CN202296393U

CN202296393U - 硅片取出及并排输送装置

Info

Publication number: CN202296393U
Application number: CN201120348731.7U
Authority: CN
Inventors: 王燕清
Original assignee: Wuxi Lead Auto Equipment Co Ltd
Current assignee: Wuxi Lead Intelligent Equipment Co Ltd
Priority date: 2011-09-17
Filing date: 2011-09-17
Publication date: 2012-07-04
Anticipated expiration: 2021-09-17

Abstract

本实用新型涉及一种硅片取出及并排输送装置，包括在机架上设置的硅片盒上下料机构、硅片盒升降机构、取硅片机构、硅片输送机构与硅片并排送出机构，硅片盒上下料机构与硅片盒升降机构配合，硅片盒升降机构与取硅片机构配合，取硅片机构与硅片输送机构配合，硅片输送机构与硅片并排送出机构配合。本实用新型可以实现连续取硅片，取硅片方便，避免人工取片造成的破损，提高了硅片制造效率。

Description

硅片取出及并排输送装置

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能硅片输送装置，尤其是一种硅片取出及并排输送装置。

背景技术

在硅片制造中，往往需要将硅片盒里的硅片取出，以前是通过人工将其硅片取出，取片困难，容易导致硅片破碎，并且取片效率低，是太阳能制造硅片的瓶颈。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可以实现连续取硅片、避免人工取片造成的破损、提高硅片制造效率的硅片取出及并排输送装置。

按照本实用新型提供的技术方案，所述硅片取出及并排输送装置，包括在机架上设置的硅片盒上下料机构、硅片盒升降机构、取硅片机构、硅片输送机构与硅片并排送出机构，硅片盒上下料机构与硅片盒升降机构配合，硅片盒升降机构与取硅片机构配合，取硅片机构与硅片输送机构配合，硅片输送机构与硅片并排送出机构配合；所述的硅片并排送出机构包括两块送出内侧板，两块送出内侧板外设有两块送出外侧板，在两块送出内侧板的相对侧壁的左右两端上均安装有送出滚轮，在两块送出外侧板的相对侧壁的左右两端上均安装有送出滚轮，在每块送出内侧板上左右两端的送出滚轮上均设有送出输送带，在每块送出外侧板上左右两端的送出滚轮上均设有送出输送带；在送出内侧板与送出外侧板上转动安装有传动轴，在传动轴上设有四个传动滚轮，四个传动滚轮与四条送出输送带配合，在传动轴的端部固定有送出被动皮带轮，在机架上安装有送出电机，在送出电机的输出轴上安装有送出主动皮带轮，送出主动皮带轮与送出被动皮带轮上设有驱动皮带。

所述硅片盒上下料机构包括在机架上固定设置的两块硅片盒上料侧板，在两块硅片盒上料侧板下方的机架上固定设置有两块硅片盒下料侧板，在两块硅片盒上料侧板的左右两端上均安装有硅片盒上料滚轮轴，在硅片盒上料滚轮轴上设有硅片盒上料输送带，硅片盒上料滚轮轴通过联轴器与电机输出轴连接；在两块硅片盒下料侧板的左右两端上均安装有硅片盒下料滚轮轴，在硅片盒下料滚轮轴上设有硅片盒下料输送带，硅片盒下料滚轮轴通过联轴器与电机输出轴连接；在硅片盒上料输送带两端部位置的硅片盒上料侧板上设有硅片盒上料侧板传感器，在硅片盒下料输送带两端部位置的硅片盒下料侧板上设有硅片盒下料侧板传感器。

所述硅片盒升降机构包括在机架固定有丝杆安装支座，在丝杆安装支座上竖直转动安装有丝杆，在丝杆上转动安装有螺母，在丝杆下端的机架上安装有升降电机，升降电机与丝杆通过联轴器连接，在丝杆一侧的机架上竖直安装有升降线轨，在升降线轨上滑动安装有升降滑块，一块升降支座同时与升降滑块、螺母固定连接，在升降支座上通过轴承转动安装有左右两根升降滚轮轴，在升降滚轮轴上设有升降输送带，在升降支座上安装有升降电机，升降电机驱动升降滚轮轴使得升降输送带运行。

