CN201552683U - 硅棒的多线切割装置 - Google Patents

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佘毅
杨乐
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Abstract

一种硅棒的多线切割装置,包括导线轮以及位于导线轮上的切割线,其特征在于,还包括给切割线定位的导向条,所述导向条上开有导向槽,切割线进刀时位于所述导向槽内。所述导向条至少为两条。本实用新型能够对切割线精确定位,从而有效减少切割不均、废片等工程内不良,提高良品率。同时减小导线轮的磨损度,延长其使用寿命。

Description

硅棒的多线切割装置
技术领域
[0001] 本实用新型涉及硅晶体的多线切割技术,具体涉及硅棒的多线切割装置。 背景技术
[0002] 硅片是半导体和太阳能光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前采 用最广泛的硅片加工技术,它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式,也不同于更先进的 激光切割和内圆切割方式,其原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢线上的切割刃 料,对硅棒进行摩擦,从而达到切割效果。在整个过程中,数十根位于导线轮线槽内的钢线 通过导线轮的引导,在导线轮的辊上形成一张线网,而待加工硅棒通过工作台的下降实现 工件的进给,线网进而将硅棒一次同时切割为数百片薄片。硅片多线切割技术与其他技术 相比具有效率高,产能高,精度高等优点。
[0003] 目前采用的硅棒多线切割装置无法对切割线进行导向定位。在将硅棒粘接好后直 接装入多线切割装置切割,由于硅棒表面和钢线表面都很光滑,所以当钢线刚切割到硅棒 时很容易打滑,钢线的切割位置和线槽的位置产生相对滑移,造成切割不均、废片等工程内 不良,且对导线轮产生一定的伤害,缩短其使用寿命。
[0004] 实用新型的内容
[0005] 针对现有硅棒多线切割装置无法对切割线进行导向定位,易造成切割不均、废片 和对导线轮造成损伤的缺点,申请人进行了改进研究,提供一种硅棒的多线切割装置,能 够对切割线精确定位,从而有效减少切割不均、废片等工程内不良,同时减小导线轮的磨损 度,延长其使寿命。
[0006] 本实用新型的技术方案如下:
[0007] 硅棒的多线切割装置,包括导线轮以及位于导线轮上的切割线,其特征在于,还包 括给切割线定位的导向条,所述导向条上开有导向槽,切割线进刀切割硅棒时位于所述导 向槽内。
[0008] 所述导向条至少为两条。
[0009] 本实用新型的有益技术效果是:
[0010] 采用本实用新型进行多线切割前,在硅棒表面用胶水粘附导向条,待胶水完全固 化后,再进行装机切割。在切割时,切割线组成的线网先切到导向条,由于导向条硬脆且易 于切割,所以当线网切割到导向条时,更易进刀,在导向条上首先切割出导向槽,然后再切 割到硅棒。切割线能够按切割出的导向槽位置定位,来切割硅棒5,减小由于对硅棒5直接 进切割时产生的相对滑移,减少切割不均以及废片的出现。从而提高良品率,同时由于减小 了进刀位置与线槽之间的相对位移,减小了对导线轮的损伤,延长了其使用寿命。
附图说明
[0011] 图1是本实用新型的结构示意图。
[0012] 图2是导向条的示意图。
3具体实施方式
[0013] 下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做进一步说明。
[0014] 图1为本实用新型的结构示意图。如图1所示,本实用新型包括导线轮1以及位 于导线轮1上的切割线2,还包括给切割线2定位的导向条3,导向条3上开有导向槽4(见 图2),切割线2进刀切割硅棒5时位于所述导向槽4内。
[0015] 本实施例中导向条有2条,其为长400mm、宽10mm、高2. 9mm的白色条状物,是由 A1(0H)3、石粉和树脂调合成浆料,然后在模具中经过烧结形成的硬脆且易于切割的材料。
[0016] 采用本实用新型进行多线切割过程如图1所示:切割前在硅棒5表面用胶水粘附 两条导向条3,导向条3的安装方向与切割线2垂直,所述导向条至少为两条,最佳实施例为 两条,两条导向条平行布置,且两条导向条之间的距离与两条导向条分别到硅棒5直径端 点的距离相等,即两导向条在与之垂直的硅棒5的直径上均距离布置。待胶水完全固化后, 再进行装机切割。切割时硅棒5通过工作台6下降,切割线2组成的线网先切割到导向条 3,在切割过程中在导向条3上切割出导向槽4(如图2所示),然后再切割到硅棒5。由于 导向条3硬脆且易于切割,所以当线网切割到导向条3时,更易进刀,切割线2能够按在导 向条3上切割出的导向槽4定位的位置切割硅棒5,减小由于对硅棒5直接进切割时产生的 相对滑移,减少切割不均、废片的出现。
[0017] 以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式,本实用新型不限于以上实施例。可 以理解,本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和构思的前提下,可以做出其他改进 和变化。

Claims (2)

  1. 一种硅棒的多线切割装置,包括导线轮以及位于导线轮上的切割线,其特征在于,还包括给切割线定位的导向条,所述导向条上开有导向槽,切割线进刀切割硅棒时位于所述导向槽内。
  2. 2.根据权利要求1所述硅棒的多线切割装置,其特征在于,所述导向条至少为两条。
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