CN206259320U - 一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置 - Google Patents

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方志刚
张洪
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Abstract

一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,包括次品回收槽组、用于配合所述次品回收槽组的工作机组及吊装机组,所述次品回收槽组包括依次设置的腐蚀槽、鼓泡清洗槽和静置清洗槽;所述工作机组包括与所述腐蚀槽及所述鼓泡清洗槽连通的鼓泡机、与所述鼓泡机连接的位于所述次品回收槽组中的鼓泡排管和与所述腐蚀槽、所述鼓泡清洗槽及所述静置清洗槽连通的循环泵;所述吊装机组包括机架、设于所述机架上且位于所述次品回收槽组上方的行车轨道和设于所述行车轨道上的电动吊装行车。本实用新型结构简单、使用方便,能够对残次品进行集中回收处理,自动化程度高,处理过程便捷,处理效果良好,避免造成浪费、堆积,能够完好的再投入使用。

Description

一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置
技术领域
本实用新型涉及薄膜太阳能电池芯片生产技术领域,具体是一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置。
背景技术
在薄膜太阳能电池芯片生产过程中,会用到PECVD生产技术,具体是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜;为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种方法被称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。但在PECVD生产的产品中,每天都会有一定的报废品及低功率产品产出,这些残次品既造成大量浪费,又增加了处理难度,亟需一种对其进行二次利用的回收方法。
发明内容
本实用新型的技术目的在于提供一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,解决PECVD生产过程中大量残次品浪费、堆积而难以处理的问题。
本实用新型的具体技术方案如下:一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,包括次品回收槽组、用于配合所述次品回收槽组的工作机组及吊装机组,所述次品回收槽组包括依次设置的腐蚀槽、鼓泡清洗槽和静置清洗槽;所述工作机组包括与所述腐蚀槽及所述鼓泡清洗槽连通的鼓泡机、与所述鼓泡机连接的位于所述次品回收槽组中的鼓泡排管和与所述腐蚀槽、所述鼓泡清洗槽及所述静置清洗槽连通的循环抽液泵;所述吊装机组包括机架、设于所述机架上且位于所述次品回收槽组上方的行车轨道和设于所述行车轨道上的电动吊装行车。
作为优选,所述鼓泡排管设于所述鼓泡清洗槽内。
作为优选,所述鼓泡排管设于所述腐蚀槽内。
作为优选,所述鼓泡排管包括与所述鼓泡机连接的总管和连接于所述总管的多个支管,所述支管并排均匀设置。
作为优选,所述腐蚀槽和/或所述鼓泡清洗槽内设有加热管。
作为优选,所述腐蚀槽及所述鼓泡清洗槽内设有掏渣口。
作为优选,所述腐蚀槽及所述鼓泡清洗槽设有自两侧向中间凹陷的底面,所述掏渣口设于所述腐蚀槽及所述鼓泡清洗槽的侧壁上靠近所述底面中部的位置。
作为优选,所述腐蚀槽、所述鼓泡清洗槽及所述静置清洗槽各自设有独立放水阀门。
作为优选,所述工作机组还包括连接于所述鼓泡机、所述循环抽液泵的电控柜。
作为优选,所述腐蚀槽与所述鼓泡清洗槽之间设有完全隔离壁,所述鼓泡清洗槽与所述静置清洗槽设有半隔离壁,所述半隔离壁上端上方具有槽间通道。
本实用新型的技术优点在于所述薄膜太阳能电池芯片次品回收装置结构简单、使用方便,能够对残次品进行集中回收处理,自动化程度高,处理过程便捷,处理效果良好,避免造成浪费、堆积,能够完好的再投入使用。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图;
图2为本实用新型实施例的结构示意图;
图中编号对应的各部位名称分别为:1-次品回收槽组,11-腐蚀槽,12-鼓泡清洗槽,13-静置清洗槽,14-加热管,15-掏渣口,16-独立放水阀门,17-半隔离壁,18-槽间通道,2-工作机组,21-鼓泡机,22-鼓泡排管,221-总管,222-支管,23-循环抽液泵,24-电控柜,3-吊装机组,31-机架,32-行车轨道,33-电动吊装行车。
具体实施方式
下面将结合附图,通过具体实施例对本实用新型作进一步说明:
见图1、图2,一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,主要用于除去残次品芯片上的膜层,包括次品回收槽组1、用于配合次品回收槽组1的工作机组2及吊装机组3,次品回收槽组1包括依次设置的腐蚀槽11、鼓泡清洗槽12和静置清洗槽13,腐蚀槽11内装有氢氧化钠溶液,其会和膜层发生反应而使膜层溶解,而芯片上的TCO膜层不发生反应,腐蚀槽11优选设置有2个,保证腐蚀溶解的效果,腐蚀槽11、鼓泡清洗槽12和静置清洗槽13各自设有槽盖,次品回收槽组1可为一个大型的整合容器,该整合容器底部可设置万向轮和支撑脚,次品回收槽组还可设置用于收集从腐蚀槽11、鼓泡清洗槽12、静置清洗槽13中溢出的液体,并对其进行二次利用;工作机组2包括与腐蚀槽11及鼓泡清洗槽12连通的鼓泡机21、与鼓泡机21连接的位于次品回收槽组1中的鼓泡排管22和与腐蚀槽11、鼓泡清洗槽13及静置清洗槽13连通的循环抽液泵23,循环抽液泵23可实现液体的槽内抽放及槽间转移,合理用水,并便于槽子清洗;吊装机组3包括机架31、设于机架31上且位于次品回收槽组1上方的行车轨道32和设于行车轨道32上的电动吊装行车33。鼓泡排管22设于鼓泡清洗槽12内,当然鼓泡排管22也可以同时设于腐蚀槽11内,一般选择在这两种槽内都进行安装,能够明显加快腐蚀溶解和清洗脱落的速度。鼓泡排管22包括与鼓泡机21连接的总管221和连接于总管221的多个支管222,支管222并排均匀设置。腐蚀槽11和鼓泡清洗槽12内设有加热管14,能够有效加快腐蚀速度。腐蚀槽11及鼓泡清洗槽12内设有掏渣口15。腐蚀槽11及鼓泡清洗槽12设有自两侧向中间凹陷的底面,掏渣口15设于腐蚀槽11及鼓泡清洗槽12的侧壁上靠近底面中部的位置,掏渣口15可设置多个,还设置了配合掏渣口15进行掏渣的掏耙,掏耙可深入掏渣口15中,将聚集在底面中部的渣滓掏出。腐蚀槽11、鼓泡清洗槽12及静置清洗槽13各自设有独立放水阀门16。工作机组2还包括连接于鼓泡机21、循环抽液泵23的电控柜24。腐蚀槽11与鼓泡清洗槽12之间设有完全隔离壁17,鼓泡清洗槽12与静置清洗槽13设有半隔离壁18,半隔离壁18上端上方具有槽间通道19,在往静置清洗槽13放入清水时可通过槽间通道19将满溢出的清水汇入鼓泡清洗槽12中,合理、节约用水。
工作时,先将残次品芯片放入漏水储料框中,通过电动吊装行车33将漏水储料框吊起并放入腐蚀槽11中浸泡,约3小时后查看浸泡效果,过程中可更换浸泡的腐蚀槽11,若观察到腐蚀槽11已经将芯片膜层完全分解,再用电动吊装行车33将漏水储料框吊出并放入鼓泡清洗槽12内进行清水鼓泡冲洗约15分钟,最后再吊起并放入静置清洗槽13浸泡,浸泡时间任意,可选择15~30分钟左右,然后吊出、装架,可以再投入加工使用。

