CN203792839U - 下膜机 - Google Patents

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Abstract

一种下膜机,可将装载有一片芯片的一个膜片从一个载板上卸下,并且重新在该载板黏贴一片新的膜片,该下膜机包含:数个用来载送所述载板的载框、一个基架,以及安装在该基架上的一个下膜机构、一个贴膜机构,以及一个输送机构,该输送机构包括一个将承载有芯片的载板运送到该下膜机构进行下膜作业的进料单元、一个将卸除芯片及膜片的载板移送到该贴膜机构进行贴膜作业的移送单元,以及一个将贴膜后的载板移送到空的载框内并将所述载框移出该基架的一个载送区域的出料单元,前述结构可以提高下膜机在加工时的速度及作业顺畅性。

Description

下膜机技术领域
[0001] 本实用新型涉及一种下膜机,特别是涉及一种可以将装载有芯片(wafer)的膜片从载板上卸下,并且在该载板上黏贴新的膜片,以方便该芯片作后续加工的下膜机。
背景技术
[0002] 以往贴膜机在使用时,通常在一个载框上插设数片上下置放的载板,再利用机具将一片片的载板抽出,以进行贴膜加工,贴膜后的载板再以机具运送到另一个空的载框内并上下置放,就可以将黏贴有该膜片的载板连同该载框一起送到芯片组装区黏贴芯片,当芯片连同膜片一起自该载板上卸除后,空的载板再插设到空的载框上,然后一起送回贴膜机备用。以往贴膜机虽然可以在一片片的载板上黏贴膜片,并且运送到芯片组装区组装芯片,但是在贴膜机贴膜后的流程无法一贯化,也需要备用及存放许多的载框,故作业顺畅性比较差。
发明内容 [0003] 本实用新型的目的在于提供一种可以提高作业顺畅性及加工速度的下膜机。
[0004] 本实用新型的下膜机可将装载有一片芯片的一个膜片从一个载板上卸下,并且在该载板上黏贴一片新的膜片,该下膜机包含:数个用来载送所述载板的载框、一个基架,以及位在该基架上的一个下膜机构、一个贴膜机构以及一个输送机构,该基架包括一个下膜区域、一个贴膜区域,以及一个可让所述载框进出的载送区域,该下膜机构位在该基架的下膜区域内,并包括一个将该载板与黏贴有膜片的芯片分离的下膜单元,该贴膜机构安装在该基架的贴膜区域内,并包括一个可将新的膜片黏贴在该载板上的贴膜单元,所述输送机构包括一个将装载有芯片的载板送到该下膜机构进行下膜作业的进料单元、一个将卸除芯片及膜片后的载板移送到该贴膜机构进行贴膜作业的移送单元,以及一个将贴膜后的载板移送到空的载框内并将所述载框移离该载送区域的出料单元。
[0005] 本实用新型所述的下膜机,该基架的载送区域具有一个让装载有芯片的载框进入的进框轨道,而该进料单元具有一个具有一个第一升降台的第一升降座,以及一个沿着一个进框路径将位于该进框轨道上的载框推送到该第一升降台的第一移送座。
[0006] 本实用新型所述的下膜机,该移送单元具有一个沿着一个下膜路径将承载有芯片及膜片的载板移送到该下膜机构的第二移送座、一个沿着一个贴膜路径将下膜后的载板移送到该贴膜机构的第三移送座,以及一个沿着一个出料路径将贴膜后的载板移送到所述载框的其中之一上的第四移送座。
[0007] 本实用新型所述的下膜机,该基架的载送区域还具有一个与该进框轨道上下平行的出框轨道,而该出料单元具有一个第二升降座,该第二升降座具有一个可沿着一个下降路径将装载有重新贴有膜片的载板的载框下移的第二升降台,而该出料单元还具有一个沿着一个平移路径将装满载板的载框移送到该出框轨道的第五移送座,以及一个沿着一个出框路径将位于该出框轨道上的载框移离的第六移送座。[0008] 本实用新型所述的下膜机,该基架的载送区域还具有一个备框轨道,而该输送机构还包括一个可以将卸除载板后的载框移送到该备框轨道的备框单元。
[0009] 本实用新型所述的下膜机,该备框单元具有一个将空的载框移送到该备框轨道的第七移送座、一个将位于该备框轨道上的载框往一个储框路径移送的第八移送座,以及一个将所述载框移送到该第二升降台的第九移送座。
[0010] 本实用新型所述的下膜机,该贴膜机构还包括一个具有一个膜卷的供膜单元,以及一个将该供膜单元的膜卷裁切出所述膜片的切膜单元,所述贴膜单元将裁切后的膜片贴设在载板上。
[0011] 本实用新型所述的下膜机,该下膜机构还包括一个用来承接下膜后的芯片及膜片的芯片载盘。
[0012] 本实用新型的有益效果在于:通过所述载框来载运所述载板,以及该输送机构的配合来移送所述载框及所述载板,不但可以在下膜后的载板上立即贴上一片新的膜片,也可以让下膜及贴膜的作业一贯化,以提高该下膜机的作业顺畅性及加工速度。
