CN201793736U - 硅片镀膜载板 - Google Patents
硅片镀膜载板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201793736U CN201793736U CN201020548045XU CN201020548045U CN201793736U CN 201793736 U CN201793736 U CN 201793736U CN 201020548045X U CN201020548045X U CN 201020548045XU CN 201020548045 U CN201020548045 U CN 201020548045U CN 201793736 U CN201793736 U CN 201793736U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- support plate
- silicon chip
- uniform flow
- flow bar
- equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
本实用新型涉及硅片镀膜设备技术领域，特别是一种硅片镀膜设备内的镀膜载板，在载板的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的匀流条，匀流条高出载板的上端和下端。匀流条的安装可以显著的降低载板前后端色差片的产生；同时匀流条的安装增加了石墨载板的强度，使载板更加平稳的运行于设备中，降低设备发生故障的几率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片镀膜设备技术领域，特别是一种硅片镀膜设备内的镀膜载板。
背景技术
现有的太阳能电池载板式PECVD镀膜设备，如Roth&Rau公司的，均采用石墨材质的载板，一方面，在石墨载板的前端与后端容易出现成膜膜厚和折射率不均匀的现象，造成薄膜颜色上的差异，影响电池外观；另一方面，同时载板的强度在使用过程中会降低。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：生长膜厚和折射率均匀的薄膜，减少生产过程中的色差现象。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片镀膜载板，在载板的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的匀流条，匀流条高出载板的上端和下端。
具体的，匀流条高出载板上端2～10mm，高出载板下端2～10mm。
匀流条为石墨材质。
本实用新型的有益效果是：匀流条的安装可以显著的降低载板前后端色差片的产生；同时匀流条的安装增加了石墨载板的强度，使载板更加平稳的运行于设备中，降低设备发生故障的几率。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；
图1是载板安装匀流条的侧面图；
图2是载板安装匀流条的俯视图；
其中：1.载板，2.匀流条。
具体实施方式
现在结合附图1和2对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1和2所示，以156mm*156mm准方形多晶硅太阳能电池用载板为例，在载板1的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的匀流条2，匀流条2高出载板上端2～10mm，高出载板下端2～10mm。匀流条2为石墨材质。
Claims (3)
1.一种硅片镀膜载板，其特征是：在载板(1)的前端与后端分别安装一条垂直载板前进方向的匀流条(2)，匀流条(2)高出载板的上端和下端。
2.根据权利要求1所述的硅片镀膜载板，其特征是：所述的匀流条(2)高出载板上端2～10mm，高出载板下端2～10mm。
3.根据权利要求1或2所述的硅片镀膜载板，其特征是：所述的匀流条(2)为石墨材质。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201020548045XU CN201793736U (zh) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 硅片镀膜载板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201020548045XU CN201793736U (zh) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 硅片镀膜载板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201793736U true CN201793736U (zh) | 2011-04-13 |
Family
ID=43848656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201020548045XU Expired - Fee Related CN201793736U (zh) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 硅片镀膜载板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201793736U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106521446A (zh) * | 2016-10-09 | 2017-03-22 | 深圳市万普拉斯科技有限公司 | 真空镀膜方法和真空镀膜治具 |
-
2010
- 2010-09-29 CN CN201020548045XU patent/CN201793736U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106521446A (zh) * | 2016-10-09 | 2017-03-22 | 深圳市万普拉斯科技有限公司 | 真空镀膜方法和真空镀膜治具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201732795U (zh) | 晶体硅太阳能电池片 | |
| CN201793736U (zh) | 硅片镀膜载板 | |
| CN201443720U (zh) | 风光互补太阳能路灯 | |
| CN202977485U (zh) | 带有辐射散热膜结构的光伏玻璃 | |
| CN204303822U (zh) | 一种晶体硅太阳能电池片 | |
| CN204857689U (zh) | 一种太阳能电池新型结构石墨舟 | |
| CN201250298Y (zh) | 分体式石英舟结构 | |
| CN204011452U (zh) | 一种单面压花太阳能电池封装胶膜 | |
| CN202977484U (zh) | 用于太阳能电池组件的光伏玻璃 | |
| CN203406303U (zh) | 新型光伏组件 | |
| CN202259332U (zh) | 一种太阳能组件导水装置 | |
| CN205258658U (zh) | 一种提高多晶炉投料量的增高装置 | |
| CN204224429U (zh) | 一种新型玻璃压延辊的辊面结构 | |
| CN203456224U (zh) | 一种变压器铭牌安装结构 | |
| CN208874497U (zh) | 便于排线的太阳能光伏支架型材 | |
| CN203367251U (zh) | 一种新型镂空石墨载板的传输结构 | |
| CN204923637U (zh) | 一种太阳能冷藏库房 | |
| CN202747676U (zh) | 一种可平直安装的平板太阳能集热器 | |
| CN202705468U (zh) | 平板式pecvd专用镀膜挂件 | |
| CN201952344U (zh) | 一种浮法玻璃成型冷却水包 | |
| CN102140012A (zh) | 一种浮法玻璃成型冷却水包 | |
| CN202965448U (zh) | 适用于太阳能高方阻电池的正电极网版 | |
| CN202440632U (zh) | 一种敞开式送纱器机架 | |
| CN202644557U (zh) | 一种防沉降台连体桩 | |
| CN202601626U (zh) | 一种背电极分段式太阳能电池片 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110413 Termination date: 20130929 |