CN205011828U - 管靶铸造模具 - Google Patents

Abstract

本实用新型为一种管靶铸造模具，包括底模、立设于所述底模上的管模、覆盖于所述管模上方的模盖以及同轴穿设于所述管模内的芯模，所述底模上部具有第一环形凸缘，所述管模底部具有外扩的足部，所述第一环形凸缘内壁贴合所述足部外壁，所述模盖下部具有第二环形凸缘，所述第二环形凸缘内壁贴合所述管模外壁。本实用新型铸造模具采用底模、管模、模盖和模芯四个部件的拼装结构，可直接浇铸得到呈管柱形结构的管靶基体，方便了后续加工。

Description

管靶铸造模具

技术领域

本实用新型涉及靶材铸造技术领域，特别涉及一种可直接铸造管柱状管靶基体的铸造模具。

背景技术

溅射靶材是通过磁控溅射镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，主要应用于电子及信息产业。溅射靶材按形状可分为长靶、方靶、圆靶、管靶等，其中管靶以较高的利用率逐渐受到重视。

现有技术中铸造管靶有两种方式，一种是浇铸出圆柱形的管靶基体，再用挤型机挤出成管靶，这种制造方式要求挤型机具有相当大的压力，设备投入大，单批投入的物料量大，制造成本多；另一种是浇铸出圆柱形的管靶基体，切削成管柱，最后用挤型机挤出成管靶，这种制造方式对挤型机的要求较小，但是切削工时较长，还增加了刀具损耗的成本，切削下料中也会存在物料的浪费。

因此，有必要提供一种新的铸造模具来改良工艺。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种可直接铸造管柱状管靶基体的铸造模具。

本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种管靶铸造模具，包括底模、立设于所述底模上的管模、覆盖于所述管模上方的模盖以及同轴穿设于所述管模内的芯模，所述底模上部具有第一环形凸缘，所述管模底部具有外扩的足部，所述第一环形凸缘内壁贴合所述足部外壁，所述模盖下部具有第二环形凸缘，所述第二环形凸缘内壁贴合所述管模外壁。

具体的，所述底模设有与所述第一环形凸缘同轴的第一通孔，所述模盖设有与所述第二环形凸缘同轴的第二通孔，所述芯模同时穿过所述第一通孔与第二通孔。

进一步的，所述芯模上方设有吊环。

具体的，所述管模外壁对称设有两个吊耳。

具体的，所述模盖上设有浇铸口。

具体的，所述管模上部内径小于其下部内径2.0-3.0mm。

具体的，所述芯模上部外径大于其下部外径2.0-3.0mm。

采用上述技术方案，本实用新型技术方案的有益效果是：

1、铸造模具采用底模、管模、模盖和模芯四个部件的拼装结构，可直接浇铸得到呈管柱形结构的管靶基体，方便了后续加工；

2、部件之间的相对位置通过第一环形凸缘、第二环形凸缘、第一通孔和第二通孔这样的结构保证，确保浇铸得到的管靶基体是内外径同心度高的管柱形；

3、外扩的足部能够防止管模在浇铸中倾倒，保障生产安全；

4、芯模和管模都采用吊拉式结构，可以依靠机械脱模，平稳快捷；

5、管模和芯模与基体的贴合面具有较小锥度，方便脱模。

附图说明

图1为本实用新型管靶铸造模具的半剖主视图；

图2为模盖的仰视图；

图3为底模的俯视图。

图中数字表示：

1-底模，11-第一环形凸缘，12-第一通孔；

2-管模，21-足部，22-吊耳；

3-模盖，31-第二环形凸缘，32-第二通孔，33-浇铸口；

4-芯模，41-吊环。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型的一种管靶铸造模具，包括底模1、立设于底模1上的管模2、覆盖于管模2上方的模盖3以及同轴穿设于管模2内的芯模4。熔融的浇铸材料注入管模2后成型圆柱体外形，而芯模4形成了圆柱体内的中空部分，利用以上四个部件的拼装结构可以直接浇铸得到呈管柱形结构的管靶基体，这样管靶基体后加工成管靶只需要小范围车削加工和挤型即可，车削中刀具的磨损量不大，挤型所需的挤型机最大压力也较小。

