CN203983246U - 一种硅片清洗装置 - Google Patents

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陈小力
王进昌
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Abstract

本实用新型提供了一种硅片清洗装置，旨在解决现有的硅片清洗装置清洗硅片效率低的问题，包括花篮、清洗装置，花篮包括内圆管和外圆管，内圆管上设有外卡槽，外圆管上设有内卡槽，内圆管底部和外圆管的底部之间固连有杆；内圆管上开设有内通槽；外圆管上开设有外通槽；清洗装置包括圆板、中心圆管；中心圆管外侧壁上环绕有中心圆管喷头；圆板上设有圆板喷头，每个圆板喷头上端均连有一个穿设在圆板上的水管连接头。本实用新型中设有环形的花篮，圆板喷头可以从上端对硅片进行冲洗，中心圆管喷头可以从内圆管中心孔中向外对硅片进行清洗，清洗时的工作效率高，而且环形的花篮不存在死角，容易清洗，而且清洗的干净。

Description

一种硅片清洗装置
技术领域
本实用新型涉及一种硅片清洗装置。
背景技术
目前的硅片清洗装置中采用的花篮为方形，通过花篮上方的喷头对花篮中的硅片进行清洗，但是现有的硅片清洗装置清洗硅片时的速度较慢，工作效率低；由于方形的花篮存在很多死角，很难清洗干净。
实用新型内容
本实用新型提供了一种硅片清洗装置，旨在解决现有的硅片清洗装置清洗硅片效率低的问题。
为了解决以上技术问题，本实用新型通过以下技术方案实现：一种硅片清洗装置，包括用于放置硅片的花篮、用于清洗硅片的清洗装置，所述花篮包括同轴的内圆管和外圆管，所述内圆管的外侧壁上设有外卡槽，所述外圆管的内侧壁上设有与外卡槽一一对应且与外卡槽配合放置硅片的内卡槽，所述内圆管底部和外圆管的底部之间固连有杆；所述内圆管上开设有用于连通外卡槽与内圆管内部且与外卡槽一一对应的内通槽，每个外卡槽顶部均与内圆管的上端相通，每个外卡槽的底部均不与内圆管底端相通；所述外圆管上开设有用于连通内卡槽与外圆管外部且与内卡槽一一对应的外通槽，每个内卡槽顶部均与外圆管的上端相通，每个内卡槽的底部均不与外圆管的底端相通；所述清洗装置包括设置在花篮上方的圆板、穿设在圆板中心上且下端封闭的中心圆管；中心圆管外侧壁上位于圆板下方的部分环绕有中心圆管喷头；所述圆板上设有一圈向下喷淋的圆板喷头，所述圆板喷头位于内圆管和外圆管之间部分的正上方，每个圆板喷头上端均连有一个穿设在圆板上的水管连接头。
进一步，还包括用于夹持花篮且可旋转的三爪卡盘；通过旋转可以将脏物甩出，清洗完后，也有利于硅片的干燥。
进一步，所述杆有三个且均布在内圆管和外圆管之间；多于三个时，浪费材料；少于三个时，内圆管和外圆管连接时的牢固性较差。
与现有技术相比本实用新型的优点是：本实用新型中设有环形的花篮，圆板喷头可以从上端对硅片进行冲洗，中心圆管喷头可以从内圆管中心孔中向外对硅片进行清洗，清洗时的工作效率高，而且环形的花篮不存在死角，容易清洗，而且清洗的干净。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
图1为本实用新型的爆炸图；
图2为本实用新型中清洗装置底面朝上时的结构示意图；
图3为本实用新型中花篮的结构示意图。
具体实施方式
参阅图1、图2和图3，一种硅片清洗装置，包括用于放置硅片的花篮2、用于清洗硅片的清洗装置3，所述花篮2包括同轴的内圆管21和外圆管22，所述内圆管21的外侧壁上设有外卡槽211，所述外圆管22的内侧壁上设有与外卡槽211一一对应且与外卡槽211配合放置硅片的内卡槽221，一个硅片卡接在两个对应的外卡槽211和内卡槽221之间；所述内圆管21底部和外圆管22的底部之间固连有杆23；所述内圆管21上开设有用于连通外卡槽211与内圆管21内部且与外卡槽211一一对应的内通槽212，每个外卡槽211顶部均与内圆管21的上端相通，每个外卡槽211的底部均不与内圆管21底端相通；所述外圆管22上开设有用于连通内卡槽221与外圆管22外部且与内卡槽221一一对应的外通槽222，每个内卡槽221顶部均与外圆管22的上端相通，每个内卡槽221的底部均不与外圆管22的底端相通；所述清洗装置3包括设置在花篮2上方的圆板31、穿设在圆板31中心上且下端封闭的中心圆管32；中心圆管32外侧壁上位于圆板31下方的部分环绕有中心圆管喷头34；所述圆板31上设有一圈向下喷淋的圆板喷头33，所述圆板喷头33位于内圆管21和外圆管之间部分的正上方，每个圆板喷头33上端均连有一个穿设在圆板31上的水管连接头35；所述中心圆管32和连接头35均与水管相连。
使用时，用三爪卡盘1将花篮2固定住，然后将清洗装置3中的中心圆管32插入到内圆管21的中心孔内，然后使圆板喷头33和中心圆管喷头34喷水，在喷水过程中定期使三角卡盘1带动花篮2旋转，可以将脏物甩出；当冲洗完后，旋转三角卡盘1，可以甩出硅片上的残留水分，有利于后序硅片的快速干燥；然后取下花篮。
本实用新型中设有环形的花篮，圆板喷头可以从上端对硅片进行冲洗，中心圆管喷头可以从内圆管中心孔中向外对硅片进行清洗，清洗时的工作效率高，而且环形的花篮不存在死角，容易清洗，而且清洗的干净；三爪卡盘可以进一步提高除去硅片表面脏污的效率，而且有利于后续的干燥。
以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的技术特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围之中。

