CN202423246U - 一种硅片传送装置 - Google Patents

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Abstract

一种硅片传送装置,包括网链传送机构、直行传输机构及中转传送机构,所述网链传送机构设置有传送履带和驱动所述传送履带运转的网链滚筒,其中,所述中转传送机构为与所述网链传送机构的传送履带的传送速度相同的皮带传送机构或滚轮传送机构,所述皮带传送机构和所述滚轮传送机构均具有与所述传送履带位于同一水平面的用于传送硅片的传送面。本实用新型可以完全解决硅片传送过程中因受力过大而容易造成硅片碎裂或者隐裂的问题。

Description

一种硅片传送装置
技术领域
本实用新型涉及一种传送装置,特别是一种主要应用于晶体硅太阳能电池生产中的硅片传送装置。
背景技术
在晶体硅太阳能电池的工艺制程中,原始硅片(单晶或多晶)要经过若干道工序的处理,在整个工艺制程中,涉及单个硅片的传送机构,典型的如丝网印刷设备(例如应用材料Baccini产品),在硅片丝网印刷完毕后,硅片要传送至烧结炉进行处理。目前的硅片传送装置,包括网链传送机构、直行传输机构以及设置于所述网链传送机构和直行传送机构之间的中转传送机构。硅片从直行传送机构首先被运输至中转传送机构,然后再由中转传送机构转运到网链传送机构最终抵达下道加工工序。现有的中转传送机构是可以前后移动的金属机械手机构,金属机械手机构抓取硅片的周边,然后移动至指定位置,再把硅片放下。由于晶体硅太阳能电池片(硅片)的厚度很薄,只有200微米左右,当采用金属机械手抓取和放下的过程中,硅片有较大的受力和碰撞,很容易造成硅片的破碎或者隐裂,导致产品的报废,生产率也因此降低。
实用新型内容
鉴于现有技术存在的上述缺陷,本实用新型的目的在于提供一种硅片传送装置,该硅片传送装置采用软皮带或者滚轮的传送方式,解决了硅片传送过程中受力较大而容易出现碎片或者隐裂的问题。
为了实现上述目的,本实用新型的一种硅片传送装置,包括网链传送机构、直行传输机构以及设置于所述网链传送机构和直行传送机构之间的中转传送机构,所述网链传送机构设置有传送履带和驱动所述传送履带运转的网链滚筒,其中,
所述中转传送机构为与所述网链传送机构的传送履带的传送速度相同的皮带传送机构或滚轮传送机构,所述皮带传送机构和所述滚轮传送机构均具有与所述传送履带位于同一水平面的用于传送硅片的传送面。
作为优选,当所述中转传送机构为皮带传送机构时,所述网链滚筒的输出轴上设置有第一同步带轮;所述中转传送机构包括皮带传送单元、用于驱动皮带传送单元的转轴、用于支撑所述转轴的支座、用于安装所述皮带传送单元的传送支架和用于带动所述转轴的驱动皮带,所述转轴平行于所述网链滚筒设置并通过轴承分别与所述支座和传送支架转动连接,所述转轴上设有第二同步带轮,所述第一同步带轮通过驱动皮带与所述第二同步带轮连接并驱动所述第二同步带轮带动所述转轴转动;所述皮带传送单元包括驱动轴、设置于所述驱动轴上的传送带轮、设置于所述传送支架上的张紧轮和传送皮带,所述传送皮带分别连接所述传送带轮和所述张紧轮;所述转轴与所述驱动轴连接并带动所述驱动轴转动。
作为优选,所述传送支架包括底座及垂直于所述底座并相对设置的两个支撑板,两个所述支撑板的一侧分别设有相同数量且相互对称的多个所述张紧轮,所述传送带轮和所述张紧轮位于所述支撑板的同侧。
作为优选,所述支撑板一侧的所述张紧轮至少设置有两个且使所述传送皮带沿水平方向张紧。
作为优选,所述支撑板上设置有水平的滑槽,至少一个所述张紧轮水平可调的固定于所述滑槽内。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:首先硅片采用非抓取式的传送方式,完全解决了传送过程中因受力过大而容易造成硅片碎裂或者隐裂的问题;其次第一同步带轮和第二同步带轮的速比关系可调,保证传送皮带的运行速度与网链传送机构及直行传送机构的速度保持一致。
附图说明
图1为本实用新型的硅片传送装置的实施例一的俯视图。
图2为本实用新型的硅片传送装置的实施例二的局部立体结构示意图。
图3为本实用新型的硅片传送装置的实施例二的局部主视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的结构做进一步详细的说明。
如图1和图2所示,本实用新型提供的一种硅片传送装置,包括网链传送机构1、直行传输机构2以及设置于所述网链传送机构1和直行传送机构2之间的中转传送机构3,所述网链传送机构1设置有传送履带14和驱动所述传送履带14运转的网链滚筒11。中转传送机构3为与网链传送机构1的传送履带14的传送速度相同的皮带传送机构或滚轮传送机构,所述皮带传送机构和所述滚轮传送机构均具有与传送履带14位于同一水平面的用于传送硅片的传送面。