附图说明
[0013] 图1是本实用新型下膜机的一个较佳实施例的前视立体图,为了简化图式的线条,图1只示意一个加工组件;
[0014] 图2是该较佳实施例的一个未完整的后视立体图,主要省略该下膜机的一个基架;
[0015] 图3是该较佳实施例的一个局部立体图,主要说明该下膜机的一个输送机构,图中也只示意一个加工组件;
[0016] 图4是该较佳实施例的一个俯视示意图;
[0017] 图5是该较佳实施例的一个局部侧视图,主要说明该输送机构;
[0018] 图6是该较佳实施例的另一个局部立体图,主要说明该输送机构的一个移送单
J Li ο
具体实施方式
[0019] 下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。
[0020] 参阅图1、2、3,本实用新型下膜机的一个较佳实施例可在数片载板11上分别黏贴一片膜片12,每片膜片12都可承接一片芯片13,为了达到加工自动化的目的,该下膜机也可以从该载板11上将承接该有芯片13的该膜片12卸下。为了方便说明,将一片载板11、一片膜片12及一片芯片13合称为一个加工组件1,且为了简化图中的线条,图1、3只示意一个加工组件I。该下膜机包含:数个可立体收纳所述加工组件I的载框2、一个基架3,以及安装在该基架3上的一个下膜机构4、一个贴膜机构5、一个输送机构6。该下膜机构4可以将所述加工组件I的膜片12及芯片13自载板11上卸除,而该贴膜机构5可以在空的载板11上黏贴新的膜片12。
[0021] 本实施例的载框2都包括两片间隔设置的侧壁21,每片侧壁21都具有数个上下间隔且相对应的插槽211,所述载板11是数片一组的插设在所述载框2上等高的插槽211内。[0022] 本实施例的基架3是由数根框条架设而成的立体结构,并包括一个下膜区域31、一个与该下膜区域31相邻的贴膜区域32,以及一个横跨并位于该下膜区域31及该贴膜区域32侧边的载送区域33,该载送区域33具有一个位于上方的进框轨道331、一个位于下方的备框轨道332,以及一个介于该进框轨道331及该备框轨道332间的出框轨道333,该进框轨道331、该备框轨道332及该出框轨道333是上下平行设置。
[0023] 本实施例该下膜机构4安装在该基架3的下膜区域31内,并包括一个芯片载盘41,以及一个位在该芯片载盘41上方并可将黏贴有膜片12的芯片13推送到该芯片载盘41上的下膜单元42,推送后,该载板11会和该膜片12及该芯片13分离,在本较佳实施例中,该下膜单元42为压缸的形式,但本实用新型在实施时并不以此为限。
[0024] 本实施例该贴膜机构5安装在该基架3的贴膜区域32内,并包括一个具有至少一个膜卷511的供膜单元51、一个贴膜单元52、一个介于该供膜单元51及该贴膜单元52间并用来裁切该膜卷511使其形成一片片新的膜片12的切膜单元53,以及一个将该膜卷511往该贴膜单元52方向夹持的夹膜单元54。当该夹膜单元54将该膜卷511夹持通过该贴膜单元52,同时该切膜单元53将该膜卷511裁断时,就可以形成本实施例所述的膜片12,然后通过该贴膜单元52上下往复移动,就可以完成贴膜的作业。由于将成卷的膜卷511裁切成一片片长度适当的膜片12的可行方式很多,故本实用新型该贴膜机构5的结构不以实施例所揭露的为限。
[0025] 参阅图1、4、5,本实施例的输送机构6可以带动所述载板11沿着一个加工路线移动,并依序通过该下膜机构4及该贴膜机构5,以进行下膜及贴膜的作业,同时带动所述载框2沿着一个备框路线移动,以承接贴膜后的载板11,如此源源不断的循环,不但可以充分运用所述载框2及所述载板11,也可以提高该下膜机作业的顺畅性。
[0026] 以下的说明中,先以箭头辅助说明该加工路线及该备框路线,其中,该加工路线包括一个将装载所述加工组件I的载框2送入该基架3的进框轨道331的进框路径71、一个将存放在该载框2内的所述加工组件I抽往该下膜机构4的下膜路径72、一个将下膜后且空的载板11移送到该贴膜机构5进行贴膜加工的贴膜路径73、一个将贴膜完成的载板11移到另一个备用的载框2内的出料路径74、一个降低载满贴膜后的所述载板11的载框2的下降路径75、一个将下降后的载框2横移到该基架3的出框轨道333的平移路径76,以及一个将装满贴膜后的载板11的载框2移出该基架3的载送区域33的出框路径77。