所述取硅片机构包括在机架上水平内外方向设置的取硅片线轨，在取硅片线轨上滑动连接有取硅片滑块，在机架上设有无杆气缸，无杆气缸上连接有垫块，垫块与取硅片滑块连接，在垫块上设有取硅片固定座，在取硅片固定座的内外两端部安装有取硅片滚轮轴，取硅片滚轮轴上设有取硅片输送带，在垫块上设有取硅片电机，取硅片电机驱动取硅片输送带。

所述硅片输送机构包括在机架上固定安装的直线轴承，直线轴承内滑动插接有导杆，在导杆上固定有托板，在托板上固定有两个内轴承座与两个外轴承座，在左侧的内轴承座与外轴承座之间转动安装有左侧输送滚轮轴，在右侧的内轴承座与外轴承座之间转动安装有右侧输送滚轮轴，在左侧输送滚轮轴的端部安装有第一被动输出皮带轮，在机架上安装输送电机，输送电机的输出轴上安装有第一主动输出皮带轮，第一主动输出皮带轮与第一被动输出皮带轮通过同步带相连，在左侧输送滚轮轴与右侧输送滚轮轴上设有输送方向为左右方向的内外方向的四条第一输送带，在机架上设有托起气缸，托起气缸的气缸杆与托板连接；在每对第一输送带后侧的机架上设有第一挡板气缸与第二挡板气缸，第一挡板气缸与第二挡板气缸的气缸杆端部固定有挡板；在机架上固定有两块内侧输送支撑板与两块外侧输送支撑板，在两块内侧输送支撑板之间转动安装有内侧输送滚轮轴，在两块外侧输送支撑板之间转动安装有外侧输送滚轮轴，在内侧输送滚轮轴上设有内侧输送带，在外侧输送滚轮轴上设有外侧输送带。

本实用新型可以实现连续取硅片，取硅片方便，避免人工取片造成的破损，提高了硅片制造效率。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是本实用新型的俯视图。

图3是本实用新型的左视图。

图4是图2的A—A剖视图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图所示，本实用新型主要由机架1、升降线轨2、丝杆3、升降滑块4、螺母5、丝杆安装支座6、联轴器7、升降电机8、升降支座9、取硅片滑块10、取硅片线轨11、无杆气缸12、升降滚轮轴13、升降输送带14、升降电机15、取硅片固定座16、取硅片电机17、传递固定座18、送出外侧板19、送出内侧板20、送出被动皮带轮21、送出电机22、硅片盒上料侧板传感器23、硅片盒上料滚轮轴24、硅片盒下料侧板传感器25、硅片盒下料滚轮轴26、硅片盒上料输送带27、硅片盒下料输送带28、硅片盒下料侧板29、硅片盒上料侧板30、导杆31、第一挡板气缸32、托起气缸33、第二挡板气缸34、垫块35、外轴承座36、外侧输送支撑板37、内侧输送支撑板38、内轴承座39、托板40、直线轴承41、第一硅片到位传感器42、第二硅片到位传感器43、第一主动输出皮带轮44、第一被动输出皮带轮45、传递输送带47、左侧输送滚轮轴48、右侧输送滚轮轴49、硅片盒到位传感器50、传动轴51、送出滚轮52、传动滚轮53、送出主动皮带轮54、取硅片滚轮轴55、第一输送带56、挡板57、内侧输送滚轮轴58、外侧输送滚轮轴59、内侧输送带60、外侧输送带61与取硅片输送带62等部件构成。

该硅片取出及并排输送装置，包括在机架1上设置的硅片盒上下料机构、硅片盒升降机构、取硅片机构、硅片输送机构与硅片并排送出机构，硅片盒上、下料机构与硅片盒升降机构配合，硅片盒升降机构与取硅片机构配合，取硅片机构与硅片输送机构配合，硅片输送机构与硅片并排送出机构配合；所述的硅片并排送出机构包括两块送出内侧板20，两块送出内侧板20设有两块送出外侧板19，在两块送出内侧板20的相对侧壁的左右两端上均安装有送出滚轮52，在两块送出外侧板19的相对侧壁的左右两端上均安装有送出滚轮52，在每块送出内侧板20上左右两端的送出滚轮52上均设有送出输送带53，在每块送出外侧板19上左右两端的送出滚轮52上均设有送出输送带53；在送出内侧板20与送出外侧板19上转动安装有传动轴51，在传动轴51上设有四个传动滚轮53，四个传动滚轮53与四条送出输送带配合，在传动轴51的端部固定有送出被动皮带轮21，在机架1上安装有送出电机22，在送出电机22的输出轴上安装有送出主动皮带轮54，送出主动皮带轮54与送出被动皮带轮21上设有驱动皮带。

