CN201853718U - 曲面薄膜太阳能电池及配套设计的衬底加热板和均流板 - Google Patents

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李兆廷
李鹏
陈志维
陈启聪
王恩忠
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Abstract

曲面薄膜太阳能电池及配套设计的衬底加热板和均流板,解决了由于平面薄膜太阳能电池拼接组合形成曲面太阳能电池板,导致电池线路繁琐、节点易老化的技术问题,在制备薄膜太阳能电池的工艺中,通过改变衬底基板的形状,以及配套形状的均流板和加热板,可在任意曲面结构的衬底基板上制备出均匀的薄膜太阳能电池层,以解决平面薄膜太阳能电池拼接组合形成曲面太阳能电池板应用局限性、以及导致电池线路连接繁琐、节点易老化、失效的技术问题。

Description

曲面薄膜太阳能电池及配套设计的衬底加热板和均流板
技术领域
本实用新型涉及一种曲面薄膜太阳能电池及配套设计的制备工具组合,属于太阳能电池制造领域,特别是一种曲面状的薄膜太阳能电池,可应用到汽车玻璃以及玻璃展品等领域。
背景技术
在薄膜太阳能电池迅速发展的今天,其应用领域不断扩展,柔性电池、透明电池的相继出现都为薄膜电池开辟了新的市场。然而,目前的薄膜电池除柔性电池外都是沉积在平面基板上。在曲面状衬底基板上直接形成均匀的薄膜太阳能电池还没有前例,造成产品系列化上明显的空缺。在特殊需要的场合例如附着在汽车天窗或者汽车后玻璃上的太阳能薄膜电池,其最终产品是先制作好条、块状平板太阳能薄膜电池,然后借助拼装定位工艺将平板太阳能电池组配成为与汽车玻璃适配的曲面、拼装后形成组合式的太阳能薄膜电池。这种带太阳能薄膜电池的汽车玻璃的制作工艺繁琐,由于太阳能电池板是由一个个小的平板太阳能薄膜电池拼接而成,其连接线路复杂,长期使用,常因其中连接线路的节点老化导致不能正常工作。如果能开发出一种在曲面衬底上直接沉积曲面太阳能电池层的技术,将使薄膜电池的应用更加广泛。
同时,在薄膜太阳能电池的加工工艺中,电池的整体结构和几何形状决定了加工过程中所使用的衬底加热板和反应气体充气均流板的重新设计,也是现有技术中要加以克服的障碍。
发明内容
本实用新型要解决由于平面薄膜太阳能电池拼接组合形成曲面太阳能电池板,导致电池线路繁琐、节点易老化的技术问题,设计了一种曲面薄膜太阳能电池新结构形式以及工艺中配套使用的加热板和均流板的配套改进,通过改变衬底基板的形状,以及配套形状的均流板和加热板,可在任意曲面结构的衬底基板上制备出均匀的薄膜太阳能电池层,以解决平面薄膜太阳能电池拼接组合形成曲面太阳能电池板应用局限性、以及导致电池线路连接繁琐、节点易老化、失效的技术问题。
本实用新型为实现发明目的采用的技术方案是,一种曲面薄膜太阳能电池,结构中包括衬底基板,以及在衬底基板上制备的太阳能电池层,上述的衬底基板的外表面是曲面状,太阳能电池层结合定位在曲面状的衬底基板上。
一种在上述的曲面薄膜太阳能电池的配套设计、加工中使用的衬底加热板,衬底加热板的上表面是与衬底基板的下表面各个对应接触点具有相同曲率半径的曲面结构。
一种在上述的曲面薄膜太阳能电池的配套设计、加工中反应气体的均流板,结构中包括设置在均流板上层盖板上的进气孔、以及分布在均流板下层盖板上的出气孔,均流板借助进气孔与沉积腔室的工艺气体进气口连通,上述的均流板的下层盖板的外表面是与衬底基板的上表面相吻合的曲面结构。
本实用新型的有益效果是,在制备薄膜太阳能电池的工艺中,通过改变衬底基板的形状,以及配套形状的均流板和加热板,可在任意曲面结构的衬底基板上制备出均匀的薄膜太阳能电池层,以解决平面薄膜太阳能电池拼接组合形成曲面太阳能电池板应用局限性、以及导致电池线路连接繁琐、节点易老化、失效的技术问题。
下面结合附图对本实用新型进行详细说明。
附图说明
图1是本实用新型中衬底加热板和均流板的工位图。
图2是本实用新型中衬底加热板的结构示意图。
图3是本实用新型中均流板的结构示意图。
附图中,1代表均流板,1A代表上层盖板,1A-1代表进气孔,1B代表下层盖板,1B-1代表出气孔,2代表衬底加热板,3代表衬底基板。
具体实施方式
一种曲面薄膜太阳能电池,结构中包括衬底基板,以及在衬底基板3上制备的太阳能电池层,上述的衬底基板3的外表面是曲面状,太阳能电池层结合定位在曲面状的衬底基板3上。
一种在上述的曲面薄膜太阳能电池的配套设计、加工中使用的衬底加热板,衬底加热板2的上表面是与衬底基板3的下表面各个对应接触点具有相同曲率半径的曲面结构。
上所述的衬底加热板2比衬底基板3的周边尺寸宽出50~70mm。
一种在上述的曲面薄膜太阳能电池的配套设计、加工中反应气体的均流板,结构中包括设置在均流板1上层盖板1A上的进气孔1A-1、以及分布在均流板1下层盖板1B上的出气孔1B-1,均流板1借助进气孔1A-1与沉积腔室的工艺气体进气口连通,上述的均流板1的下层盖板1B的外表面是与衬底基板3的上表面相吻合的曲面结构。
上述的出气孔1B-1的中心线与衬底基板3对应上表面的切线垂直。
上述的均流板1比衬底基板3的周边尺寸宽出50~70mm。
本实用新型在具体实施时,参看图1,以弧形曲面衬底基板3为例,根据衬底基板3的形状,调整均流板1和衬底加热板2的形状分别与弧形曲面衬底基板3的上、下表面相吻合。同时需要注意的是出气孔1B-1在下层盖板1B的分布:远离处在中心位置的进气孔1A-1的出气孔1B-1分布应密集,拐角位置的出气孔1B-1应密集。
在沉积腔室中安装均流板1和衬底加热板2,均流板1的进气孔1A-1与工艺气体的进气口连通,将曲面衬底基板3放置在衬底加热板2上。开启进气阀,然后连接射频电源,两个电极分别连接至均流板1和衬底加热板2上,连接衬底加热板2的电源。然后依据现有技术的制备工艺在曲面衬底基板3上制备太阳能电池层。
由于出气孔1B-1在下层盖板1B上的分布是根据衬底基板3的形状决定的,远离进气孔1A-1地方的出气孔1B-1应密集,拐角地方的出气孔1B-1应密集,且出气孔1B-1的中心线和衬底基板3对应上的表面的切线垂直,有效的保证了沉积薄膜的均匀性,解决了在曲面衬底上沉积薄膜不均匀的问题,从而使薄膜电池的应用更加广泛。

