CN201473585U

CN201473585U - 高效太阳能集热管镀膜机

Info

Publication number: CN201473585U
Application number: CN2009201897659U
Authority: CN
Inventors: 谢伟东
Original assignee: Zhejiang University of Technology ZJUT
Current assignee: Zhejiang University of Technology ZJUT
Priority date: 2009-07-27
Filing date: 2009-07-27
Publication date: 2010-05-19
Anticipated expiration: 2019-07-27

Abstract

一种高效太阳能集热管镀膜机，包括真空室、靶极、转盘和夹具，真空室为圆柱形筒体，圆柱形筒体上开有门，靶极是绕其轴心作旋转运动的圆柱形细长部件，靶极位于转盘中央，转盘位于真空室内，太阳能集热管工件套夹在夹具上，夹具通过自转运动传动链与驱动装置连接，转盘通过公转运动传动链与驱动装置连接，高效太阳能集热管镀膜机还包括2个以上的转架；转架上有n个夹具；转架安装在转盘上，转架通过附加公转传动链与驱动装置连接；各个转架上的夹具的回转中心布置在以转架回转中心为圆心的圆环带内；各个转架的回转中心布置在以转盘回转中心为圆心的圆环带内。本实用新型能有效提高设备产能，降低集热管镀膜生产成本和能耗成本。

Description

高效太阳能集热管镀膜机

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能集热管镀膜机。

背景技术

近年来，太阳能热水器、太阳能空调系统等太阳能热利用技术正以前所未有的发展态势占据了全球可再生能源利用领域的大部分江山。其中全玻璃太阳能真空集热管成为太阳能热利用设备的核心部件。全玻璃太阳能真空集热管生产的关键设备是太阳能集热管真空镀膜机，尤其是磁控溅射真空镀膜机，其真空室采用立式前开门的圆柱形筒体，从筒体横剖面看，工件(即玻璃毛坯管)在筒体中是等间隔均匀排列在一个与筒体中转盘回转中心同心的一个圆周上的，为了尽可能多地容纳工件数量，这个圆周的直径一般尽可能地大。图1是一个典型的现有技术的太阳能集热管镀膜设备的真空室内工件、靶极布置的示意图，该图为真空室的横剖面图，包括真空室1、靶极2、工件3、转盘5、夹具6，其中真空室1是圆柱形筒体，筒体上开有门(图中未作表示)；靶极2是一圆柱形细长部件，可绕其轴心作旋转运动，图中靶极2有3个，布置在转盘5中央；工件3是太阳能集热管工件，它是一细长圆柱形工件，镀膜时需套在夹具6上，依靠其内表面定位并被紧固在夹具6上；夹具6安装在转盘5上；夹具6通过机械传动链与驱动装置连接，使得夹具6带动工件3绕夹具回转中心(即工件的回转中心)相对于转盘5作旋转运动，其运动称为工件自转；转盘5在驱动装置及机械传动链带动下绕转盘圆心作旋转运动，从而带动其上的夹具6和工件3绕转盘回转中心作旋转运动，其运动称为工件公转。

为了提高镀膜机的生产率，现有技术的做法是加大真空室圆柱形筒体的直径，从早期的直径300mm扩大到现在的850mm，甚至更大，以增加工件装载量；由于真空室空间加大，配用的真空机组规格也需要相应放大。但是这样做所获得的设备产能提高与设备成本的增加和能耗的加大相比较，技术经济显然不可行。因为，图1所述的工件在真空室内的排列方法，决定了真空室空间利用率与工件数量存在如下近似关系：

K≈μπ²N/(N+1.5π)² (1)

其中K为真空室空间利用率，即工件所占据的空间与真空室内总空间的比值；N为工件沿真空室内圆周排列时真空室装载的工件数量(支)；μ为常数，对于直径为58mm的工件工件可以取μ≈0.77，对于直径为47mm的工件工件可以取μ≈0.73。

现有技术的关键缺陷在于：(1)真空室空间利用率低，以装载直径为58mm的工件工件36支为例(真空室筒体直径需850mm)，根据(1)式计算的空间利用率约为16.5％；(2)通过扩大真空室直径来增加工件装载量的方法，由(1)式可见，会大幅度降低其空间利用率，从而使得设备成本和能耗显著增加。