[0027] 而该备框路线包括一个将空的载框2下降并对应该备框轨道332的退框路径81、一个将该空的载框2往该基架3的载送区域33移送的外推路径82、一个将该外推后的载框2往后推送的储框路径83、一个将空的载框2往该基架3的贴膜区域32方向内推的补框路径84,以及一个将该载框2上推以承接贴膜后的载板11的上升路径85。
[0028] 参阅图3-6,为了执行以上的加工路线及备框路线,本实施例该输送机构6包括:一个将载有芯片13的载板11送到该基架3的下膜区域31进行下膜作业的进料单元61、一个将卸除芯片13后的载板11移送到该基架3的贴膜区域32进行贴膜作业的移送单元62、一个将贴膜后的载板11移送到所述载框2的其中之一上并将所述载框2移离该载送区域33的出料单元63,以及一个将空的载框2移送到该基架3的贴膜区域32以承接重新贴膜后的载板11的备框单元64。
[0029] 该进料单元61具有一个第一升降座611,以及一个将装载有芯片13的载框2推送该到该第一升降座611上的第一移送座612,该第一升降座611具有一个第一升降轨道613、一个安装在该第一升降轨道613上的第一动力源614,以及一个安装在该第一升降轨道613上的第一升降台615。而该第一移送座612为压缸的形式,可以将所述载框2推送到该第一升降台615上。
[0030] 而该移送单元62具有一个沿着该下膜路径72往复移动的第二移送座621、一个沿着该贴膜路径73往复移动的第三移送座622,以及一个沿着该出料路径74往复移动的第四移送座623。该第二移送座621的结构并无特别的限制,可以直接由邻近该下膜单元42的一侧往该进料单元61 —侧移动,以夹取该加工组件1,也可以让被夹取的所述加工组件I一个个并排送到该下膜单元42接受加工,以缩短夹取的行程。
[0031] 该出料单元63具有一个可沿着该下降路径75及该上升路径85升降的第二升降座631、一个沿着该平移路径76将该载框2移送该出框轨道333的第五移送座632,以及一个沿着该出框路径77将该载框2送离该出框轨道333的第六移送座633。该第二升降座631的构造与第一升降座611相同,并具有一个第二升降轨道634、一个第二动力源635及一个第二升降台636。该备框单元64具有一个沿着该外推路径82将空的载框2移送到该基架3的备框轨道332的第七移送座641、一个沿着该储框路径83将该载框2往后推送的第八移送座642,以及一个沿着该补框路径84将空的载框2推送到该第二升降台636内的第九移送座643。
[0032] 本实施例该下膜机在使用时,所述加工组件I是上下设置的插设在所述载框2内,并且沿着该进框轨道331进入该基架3的载送区域33,受到该第一移送座612的推送,该载框2将移到该第一升降台615内,此时该移送单元62的第二移送座621会如图4所示沿着该下膜路径72将加工组件I往该下膜机构4的方向夹送,当该加工组件I对应该下膜机构4时,原本黏贴在该载板11上的膜片12及装载的芯片13将被该下膜单元42推送到该芯片载盘41上,空的载板11受到该第三移送座622的推送往该基架3的贴膜区域32移动,接着,该贴膜机构5的贴膜单元52就可将一片新的膜片12上推,并且贴设在该载板11的下方,同时完成贴膜的加工。贴膜后该载板11受到该第四移送座623的推送往架设在该第二升降台636上的载框2移送,并且插设在空的载框2内。
[0033] 当该加工组件I被抽离原本插设的载框2的过程中,该第一动力源614将驱动该第一升降台615下降一小格,使得上下置放在该载框2内的加工组件I可以依序下降对应该第二移送座621。相同道理,当贴膜后的载板11插设到位于该第二升降台636内的载框2时,该第二动力源635会下降一小格,使贴上新的膜片12后的载板11可以依序插设到空的载框2内。
[0034] 当位于该第一升降台615内的载板11被完全抽离后,该第一升降台615就会沿着该退框路径81下降对应该基架3的备框轨道332,然后被该第七移送座641推送到该备框轨道332,接着,该第八移送座642会沿着该储框路径83将空的载框2往后推送。当位于该第二升降台636上的载框2已经插满贴膜后的载板11时,该第二升降台636就会下降对应该基架3的出框轨道333,然后该第五移送座632会将该装满并贴有新的膜片12的载板11的载框2推往该出框轨道333,接着,该第六移送座633会将该载框2推离该下膜机。以此类推,就可以一贯化的完成下膜及贴膜的作业。
[0035] 由以上说明可知,本实用新型该下膜机不但结构新颖,更可充分利用所述载框2及所述载板11来达到一贯化下膜及贴膜的作业,同时加速作业速度,故本实用新型确为一种结构新颖、实用的下膜机。

