CN206088739U - 靶材安装治具 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供了一种靶材安装治具，包括：用于固定靶材的靶材固定架单元，所述靶材固定架单元上具有吊装部；能够与所述靶材固定架单元可拆卸地连接的靶材承载单元；以及，与所述靶材承载单元连接，用于移动所述靶材承载单元，以移动靶材的移动单元。本实用新型可以实现靶材安装时瓶颈设备天车使用时间的减少，进而实现靶材的快速拆卸及安装，实现靶材交换作业的时间的降低，进而提高设备嫁动增加设备产能。

Description

靶材安装治具
技术领域
本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其设计一种靶材安装治具。
背景技术
靶材做为镀膜用耗材，有一定寿命，需要进行定期的更换，更换作业的时间，在很大程度决定了设备的嫁动，继而决定了设备的产能。目前，靶材安装作业主要通过天车吊起和支撑靶材来完成，当前靶材安装治具，为靶材上部和下部各一个固定治具，再在靶材上部治具上安装吊装装置，实现靶材的拆卸和安装的吊装作业。当前治具作业全程均需要天车，在靶材的安装拆卸过程中治具及靶材所需的不同位置要求均需要天车的移动来实现，作业进度受限于天车的使用，在多腔室进行作业时，必须依次进行作业，大大降低了作业进度。
实用新型内容
本实用新型提供了一种靶材安装治具，其能够节省靶材安装作业时间，提高作业效率。
本实用新型所提供的技术方案如下：
一种靶材安装治具，包括：
用于固定靶材的靶材固定架单元，所述靶材固定架单元上具有吊装部；
能够与所述靶材固定架单元可拆卸地连接的靶材承载单元；
以及，与所述靶材承载单元连接，用于移动所述靶材承载单元的移动单元。
进一步的，所述靶材固定架单元包括：
用于安装在靶材背板的相对两端的两个固定板，每一所述固定板上具有用于与靶材背板连接的多个螺孔以及凸起的至少一个第一固定环，所述第一固定环上设有第一销孔；
吊架，所述吊架上设有所述吊装部、用于与所述靶材承载单元可拆卸连接的连接部以及与所述第一固定环位置对应的第二固定环，所述第二固定环上设有第二销孔；
其中所述第一固定环的第一销孔和所述第二固定环的第二销孔中穿装插销。
进一步的，所述靶材承载单元包括用于承载所述吊架的承载支架；
其中，所述吊架上的连接部包括设置在所述吊架上的支撑轴，所述承载支架上设有用于放置所述支撑轴的凹槽。
进一步的，所述移动单元包括用于在相互垂直的第一水平方向和第二水平方向上移动所述靶材承载单元的第一移动机构。
进一步的，所述第一移动机构包括：
一水平承载工作台面；
设置在所述水平承载工作台面上，并沿所述第一水平方向延伸的第一导轨；
能够在所述第一导轨上移动的第一承载板；
设置在所述第一承载板上，并沿所述第二水平方向延伸的第二导轨；
能够在所述第二导轨上移动的第二承载板；
其中，所述靶材承载单元通过所述移动机构设置在所述第二承载板上。
进一步的，所述移动单元包括用于在同时垂直于所述第一水平方向和所述第二水平方向的竖直方向上移动所述靶材承载单元的第二移动机构，所述第二移动机构包括：
设置在所述第二承载板上的第一侧壁，所述第一侧壁上设有沿所述竖直方向延伸的第三导轨；
与所述靶材承载单元连接，并能够在所述第三导轨上移动的滑动块；
以及，用于驱动所述滑动块在所述第三导轨上移动的驱动部。
进一步的，所述驱动部包括:
滑轮组，所述滑轮组至少包括一定滑轮；
第一旋转部；
以及，绕设在所述滑轮组上的钢丝，所述钢丝的一端连接所述滑动块，另一端绕在所述第一旋转部上；
其中，旋转所述第一旋转部，拉伸所述钢丝，以带动所述滑动块在所述第三导轨上移动。