实施例一,本实施例中的中转传送机构3为皮带传送机构,参照本实用新型实施例二的图2所示,所述网链滚筒11的输出轴12上还设置有第一同步带轮13;皮带传送机构包括皮带传送单元、用于驱动皮带传送单元的转轴33、用于支撑所述转轴33的支座4、用于安装所述皮带传送单元的传送支架和用于带动所述转轴33的驱动皮带6,所述转轴33平行于所述网链滚筒11设置并通过轴承(图中未示出)分别与所述支座4和传送支架转动连接,所述转轴33上设有第二同步带轮38,所述第一同步带轮13通过驱动皮带6驱动第二同步带轮38带动所述转轴33转动;在本实施例中,所述皮带传送单元包括两组,以其中一组为例,所述皮带传送单元包括驱动轴333(另一组包括驱动轴334)、设置于所述驱动轴333上的传送带轮335(另一组为传送带轮336)、设置于所述传送支架上的张紧轮35和传送皮带36、传送皮带337(另一组为传送皮带338),其中所述传送皮带36和所述传送皮带337分别连接所述传送带轮335和所述张紧轮35。虽然在本实用新型中,所述转轴33通过一传动带轮331(另一组为传送带轮332)结合传送皮带337(另一组为传送皮带338)来带动驱动轴333或者驱动轴334进而驱动整个皮带传送机构,但很明显,所述转轴33与所述驱动轴333齿轮连接也可以实现这一目的。
本实用新型的整个硅片传送装置在实际运行时,网链传送机构1运转的同时,第一同步带轮13通过驱动皮带6带动第二同步带轮38转动,进而第二同步带轮38带动转轴33旋转,转轴33再驱动整个皮带传送单元运转。硅片5从直行传送机构2被输送到中转传送机构3即皮带传送机构上之后,传送皮带36再将其运送到网链传送机构1的传送履带14上。
实施例二,在本实施例中,作为优选,如图2和图3所示,所述皮带传送机构仅设有一组,此时所述转轴33为驱动轴,即不必设置驱动轴333和驱动轴334,而只需要通过转轴33通过带动传送带轮34驱动传送皮带36来传输硅片。所述传送皮带36连接张紧轮35和传送带轮34。
进一步地,作为优选,如图2所示,所述传送支架包括底座31及垂直于所述底座31并相对设置的两个支撑板32,两个所述支撑板32的一侧分别设有相同数量且相互对称的多个所述张紧轮35,所述传送带轮34和所述张紧轮35位于所述支撑板32的同侧。借助两个支撑板32的支撑,两道所述传送皮带36可以并行的将硅片5稳定传送至网链传送机构1。两根传送皮带36之间的距离可以根据硅片5的大小进行确定,通常为8-10cm。
传送皮带36在行进中通过摩擦力使硅片5得以传送,传送皮带36的张紧到水平的程度直接关系到硅片5是否能顺利稳定的被传送。因此作为优选,如图3所示,所述支撑板32一侧的所述张紧轮35至少设置有两个且使所述传送皮带36沿水平方向张紧成一直线。
再进一步地,为了适应网链传送机构1和直行传送机构2之间不同的宽度缝隙,通常本实用新型中的中转传送机构3的传送皮带36的数量或者大小需要进行调整,这可以通过调整张紧轮35的位置来实现传送皮带36始终保持张紧。具体可采用这样的结构实现,即在所述支撑板32上设置水平的滑槽37,进一步使至少一个所述张紧轮35水平可调的固定于所述滑槽37内。这样当传送皮带36的周长发生变化时,可以通过水平调整所述张紧轮35来使传送皮带36保持张紧,保证硅片5的顺利传送。
以上本实施例二中列举的支撑板32、张紧轮35及滑槽37的设置也同样适用于本实用新型的实施例一。
当然,以上所述是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种硅片传送装置,包括网链传送机构、直行传输机构以及设置于所述网链传送机构和直行传送机构之间的中转传送机构,所述网链传送机构设置有传送履带和驱动所述传送履带运转的网链滚筒,其特征在于,所述中转传送机构为与所述网链传送机构的传送履带的传送速度相同的皮带传送机构或滚轮传送机构,所述皮带传送机构和所述滚轮传送机构均具有与所述传送履带位于同一水平面的用于传送硅片的传送面。
2.如权利要求1所述的硅片传送装置,其特征在于,当所述中转传送机构为皮带传送机构时,所述网链滚筒的输出轴上设置有第一同步带轮;
所述皮带传送机构包括皮带传送单元、用于驱动皮带传送单元的转轴、用于支撑所述转轴的支座和用于安装所述皮带传送单元的传送支架,所述转轴平行于所述网链滚筒设置并通过轴承分别与所述支座和传送支架转动连接,所述转轴上设有第二同步带轮,所述第一同步带轮通过驱动皮带与所述第二同步带轮连接并驱动所述第二同步带轮带动所述转轴转动;所述皮带传送单元包括驱动轴、设置于所述驱动轴上的传送带轮、设置于所述传送支架上的张紧轮和传送皮带,所述传送皮带分别连接所述传送带轮和所述张紧轮;所述转轴与所述驱动轴连接并带动所述驱动轴转动。
3.如权利要求2所述的硅片传送装置,其特征在于,所述传送支架包括底座及垂直于所述底座并相对设置的两个支撑板,两个所述支撑板的一侧分别设有相同数量且相互对称的多个所述张紧轮,所述传送带轮和所述张紧轮位于所述支撑板的同侧。
4.如权利要求2所述的硅片传送装置,其特征在于,所述支撑板一侧的所述张紧轮至少设置有两个且使所述传送皮带沿水平方向张紧。
5.如权利要求2所述的硅片传送装置,其特征在于,所述支撑板上设置有水平的滑槽,至少一个所述张紧轮水平可调的固定于所述滑槽内。
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