CN203431481U - 高纯气体汇流充装排 - Google Patents

高纯气体汇流充装排 Download PDF

Info

Publication number
CN203431481U
CN203431481U CN201320424476.9U CN201320424476U CN203431481U CN 203431481 U CN203431481 U CN 203431481U CN 201320424476 U CN201320424476 U CN 201320424476U CN 203431481 U CN203431481 U CN 203431481U
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
waste liquid
purity
purity gas
nitrogen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201320424476.9U
Other languages
English (en)
Inventor
缪贯通
缪嘉通
宋兆德
吴琼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ARKONIC CRYSTAL SILICON (WUHU) Co Ltd
Original Assignee
ARKONIC CRYSTAL SILICON (WUHU) Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ARKONIC CRYSTAL SILICON (WUHU) Co Ltd filed Critical ARKONIC CRYSTAL SILICON (WUHU) Co Ltd
Priority to CN201320424476.9U priority Critical patent/CN203431481U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203431481U publication Critical patent/CN203431481U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本实用新型公开了一种高纯气体汇流充装排,包括环流管路、氮气阀门、排气阀门、接口阀门、废液罐、废液阀门;所述氮气阀门一端连接高纯氮气,另一端连通所述环流管路;所述排气阀门一端连接所述废液罐,另一端连通所述环流管路;所述接口阀门用于连接高纯气源或钢瓶;所述废液阀门串联在所述废液罐和所述排气阀门之间。本实用新型所提供的高纯气体汇流充装排,能够在一套设备上完成高纯氮气进行高纯吹扫,然后再将瓶中废液压入废液罐中,再进行高纯气体的充装等工作,从而提高了工作效率,并节省了设备成本。

Description

高纯气体汇流充装排技术领域
[0001] 本实用新型涉及高压高纯气体生产技术领域,具体涉及一种高纯气体汇流充装排。
背景技术
[0002] 高纯气体在充装时通常首先需要将瓶中废液压入废液罐中,然后再使用高纯氮气进行高纯吹扫,再进行高纯气体的充装。因此高纯气体冲装需要多个工序才能完成,不仅设备成本高,而且用于盛装高纯气体的钢瓶在不同设备间的运转也费时费力。
发明内容
[0003] 本实用新型的目的在于提供一种高纯气体汇流充装排,能够在一套设备上完成将瓶中废液压入废液罐中,然后再用高纯氮气进行高纯吹扫,再进行高纯气体的充装等工作,从而提高了工作效率,并节省了设备成本。
[0004] 为了实现上述目的,本实用新型提出的技术方案是:
[0005] 一种高纯气体汇流充装排,包括环流管路、氮气阀门、排气阀门、接口阀门、废液罐、废液阀门;所述氮气阀门一端连接高纯氮气,另一端连通所述环流管路;所述排气阀门一端连接所述废液罐,另一端连通所述环流管路;所述接口阀门用于连接高纯气源或钢瓶;所述废液阀门串联在所述废液罐和所述排气阀门之间。
[0006] 作为本实用新型进一步改进的高纯气体汇流充装排,还包括真空泵、吸收池,所述真空泵一端连接所述排气阀门,另一端连接所述吸收池,且所述真空泵与所述废液阀门并联。·
[0007] 作为本实用新型进一步改进的高纯气体汇流充装排,还包括废气阀门,所述废气阀门与所述真空泵、所述废液阀门并联,且所述废液阀门一端连接所述排气阀门,另一端连接所述吸收池。
[0008] 本实用新型所提供的高纯气体汇流充装排,能够在一套设备上完成将瓶中废液压入废液罐中,然后再用高纯氮气进行高纯吹扫,再进行高纯气体的充装等工作,从而提高了工作效率,并节省了设备成本。
附图说明
[0009] 图1,高纯气体汇流充装排结构示意图。
[0010] I为氮气阀门,2为排气阀门,3为环流管路,4为接口阀门,5为真空泵,6为废液阀门,7为废气阀门,8为吸收池,9为废液罐。
具体实施方式
[0011] 为了加深对本实用新型的理解,下面将结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细描述,该实施例仅用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型保护范围的限定。[0012] 如图1所示,本实施例提供的高纯气体汇流充装排,包括环流管路3、氮气阀门1、排气阀门2、接口阀门4、废液罐9、废液阀门6 ;所述氮气阀门I 一端连接高纯氮气,另一端连通所述环流管路3 ;所述排气阀门2 —端连接所述废液罐9,另一端连通所述环流管路3 ;所述接口阀门4用于连接高纯气源或钢瓶;所述废液阀门6串联在所述废液罐9和所述排气阀门2之间。进一步改进的高纯气体汇流充装排,还包括真空泵5、吸收池8,所述真空泵5 一端连接所述排气阀门2,另一端连接所述吸收池8,且所述真空泵5与所述废液阀门6并联。进一步改进的高纯气体汇流充装排,还包括废气阀门7,所述废气阀门7与所述真空泵
5、所述废液阀门6并联,且所述废液阀门6 —端连接所述排气阀门2,另一端连接所述吸收池8。
[0013] 首先关闭所有的阀门,将钢瓶接入所述环流管路3并打开接入钢瓶的接口阀门4,再打开排气阀门2、废液阀门6,使钢瓶内的废液排入到废液罐9中;然后关闭废液阀门6,打开氮气阀门1、废气阀门7即可进行高纯氮气吹扫作业;再关闭废气阀门7,打开真空泵5,抽净环流管路3及钢瓶内的氮气;关闭排气阀门2,选择一个未接入钢瓶的接口阀门4接入高纯气体并打开相应接口阀门4,从而进行高纯气体的充装。