所述硅片盒上下料机构包括在机架1上固定设置的两块硅片盒上料侧板30，在两块硅片盒上料侧板30下方的机架1上固定设置有两块硅片盒下料侧板29，在两块硅片盒上料侧板30的左右两端上均安装有硅片盒上料滚轮轴24，在硅片盒上料滚轮轴24上设有硅片盒上料输送带27，硅片盒上料滚轮轴24通过联轴器与电机输出轴连接；在两块硅片盒下料侧板29的左右两端上均安装有硅片盒下料滚轮轴26，在硅片盒下料滚轮轴26上设有硅片盒下料输送带28，硅片盒下料滚轮轴26通过联轴器与电机输出轴连接；在硅片盒上料输送带27两端部位置的硅片盒上料侧板30上设有硅片盒上料侧板传感器23，在硅片盒下料输送带28两端部位置的硅片盒下料侧板29上设有硅片盒下料侧板传感器25。

所述硅片盒升降机构包括在机架1固定有丝杆安装支座6，在丝杆安装支座6上竖直转动安装有丝杆3，在丝杆3上转动安装有螺母5，在丝杆3下端的机架1上安装有升降电机8，升降电机8与丝杆3通过联轴器7连接，在丝杆3一侧的机架1上竖直安装有升降线轨2，在升降线轨2上滑动安装有升降滑块4，一块升降支座9同时与升降滑块4、螺母5固定连接，在升降支座9上通过轴承转动安装有左右两根升降滚轮轴13，在升降滚轮轴13上设有升降输送带14，在升降支座9上安装有升降电机15，升降电机15驱动升降滚轮轴13使得升降输送带14运行。

所述取硅片机构包括在机架1上水平内外方向设置的取硅片线轨11，在取硅片线轨11上滑动连接有取硅片滑块10，在机架1上设有无杆气缸12，无杆气缸12上连接有垫块35，垫块35与取硅片滑块10连接，在垫块35上设有取硅片固定座16，在取硅片固定座16的内外两端部安装有取硅片滚轮轴55，取硅片滚轮轴55上设有取硅片输送带62，在垫块35上设有取硅片电机17，取硅片电机17驱动取硅片输送带62动作。

所述硅片输送机构包括在机架1上固定安装的直线轴承41，直线轴承41内滑动插接有导杆31，在导杆31上固定有托板40，在托板40上固定有两个内轴承座39与两个外轴承座36，在左侧的内轴承座39与外轴承座36之间转动安装有左侧输送滚轮轴48，在右侧的内轴承座39与外轴承座36之间转动安装有右侧输送滚轮轴49，在左侧输送滚轮轴48的端部安装有第一被动输出皮带轮45，在机架1上安装输送电机，输送电机的输出轴上安装有第一主动输出皮带轮44，第一主动输出皮带轮44与第一被动输出皮带轮45通过同步带相连，在左侧输送滚轮轴48与右侧输送滚轮轴49上设有输送方向为左右方向的内外方向的四条第一输送带56，在机架1上设有托起气缸33，托起气缸33的气缸杆与托板40连接；在每对第一输送带56后侧的机架1上设有第一挡板气缸32与第二挡板气缸34，第一挡板气缸32与第二挡板气缸34的气缸杆端部均固定有挡板57；在机架1上固定有两块内侧输送支撑板38与两块外侧输送支撑板37，在两块内侧输送支撑板38之间转动安装有内侧输送滚轮轴58，在两块外侧输送支撑板37之间转动安装有外侧输送滚轮轴59，在内侧输送滚轮轴58上设有内侧输送带60，在外侧输送滚轮轴59上设有外侧输送带61。

