CN201816149U - 单晶硅线切割机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种半导体加工设备，特别涉及一种进给量较为精确的单晶硅线线切割装置。包括一个密封箱体，箱体的顶部设置有一对支架，在一对支架中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮，导线轮上设置有金属丝线，导线轮下方设置有承载装置，位于导线轮上方的箱体上设置有喷砂装置，所述的升降机构为由伺服电机、丝杠以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机固定连接在一对支架之间设置的电机板上，伺服电机的输出端与丝杠连接，运动头连接在丝杠上。本实用新型有益效果在于提高了单晶硅线切割的质量，减少了原料的浪费，减少了切割过程中硅棒的晃动，也保证了切割的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体加工设备，特别涉及一种进给量较为精确的单晶硅线线切割机构。
背景技术
硅片是半导体和太阳能光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前采用最广泛的硅片加工技术，它不同于传统的刀具片、砂轮片等切割方式，也不同于更先进的激光切割和内圆切割方式，其原理是通过一根高速运动的钢丝带动附着在钢丝上的切割砂浆，对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。
但目前的单晶硅的线切割机构的进给量不均匀，常会造成切割不均、废片比较多，同时也对钢丝的伤害较大，影响钢丝的实用寿命。
发明内容
本实用新型设计了一种硅棒的进给量稳定的单晶硅切割机构，该机构的进给量稳定，避免了由于进给量不均匀造成的切割不均、废片比较多的问题。
本实用新型通过以下技术方案实现：
单晶硅线切割机构，包括一个密封箱体，箱体的顶部设置有一对支架，在一对支架中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮，导线轮上设置有金属丝线，导线轮下方设置有承载装置，位于导线轮上方的箱体上设置有喷砂装置，所述的升降机构为由伺服电机、丝杠以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机固定连接在一对支架之间设置的电机板上，伺服电机的输出端与丝杠连接，运动头连接在丝杠上。
所述的运动头的下方设置有固定夹紧装置，固定夹紧装置包括设置在运动 头下方的燕尾槽，燕尾槽内设置有粘结有硅棒的燕尾滑块，在运动头两边的侧面设置有对燕尾滑块进行锁紧的锁紧螺母，这里通过燕尾槽的连接方式，便于更换硅棒，同时设置了锁紧螺母，保证了硅棒的固定，减少了切割过程中的晃动，也保证了切割的质量。
所述的喷砂装置包括设置箱体上的与砂箱连接的砂浆连接管，砂浆连接管上设置有多个出砂管。
所述的出砂管的内部设置有砂道，砂道一侧的出砂管上设置有出砂缝，这样保证了一个出砂管上的砂浆能均匀的流出。
本实用新型的优点在于：
1、通过伺服电机和丝杠机构保证了硅棒的进给量的稳定，保证了单晶硅线切割的质量，减少了原料的浪费。
2、设置的锁紧螺母，保证了硅棒的固定，减少了切割过程中的晃动，也保证了切割的质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图，
图2为出砂管的截面图，
图中1为支架，2为伺服电机，3为电机板，4为丝杠，5为出砂管，6为导线轮，7为砂浆连接管，8为锁紧螺母，9为承载装置，10为燕尾槽，11为燕尾滑块，12为箱体，13为运动头，51为砂道，52为出砂缝。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步说明：
如图1和图2所示的单晶硅线切割机构，包括一个密封箱体12，箱体12 的顶部设置有一对支架1，在一对支架1中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮6，导线轮6上设置有金属丝线，导线轮6下方设置有承载装置，位于导线轮6上方的箱体12上设置有喷砂装置，所述的升降机构为由伺服电机2、丝杠4以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机2固定连接在一对支架之间设置的电机板3上，伺服电机3的输出端与丝杠4连接，运动头连接在丝杠4上。
所述的运动头13的下方设置有固定夹紧装置，固定夹紧装置包括设置在运动头下方的燕尾槽10，燕尾槽10内设置有粘结有硅棒的燕尾滑块11，在运动头两边的侧面设置有对燕尾滑块进行锁紧的锁紧螺母8，这里通过燕尾槽8的连接方式，便于更换硅棒，同时设置了锁紧螺母，保证了硅棒的固定，减少了切割过程中的晃动，也保证了切割的质量。
所述的喷砂装置包括设置箱体12上的与砂箱连接的砂浆连接管7，砂浆连接管上设置有多个出砂管5，所述的出砂管5的内部设置有砂道51，砂道51一侧的出砂管上设置有出砂缝52，这样保证了一个出砂管上的砂浆能均匀的流出。
本实用新型通过伺服电机和丝杠机构保证了硅棒的进给量的稳定，保证了单晶硅线切割的质量，减少了原料的浪费，设置的锁紧螺母，保证了硅棒的固定，减少了切割过程中硅棒的晃动，也保证了切割的质量。
Claims (4)
1.单晶硅线切割机构，包括一个密封箱体，箱体的顶部设置有一对支架，在一对支架中间设置有一个控制硅棒上下运动的升降机构，在箱体内部设置有一对导线轮，导线轮上设置有金属丝线，导线轮下方设置有承载装置，位于导线轮上方的箱体上设置有喷砂装置，其特征在于：所述的升降机构为由伺服电机、丝杠以及可以沿着丝杠运动的运动头构成的升降机构，伺服电机固定连接在一对支架之间设置的电机板上，伺服电机的输出端与丝杠连接，运动头连接在丝杠上。
2.根据权利要求1所述的单晶硅线切割机构，其特征在于：所述的运动头的下方设置有固定夹紧装置，固定夹紧装置包括设置在运动头下方的燕尾槽，燕尾槽内设置有粘结有硅棒的燕尾滑块，在运动头两边的侧面设置有对燕尾滑块进行锁紧的锁紧螺母。
3.根据权利要求1所述的单晶硅线切割机构，其特征在于：所述的喷砂装置包括设置箱体上的与砂箱连接的砂浆连接管，砂浆连接管上设置有多个出砂管。
4.根据权利要求3所述的单晶硅线切割机构，其特征在于：所述的出砂管的内部设置有砂道，砂道一侧的出砂管上设置有出砂缝。
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|---|---|---|---|---|
| CN102241081A (zh) * | 2011-06-29 | 2011-11-16 | 浙江光益硅业科技有限公司 | 改善多线切割硅片入刀口处厚薄不均匀的方法及装置 |
| CN102335969A (zh) * | 2011-07-30 | 2012-02-01 | 常州天合光能有限公司 | 可有效控制切片质量的切片设备 |
| CN102501322A (zh) * | 2011-11-03 | 2012-06-20 | 上海申和热磁电子有限公司 | 用于多晶线切方高切速切割的装置及其工艺 |
| CN104553028A (zh) * | 2014-11-30 | 2015-04-29 | 李军安 | 一种用于榨油机的新型榨筒安装结构 |
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- 2010-09-13 CN CN2010205257090U patent/CN201816149U/zh not_active Expired - Fee Related
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