CN202449984U - 坩埚成型模具 - Google Patents
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Abstract
坩埚成型模具，涉及一种模具，包括模具(3)本体，在模具(3)的内凹陷(2)底部和四壁均匀设有复数个贯通至外表面的孔，所述孔内填充耐高温陶瓷纤维(4)；设置在模具(3)的内凹陷(2)底部和四壁孔的直径为内大外小；本实用新型通过在模具上设置孔，由耐高温陶瓷纤维填充在孔内，本实用新型不但解决因扬撒石英砂造成的污染，又在不破坏模具整体性能的情况下，提高模具热传导率，增加使用时间，降低生产成本。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及一种模具，尤其是涉及一种坩埚成型模具。
【背景技术】
公知的，石英坩埚作为拉制大直径单晶硅是一种必不可少的设备之一，目前的石英坩埚在1450度以下使用，大致分为透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
目前在生产石英坩埚过程中，所采用的工艺步骤是，将模具固定并使模具旋转，然后将石英粉附着到旋转的模具内壁以及模具的底表面，通过电弧加热使所述石英粉融化形成石英坩埚，由于考虑成型模具的保护问题，通常在上料前会在模具内侧扬撒一层石英砂，由石英砂来实现降低模具接触温度，延长模具使用寿命，但是扬撒石英砂过程中会出现扬尘，使得操作工人容易患肺尘病。
【发明内容】
为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种坩埚成型模具，通过在模具上设置孔，由耐高温陶瓷纤维填充在孔内；本实用新型有效地克服了现有技术因扬撒石英砂造成污染的问题。
实现本实用新型的技术方案如下：
一种坩埚成型模具，包括模具本体，在模具的内凹陷底部和四壁均匀设有复数个贯通至外表面的孔，所述孔内填充耐高温陶瓷纤维。
所述的坩埚成型模具，设置在模具的内凹陷底部和四壁孔的直径为内大外小。
所述的坩埚成型模具，所述孔为圆形或多角形。
通过上述公开内容，本实用新型的有益效果是：
本实用新型所述的坩埚成型模具，通过在模具上设置孔，由耐高温陶瓷纤维填充在孔内，本实用新型不但解决因扬撒石英砂造成的污染，又在不破坏模具整体性能的情况下，提高模具热传导率，增加使用时间，降低生产成本。
【附图说明】
图1是本实用新型的立体结构示意图；
图中：1、坩埚；2、内凹陷；3、模具；4、耐高温陶瓷纤维。
【具体实施方式】
结合实施例对本实用新型进行进一步的说明；下面的实施例并不是对于本实用新型的限定，而是仅作为支持实现本实用新型的方式，在本实用新型所公开的技术框架内的任意等同结构替换，均为本实用新型的保护范围；
结合附图1所述的坩埚成型模具，包括模具3本体，在模具3的内凹陷2底部和四壁均匀设有复数个贯通至外表面内大外小的孔，所述孔内填充耐高温陶瓷纤维4。
实施本实用新型所述的坩埚成型模具，通过在模具3上设置复数个1-2mm的孔，由耐高温陶瓷纤维4填充在所述孔内，在生产坩埚1较为洁净，解决了因扬撒石英砂造成的污染问题，且不会破坏模具的整体性能，本实用新型模具热传导率也得到了有效地保证，模具的使用时间得到增加。
本实用新型未详述部分为现有技术。
Claims (3)
1.一种坩埚成型模具，包括模具(3)本体，其特征是：在模具(3)的内凹陷(2)底部和四壁均匀设有复数个贯通至外表面的孔，所述孔内填充耐高温陶瓷纤维(4)。
2.根据权利要求1所述的坩埚成型模具，其特征是：设置在模具(3)的内凹陷(2)底部和四壁孔的直径为内大外小。
3.根据权利要求1或2所述的坩埚成型模具，其特征是：所述孔为圆形或多角形。
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| CN 201120538292 CN202449984U (zh) | 2011-12-21 | 2011-12-21 | 坩埚成型模具 |
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Cited By (2)
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2011
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