CN204535305U - 一种石英晶体烘干除尘装置 - Google Patents

一种石英晶体烘干除尘装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种石英晶体烘干除尘装置,包括箱体和旋转桶体,旋转桶体两端具转动轴,转动轴上设有轴承,箱体两侧壁上设有相对的通风孔,轴承设置于通风孔中,通风孔上设有固定支撑杆与轴承连接固定,所述的通风孔上分别通过管道连接到风机的进风口和出风口,所述的进风口连接管道上设有除尘过滤器;转动桶体其中一端所述的转动轴上设有传动动齿轮,传动齿轮下端设有驱动齿轮,驱动齿轮连接于驱动电机输出轴上。本实用新型克服了现有技术的不足,设计合理,结构紧凑,将离心脱水和烘干处理同时进行,提高晶片脱水处理速度和效果,同时对晶片还进行有效除尘大大提高石英晶体的表面洁净度使其良品率得到大幅提高。

Description

一种石英晶体烘干除尘装置
技术领域
[0001] 本实用新型涉及晶片生产辅助设备技术领域,具体属于一种石英晶体烘干除尘装置。
背景技术
[0002] 在晶片加工工厂里,腐蚀工序加工完成后,通常需要清洗,再用无水乙醇脱水,然后烘干。由于无水乙醇易燃,在脱水特别是烘干过程中容易造成安全事故,同时受无水乙醇质量的好坏的影响,会造成晶片脱水不彻底,带来水印、脏污等问题。石英晶体是石英晶体谐振器的核心器件,为了提高石英晶体谐振器的工作精度,必须保证石英晶体具有足够的表面光洁度。虽然石英晶体的生产车间要求保持高度的无尘化环境,然而经过表面打磨的石英晶体,其表面依然会附着部分的粉尘。在石英晶体表面镀膜的工序中,如果石英晶体洁净度不够,那么用该石英晶体生产出来的石英晶体谐振器的频率稳定性就差,生产出来的石英晶体谐振器只能归类为不良品,且无挽回的可能。
实用新型内容
[0003] 针对上述问题,本实用新型的目的是提供了一种石英晶体烘干除尘装置,克服了现有技术的不足,设计合理,结构紧凑,将离心脱水和烘干处理同时进行,提高晶片脱水处理速度和效果,同时对晶片还进行有效除尘大大提高石英晶体的表面洁净度使其良品率得到大幅提高,而不需人工操作,采用旋转和气流对流,清洗干净,脱水快速,无水印。
[0004] 本实用新型采用的技术方案如下:
[0005] 一种石英晶体烘干除尘装置,包括箱体和过滤网板制成旋转桶体,所述的旋转桶体两端具有通管制成转动轴,所述的转动轴上设有轴承,箱体两侧壁上设有相对的通风孔,轴承设置于通风孔中,通风孔上设有固定支撑杆与轴承连接固定,所述的通风孔上分别通过管道连接到风机的进风口和出风口,所述的进风口连接管道上设有除尘过滤器;转动桶体其中一端所述的转动轴上设有传动动齿轮,传动齿轮下端设有驱动齿轮,驱动齿轮连接于驱动电机输出轴上,驱动电机固定于箱体上。
[0006] 所述的箱体下端壁上设有排水口,排水口上设有控制阀。
[0007] 所述的转动桶体和箱体上均设有卡合结构的上盖。
[0008] 与已有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
[0009] 本实用新型将离心脱水和烘干处理同时进行,提高晶片脱水处理速度和效果,同时对晶片还进行有效除尘大大提高石英晶体的表面洁净度使其良品率得到大幅提高,而不需人工操作,采用旋转和气流对流,清洗干净,脱水快速,无水印。
附图说明
[0010] 图1为本实用新型的结构示意图;
[0011] 图2为图1A-A剖视的结构示意图。
具体实施方式
[0012] 参见附图,一种石英晶体烘干除尘装置,包括箱体I和过滤网板制成旋转桶体2,所述的旋转桶体2两端具有通管制成转动轴3,所述的转动轴上设有轴承4,箱体I两侧壁上设有相对的通风孔101,轴承4设置于通风孔101中,通风孔101上设有固定支撑杆5与轴承4连接固定,所述的通风孔4上分别通过管道6连接到风机7的进风口和出风口,所述的进风口连接管道上设有除尘过滤器8 ;转动桶体2其中一端所述的转动轴2上设有传动动齿轮301,传动齿轮301下端设有驱动齿轮9,驱动齿轮9连接于驱动电机10输出轴上,驱动电机10固定于箱体I上;所述的箱体I下端壁上设有排水口 102,排水口上设有控制阀;便于控制及时将水排出。所述的转动桶体2和箱体I上均设有卡合结构的上盖;便于加料和出料。
[0013] 以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (3)

1.一种石英晶体烘干除尘装置,包括箱体和过滤网板制成旋转桶体,其特征在于:所述的旋转桶体两端具有通管制成转动轴,所述的转动轴上设有轴承,箱体两侧壁上设有相对的通风孔,轴承设置于通风孔中,通风孔上设有固定支撑杆与轴承连接固定,所述的通风孔上分别通过管道连接到风机的进风口和出风口,所述的进风口连接管道上设有除尘过滤器;转动桶体其中一端所述的转动轴上设有传动动齿轮,传动齿轮下端设有驱动齿轮,驱动齿轮连接于驱动电机输出轴上,驱动电机固定于箱体上。
2.根据权利要求1所述的一种石英晶体烘干除尘装置,其特征在于:所述的箱体下端壁上设有排水口,排水口上设有控制阀。
3.根据权利要求1所述的一种石英晶体烘干除尘装置,其特征在于:所述的转动桶体和箱体上均设有卡合结构的上盖。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106679362A (zh) * 2016-12-05 2017-05-17 南京东擎科技有限公司 离心式折流烘干设备
CN113511806A (zh) * 2021-07-02 2021-10-19 浙江富通光纤技术有限公司 芯棒的加工方法

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