工作时，将装满硅片的硅片盒46经硅片盒上料侧板30上的硅片盒上料输送带27列向输送，当硅片盒46被硅片盒上料侧板传感器23感应，使升降滚轮轴13上的升降输送带14动作，从而将装满硅片的硅片盒46传送到升降滚轮轴13之间，当硅片盒到位传感器50感应后，使硅片盒46停留在定位位置。

取硅片固定座16在无杆气缸12的作用下，进入硅片盒46里，同时固定座16下的取硅片电机17动作，带动取硅片输送带62传动，将硅片盒46里的最下方一块硅片输送到由传递固定座18上的传递输送带47上，并向后输送，当传送的第一块硅片被第一硅片到位传感器42感应到后，第一挡板气缸32的气缸杆伸出，从而将被输送过来的第一块硅片挡住。此时，由升降滚轮轴13之间的升降输送带14在伺服电机8的作用下将硅片盒46通过升降线轨2、丝杆3、升降滑块4与螺母5下降一定距离，使硅片盒46里的倒数第二块硅片正好落在取硅片固定座16的取硅片输送带62上，以实现下一块硅片输送。

当被输送出的硅片被第二硅片到位传感器43的感应后，气缸34的活塞杆伸出，将第二块输送过来的硅片被第二挡板气缸34挡住，当第一块硅片、第二块硅片定位后，托起气缸33动作，将推动托板40向上运动，从而使托板40上两根左侧输送滚轮轴48上的、两根右侧输送滚轮轴49上的两条第一输送带56将两块硅片托起，电机带动第一主动输出皮带轮44，第一主动输出皮带轮44带动第一被动输出皮带轮45转动，从而将两根左侧输送滚轮轴48上的、两根右侧输送滚轮轴49上的两对第一输送带56上的两硅片板并排输送到两送出外侧板19之间、两送出内侧板20之间组成的输送机构，待硅片输送出去后，托起气缸33下降。

螺母5带动升降滑块4沿着升降线轨2使得升降支座9又下降一定的距离，重复上述硅片输出动作，待升降滚轮轴13之间的升降输送带14上的硅片盒46里的硅片全部输送出去后，取硅片固定座16在无杆气缸12的作用下退出硅片盒46，升降支座9在线轨3的带动下下降一定距离，升降滚轮轴13之间的升降输送带14反向运动，将空硅片盒输送到由硅片盒下料侧板29组成的硅片盒下料机构上；同时，硅片盒上料侧板30上的硅片盒上料机构继续将装满硅片的硅片盒46输送到由升降滚轮轴13之间的升降输送带14上，继续循环重复上述传送硅片动作。

Claims

1. 一种硅片取出及并排输送装置，包括在机架（1）上设置的硅片盒上下料机构、硅片盒升降机构、取硅片机构、硅片输送机构与硅片并排送出机构，硅片盒上下料机构与硅片盒升降机构配合，硅片盒升降机构与取硅片机构配合，取硅片机构与硅片输送机构配合，硅片输送机构与硅片并排送出机构配合；其特征是：所述的硅片并排送出机构包括两块送出内侧板（20），两块送出内侧板（20）设有两块送出外侧板（19），在两块送出内侧板（20）的相对侧壁的左右两端上均安装有送出滚轮（52），在两块送出外侧板（19）的相对侧壁的左右两端上均安装有送出滚轮（52），在每块送出内侧板（20）上左右两端的送出滚轮（52）上均设有送出输送带（53），在每块送出外侧板（19）上左右两端的送出滚轮（52）上均设有送出输送带（53）；在送出内侧板（20）与送出外侧板（19）上转动安装有传动轴（51），在传动轴（51）上设有四个传动滚轮（53），四个传动滚轮（53）与四条送出输送带（53）配合，在传动轴（51）的端部固定有送出被动皮带轮（21），在机架（1）上安装有送出电机（22），在送出电机（22）的输出轴上安装有送出主动皮带轮（54），送出主动皮带轮（54）与送出被动皮带轮（21）上设有驱动皮带。

