CN203695527U - 一种用于光罩盒的除尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于光罩盒的除尘装置，至少包括：设有开口和通槽的外罩；位于所述外罩底部的支撑柱；上表面固定有粘性垫并套设在所述支撑柱上的基板；所述支撑柱位于所述基板下方部分穿套有弹性部件；所述基板、支撑柱、弹性部件及粘性垫置于所述外罩内；所述外罩的开口垂直投影于所述粘性垫上；穿过所述通槽与所述基板连接的开合器在所述通槽中上下移动；所述光罩盒底座嵌入所述外罩开口并接触于所述粘性垫表面；所述光罩盒卡口宽度大于所述开口宽度；所述基板上下移动的距离大于等于所述光罩盒上下移动的距离。所述装置在粘性垫作用下可去除光罩盒底部的微粒，使所述光罩盒在进入机台的运行过程中不污染光罩，能有效提高光罩制程的良率。

Description

一种用于光罩盒的除尘装置

技术领域

本实用新型涉及一种半导体制备领域，特别是涉及一种用于光罩盒的除尘装置。

背景技术

在半导体制程工艺中，为了使光掩膜在制程中不被污染，通常将用于转移图案的光掩膜放置于一种盒式装置中，这种盒式装置称为光罩盒。现有技术的光罩盒是封闭的装置。为了节省存放空间，在无尘室中众多光罩盒是以一种层叠的形式摞在一起来存放。当制程需要时，将光罩盒及其内部的光掩膜一同放入机台设备中，处于机台中的光罩盒在机台的控制下被打开，其内部的光掩膜被机台自动取出运行。

而现有技术中，众多所述光罩盒往往由于不断的来回被搬取，其底部长期会积累或沾有污染物或微粒，这些微粒或污染物粘在光罩盒底部连同光掩膜一起放入机台运行的过程中，将会进一步污染光掩膜，被污染过的光掩膜在后续制程工艺中会造成产品合格率的下降。目前由于上述问题导致的半导体制程良率的下降还没有较有效的解决办法。因此有必要提出一种用于光罩盒的除尘装置。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于光罩盒的除尘装置，用于解决现有技术中由于光罩盒底部的污染物或微粒在光掩膜制作过程中给所述光掩膜带来污染以及进一步影响半导体制程良率的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于光罩盒的除尘装置，所述用于光罩盒的除尘装置至少包括：

上表面设有开口且侧壁设有至少一个通槽的外罩；

位于所述外罩底部的至少三个支撑柱；

上表面固定有粘性垫并套设在所述支撑柱上上下滑动的基板；

所述支撑柱位于所述基板下方部分穿套有弹性部件；

所述基板、支撑柱、弹性部件及粘性垫均置于所述外罩内部；

所述外罩上表面的开口的垂直投影位于所述粘性垫上表面；

穿过所述通槽并伸出所述外罩并与所述基板连接的开合器；所述开合器在所述通槽中上下移动；

卡持于所述开口的光罩盒；所述光罩盒具有底座及位于底座上方的卡口，其底座嵌入所述外罩的开口并与所述粘性垫表面接触；所述卡口纵截面的宽度大于所述开口纵截面的宽度；所述基板上下移动的距离大于等于所述光罩盒上下移动的距离。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述支撑柱围绕所述基板中心呈均匀分布。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述支撑柱为四个。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述粘性垫的材料为防静电胶带。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述穿套于所述支撑柱的弹性部件底部固定于所述支撑柱底部。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述支撑柱底部固定于所述外罩底部。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述外罩的开口垂直投影位于所述粘性垫表面的中部。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述弹性部件为弹簧，所述弹簧的自由长度均相等。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述弹性部件的弹性系数均相等。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述通槽及穿过该通槽的开合器分别有两个。

作为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的一种优选方案，所述两个通槽关于所述外罩中心呈对称分布。

如上所述，本实用新型的用于光罩盒的除尘装置，具有以下有益效果：通过将内部放置有光掩膜的光罩盒置于一种除尘装置中，并将所述光罩盒底部的微粒或污染物粘连在所述粘性垫上表面，可以有效地去除所述光罩盒底面的微粒以及污染物，可有效提高半导体产品的制程良率。