Claims (6)

1.一种曲面薄膜太阳能电池,结构中包括衬底基板,以及在衬底基板(3)上制备的太阳能电池层,其特征在于:所述的衬底基板(3)的外表面是曲面状,太阳能电池层结合定位在曲面状的衬底基板(3)上。
2.一种在权利要求1所述的曲面薄膜太阳能电池的配套设计、加工中使用的衬底加热板,其特征在于:衬底加热板(2)的上表面是与衬底基板(3)的下表面各个对应接触点具有相同曲率半径的曲面结构。
3.根据权利要求2所述的一种衬底加热板,其特征在于:所述的衬底加热板(2)比衬底基板(3)的周边尺寸宽出50~70mm。
4.一种在权利要求1所述的曲面薄膜太阳能电池的配套设计、加工中反应气体的均流板,结构中包括设置在均流板(1)上层盖板(1A)上的进气孔(1A-1)、以及分布在均流板(1)下层盖板(1B)上的出气孔(1B-1),均流板(1)借助进气孔(1A-1)与沉积腔室的工艺气体进气口连通,其特征在于:所述的均流板(1)的下层盖板(1B)的外表面是与衬底基板(3)的上表面相吻合的曲面结构。
5.根据权利要求4所述的一种均流板,其特征在于:所述的出气孔(1B-1)的中心线与衬底基板(3)对应上表面的切线垂直。
6.根据权利要求4所述的一种均流板,其特征在于:所述的均流板(1)比衬底基板(3)的周边尺寸宽出50~70mm。
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