进一步的，所述移动单元还包括用于在一垂直于水平面的竖直面内旋转所述靶材承载单元的第三移动机构。
进一步的，所述第三移动机构包括：
相对设置在所述第二承载板上的第一侧壁和第二侧壁，其中所述靶材承载单元安装于所述第一侧壁上，所述第一侧壁的一端端部与所述第二承载板之间通过枢轴连接，且所述第一侧壁能够绕所述枢轴旋转，所述第二侧壁与所述第二承载板垂直；
丝杆，所述丝杆旋转于所述第二侧壁上，且所述丝杆的一端连接于所述第一侧壁上，另一端设置有第二旋转部；
其中，旋转所述第二旋转部，所述丝杆带动所述第一侧壁绕所述枢轴旋转。
进一步的，所述靶材安装治具还包括用于供作业人员高空作业的高空平台装置，所述高空平台装置与所述水平承载工作台面连接。
本实用新型所带来的有益效果如下：
本实用新型所提供的靶材安装治具，通过天车吊装起靶材固定架单元，以将靶材吊装至位于作业位置上的靶材承载单元上，再利用移动机构移动靶材承载单元，以实现对靶材拆卸安装过程中不同位置的需求，天车在完成将靶材吊装至靶材承载单元上之后，天车的使用即结束，天车只负责吊装搬运，不再负责靶材拆卸和安装时的吊装的位置需求，天车在靶材拆卸和安装的过程中，可与去吊装另外的靶材，已实现节省作业时间，提高作业效率的作用，由此可见，本实用新型可以实现靶材安装时瓶颈设备天车使用时间的减少，进而实现靶材的快速拆卸及安装，实现靶材交换作业的时间的降低，进而提高设备嫁动增加设备产能。
附图说明
图1表示本实用新型实施例中提供的靶材安装治具中固定板与靶材背板的安装结构示意图；
图2表示图1的侧视图；
图3表示本实用新型实施例中提供的靶材安装治具中吊架的结构示意图；
图4表示图3的侧视图；
图5表示本实用新型实施例中提供的靶材安装治具中靶材固定单元与靶材的安装结构示意图；
图6表示图5的侧视图；
图7表示本实用新型实施例中提供的靶材安装治具的整体结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
针对现有技术中靶材在拆装过程中治具及靶材所需的不同位置要求均需要天车的移动来实现，作业进度受限于天车，作业效率低的技术问题，本实用新型提供了一种靶材安装治具，能够节省靶材安装作业时间，提高作业效率。
如图7所示，本实用新型所提供的靶材安装治具包括：
用于固定靶材10的靶材固定架单元，所述靶材固定架单元上具有吊装部101；
能够与所述靶材固定架单元可拆卸地连接的靶材承载单元；
以及，与所述靶材承载单元连接，用于移动所述靶材承载单元的移动单元。
本实用新型所提供的靶材安装治具，在进行靶材10拆装时，可以通过天车吊装起靶材固定架单元，以将靶材10吊装至位于作业位置上的靶材承载单元上，再利用移动机构来移动靶材承载单元，以实现对靶材10拆卸安装过程中不同位置的需求。天车在完成将靶材10吊装至靶材承载单元上之后，天车的使用即结束，天车只负责吊装搬运，不再负责靶材10拆卸和安装时的吊装的位置需求，天车在靶材10拆卸和安装的过程中，可以去吊装另外的靶材10，以实现节省作业时间，提高作业效率的作用。
由此可见，本实用新型可以实现靶材10安装时瓶颈设备天车使用时间的减少，进而实现靶材10的快速拆卸及安装，拆装更便捷，实现降低靶材10交换作业的时间的目的，进而提高设备嫁动增加设备产能。
在对本实用新型的靶材安装治具进行说明之前，首先对靶材的拆装过程进行下必要的说明。通常，多根靶材安装在靶材背板上，在靶材进行拆装时，一般都是将安装有多根靶材的靶材背板在镀膜设备上进行拆装。
在本实用新型所提供的实施例中，优选的，如图1至6所示，所述靶材固定架单元包括：