Claims (9)

1.一种下膜机,将装载有一片芯片的一个膜片自一个载板上卸下,并且重新在该载板上黏贴一片新的膜片,该下膜机包含:数个用来载送该载板的载框、一个基架、一个下膜机构,以及一个贴膜机构,该下膜机构包括一个将该载框与黏贴有膜片的芯片分离的下膜单元,而该贴膜机构包括一个可将新的膜片黏贴在该载板上的贴膜单元;其特征在于: 该基架包括一个下膜区域、一个贴膜区域,以及一个可让所述载框进出的载送区域,而该下膜机构位在该基架的下膜区域内,该贴膜机构位在该基架的贴膜区域内;又该下膜机还包含一个输送机构,该输送机构包括一个将装载有芯片的载板送到该下膜机构进行下膜作业的进料单元、一个将卸除芯片及膜片的载板移送到该贴膜机构进行贴膜作业的移送单元,以及一个将贴膜后的载板移送到所述载框的其中之一上并将所述载框移离该载送区域的出料单元。
2.根据权利要求1所述的下膜机,其特征在于:该基架的载送区域具有一个让装载有芯片的载框进入的进框轨道,而该进料单元具有一个具有一个第一升降台的第一升降座,以及一个沿着一个进框路径将位于该进框轨道上的载框推送到该第一升降台的第一移送座。
3.根据权利要求2所述的下膜机,其特征在于:该移送单元具有一个沿着一个下膜路径将承载有芯片及膜片的载板移送到该下膜机构的第二移送座、一个沿着一个贴膜路径将下膜后的载板移送到该贴膜机构的第三移送座,以及一个沿着一个出料路径将贴膜后的载板移送到所述载框的其中之一上的第四移送座。
4.根据权利要求3所述的下膜机,其特征在于:该基架的载送区域还具有一个与该进框轨道上下平行的出框轨道,而该出料单元具有一个第二升降座,该第二升降座具有一个可沿着一个下降路径将装载有重新贴有膜片的载板的载框下移的第二升降台,而该出料单元还具有一个沿着一个平移路径将装满载板的载框移送到该出框轨道的第五移送座,以及一个沿着一个出框路径将位于该出框轨道上的载框移离的第六移送座。
5.根据权利要求4所述的下膜机,其特征在于:该基架的载送区域还具有一个备框轨道,而该输送机构还包括一个可以将卸除载板后的载框移送到该备框轨道的备框单元。
6.根据权利要求5所述的下膜机,其特征在于:该备框单元具有一个将空的载框移送到该备框轨道的第七移送座、一个将位于该备框轨道上的载框往一个储框路径移送的第八移送座,以及一个将所述载框移送到该第二升降台的第九移送座。
7.根据权利要求1所述的下膜机,其特征在于:该基架的载送区域具有一个备框轨道,而该输送机构还包括一个可以将卸除载板后的载框移送到该备框轨道的备框单元。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的下膜机,其特征在于:该贴膜机构还包括一个具有一个膜卷的供膜单元,以及一个将该供膜单元的膜卷裁切成膜片的切膜单元,所述贴膜单元将裁切后的膜片贴设在载板上。
9.根据权利要求8所述的下膜机,其特征在于:该下膜机构还包括一个用来承接下膜后的芯片及膜片的芯片载盘。
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CN112318999A (zh) * 2020-10-29 2021-02-05 黑龙江工业学院 一种英语字母卡片制作装置

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