CN202162175U - 能使硅料转动的硅料超声波清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，包括机架，机架上设置有清洗槽和超声波发生器，清洗槽中设置有超声波振盒，在机架上设置有传动托架装置，所述的传动托架装置的结构包括：连接杆，连接杆的一端与传动托架臂固定连接，连接杆的另一端与升降装置活动连接；所述的传动托架臂铰接于机架上的转轴处，传动托架臂上安装有传动装置，传动托架臂的端部活动设置有转动托盘，所述的转动托盘设置在清洗槽中，所述的传动装置能带动转动托盘转动，硅料工装篮安装在转动托盘上；所述的升降装置固定安装在机架上，升降装置的顶升和下降能使传动托架臂绕转轴转动。本实用新型大大提高了硅料的清洗效果和工人的操作安全性。

Description

能使硅料转动的硅料超声波清洗装置

技术领域

本实用新型涉及硅料的超声波清洗装置。

背景技术

硅料是一种非常重要的半导体材料，可用于制作二极管、三极管、发光器件、压敏元件、太阳能电池片等多种元器件，广泛应用于无线电工程、自动化领域、信号设备、动力工程等领域。

通常硅料表面有氧化层和金属离子，需用先用酸液来清洗以去除其表面的氧化层和金属离子，然后再进行水漂洗从而达到清洗干净的目的。目前使用的硅料清洗装置，其结构主要包括：机架，机架上设置有清洗槽和超声波发生器，清洗槽中设置有超声波振盒，超声波振盒中设置有超声波换能器，清洗槽中放置有硅料工装篮。硅料工装篮是一种镂空的形状像篮子的工装，清洗时工人在硅料工装篮中盛放入硅料，再将硅料工装篮放入到清洗槽中的酸液中，酸液进入硅料工装篮并对篮内的硅料进行清洗。硅料堆积在硅料工装篮中，硅料堆表层的硅料与酸液充分接触后能被清洗干净，而硅料堆内部的硅料与酸液无法充分接触，故无法一次清洗干净。上述清洗装置，硅料的清洗效果差，且清洗费时费力，而且人体与酸液直接接触，酸液会腐蚀皮肤，操作危险性较高。

实用新型内容

本实用新型所需解决的技术问题是：将提供一种能有效清洗硅料，且避免人体与酸液直接接触的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，包括机架，机架上设置有清洗槽和超声波发生器，清洗槽中设置有带超声波换能器的超声波振盒，在机架上设置有传动托架装置，所述的传动托架装置的结构包括：连接杆，连接杆的一端与传动托架臂固定连接，连接杆的另一端与升降装置活动连接；所述的传动托架臂铰接于机架上的转轴处，传动托架臂上安装有传动装置，传动托架臂的端部活动设置有转动托盘，所述的转动托盘设置在清洗槽中，所述的传动装置能带动转动托盘转动，硅料工装篮安装在转动托盘上；所述的升降装置固定安装在机架上，升降装置的顶升和下降能使传动托架臂绕转轴转动。

进一步地，所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其中，所述的传动装置包括：安装在传动托架臂上的转动电机，转动电机的轴上设置有主动齿轮，主动齿轮与若干从动齿轮相啮合，所述的转动托盘的圆周上设置有齿盘，齿盘与从动齿轮相啮合。

进一步地，所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其中，所述的升降装置结构为：固定安装在机架上的汽缸，汽缸的活塞杆的顶部与连接杆的另一端铰接。

进一步地，所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其中，所述的转动托盘上设置有卡块，卡块与硅料工装篮相卡接。

更进一步地，所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其中，所述的传动托架臂上设置有挡板，挡板遮盖住转动电机及从动齿轮。

进一步地，所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其中，所述的传动托架臂的端部设置有限位轴，所述的转动托盘活动安装在限位轴上。

本实用新型的有益效果：将装有硅料的硅料工装篮安装在转动托盘上，转动托盘带动硅料工装篮及其中的硅料一起转动，使硅料与酸液充分接触，从而使硅料清洗干净，大大提高了硅料清洗的效率；工人只需利用升降装置的升或降，就可将安装在转动托盘上的硅料工装篮中的硅料放入或脱离清洗槽中的酸液，避免了人体与酸液的接触，大大提高了操作的安全性。

附图说明

图1是本实用新型所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置的结构示意图。

图2是本实用新型所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置中转动托盘将硅料工装篮送入到清洗槽中清洗时的结构示意图。

