CN202400854U - 一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚 - Google Patents

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李全旺
尹中荣
刘应宽
盛之林
刘振远
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Abstract

本实用新型公开了一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚,由坩埚外壳及位于其内的坩埚体组合构成,在两者之间夹置有隔水套;在坩埚体上套有螺旋槽水套,该螺旋槽水套紧夹置于坩埚体和隔水套之间。其冷却效率高,寿命长,易于更换和使用,是实现低成本、高品质的冶金物理法制备太阳能级多晶硅的有效设备。

Description

一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚
技术领域
本实用新型涉及一种坩埚,特别是涉及一种电子束提纯制取太阳能级多晶硅铸锭用的坩埚。
背景技术
在信息产业和光伏产业迅猛发展的背景下,太阳能级多晶硅供应严重短缺,这极大的限制了我国光伏产业进一步的发展。相较于改良西门子法等化学方法,采用冶金法制备太阳能级多晶硅具有成本低、环境友好等诸多优点,而利用电子束熔炼炉进行提纯是冶金法生产多晶硅的重要方法。
铸锭坩埚是电子束熔炼炉熔铸金属的重要部件,其工作条件恶劣,在工作中要承受2000℃多度的高温,要有足够的散热能力,保证坩埚不被烧坏,同时要有足够的机械强度,不易破裂与粘埚。
另现有铸锭坩埚一般是由坩埚外壳、坩埚体和中间夹置的隔水套一体构成的整体部件,如有哪部份的部件损坏,大多时候是一起报废,单修也及其不便。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚。
为实现上述目的,本实用新型采取以下设计方案:
一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚,由坩埚外壳及位于其内的坩埚体组合构成,在两者之间夹置有隔水套;在坩埚体上套有螺旋槽水套,该螺旋槽水套紧夹置于坩埚体和隔水套之间。
所述电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚中,所述隔水套及螺旋槽水套均位于铸锭坩埚的上部分。
所述电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚中,所述螺旋槽水套冷却水的入水口设在螺旋槽水套下腔位置。
所述的电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚中,所述的坩埚体为紫铜材质体;所述的螺旋槽水套为铜质体。
所述的坩埚外壳、隔水套、螺旋槽水套和坩埚体各为独立的部件。
本实用新型的优点是:本电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚在工作中能经受 2000℃多度的高温,有足够的机械强度,不易破裂和粘埚,冷却效率高,寿命长,易于更换和使用。坩埚的结构简洁合理,易损件少,且水套形状简单,易于加工制造。
附图说明
图1 为本实用新型电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚结构示意图。
下面结合附图及具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。
具体实施方式
参阅图1所示,本实用新型电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚主要包括坩埚外壳1、坩埚体2(紫铜制)、隔水套3及螺旋槽水套4。
所述坩埚外壳1、坩埚体2和隔水套3都是基于现有技术上加以实现,此处不赘述。
本实用新型的创新点在于:在坩埚体和隔水套之间增设有一组螺旋槽水套,该组(可以是一个,可以是多个并进盘设)螺旋槽水套紧套在坩埚体上。该螺旋槽水套铜质制作,铜质螺旋水套与坩埚体内表面接触,且螺旋水套位于坩埚内的上部为佳,将坩埚内部分为了上、下两部分,入水口设在螺旋水套的下腔处,冷却水由下腔进入螺旋水套中,螺旋水套相当于坩埚体的散热翅片,加大了坩埚体与冷却水的接触散热面积,使坩埚体可以把熔化金属的热量迅速传给冷却水,提高了坩埚的散热能力,使坩埚在工作中不被烧坏。另所述的坩埚外壳、隔水套、螺旋槽水套和坩埚体各为独立的部件,相互组装而成,方便维修和更换。同时,只有坩埚体因与熔化物料接触是易损件,螺旋槽和隔水套是非易损件。因此坩埚的结构简洁合理,易损件少,且水套形状简单,易于加工制造。经过实际使用,证明坩埚冷却效率高,寿命长,易于更换和使用,是实现低成本、高品质的冶金物理法制备太阳能级多晶硅的有效设备。
上述各实施例可在不脱离本实用新型的范围下加以若干变化,故以上的说明所包含及附图中所示的结构应视为例示性,而非用以限制本实用新型申请专利的保护范围。

Claims (5)

1.一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚,由坩埚外壳及位于其内的坩埚体组合构成,在两者之间夹置有隔水套;其特征在于:在坩埚体上套有螺旋槽水套组,该螺旋槽水套组紧夹置于坩埚体和隔水套之间。
2.根据权利要求1所述的电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚,其特征在于:所述隔水套及螺旋槽水套均位于铸锭坩埚的上部分。
3.根据权利要求1所述的电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚,其特征在于:所述螺旋槽水套冷却水的入水口设在螺旋槽水套下腔位置。
4.根据权利要求1所述的电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚,其特征在于:所述的坩埚体为紫铜材质体;所述的螺旋槽水套为铜质体。
5.根据权利要求1所述的电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚,其特征在于:所述的坩埚外壳、隔水套、螺旋槽水套和坩埚体各为独立的部件。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105091584A (zh) * 2015-09-21 2015-11-25 核工业理化工程研究院 电子束熔炼炉用水冷坩埚
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