CN202658227U - 一种在cvd设备中检测基板破片的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种在CVD设备中检测基板破片的装置，包括装载腔室，装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置。本实用新型一种在CVD设备中检测基板破片的装置，通过在装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置，通过CCD镜头装置实时拍摄通过装载腔室入口的基板，从CCD镜头装置实时拍摄的图片可以直观的判断基板上是否有裂纹和破损；避免破损的基板进入CVD设备，损坏设备，影响生产。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及一种在CVD设备中检测基板破片的装置。
【背景技术】
在基板进入CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)设备之前，设备只能判断基板是否有破碎，但是不能判断基板上位于边角处的破损和基板上的裂纹；出现裂纹和破角的玻璃基板会在设备内破裂，损坏设备，影响生产。
【实用新型内容】
本实用新型的目的是提供一种在CVD设备中检测基板破片的装置，以解决上述技术问题。
为达到以上目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种在CVD设备中检测基板破片的装置，包括装载腔室，装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置。
本实用新型进一步的改进在于：所述若干CCD镜头装置排列成一排。
本实用新型进一步的改进在于：所述CCD镜头装置设置于入口上方10cm。
本实用新型进一步的改进在于：入口下方设置有LED光源。
本实用新型进一步的改进在于：所述CCD镜头装置还连接有显示装置。
与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：本实用新型一种在CVD设备中检测基板破片的装置，通过在装载腔室的入口的上方设有CCD镜头装置，通过CCD镜头装置实时拍摄通过装载腔室入口的基板，从CCD镜头装置实时拍摄的图片可以直观的判断基板上是否有裂纹和破损；避免破损的基板进入CVD设备，损坏设备，影响生产。
【附图说明】
图1为实用新型一种在CVD设备中检测基板破片的装置的结构示意图；
图2为图1的侧面图；
其中：1为CVD设备的装载腔室；2为装载腔室的入口；3为CCD镜头装置；4为LED光源。
【具体实施方式】
下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述。
请参阅图1及图2所示，本实用新型一种在CVD设备中检测基板破片的装置，包括CVD设备的装载腔室1，CVD设备的装载腔室1的装载腔室的入口2上方10cm处装一排CCD镜头装置3；入口2下设置有LED光源4。CCD镜头装置3设置于基板短边处。当基板经过入口2进入装卸腔室1时，LED光源4发光照射基板便于CCD镜头装置3拍摄，CCD镜头装置3会将整个基板拍摄下图片，通过显示装置实时显示CCD镜头装置3拍摄下的图片，根据拍摄的图片判断基板上是否有裂纹和破损；如果图片上发现基板有破损或裂纹，立即发生报警，停止生产。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，包括装载腔室(1)，装载腔室(1)的入口(2)的上方设有若干CCD镜头装置(3)。
2.根据权利要求1所述的一种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，所述若干CCD镜头装置(3)排列成一排。
3.根据权利要求1所述的一种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，所述CCD镜头装置(3)设置于入口(2)上方10cm。
4.根据权利要求1所述的一种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，入口(2)下方设置有LED光源(4)。
5.根据权利要求1所述的一种在CVD设备中检测基板破片的装置，其特征在于，所述CCD镜头装置(3)还连接有显示装置。
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| CN 201220169285 CN202658227U (zh) | 2012-04-19 | 2012-04-19 | 一种在cvd设备中检测基板破片的装置 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106405895A (zh) * | 2016-11-25 | 2017-02-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一次点灯破片检测装置及其使用方法 |
| WO2019205350A1 (zh) * | 2018-04-24 | 2019-10-31 | 君泰创新（北京）科技有限公司 | 双面镀膜设备及其载板检测单元 |
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2012
- 2012-04-19 CN CN 201220169285 patent/CN202658227U/zh not_active Expired - Fee Related
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