通过对行业的调研和对公开发表的科技文献、已公开的中国专利和中文网站的检索和搜索，未见有与本实用新型接近的研究成果、技术、和产品的公开信息和报道。

发明内容

为了克服已有的太阳能集热管镀膜机的真空室空间利用率低，导致设备的产能偏低的不足，本实用新型提供一种有效提高真空室空间利用率，进而提高设备产能并降低能耗的高效太阳能集热管镀膜机。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种高效太阳能集热管镀膜机，包括真空室、靶极、转盘和夹具，所述真空室为圆柱形筒体，所述圆柱形筒体上开有门，所述靶极是绕其轴心作旋转运动的圆柱形细长部件，所述靶极位于所述转盘中央，所述转盘位于所述真空室内，太阳能集热管工件套夹在夹具上，所述夹具通过自转运动传动链与驱动装置，所述转盘通过公转运动传动链与驱动装置连接，所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括2个以上的转架；部分夹具安装在转架上，其余夹具安装在转架或转盘上；所述转架上有n个夹具，n为2至9之间的自然数；所述转架安装在转盘上，所述转架通过附加公转传动链与驱动装置连接；所述各个转架上的夹具的回转中心布置在以转架回转中心为圆心的圆环带内；所述的各个转架的回转中心和安装在转盘上的夹具的回转中心布置在以转盘回转中心为圆心的圆环带内。

作为优选的一种方案：各个转架的回转中心布置在以转盘回转中心为圆心的的同一个圆周上。

进一步，各个转架的回转中心等间隔均匀布置在以转盘回转中心为圆心的的同一个圆周上。

作为优选的另一种方案：n个夹具的回转中心布置在以转架回转中心为圆心的同一个圆周上。

进一步，n个夹具的回转中心等间隔均匀布置在以转架回转中心为圆心的同一个圆周上，使得n个夹具的回转中心连线构成一正n边形图案。

再进一步，两个相邻转架之间的转向相同或相反。

作为优选的又一种方案：两个相邻转架上的n个夹具回转中心连线构成的正n边形图案的初始位置相对于转盘的回转中心的角度相同或不同。

优选的一类实例为：夹具全部安装在转架上，两个相邻转架上的n个夹具回转中心连线构成的正n边形图案的初始位置相对于转盘的回转中心均错开一个180°/n的角度，并且所述各个转架相对于转盘的转速大小相同而方向相反。

本实用新型的技术构思为：上述高效太阳能集热管镀膜机通过改进工件在真空室中的排列方式，采用增加工件附加公转的技术方案，在真空室直径基本不变的条件下显著提高了真空室内工件的装载数量，同时不需要加大真空机组的规格，因而设备的造价增加很少；对于真空室直径基本不变的情形，其工作真空的抽取时间也将基本不变，应该注意到此情形下工件数量已经显著增加了，因而分摊到每支工件上的设备运行能耗和加工时间必然降低。

对于工件呈正多边形等间隔圆周排列的情形，工件的公转、附加公转和自转运动保证了每个工件表面暴露在靶极前具有均等的位置机会和相同的时间长度，因而其镀膜质量不会下降；这种工件排列方式还使得真空室中的靶材原子将更多地被溅射到工件工件表面上，而减少了溅射到真空室筒壁和其它机件上的数量，因而能够提高靶材的利用率，同时还减少了真空室内腔需要清理的次数；使得所加工的太阳能集热管成本进一步下降。

本实用新型的有益效果主要表现在：1、能显著提高设备产能，而设备造价增加很小；2、能显著降低集热管镀膜生产成本和能耗成本。

附图说明

图1是现有技术的太阳能集热管镀膜机的真空室内工件、靶极布置的示意图。

图2是本实用新型提供的高效太阳能集热管镀膜机的真空室内工件、靶极布置的实施例1的示意图。

图3是本实用新型提供的高效太阳能集热管镀膜机的真空室内工件、靶极布置的实施例2的示意图。

图4是本实用新型提供的高效太阳能集热管镀膜机的真空室内工件、靶极布置的实施例3的示意图。

图5是本实用新型提供的高效太阳能集热管镀膜机的真空室内工件、靶极布置的实施例4的示意图。

图6是本实用新型提供的高效太阳能集热管镀膜机的真空室内工件、靶极布置的实施例5的示意图。

图7是本实用新型提供的高效太阳能集热管镀膜机的真空室内工件、靶极布置的实施例6的示意图。

图8是本实用新型提供的高效太阳能集热管镀膜机的真空室内工件、靶极布置的实施例7的示意图。

其中1.真空室，2.靶极，3.工件，4.转架，5.转盘，6.夹具。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。