2.如权利要求1所述的硅片取出及并排输送装置，其特征是：所述硅片盒上下料机构包括在机架（1）上固定设置的两块硅片盒上料侧板（30），在两块硅片盒上料侧板（30）下方的机架（1）上固定设置有两块硅片盒下料侧板（29），在两块硅片盒上料侧板（30）的左右两端上均安装有硅片盒上料滚轮轴（24），在硅片盒上料滚轮轴（24）上设有硅片盒上料输送带（27），硅片盒上料滚轮轴（24）通过联轴器与电机输出轴连接；在两块硅片盒下料侧板（29）的左右两端上均安装有硅片盒下料滚轮轴（26），在硅片盒下料滚轮轴（26）上设有硅片盒下料输送带（28），硅片盒下料滚轮轴（26）通过联轴器与电机输出轴连接；在硅片盒上料输送带（27）两端部位置的硅片盒上料侧板（30）上设有硅片盒上料侧板传感器（23），在硅片盒下料输送带（28）两端部位置的硅片盒下料侧板（29）上设有硅片盒下料侧板传感器（25）。

3.如权利要求1所述的硅片取出及并排输送装置，其特征是：所述硅片盒升降机构包括在机架（1）固定有丝杆安装支座（6），在丝杆安装支座（6）上竖直转动安装有丝杆（3），在丝杆（3）上转动安装有螺母（5），在丝杆（3）下端的机架（1）上安装有升降电机（8），升降电机（8）与丝杆（3）通过联轴器（7）连接，在丝杆（3）一侧的机架（1）上竖直安装有升降线轨（2），在升降线轨（2）上滑动安装有升降滑块（4），一块升降支座（9）同时与升降滑块（4）、螺母（5）固定连接，在升降支座（9）上通过轴承转动安装有左右两根升降滚轮轴（13），在升降滚轮轴（13）上设有升降输送带（14），在升降支座（9）上安装有升降电机（15），升降电机（15）驱动升降滚轮轴（13）使得升降输送带（14）运行。

4.如权利要求1所述的硅片取出及并排输送装置，其特征是：所述取硅片机构包括在机架（1）上水平内外方向设置的取硅片线轨（11），在取硅片线轨（11）上滑动连接有取硅片滑块（10），在机架（1）上设有无杆气缸（12），无杆气缸（12）上连接有垫块（35），垫块（35）与取硅片滑块（10）连接，垫块（35）上设有取硅片固定座（16），在取硅片固定座（16）的内外两端部安装有取硅片滚轮轴（55），取硅片滚轮轴（55）上设有取硅片输送带（62），在垫块（35）上设有取硅片电机（17），取硅片电机（17）驱动取硅片输送带（62）动作。

5.如权利要求1所述的硅片取出及并排输送装置，其特征是：所述硅片输送机构包括在机架（1）上固定安装的直线轴承（41），直线轴承（41）内滑动插接有导杆（31），在导杆（31）上固定有托板（40），在托板（40）上固定有两个内轴承座（39）与两个外轴承座（36），在左侧的内轴承座（39）与外轴承座（36）之间转动安装有左侧输送滚轮轴（48），在右侧的内轴承座（39）与外轴承座（36）之间转动安装有右侧输送滚轮轴（49），在左侧输送滚轮轴（48）的端部安装有第一被动输出皮带轮（45），在机架（1）上安装输送电机，输送电机的输出轴上安装有第一主动输出皮带轮（44），第一主动输出皮带轮（44）与第一被动输出皮带轮（45）通过同步带相连，在左侧输送滚轮轴（48）与右侧输送滚轮轴（49）上设有输送方向为左右方向的内外方向四条第一输送带（56），在机架（1）上设有托起气缸（33），托起气缸（33）的气缸杆与托板（40）连接；在每对第一输送带（56）后侧的机架（1）上设有第一挡板气缸（32）与第二挡板气缸（34），第一挡板气缸（32）与第二挡板气缸（34）的气缸杆端部均固定有挡板（57）；在机架（1）上固定有两块内侧输送支撑板（38）与两块外侧输送支撑板（37），在两块内侧输送支撑板（38）之间转动安装有内侧输送滚轮轴（58），在两块外侧输送支撑板（37）之间转动安装有外侧输送滚轮轴（59），在内侧输送滚轮轴（58）上设有内侧输送带（60），在外侧输送滚轮轴（59）上设有外侧输送带（61）。