CN202430345U - 一种坩埚系统水平调整装置 - Google Patents

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黄永明
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Abstract

本实用新型公开了一种坩埚系统水平调整装置，包括机架、调整块、坩埚底板，所述的机架上设有四个凹槽，四个调整块插入凹槽内，四个调整块上放置有坩埚底板通过螺栓固定在机架上。所述的调整块上下调节移动。本实用新型将坩埚底板放置在四个调整块上，通过调节调整块使坩埚底板处在一个水平状态，结构简单、调节方便，使用寿命长。

Description

一种坩埚系统水平调整装置
技术领域
本实用新型涉及一种调整装置，特别是一种坩埚系统水平调整装置。
背景技术
目前，在现有技术中的坩埚系统的坩埚底板大多数为不可调节移动，安装好的坩埚底板一旦出现倾斜就很难再次调节到水平状态，从而影响设备使用，降低生产效益。
发明内容
为解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种结构简单、调节方便的坩埚系统水平调整装置。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：
一种坩埚系统水平调整装置，包括机架、调整块、坩埚底板，所述的机架上设有四个凹槽，四个调整块插入凹槽内，四个调整块上放置有坩埚底板通过螺栓固定在机架上。
    作为优选，所述的调整块上下调节移动。
本实用新型将坩埚底板放置在四个调整块上，通过调节调整块使坩埚底板处在一个水平状态，结构简单、调节方便，使用寿命长。
附图说明
    图1为本实用新型的结构示意图。
    图2为图1的俯视图。
具体实施方式
如图1、2所示，一种坩埚系统水平调整装置，包括机架1、调整块2、坩埚底板3，所述的机架1上设有四个凹槽5，四个调整块2插入凹槽5内，四个调整块2上放置有坩埚底板3通过螺栓4固定在机架1上。所述的调整块2上下调节移动。本实用新型将坩埚底板放置在四个调整块上，通过调节调整块使坩埚底板处在一个水平状态，结构简单、调节方便，使用寿命长。

Claims (2)

1.一种坩埚系统水平调整装置，包括机架（1）、调整块（2）、坩埚底板（3），其特征在于，所述的机架（1）上设有四个凹槽（5），四个调整块（2）插入凹槽（5）内，四个调整块（2）上放置有坩埚底板（3）通过螺栓（4）固定在机架（1）上。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚系统水平调整装置，其特征在于，所述的调整块（2）上下调节移动。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110453291A (zh) * 2019-09-10 2019-11-15 北京北方华创微电子装备有限公司 生长炉用坩埚托盘及生长炉

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Termination date: 20121226