附图说明

图1为本实用新型的用于光罩盒的除尘装置剖面结构示意图。

图2为本实用新型的装置外罩包含通槽部分的剖面示意图。

图3为图1去掉光罩盒的剖面示意图。

元件标号说明

10    基板

11    支撑柱

12    粘性垫

13    弹簧

14    外罩

15    开合器

16    光罩盒

17    通槽

18    开口

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1～图2。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

如图1所示，表示的是本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的剖面示意图，所述外罩14的上表面设有开口，且其侧壁设有至少一个通槽，本实施例中，所述外罩14侧壁的通槽为两个，且该两个通槽关于所述外罩的中心呈对称分布。

如图1所示，位于所述外罩14内的底部设有支撑柱11，所述支撑柱11的个数至少有三个，所述支撑柱11的作用是平稳地支撑所述基板10，因此，本实施例中优选地将所述支撑柱的个数设为四个。并且所述四个支撑柱的分布为围绕所述基板的中心呈均匀分布。在所述四个支撑柱上套设的基板10其上表面固定有粘性垫12，所述粘性垫12具有粘连微小颗粒的作用，本实施例中，所述粘性垫12的材料为防静电的胶带。如果将所述光罩盒放置于其上表面，在将所述光罩盒拿走时，所述光罩盒底部的微粒会被粘走，所述粘性垫对所述光罩盒起到洁净除尘的作用。所述基板虽然是套设在所述支撑柱上，但其可以沿着所述支撑柱上下滑动。作为本实用新型的一种优选方案，将所述支撑柱11的下端固定在所述外罩14的底部。

本实施例的目的是为了使得所述支撑柱既可以支撑所述基板，又可以使得所述基板沿着所述支撑柱上下滑动，为了达到这两个目的，在所述支撑柱位于所述基板的下方部分穿套具有弹性的部件，即称之为弹性部件，本实施例中，所述弹性部件为弹簧13。为了使得所述弹簧13的能够平稳的支撑所述基板，因此，本实施例中分别穿套在所述四个支撑柱上的每个弹簧的自由长度均相等，同时所述四个弹簧的弹性系数均相等。

为了使得所述基板能够较平稳的沿所述支撑柱上下滑动，因此，本实施例中将所述四个支撑柱的下端同时固定在所述外罩内的底部；同时，由于所述弹簧13的作用是支撑所述基板并可以在所述支撑柱上自由滑动，作为本实用新型的一种优选方案，所述弹簧的底端固定于所述支撑柱的底端，使其上端部分沿着所述支撑柱伸缩。

所述外罩14的作用是存放和保护所述基板、支撑柱、弹性部件以及粘性垫，因此，本实施例中，所述基板、支撑柱、弹性部件以及粘性垫均置于所述外罩14的内部；所述外罩14的上表面具有开口，图3表示的是图1去掉所述光罩盒的剖面示意图，所述外罩上表面开口18的作用是将所述光罩盒嵌入所述开口18，并使得所述光罩盒能够用所述粘性垫将其底部的微粒以及污染物粘连，因此所述光罩盒的底部必须与所述粘性垫接触，因此，本实施例中，所述外罩14的上表面开口18的垂直投影位于所述粘性垫的上表面。同时，作为本实施例的一种优选方案，所述外罩14的上表面的开口18位于所述粘性垫表面的中部位置。

为使所述基板在外力的作用下上下移动，因此，所述外罩14的侧壁具有至少一个通槽17，穿过所述通槽17并伸出所述外罩14的开合器15与所述基板连接，如图2所示，表示的是本实用新型的装置外罩包含通槽部分的剖面示意图，如图2所示，伸出所述装置外罩14侧壁的开合器15穿过所述通槽17，所述开合器15在外力的作用下在所述通槽17中上下移动，同时，带动所述基板压缩所述弹簧，使得所述基板实现上下移动。本实施例中，由于所述通槽17的个数有两个，并且所述两个通槽关于所述外罩的中心呈对称分布。因此与所述通槽对应的开合器的个数亦有两个。