Claims (8)

1.一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,其特征在于:包括次品回收槽组(1)、用于配合所述次品回收槽组(1)的工作机组(2)及吊装机组(3),所述次品回收槽组(1)包括依次设置的腐蚀槽(11)、鼓泡清洗槽(12)和静置清洗槽(13);所述工作机组(2)包括与所述腐蚀槽(11)及所述鼓泡清洗槽(12)连通的鼓泡机(21)、与所述鼓泡机(21)连接的位于所述次品回收槽组(1)中的鼓泡排管(22)和与所述腐蚀槽(11)、所述鼓泡清洗槽(13)及所述静置清洗槽(13)连通的循环抽液泵(23);所述吊装机组(3)包括机架(31)、设于所述机架(31)上且位于所述次品回收槽组(1)上方的行车轨道(32)和设于所述行车轨道(32)上的电动吊装行车(33);所述腐蚀槽(11)和/或所述鼓泡清洗槽(12)内设有加热管(14);所述腐蚀槽(11)及所述鼓泡清洗槽(12)的侧壁上设有掏渣口(15)。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,其特征在于:所述鼓泡排管(22)设于所述鼓泡清洗槽(12)内。
3.根据权利要求1或2所述的一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,其特征在于:所述鼓泡排管(22)设于所述腐蚀槽(11)内。
4.根据权利要求3所述的一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,其特征在于:所述鼓泡排管(22)包括与所述鼓泡机(21)连接的总管(221)和连接于所述总管(221)的多个支管(222),所述支管(222)并排均匀设置。
5.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,其特征在于:所述腐蚀槽(11)及所述鼓泡清洗槽(12)设有自两侧向中间凹陷的底面,所述掏渣口(15)设于所述腐蚀槽(11)及所述鼓泡清洗槽(12)的侧壁上靠近所述底面中部的位置。
6.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,其特征在于:所述腐蚀槽(11)、所述鼓泡清洗槽(12)及所述静置清洗槽(13)各自设有独立放水阀门(16)。
7.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,其特征在于:所述工作机组(2)还包括连接于所述鼓泡机(21)、所述循环抽液泵(23)的电控柜(24)。
8.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池芯片次品回收装置,其特征在于:所述鼓泡清洗槽(12)与所述静置清洗槽(13)设有半隔离壁(17),所述半隔离壁(17)上端上方具有槽间通道(18)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116344411A (zh) * 2023-05-26 2023-06-27 四川上特科技有限公司 一种晶圆沟槽腐蚀装置
CN117443839A (zh) * 2023-12-21 2024-01-26 湖南隆深氢能科技有限公司 一种双极板清洗设备

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116344411A (zh) * 2023-05-26 2023-06-27 四川上特科技有限公司 一种晶圆沟槽腐蚀装置
CN116344411B (zh) * 2023-05-26 2023-08-01 四川上特科技有限公司 一种晶圆沟槽腐蚀装置
CN117443839A (zh) * 2023-12-21 2024-01-26 湖南隆深氢能科技有限公司 一种双极板清洗设备
CN117443839B (zh) * 2023-12-21 2024-03-19 湖南隆深氢能科技有限公司 一种双极板清洗设备

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