检测安装座及检测升降滑板间设有检测拉簧,该检测拉簧的一端与检测安装座固定,且检测拉簧的另一端与检测升降滑板固定。
6.根据权利要求1所述的带激光感应报错的晶振片检测机,其特征在于:所述升降导引机构包括安装于转送座上的直导轨,直导轨上配有导轨滑块,导轨滑块上安装有升降板,所述翻转电机均安装于升降板上。
7.根据权利要求1所述的带激光感应报错的晶振片检测机,其特征在于:所述转送座上设有一端与转送座固定的辅助拉簧,该辅助拉簧的另一端与升降板连接。
CN201621461067.6U 2016-12-28 2016-12-28 带激光感应报错的晶振片检测机 Active CN206321728U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621461067.6U CN206321728U (zh) 2016-12-28 2016-12-28 带激光感应报错的晶振片检测机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621461067.6U CN206321728U (zh) 2016-12-28 2016-12-28 带激光感应报错的晶振片检测机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN206321728U true CN206321728U (zh) 2017-07-11

Family

ID=59261835

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201621461067.6U Active CN206321728U (zh) 2016-12-28 2016-12-28 带激光感应报错的晶振片检测机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN206321728U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019214255A1 (zh) * 2018-05-10 2019-11-14 京东方科技集团股份有限公司 蒸镀设备中晶振片位置的检测方法、蒸镀方法及相关装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019214255A1 (zh) * 2018-05-10 2019-11-14 京东方科技集团股份有限公司 蒸镀设备中晶振片位置的检测方法、蒸镀方法及相关装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109270436B (zh) 一种pcb线路板高效全自动质量及外观检测一体设备
CN206269748U (zh) 一种自动量测精密尺寸的设备
CN206378545U (zh) 晶振片检测机
CN205364826U (zh) 一种全自动丝网印刷机
CN205157458U (zh) 涡轮部件焊缝检测用自动上下料机构
CN209411201U (zh) 一种电池片效率检测装置
CN108181325A (zh) 玻璃缺陷自动化检测装置
CN102901452B (zh) 圆轴外径检测机
CN206321728U (zh) 带激光感应报错的晶振片检测机
CN210956602U (zh) 一种自动化晶圆测试机台
CN112264331A (zh) 圆柱电芯高速分选机
CN209668247U (zh) 自动上料装置
CN215695992U (zh) 一种基于plc与机器视觉的零件测量装置
CN207946372U (zh) 玻璃缺陷自动化检测装置
CN206393160U (zh) 一种遥控器电池后盖自动装配机
CN212018600U (zh) 一种高度规和相机结合的自动检测系统
CN211437097U (zh) 一种自动检测设备
CN206336780U (zh) 晶振片检测机弹匣式送料机构
CN209684807U (zh) 一种avi检测自动上下料机
CN115106299B (zh) 一种电路板检测产线
CN207832924U (zh) 一种流水线上pcb板的短路检测和电压检测系统
CN217451078U (zh) 一种单片检测avi设备
CN115555297A (zh) 一种全自动芯片检测设备
CN206321727U (zh) 晶振片检测机电极检测机构
CN206336774U (zh) 晶振片全自动检测机自动抓取转送机构

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant