CN203999904U - 一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置 - Google Patents
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Abstract
一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置。单晶炉机架的面上固定有支架安装平台，支架安装平台通过提升机构支撑杆与导轨平台固定连接，支架安装平台上固定有电机，电机连接坩埚提升变速器，坩埚提升变速器通过坩埚提升丝杆通过轴承与导轨平台上面活连接，坩埚提升丝杆通过螺纹与磁流体安装平台活连接，磁流体安装平台内固定有磁流体，磁流体安装平台下端固定有慢速电机，慢速电机通过传动齿轮与坩埚提升丝杆连接，旋转电机通过连接板与磁流体安装平台下端固定连接，旋转电机通过多锲带坩埚轴连接。由于设有坩埚的顶升装置，坩埚能够同时旋转和顶升，有利于结晶，成品的合格率大大提升，节约了能源，为光伏产业提供了有力的保证。
Description
技术领域
本实用新型一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置，涉及的是硅片制造设备设计制造技术领域，应用于结晶炉坩埚的顶升。
背景技术
随着国内光伏行业的迅猛发展，结晶炉使用频率相对增高，随着产量的提高，坩埚的加料和更换的次数相应增多。但由于现有的结晶炉的结构不合理，在结晶炉内的坩埚无法进行复合运动。例，专利201120537541.x，单晶硅制造装置炉室结构，由于没有坩埚的顶升装置，造成坩埚无法同时旋转和顶升，不利于结晶，容易造成晶棒报废，消耗了大量的能源。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述缺陷，对现有技术加以改进，设计一种具有操作便捷，成本低廉，方便顶升坩埚的一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置。
其技术是这样实现的：包括单晶炉机架、支架安装平台、坩埚提升变速器、慢速电机、提升机构支撑杆、传动齿轮、磁流体安装平台、坩埚提升丝杆、水冷套、坩埚轴、坩埚、导轨平台、磁流体、旋转电机、连接板、多锲带、结晶炉、电机在内，其特征在于：整个装置设在结晶炉的下端，单晶炉机架的面上固定有支架安装平台，支架安装平台通过提升机构支撑杆与导轨平台固定连接，支架安装平台上固定有电机，电机连接坩埚提升变速器，坩埚提升变速器通过坩埚提升丝杆通过轴承与导轨平台上面活连接，坩埚提升丝杆通过螺纹与磁流体安装平台活连接，磁流体安装平台内固定有磁流体，磁流体安装平台下端固定有慢速电机，慢速电机通过传动齿轮与坩埚提升丝杆连接，旋转电机通过连接板与磁流体安装平台下端固定连接，坩埚轴固定在磁流体内，坩埚轴顶端抵在结晶炉内置有的坩埚底端，旋转电机通过多锲带坩埚轴连接，所述的坩埚轴外周设有水冷套。
实施该技术后的明显优点和效果是：与现有技术相比，由于设有坩埚的顶升装置，坩埚能够同时旋转和顶升，有利于结晶，成品的合格率大大提升，节约了能源，为光伏产业提供了有力的保证。
附图说明
图1为本实用新型的主视结构示意图，
其中，1-单晶炉机架、2-支架安装平台、3-坩埚提升变速器、4-慢速电机、5-提升机构支撑杆、6-传动齿轮、7-磁流体安装平台、8-坩埚提升丝杆、9-水冷套、10-坩埚轴、11-坩埚、12-导轨平台、13-磁流体、14-旋转电机、15-连接板、16-多锲带、17-结晶炉、18-电机。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型作进一步描述：
见附图1，整个装置设在结晶炉17的下端，单晶炉机架1的面上固定有支架安装平台2，支架安装平台2通过提升机构支撑杆5与导轨平台12固定连接，支架安装平台2上固定有电机18，电机18连接坩埚提升变速器3，坩埚提升变速器3通过坩埚提升丝杆8通过轴承与导轨平台12上面活连接，坩埚提升丝杆8通过螺纹与磁流体安装平台7活连接，磁流体安装平台7内固定有磁流体13，磁流体安装平台7下端固定有慢速电机4，慢速电机4通过传动齿轮6与坩埚提升丝杆8连接，旋转电机14通过连接板15与磁流体安装平台7下端固定连接，坩埚轴10固定在磁流体13内，坩埚轴10顶端抵在结晶炉17内置有的坩埚11底端，旋转电机14通过多锲带16坩埚轴10连接，所述的坩埚轴10外周设有水冷套9。
见附图1，结晶炉17结晶生产时，启动旋转电机14，通过多锲带16使坩埚轴10旋转，带动坩埚11旋转，坩埚11旋转的同时，慢速电机4被启动，慢速电机4通过传动齿轮6带动坩埚提升丝杆8旋转，旋转的坩埚提升丝杆8带动磁流体安装平台7慢速上升，随着磁流体安装平台7的上升，带动坩埚轴10上升，坩埚轴10上升带动坩埚11上升，达到坩埚11旋转和上升的目的，与晶棒提升机构配合完成结晶。
Claims (2)
1.一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置，包括单晶炉机架、支架安装平台、坩埚提升变速器、慢速电机、提升机构支撑杆、传动齿轮、磁流体安装平台、坩埚提升丝杆、水冷套、坩埚轴、坩埚、导轨平台、磁流体、旋转电机、连接板、多锲带、结晶炉、电机在内，其特征在于：整个装置设在结晶炉的下端，单晶炉机架的面上固定有支架安装平台，支架安装平台通过提升机构支撑杆与导轨平台固定连接，支架安装平台上固定有电机，电机连接坩埚提升变速器，坩埚提升变速器通过坩埚提升丝杆通过轴承与导轨平台上面活连接，坩埚提升丝杆通过螺纹与磁流体安装平台活连接，磁流体安装平台内固定有磁流体，磁流体安装平台下端固定有慢速电机，慢速电机通过传动齿轮与坩埚提升丝杆连接，旋转电机通过连接板与磁流体安装平台下端固定连接，坩埚轴固定在磁流体内，坩埚轴顶端抵在结晶炉内置有的坩底端，旋转电机通过多锲带坩埚轴连接。
2.根据权利要求1所述的一种结晶炉用的坩埚顶升旋转装置，其特征在于：所述的坩埚轴外周设有水冷套。
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