CN202449984U - 坩埚成型模具 - Google Patents
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Abstract
坩埚成型模具,涉及一种模具,包括模具(3)本体,在模具(3)的内凹陷(2)底部和四壁均匀设有复数个贯通至外表面的孔,所述孔内填充耐高温陶瓷纤维(4);设置在模具(3)的内凹陷(2)底部和四壁孔的直径为内大外小;本实用新型通过在模具上设置孔,由耐高温陶瓷纤维填充在孔内,本实用新型不但解决因扬撒石英砂造成的污染,又在不破坏模具整体性能的情况下,提高模具热传导率,增加使用时间,降低生产成本。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及一种模具,尤其是涉及一种坩埚成型模具。
【背景技术】
公知的,石英坩埚作为拉制大直径单晶硅是一种必不可少的设备之一,目前的石英坩埚在1450度以下使用,大致分为透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
目前在生产石英坩埚过程中,所采用的工艺步骤是,将模具固定并使模具旋转,然后将石英粉附着到旋转的模具内壁以及模具的底表面,通过电弧加热使所述石英粉融化形成石英坩埚,由于考虑成型模具的保护问题,通常在上料前会在模具内侧扬撒一层石英砂,由石英砂来实现降低模具接触温度,延长模具使用寿命,但是扬撒石英砂过程中会出现扬尘,使得操作工人容易患肺尘病。
【发明内容】
为了克服背景技术中的不足,本实用新型公开了一种坩埚成型模具,通过在模具上设置孔,由耐高温陶瓷纤维填充在孔内;本实用新型有效地克服了现有技术因扬撒石英砂造成污染的问题。
实现本实用新型的技术方案如下:
一种坩埚成型模具,包括模具本体,在模具的内凹陷底部和四壁均匀设有复数个贯通至外表面的孔,所述孔内填充耐高温陶瓷纤维。
所述的坩埚成型模具,设置在模具的内凹陷底部和四壁孔的直径为内大外小。
所述的坩埚成型模具,所述孔为圆形或多角形。
通过上述公开内容,本实用新型的有益效果是:
本实用新型所述的坩埚成型模具,通过在模具上设置孔,由耐高温陶瓷纤维填充在孔内,本实用新型不但解决因扬撒石英砂造成的污染,又在不破坏模具整体性能的情况下,提高模具热传导率,增加使用时间,降低生产成本。
【附图说明】
图1是本实用新型的立体结构示意图;
图中:1、坩埚;2、内凹陷;3、模具;4、耐高温陶瓷纤维。
【具体实施方式】
结合实施例对本实用新型进行进一步的说明;下面的实施例并不是对于本实用新型的限定,而是仅作为支持实现本实用新型的方式,在本实用新型所公开的技术框架内的任意等同结构替换,均为本实用新型的保护范围;
结合附图1所述的坩埚成型模具,包括模具3本体,在模具3的内凹陷2底部和四壁均匀设有复数个贯通至外表面内大外小的孔,所述孔内填充耐高温陶瓷纤维4。
实施本实用新型所述的坩埚成型模具,通过在模具3上设置复数个1-2mm的孔,由耐高温陶瓷纤维4填充在所述孔内,在生产坩埚1较为洁净,解决了因扬撒石英砂造成的污染问题,且不会破坏模具的整体性能,本实用新型模具热传导率也得到了有效地保证,模具的使用时间得到增加。
本实用新型未详述部分为现有技术。
Claims (3)
1.一种坩埚成型模具,包括模具(3)本体,其特征是:在模具(3)的内凹陷(2)底部和四壁均匀设有复数个贯通至外表面的孔,所述孔内填充耐高温陶瓷纤维(4)。
2.根据权利要求1所述的坩埚成型模具,其特征是:设置在模具(3)的内凹陷(2)底部和四壁孔的直径为内大外小。
3.根据权利要求1或2所述的坩埚成型模具,其特征是:所述孔为圆形或多角形。
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