实施例1

参照图2，一种高效太阳能集热管镀膜机，包括真空室1、靶极2、转盘5和夹具6，所述真空室1为圆柱形筒体，所述圆柱形筒体上开有门，所述靶极2是绕其轴心作旋转运动的圆柱形细长部件，所述靶极2位于转盘5中央，所述转盘5位于所述真空室1内，太阳能集热管工件3套夹在夹具6上，所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，所述转盘5通过公转运动传动链与驱动装置连接，所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括12个转架4；夹具6全部安装在转架4上；所述转架4上有n＝5个夹具6和n＝4个夹具6的两种布置方式；所述转架4安装在转盘5上，所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置连接；所述的各转架4上的夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的圆环带内；所述的各转架4的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的圆环带内。

图2是真空室的横剖面图，它示出了所述的高效太阳能集热管镀膜机包括真空室1、靶极2、工件3、转架4、转盘5、夹具6，其中真空室1是圆柱形筒体，筒体上开有门(图中未作表示)；靶极2是一圆柱形细长部件，可绕其轴心作旋转运动；工件3是一细长圆柱形的太阳能集热管玻璃毛坯管。

镀膜时工件3需套夹在夹具6上，依靠其内表面定位并被紧固在夹具6上；夹具6带动工件3绕工件回转中心作旋转运动，其运动称为工件自转；转盘5在传动链带动下绕转盘圆心作旋转运动，从而带动其上的夹具6和工件3绕转盘5圆心作旋转运动，其运动称为工件公转；所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括12个转架4，其中11个转架4上每个转架安装有5个夹具6，1个转架4上安装有4个夹具6；所述转架4安装在所述转盘5上；所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，使得夹具6能够带动其上的工件3作工件自转运动；所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置联接，使得转架4能够绕其自身的回转中心相对于转盘5作工件附加公转运动；所述的各个夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的直径d1与d2之间的圆环带内；所述的各个转架4的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的直径D1与D2之间的圆环带内；本实施例的传动链可以采用行星齿轮传动机构来实现，当然，也可以采用其他类型能够实现上述传动的传动机构来实现。

所述的各个转架4相对于转盘5的转速可以不相同，转向可以任意；所述的12个转架4中的11个转架4上的5个夹具6的回转中心等间隔均匀布置在转架4的同一个圆周上，使得紧固在其上的工件3的回转中心连线构成一正五边形图案，所述的正五边形图案的中心与转架4的回转中心同心；所述的12个转架4中的1个转架4上的4个夹具6的回转中心等间隔均匀布置在转架4的另外一个圆周上，使得紧固在其上的工件3的回转中心连线构成一正方形图案，所述的正方形图案的中心与转架4的回转中心同心。

该实施例真空室的直径为890mm，真空室内工件的装载数量为59支，其空间利用率约为25％。

实施例2

参照图3，一种高效太阳能集热管镀膜机，包括真空室1、靶极2、转盘5和夹具6，所述真空室1为圆柱形筒体，所述圆柱形筒体上开有门，所述靶极2是绕其轴心作旋转运动的圆柱形细长部件，所述靶极2位于转盘5中央，所述转盘5位于所述真空室1内，太阳能集热管工件3套夹在夹具6上，所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，所述转盘5通过公转运动传动链与驱动装置连接，所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括13个转架4；65个夹具6安装在转架4上，1个夹具6直接安装在转盘5上；所述每个转架4上有n＝5个夹具；所述转架4安装在转盘5上，所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置连接；所述的各转架4上的夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的圆环带内；所述的各转架4的回转中心和直接安装在转盘5上的夹具6的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的圆环带内。

图3是真空室的横剖面图，它示出了所述的高效太阳能集热管镀膜机包括真空室1、靶极2、工件3、转架4、转盘5、夹具6，其中真空室1是圆柱形筒体，筒体上开有门(图中未作表示)；靶极2是一圆柱形细长部件，可绕其轴心作旋转运动；工件3是一细长圆柱形的太阳能集热管玻璃毛坯管。