用于安装在靶材背板20的相对两端的两个固定板102，每一所述固定板102上具有用于与靶材10的背板20连接的多个螺孔1021以及凸起的至少一个第一固定环1022，所述第一固定环1022上设有第一销孔1023；
吊架103，所述吊架103上设有所述吊装部101、用于与所述靶材承载单元可拆卸连接的连接部1031以及与所述第一固定环1022位置对应的第二固定环1032，所述第二固定环1032上设有第二销孔1033；
其中所述第一固定环1022的第一销孔1023和所述第二固定环1032的第二销孔1033中穿装插销104。
在上述方案中，如图1至图6所示，固定板102用于与靶材背板20进行固定，实现多根靶材10间的联结固定，具体地，可以是通过将固定板102与靶材背板20之间穿装上固定螺钉，以将靶材10固定在固定板102上，再将固定板102上的第一固定环1022和吊架103上的第二固定环1032之间穿装上插销104，以将靶材10固定在吊架103上；当靶材10在整个镀膜设备上安装好之后，可以将插销104拔出，再将固定板102上的固定螺钉从所述靶材10的背板20上拧下即可，拆装方便。
需要说明的是，如图3和图5所示，在本实用新型所提供的一优选实施例中，所述吊装部101为一吊装孔结构，所述吊架103的相对两端分别设置所述第二固定环1032，且一个所述第一固定环1022对应两个所述第二固定环1032设置，在将靶材背板20与吊架103进行安装固定时，将第一固定环1022插入与其所对应的两个第二固定环1032之间，再将插销104插入第一固定环1022和第二固定环1032的销孔内即可。
当然可以理解的是，在实际应用中，所述靶材固定架单元还可以是采用其他结构来实现，在此不再一一列举。
在本实用新型所提供的实施例中，优选的，如图7所示，所述靶材承载单元包括用于承载所述吊架103的承载支架201；其中，所述吊架103上的连接部1031包括设置在所述吊架103上的支撑轴，所述承载支架201上设有用于放置所述支撑轴的凹槽202。
在上述方案中，所述靶材承载单元为一承载支架201结构，所述吊架103上的连接部1031采用一支撑轴结构，设置在吊架103的中部，当将吊架103用天车吊起至作业位置之后，将所述支撑轴放置入所述承载支架201上的凹槽202内即可，支撑轴与凹槽202的配合方式，便于取放吊架103。
当然应当理解的是，在实际应用中，所述靶材承载单元的具体结构以及所述靶材承载单元与所述承载支架201之间的配合方式可以并不仅局限于此。
在本实用新型所提供的实施例中，优选的所述移动单元包括用于在相互垂直的第一水平方向和第二水平方向上移动所述靶材承载单元的第一移动机构。通过设置所述第一移动机构可以在水平方向上前、后、左、右移动靶材承载单元，以实现靶材10拆卸和安装过程中对靶材10在水平方向上不同位置的需求。
在本实用新型所提供的优选实施例中，如图7所示，所述第一移动机构包括：
一水平承载工作台面401；
设置在所述水平承载工作台面401上，并沿所述第一水平方向延伸的第一导轨402；
能够在所述第一导轨402上移动的第一承载板403；
设置在所述第一承载板403上，并沿所述第二水平方向延伸的第二导轨404；
能够在所述第二导轨404上移动的第二承载板405；
其中，所述靶材承载单元位于所述第二承载板405之上。
上述方案中，利用线性导轨来实现靶材承载单元在水平方向上前、后、左、右的移动，结构简单。应当理解的是，在实际应用中，所示第一移动机构还可以采用其他方式来实现，对于所述第一移动机构的具体实现方式在此并不进行限定。