如图1和图3所示，底模1上部具有第一环形凸缘11，管模2底部具有外扩的足部21，第一环形凸缘11内壁贴合所述21外壁。外扩的足部21能令管模2在底模1上立得更稳，避免管模2在浇铸过程中倾倒，保障生产安全；第一环形凸缘11对管模2的水平位置有一个限定作用，而且第一环形凸缘11能够阻碍浇铸材料通过足部21与底模1之间的缝隙溢出来。

如图1和图2所示，模盖3下部具有第二环形凸缘31，第二环形凸缘31内壁贴合管模2上部外壁。第二环形凸缘31确定了模盖3与管模2的相对位置，防止模盖3从管模2上方掉落。

如图1至图3所示，底模1设有与第一环形凸缘11同轴的第一通孔12，模盖3设有与第二环形凸缘31同轴的第二通孔32，芯模4同时穿过第一通孔12与第二通孔32。由于成型后管靶基体一般为内外径同轴的管件，因此要求芯模4与管模2共轴。由于第一环形凸缘11和第二环形凸缘31已分别确定了底模1、管模2和模盖3的相对位置，因此芯模4的相对位置靠第一通孔12和第二通孔32确定，这样可确保成型管靶基体内外径的同心度。

如图1所示，芯模4上方设有吊环41。芯模4是实心的柱状件，分量重，因此脱模需要依赖机械，吊环41提供了机械脱模的受力点，使管靶基体脱模可以快捷完成。

如图1所示，管模2外壁对称设有两个吊耳22。管模2是长管型件，分量重，脱模只能往高度方向，同样需要依赖机械，两个吊耳22提供了两个机械脱模的受力点，使管模2的移除可以平稳快捷地完成。

如图1和图2所示，模盖3上设有浇铸口33。熔融的浇铸材料需要通过浇铸口33进入管模2内部，浇铸高度不超过管模2高度，这样浇铸后产生的管靶基体不会因模盖3与管模2的接缝处产生表面不平，也不会有脱模卡料问题。

浇铸完成后，先通过吊环41将芯模4吊出模盖3，然后取下模盖3，再利用吊耳22将管模2吊离管靶基体，管靶基体放倒后推离底模1即可。管模2上部内径小于其下部内径2.0-3.0mm，芯模4上部外径大于其下部外径2.0-3.0mm。这样管模2与芯模4与基体的接触面都具有很小的锥度，这会避免相互间的摩擦力影响脱模，使基体的脱模更加顺畅；而由此带来的基体内外壁呈小角度锥面的问题在车削表皮的时候即可调整回柱面，对后处理影响很小。

这样制造出来的管靶基体本身就具有内外径同心度很高的管柱结构，对管靶基体外表面的处理无需再钻孔，而是直接车削掉表皮即可，操作相对而言比较简单，节省工时，且避免了很大的刀具损耗。车削后再进行挤型同样不要求挤型机要有很大的压力，节省了设备投入。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种管靶铸造模具，其特征在于：包括底模、立设于所述底模上的管模、覆盖于所述管模上方的模盖以及同轴穿设于所述管模内的芯模,所述底模上部具有第一环形凸缘，所述管模底部具有外扩的足部，所述第一环形凸缘内壁贴合所述足部外壁,所述模盖下部具有第二环形凸缘，所述第二环形凸缘内壁贴合所述管模上部外壁。

2.根据权利要求1所述的管靶铸造模具，其特征在于：所述底模设有与所述第一环形凸缘同轴的第一通孔，所述模盖设有与所述第二环形凸缘同轴的第二通孔，所述芯模同时穿过所述第一通孔与第二通孔。

3.根据权利要求1或2所述的管靶铸造模具，其特征在于：所述芯模上方设有吊环。

4.根据权利要求1所述的管靶铸造模具，其特征在于：所述管模外壁对称设有两个吊耳。

5.根据权利要求1所述的管靶铸造模具，其特征在于：所述模盖上设有浇铸口。

6.根据权利要求1所述的管靶铸造模具，其特征在于：所述管模上部内径小于其下部内径2.0-3.0mm。

7.根据权利要求1所述的管靶铸造模具，其特征在于：所述芯模上部外径大于其下部外径2.0-3.0mm。