镀膜时工件3需套夹在夹具6上，依靠其内表面定位并被紧固在夹具6上；夹具6带动工件3绕工件回转中心作旋转运动，其运动称为工件自转；转盘5在传动链带动下绕转盘圆心作旋转运动，从而带动其上的夹具6和工件3绕转盘圆心作旋转运动，其运动称为工件公转；所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括13个转架4，所述每个转架4安装有5个夹具6；所述转架4安装在所述转盘5上；另有1个夹具6直接安装在转盘5上；所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，使得夹具6能够带动其上的工件3作工件自转运动；所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置联接，使得转架4能够绕其自身的回转中心相对于转盘5作工件附加公转运动；所述的各转架4上的夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的同一圆周上；所述的13个转架4的回转中心和1个直接安装在转盘5上的夹具6的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的直径D1与D2之间的圆环带内；本实施例的传动链可以采用行星齿轮传动机构来实现，当然，也可以采用其他类型能够实现上述传动的传动机构来实现。

所述的各个转架4的回转中心布置在转盘5的同一个圆周上，所述的圆周的圆心与转盘5的回转中心同心；所述的各个转架4相对于转盘5的转速大小相同，两个相邻转架之间的转向相反；所述的转架4上的5个夹具6的回转中心等间隔均匀布置在转架4的同一个圆周上，使得紧固在其上的工件3的回转中心连线构成一正五边形图案，所述的正五边形图案的中心与转架4的回转中心同心；所述的两个相邻转架4上的由工件回转中心连线构成的正五边形图案的初始位置相对于转盘5的回转中心错开一个36°角度；所述的1个直接安装在转盘5上的夹具6的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的直径为D2的圆周上。

该实施例真空室的直径为900mm，真空室内工件的装载数量为66支，其空间利用率约为27.4％。

实施例3

参照图4，一种高效太阳能集热管镀膜机，包括真空室1、靶极2、转盘5和夹具6，所述真空室1为圆柱形筒体，所述圆柱形筒体上开有门，所述靶极2是绕其轴心作旋转运动的圆柱形细长部件，所述靶极2位于转盘5中央，所述转盘5位于所述真空室1内，太阳能集热管工件3套夹在夹具6上，所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，所述转盘5通过公转运动传动链与驱动装置连接，所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括12个转架4；夹具6全部安装在转架4上；每个转架4上有n＝5个夹具6；所述转架4安装在转盘5上；所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置连接；所述的各转架4上的夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的圆环带内；所述的各转架4的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的圆环带内。

图4是真空室的横剖面图，它示出了所述的高效太阳能集热管镀膜机包括真空室1、靶极2、工件3、转架4、转盘5、夹具6，其中真空室1是圆柱形筒体，筒体上开有门(图中未作表示)；靶极2是一圆柱形细长部件，可绕其轴心作旋转运动；工件3是一细长圆柱形的太阳能集热管玻璃毛坯管。

镀膜时工件3需套夹在夹具6上，依靠其内表面定位并被紧固在夹具6上；夹具6带动工件3绕工件回转中心作旋转运动，其运动称为工件自转；转盘5在传动链带动下绕转盘圆心作旋转运动，从而带动其上的夹具6和工件3绕转盘圆心作旋转运动，其运动称为工件公转；所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括12个转架4，所述的每个转架4上安装有5个夹具6；所述转架4安装在所述转盘5上；所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，使得夹具6能够带动其上的工件3作工件自转运动；所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置联接，使得转架4能够绕其自身的回转中心相对于转盘5作工件附加公转运动；所述的各转架4上的夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的同一圆周上；所述的各转架4的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的同一圆周上；本实施例的传动链可以采用行星齿轮传动机构来实现，当然，也可以采用其他类型能够实现上述传动的传动机构来实现。