Claims (3)

1.一种高纯气体汇流充装排,其特征在于:包括环流管路(3)、氮气阀门(I)、排气阀门(2)、接口阀门(4)、废液罐(9)、废液阀门(6);所述氮气阀门(I) 一端连接高纯氮气,另一端连通所述环流管路(3);所述排气阀门(2)—端连接所述废液罐(9),另一端连通所述环流管路(3);所述接口阀门(4)用于连接高纯气源或钢瓶;所述废液阀门(6)串联在所述废液罐(9 )和所述排气阀门⑵之间。
2.根据权利要求1所述的高纯气体汇流充装排,其特征在于:还包括真空泵(5)、吸收池(8),所述真空泵(5) —端连接所述排气阀门(2),另一端连接所述吸收池(8),且所述真空泵(5)与所述废液阀门(6)并联。
3.根据权利要求2所述的高纯气体汇流充装排,其特征在于:还包括废气阀门(7),所述废气阀门(7)与所述真空泵(5)、所述废液阀门(6)并联,且所述废液阀门(6)—端连接所述排气阀门(2 ),另一端连接所述吸收池(8 )。
CN201320424476.9U 2013-07-17 2013-07-17 高纯气体汇流充装排 Expired - Fee Related CN203431481U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201320424476.9U CN203431481U (zh) 2013-07-17 2013-07-17 高纯气体汇流充装排

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201320424476.9U CN203431481U (zh) 2013-07-17 2013-07-17 高纯气体汇流充装排

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203431481U true CN203431481U (zh) 2014-02-12

Family

ID=50060518

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201320424476.9U Expired - Fee Related CN203431481U (zh) 2013-07-17 2013-07-17 高纯气体汇流充装排

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203431481U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203431481U (zh) 高纯气体汇流充装排
CN202017666U (zh) 一种气体增压装置
CN203963503U (zh) 一种泄漏测试中的高压氦回收循环利用装置
CN203230399U (zh) 油田用可移动组合式多功能加药装置
CN204732470U (zh) 加酸机回酸装置
CN202674829U (zh) 抽真空装置
CN206250276U (zh) 一种锂电池注液机电解液回收装置
CN201884930U (zh) 高压蒸汽管路疏水回收装置
CN201916259U (zh) 一种塑胶生产储水池用抽水装置
CN204210010U (zh) 液压机油箱水冷式散热装置
CN205135732U (zh) 一种汽轮机用侧部涡壳进汽式低压内缸
CN204175562U (zh) 一种用于往复压缩机的贯穿式气缸
CN204705455U (zh) 一种用于单管试压的工装结构
CN203409587U (zh) 一种外置油槽装置
CN203940232U (zh) 通信电源气路系统
CN203591637U (zh) 一种新型过滤器排气装置
CN204150267U (zh) 一种真空抽气管的结构
CN104868089A (zh) 加酸机回酸装置
CN202423407U (zh) 方形铝壳电池封口机
CN203099316U (zh) 化工厂供气系统
CN203384343U (zh) 用于磨用大型行星减速机排气口处的排气管道
CN202955219U (zh) 一种水压储水设备
CN210461036U (zh) 一种硝铵熔融液输送泵机封水闭路循环系统
CN202823110U (zh) 一种抽灌过程中的盐酸尾气的回收装置
CN201666287U (zh) 液压站渗漏油回收装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
EXPY Termination of patent right or utility model
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20140212

Termination date: 20150717