CN201715990U - 硅圆锭斜面测试仪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种硅圆锭斜面测试仪，包括平台、圆锭夹具和晶托，在平台上设置导轨，晶托的平面与导轨垂直，圆锭夹具通过夹具滑座设置在导轨上，晶托通过晶托滑座设置在导轨上，晶托具有两个，分别位于圆锭夹具的两侧。本测试仪能以圆锭的中心线为基准，即使圆锭截面为平行四边形也可测量出来，可通过目视或塞尺测量，测量方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅圆锭斜面测试仪。
背景技术
硅圆锭端面为斜面的情况使硅圆锭切割存在着一定的质量隐患，如切片过程中会因斜面引发跳线、断线等故障，故需要在切片前针对硅圆锭端面进行检测。通常的做法是采用卷尺测量圆锭的长度，三次不同的测量结果的差值为圆锭的斜面，这种测量方法存在误差，比如圆锭的截面为平行四边行时，这种测量方法测量不出。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：设计一种硅圆锭斜面测试仪，可方便准确地得知硅圆锭的断面是否为斜面。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅圆锭斜面测试仪，包括平台、圆锭夹具和晶托，在平台上设置导轨，晶托的平面与导轨垂直，圆锭夹具通过夹具滑座设置在导轨上，晶托通过晶托滑座设置在导轨上，晶托具有两个，分别位于圆锭夹具的两侧。
圆锭夹具具有为左右两个。
本实用新型的有益效果是：本测试仪能以圆锭的中心线为基准，即使圆锭截面为平行四边形也可测量出来，可通过目视或塞尺测量，测量方便。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；
图1是本实用新型的结构示意图；
其中：1.平台，1-1.导轨，2.圆锭夹具，2-1.夹具滑座，3.晶托，3-1.晶托滑座，4.硅圆锭。
具体实施方式
如图1所示，一种硅圆锭斜面测试仪，包括平台1、圆锭夹具2和晶托3，在平台1上设置导轨1-1，晶托2的平面与导轨1-1垂直，圆锭夹具2通过夹具滑座2-1设置在导轨1-1上，晶托3通过晶托滑座3-1设置在导轨1-1上，晶托3具有两个，分别位于圆锭夹具2的两侧。圆锭夹具2具有为左右两个。将待检测的硅圆锭4夹在圆锭夹具2上固定中心线后，将硅圆锭4两端面接触到晶托3的平面，目视检查是否有间隙，也可用塞尺测量，读数即为硅圆锭4的斜面的测量值。
Claims (2)
1.一种硅圆锭斜面测试仪，其特征是：包括平台(1)、圆锭夹具(2)和晶托(3)，在所述的平台(1)上设置导轨(1-1)，晶托(2)的平面与导轨(1-1)垂直，圆锭夹具(2)通过夹具滑座(2-1)设置在导轨(1-1)上，所述的晶托(3)通过晶托滑座(3-1)设置在导轨(1-1)上，晶托(3)具有两个，分别位于圆锭夹具(2)的两侧。
2.根据权利要求1所述的硅圆锭斜面测试仪，其特征是：所述的圆锭夹具(2)具有为左右两个。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN102241081A (zh) * | 2011-06-29 | 2011-11-16 | 浙江光益硅业科技有限公司 | 改善多线切割硅片入刀口处厚薄不均匀的方法及装置 |
| CN103557776A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-02-05 | 沈阳航天新乐有限责任公司 | 一种测量舵面展开后对称度测量夹具及其检测方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GR01 | Patent grant | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110119 Termination date: 20130719 |