在本实用新型所提供的实施例中，如图7所示，优选的，所述移动单元包括用于在同时垂直于所述第一水平方向和所述第二水平方向的竖直方向上移动所述靶材承载单元的第二移动机构，所述第二移动机构包括：设置在所述第二承载板405上的第一侧壁501，所述第一侧壁501上设有沿所述竖直方向延伸的第三导轨；与所述靶材承载单元连接，并能够在所述第三导轨上移动的滑动块503；以及，用于驱动所述滑动块503在所述第三导轨上移动的驱动部。
采用上述方案，第二移动机构通过驱动部可以驱动滑动块503沿着所述第三导轨上下移动，来实现靶材10在竖直方向上的移动，以满足靶材10安装空间需求。
在本实用新型所提供的实施例中，优选的，如图7所示，所述驱动部包括:
滑轮组5041，所述滑轮组5041至少包括一定滑轮；
第一旋转部5042；
以及，绕设在所述滑轮组5041上的钢丝5043，所述钢丝5043的一端连接所述滑动块503，另一端绕在所述第一旋转部5042上；
其中，旋转所述第一旋转部5042，拉伸所述钢丝5043，以带动所述滑动块503在所述第三导轨上移动。
在上述方案中，利用滑轮组5041来实现靶材10的上下位置，通过旋转第一旋转部5042，绕在所述第一旋转部5042上的钢丝5043即会通过所述滑轮组5041来带动所述滑动块503来上下移动，进而实现靶材承载单元的上下移动。
其中，所述第一旋转部5042可以是旋转手柄或旋转绞盘等，以便于操作人员旋转操作，所述滑轮组5041可以包括至少一个定滑轮，还可以包括至少一个动滑轮，可以通过设计定滑轮和动滑轮的不同的直径比等来控制滑动块503的升降精度以及减小作业人员摇动第一旋转部5042的力，省力且操作简单。
应当理解的是，在实际应用中，所述驱动部也可以是采用其他结构来实现，对此不进行限定。
在本实用新型所提供的实施例中，优选的，如图7所示，所述移动单元还包括用于在一垂直于水平面的竖直面内旋转所述靶材承载单元的第三移动机构。
采用上述方案，通过设置第三移动机构来实现靶材10的旋转，以满足靶材10的空间位置需求。优选的，如图7所示，所述第三移动机构包括：
相对设置在所述第二承载板405上的第一侧壁501和第二侧壁505，其中所述靶材承载单元安装于所述第一侧壁501上，所述第一侧壁501的一端端部与所述第二承载板405之间通过枢轴509连接，且所述第一侧壁501能够绕所述枢轴509旋转，所述第二侧壁505与所述第二承载板405垂直；
丝杆507，所述丝杆507旋转于所述第二侧壁505上，且所述丝杆507的一端连接于所述第一侧壁501上，另一端设置有第二旋转部508；
其中，所述第二旋转部508可以是旋转手柄或旋转绞盘等，以便于操作人员旋转操作，旋转所述第二旋转部508，所述丝杆507带动所述第一侧壁501绕所述枢轴509旋转，而带动所述第一侧壁501上安装的靶材承载单元旋转，实现靶材10的旋转。
需要说明的是，在上述方案中，所述第一侧壁501既可以用于设置所述第三导轨来使得所述第二移动机构中所述滑动块503移动，还可以是与所述第二侧壁505以及所述丝杆507配合来实现所述靶材承载单元的旋转。
此外，如图7所示，所示第三移动机构还可以包括设置在所述第一侧壁501与所述第二侧壁505之间一斜壁506，用于对所述第一侧壁501起到限位和保护作用。
此外，还需要说明的是，在实际应用中，所述第三移动机构还可以采用其他方式实现，对此不再一一列举。
此外，如图7所示，在本实用新型所提供的实施例中，优选的，所述靶材安装治具还包括用于供作业人员高空作业的高空平台装置600，所述高空平台装置600与所述水平承载工作台面401连接。