图3是本实用新型所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置中传动托架臂部分的结构示意图。

图4是图3的右视结构示意图。

图1～图4中：1、机架，2、清洗槽，3、超声波发生器，4、超声波振盒，5、硅料工装篮，6、连接杆， 7、传动托架臂， 8、汽缸，81、活塞杆，9、转轴， 10、转动电机，101、主动齿轮，102、第一从动齿轮，103、第二从动齿轮，104、第三从动齿轮，11、限位轴，12、转动托盘，121、齿盘，122、卡块， 13、挡板。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1～图4所示，能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，包括机架1，机架1上设置有清洗槽2和超声波发生器3，清洗槽2中设置有带超声波换能器的超声波振盒4，在机架1上设置有传动托架装置，所述的传动托架装置的结构包括：连接杆6，连接杆6的一端与传动托架臂7固定连接，连接杆6的另一端与汽缸8上活塞杆81的顶部铰接，所述的汽缸8固定安装在机架1上的。传动托架臂7铰接于机架1上的转轴9处，传动托架臂7上安装有转动电机10，转动电机10的轴上设置有主动齿轮101，主动齿轮101与第一从动齿轮102相啮合，第一从动齿轮102与第二从动齿轮103啮合，第二从动齿轮103与第三从动齿轮104啮合，传动托架臂7的端部设置有限位轴11，限位轴11上活动安装有转动托盘12，转动托盘12的外圆周上设置有齿盘121，齿盘121与第三从动齿轮104相啮合，转动托盘12上设置有卡块122，卡块122与硅料工装篮5相卡接；所述的转动托盘12设置在清洗槽2中；所述的传动托架臂7上设置有挡板13，挡板13遮盖住转动电机10及各从动齿轮；汽缸8的活塞杆81的顶升和下降能使传动托架臂7绕转轴9转动。本实用新型中传动托架臂7上设置了三个从动齿轮，从动齿轮的数量可以根据转动电机10与转动托盘12之间的距离确定。

如图1所示，清洗前，汽缸8的活塞杆81位于最低端，转动托盘12位于清洗槽2上的操作面位置，操作人员将装载了需要清洗的硅料的硅料工装篮5卡接在转动托盘12上。如图2所示，活塞杆81开始顶升，传动托架臂7绕着转轴9向下转动，直至将硅料工装篮5全部浸没在酸液中，打开转动电机10，如图4所示，转动电机10轴上的主动齿轮101带动第一从动齿轮102转动，第一从动齿轮102带动第二从动齿轮103转动，第二从动齿轮103带动第三从动齿轮104转动，第三从动齿轮103带动转动托盘12转动，从而带动安装在转动托盘12上的硅料工装篮5及硅料一起转动，开始硅料的转动清洗工作。在清洗过程中超声波发生器3发出的超声波驱动超声波振盒4中的超声波换能器产生振动，帮助清洗。待清洗完毕，如图1所示，活塞杆81下降，传动托架臂7绕转轴9向上转动直至转动托盘12将硅料工装篮5从酸液中托出至操作工人的操作面，操作工人即可将硅料工装篮5以及清洗完毕的硅料取出，即完成硅料的一轮清洗。

本实用新型的有益效果：传动托架装置通过转动电机等传动装置带动转动托盘上硅料工装篮中的硅料转动，从而进行超声波清洗，使硅料与酸液进行充分接触，大大提高了硅料的清洗效率；传动托架装置通过汽缸等升降装置使传动托架臂在转轴上转动，将装有硅料的硅料工装篮送入到清洗槽中清洗，以及清洗完毕后再将硅料工装篮托起后离开酸液，这样避免了人体与清洗槽中酸液的直接接触，大大提高了操作的安全性。本实用新型能广泛应用于硅料的清洗设备中。

Claims (7)

1.能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，包括机架，机架上设置有清洗槽和超声波发生器，清洗槽中设置有带超声波换能器的超声波振盒，其特征在于：在机架上设置有传动托架装置，所述的传动托架装置的结构包括：连接杆，连接杆的一端与传动托架臂固定连接，连接杆的另一端与升降装置活动连接；所述的传动托架臂铰接于机架上的转轴处，传动托架臂上安装有传动装置，传动托架臂的端部活动设置有转动托盘，所述的转动托盘设置在清洗槽中，所述的传动装置能带动转动托盘转动，硅料工装篮安装在转动托盘上；所述的升降装置固定安装在机架上，升降装置的顶升和下降能使传动托架臂绕转轴转动。

2.根据权利要求1所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的传动装置包括：安装在传动托架臂上的转动电机，转动电机的轴上设置有主动齿轮，主动齿轮与若干从动齿轮相啮合，所述的转动托盘的圆周上设置有齿盘，齿盘与从动齿轮相啮合。

3.根据权利要求1或2所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的升降装置结构为：固定安装在机架上的汽缸，汽缸的活塞杆的顶部与连接杆的另一端铰接。

4.根据权利要求1或2所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的转动托盘上设置有卡块，卡块与硅料工装篮相卡接。

5.根据权利要求3所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的转动托盘上设置有卡块，卡块与硅料工装篮相卡接。

6.根据权利要求2所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的传动托架臂上设置有挡板，挡板遮盖住转动电机及从动齿轮。

7.根据权利要求1或2所述的能使硅料转动的硅料超声波清洗装置，其特征在于：所述的传动托架臂的端部设置有限位轴，所述的转动托盘活动安装在限位轴上。

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