本实用新型的用于光罩盒的除尘装置的作用是将所述光罩盒通过所述装置外罩14的开口放置于所述粘性垫12的上表面，当需要将所述光罩盒拿走时，所述光罩盒需要与所述粘性垫脱离，因此所述基板需要向下移动，这就需要作用外力在所述开合器上，比如，通过人工作用所述开合器，再通过所述开合器压缩弹簧来实现该目的。而在这个过程中，所述光罩盒脱离了所述粘性垫以后，还会停留所述外罩的开口处的位置，不会随着所述粘性垫一起下降而最终粘在一起，因此，要想最终脱离所述粘性垫，必须使所述光罩盒最终卡在所述外罩的开口处。因此，本实施例中，所述光罩盒卡口纵截面的宽度小于所述外罩开口的纵截面的宽度，即图1中的装置剖面图亦即该装置的纵截面图，L1表示的是所述光罩盒卡口纵截面的宽度，图3中，L2表示的是所述外罩的开口纵截面的宽度；所述光罩盒的底座嵌入所述外罩开口并与所述粘性垫的表面接触。以上两个条件的限制使得所述光罩盒卡持于所述外罩的开口处，这使得所述光罩盒不能从所述外罩的开口处落入所述外罩内部。同时在外力作用下的开合器使得所述基板与所述光罩盒能够实现脱离的条件为：所述基板上下移动的距离要大于或等于所述光罩盒上下移动的距离。作为本实用新型的一种优选方案，为了达到较为理想的脱离效果，所述基板上下移动的距离大于所述光罩盒上下移动的距离。

当所述光罩盒连同置于其内部的光掩膜一起存储时，将所述光罩盒通过嵌入所述用于光罩盒的除尘装置的外罩上表面开口处并置于所述粘性垫上；当所述光罩盒和其内部的光掩膜需要放入机台运行时，对位于所述装置外罩侧壁的开合器施加外力，在外力作用下，所述开合器将作用于与其连接的基板，由于所述弹簧通过所述支撑柱支撑所述基板，在外力的作用下，所述基板向下运行，所述弹簧被压缩，位于所述基板上表面的粘性垫会跟随所述基板一起向下运动。又由于所述光罩盒卡持于所述外罩的开口处，并且所述基板上下移动的距离大于所述光罩上下移动的距离。因此，当所述粘性垫向下运动的过程中，所述光罩盒与所述粘性垫脱离，在弹簧尚未恢复至原状的情况下，由人工将所述与粘性垫脱离的光罩盒拿走。因此，与所述粘性垫接触后的所述光罩盒底部被除尘。所述光罩盒底部的微粒以及污染物被所述粘性垫带走。因此所述光罩盒在被送入机台中运行的过程中，将会大大减少污染物以及微粒来污染所述光掩膜，进而不会影响所述光掩膜的正常生产，亦大大提高了光掩膜产品的生产的良品率。

综上所述，本实用新型用于光罩的除尘装置，通过将内部放置有光掩膜的光罩盒放入用于光罩的所述除尘装置中，并将所述光罩盒底部的微粒或污染物粘在所述粘性垫上表面，可以有效地去除所述光罩盒底面的微粒以及污染物，可有效提高半导体产品的制程良率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (11)

1.一种用于光罩盒的除尘装置，其特征在于，所述用于光罩盒的除尘装置至少包括：

上表面设有开口且侧壁设有至少一个通槽的外罩；

位于所述外罩底部的至少三个支撑柱；

上表面固定有粘性垫并套设在所述支撑柱上上下滑动的基板；

所述支撑柱位于所述基板下方部分穿套有弹性部件；

所述基板、支撑柱、弹性部件及粘性垫均置于所述外罩内部；

所述外罩上表面的开口的垂直投影位于所述粘性垫上表面；

穿过所述通槽并伸出所述外罩并与所述基板连接的开合器；所述开合器在所述通槽中上下移动；

卡持于所述开口的光罩盒；所述光罩盒具有底座及位于底座上方的卡口，其底座嵌入所述外罩的开口并与所述粘性垫表面接触；所述卡口纵截面的宽度大于所述开口纵截面的宽度；所述基板上下移动的距离大于等于所述光罩盒上下移动的距离。

2.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述支撑柱围绕所述基板中心呈均匀分布。

3.根据权利要求2所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述支撑柱为四个。

4.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述粘性垫的材料为防静电胶带。

5.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述穿套于所述支撑柱的弹性部件底部固定于所述支撑柱底部。

6.根据权利要求1或5所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述支撑柱底部固定于所述外罩底部。

7.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述外罩的开口垂直投影位于所述粘性垫表面的中部。

8.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述弹性部件为弹簧，所述弹簧的自由长度均相等。

9.根据权利要求8所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述弹簧的弹性系数均相等。

10.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述通槽及穿过该通槽的开合器有两个。

11.根据权利要求10所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述两个通槽关于所述外罩中心呈对称分布。