其中，所述靶材安装治具的靶材承载单元、移动单元以及所述高空平台装置设置在高空作业位置，高空作业人员在所述高空平台装置上进行靶材的靶材固定单元与所述靶材承载单元的拆装以及利用所述移动单元移动所述靶材承载单元等高空作业操作，以实现靶材的拆装。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种靶材安装治具，其特征在于，包括：
用于固定靶材的靶材固定架单元，所述靶材固定架单元上具有吊装部；
能够与所述靶材固定架单元可拆卸地连接的靶材承载单元；
以及，与所述靶材承载单元连接，用于移动所述靶材承载单元的移动单元。
2.根据权利要求1所述的靶材安装治具，其特征在于，
所述靶材固定架单元包括：
用于安装在靶材背板的相对两端的两个固定板，每一所述固定板上具有用于与靶材背板连接的多个螺孔以及凸起的至少一个第一固定环，所述第一固定环上设有第一销孔；
吊架，所述吊架上设有所述吊装部、用于与所述靶材承载单元可拆卸连接的连接部以及与所述第一固定环位置对应的第二固定环，所述第二固定环上设有第二销孔；
其中所述第一固定环的第一销孔和所述第二固定环的第二销孔中穿装插销。
3.根据权利要求2所述的靶材安装治具，其特征在于，
所述靶材承载单元包括用于承载所述吊架的承载支架；
其中，所述吊架上的连接部包括设置在所述吊架上的支撑轴，所述承载支架上设有用于放置所述支撑轴的凹槽。
4.根据权利要求1所述的靶材安装治具，其特征在于，
所述移动单元包括用于在相互垂直的第一水平方向和第二水平方向上移动所述靶材承载单元的第一移动机构。
5.根据权利要求4所述的靶材安装治具，其特征在于，
所述第一移动机构包括：
一水平承载工作台面；
设置在所述水平承载工作台面上，并沿所述第一水平方向延伸的第一导轨；
能够在所述第一导轨上移动的第一承载板；
设置在所述第一承载板上，并沿所述第二水平方向延伸的第二导轨；
能够在所述第二导轨上移动的第二承载板；
其中，所述靶材承载单元通过所述移动机构设置在所述第二承载板上。
6.根据权利要求5所述的靶材安装治具，其特征在于，
所述移动单元包括用于在同时垂直于所述第一水平方向和所述第二水平方向的竖直方向上移动所述靶材承载单元的第二移动机构，所述第二移动机构包括：
设置在所述第二承载板上的第一侧壁，所述第一侧壁上设有沿所述竖直方向延伸的第三导轨；
与所述靶材承载单元连接，并能够在所述第三导轨上移动的滑动块；
以及，用于驱动所述滑动块在所述第三导轨上移动的驱动部。
7.根据权利要求6所述的靶材安装治具，其特征在于，
所述驱动部包括:
滑轮组，所述滑轮组至少包括一定滑轮；
第一旋转部；
以及，绕设在所述滑轮组上的钢丝，所述钢丝的一端连接所述滑动块，另一端绕在所述第一旋转部上；
其中，旋转所述第一旋转部，拉伸所述钢丝，以带动所述滑动块在所述第三导轨上移动。
8.根据权利要求5所述的靶材安装治具，其特征在于，
所述移动单元还包括用于在一垂直于水平面的竖直面内旋转所述靶材承载单元的第三移动机构。
9.根据权利要求8所述的靶材安装治具，其特征在于，
所述第三移动机构包括：
相对设置在所述第二承载板上的第一侧壁和第二侧壁，其中所述靶材承载单元安装于所述第一侧壁上，所述第一侧壁的一端端部与所述第二承载板之间通过枢轴连接，且所述第一侧壁能够绕所述枢轴旋转，所述第二侧壁与所述第二承载板垂直；
丝杆，所述丝杆旋转于所述第二侧壁上，且所述丝杆的一端连接于所述第一侧壁上，另一端设置有第二旋转部；
其中，旋转所述第二旋转部，所述丝杆带动所述第一侧壁绕所述枢轴旋转。
10.根据权利要求5所述的靶材安装治具，其特征在于，
所述靶材安装治具还包括用于供作业人员高空作业的高空平台装置，所述高空平台装置与所述水平承载工作台面连接。
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