Claims (3)

1.一种硅片清洗装置，包括用于放置硅片的花篮(2)、用于清洗硅片的清洗装置(3)，其特征是：所述花篮(2)包括同轴的内圆管(21)和外圆管(22)，所述内圆管(21)的外侧壁上设有外卡槽(211)，所述外圆管(22)的内侧壁上设有与外卡槽(211)一一对应且与外卡槽(211)配合放置硅片的内卡槽(221)，所述内圆管(21)底部和外圆管(22)的底部之间固连有杆(23)；
所述内圆管(21)上开设有用于连通外卡槽(211)与内圆管(21)内部且与外卡槽(211)一一对应的内通槽(212)，每个外卡槽(211)顶部均与内圆管(21)的上端相通，每个外卡槽(211)的底部均不与内圆管(21)底端相通；
所述外圆管(22)上开设有用于连通内卡槽(221)与外圆管(22)外部且与内卡槽(221)一一对应的外通槽(222)，每个内卡槽(221)顶部均与外圆管(22)的上端相通，每个内卡槽(221)的底部均不与外圆管(22)的底端相通；
所述清洗装置(3)包括设置在花篮(2)上方的圆板(31)、穿设在圆板(31)中心上且下端封闭的中心圆管(32)；中心圆管(32)外侧壁上位于圆板(31)下方的部分环绕有中心圆管喷头(34)；所述圆板(31)上设有一圈向下喷淋的圆板喷头(33)，所述圆板喷头(33)位于内圆管(21)和外圆管之间部分的正上方，每个圆板喷头(33)上端均连有一个穿设在圆板(31)上的水管连接头(35)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征是：还包括用于夹持花篮且可旋转的三爪卡盘(1)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征是：所述杆(23)有三个且均布在内圆管(21)和外圆管(22)之间。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105618414A (zh) * 2016-03-15 2016-06-01 李赵和 一种半导体硅片清洗机双头清洗枪
CN104241172B (zh) * 2014-08-21 2017-01-25 浙江辉弘光电能源有限公司 一种硅片清洗装置

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