所述的各个转架4的回转中心等间隔均匀布置在转盘5的同一个圆周上，所述的圆周的圆心与转盘5的回转中心同心；所述的各个转架4相对于转盘5的转速大小相同，任意两个相邻转架之间的转向可以相同，也可以相反；所述的转架4上的5个夹具6的回转中心等间隔均匀布置在转架4的同一个圆周上，使得紧固在其上的工件3的回转中心连线构成一正五边形图案，所述的正五边形图案的中心与转架4的回转中心同心；所述的任意两个相邻转架4上的由工件回转中心连线构成的正五边形图案的初始位置相对于转盘5的回转中心的角度可以相同，也可以不相同。

该实施例真空室的直径为890mm，真空室内工件的装载数量为60支，其空间利用率约为25.5％。

实施例4

参照图5，本实施例的工件布置方式与实施例3类似。

图5是真空室的横剖面图，它示出了所述的高效太阳能集热管镀膜机包括真空室1、靶极2、工件3、转架4、转盘5、夹具6，其中真空室1是圆柱形筒体，筒体上开有门(图中未作表示)；靶极2是一圆柱形细长部件，可绕其轴心作旋转运动；工件3是一细长圆柱形的太阳能集热管玻璃毛坯管。

镀膜时工件3需套夹在夹具6上，依靠其内表面定位并被紧固在夹具6上；夹具6带动工件3绕工件回转中心作旋转运动，其运动称为工件自转；转盘5在传动链带动下绕转盘圆心作旋转运动，从而带动其上的夹具6和工件3绕转盘圆心作旋转运动，其运动称为工件公转；所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括14个转架4；夹具6全部安装在转架4上；所述的每个转架4上有5个夹具6；所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，使得夹具6能够带动其上的工件3作工件自转运动；所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置联接，使得转架4能够绕其自身的回转中心相对于转盘5作工件附加公转运动；所述的各转架4上的夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的同一圆周上；所述的各转架4的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的同一圆周上；本实施例的传动链可以采用行星齿轮传动机构来实现，当然，也可以采用其他类型能够实现上述传动的传动机构来实现。

所述的各个转架4的回转中心等间隔均匀布置在转盘5的同一个圆周上，所述的圆周的圆心与转盘5的回转中心同心；所述的各个转架4相对于转盘5的转速大小相同，任意两个相邻转架之间的转向相反；所述的转架4上的5个夹具6的回转中心等间隔均匀布置在转架4的同一个圆周上，使得紧固在其上的工件3的回转中心连线构成一正五边形图案，所述的正五边形图案的中心与转架4的回转中心同心；所述的任意两个相邻转架4上的由工件回转中心连线构成的正五边形图案的初始位置相对于转盘5的回转中心均错开一个36°角度。

该实施例真空室的直径为930mm，真空室内工件的装载数量为70支，其空间利用率约为27.2％。

实施例5

参照图6，本实施例的工件布置方式与实施例3类似。

图6是真空室的横剖面图，它示出了所述的高效太阳能集热管镀膜机包括真空室1、靶极2、工件3、转架4、转盘5、夹具6，其中真空室1是圆柱形筒体，筒体上开有门(图中未作表示)；靶极2是一圆柱形细长部件，可绕其轴心作旋转运动；工件3是一细长圆柱形的太阳能集热管玻璃毛坯管。

镀膜时工件3需套夹在夹具6上，依靠其内表面定位并被紧固在夹具6上；夹具6带动工件3绕工件回转中心作旋转运动，其运动称为工件自转；转盘5在传动链带动下绕转盘圆心作旋转运动，从而带动其上的夹具6和工件3绕转盘圆心作旋转运动，其运动称为工件公转；所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括14个转架4，所述的每个转架4上安装有4个夹具6；所述转架4安装在所述转盘5上；所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，使得夹具6能够带动其上的工件3作工件自转运动；所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置联接，使得转架4能够绕其自身的回转中心相对于转盘5作工件附加公转运动；所述的各转架4上的夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的同一圆周上；所述的各转架4的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的同一圆周上；本实施例的传动链可以采用行星齿轮传动机构来实现，当然，也可以采用其他类型能够实现上述传动的传动机构来实现。

所述的各个转架4的回转中心等间隔均匀布置在转盘5的同一个圆周上，所述的圆周的圆心与转盘5的回转中心同心；所述的各个转架4相对于转盘5的转速大小相同，任意两个相邻转架之间的转向可以相同，也可以相反；所述的转架4上的4个夹具6的回转中心等间隔均匀布置在转架4的同一个圆周上，使得紧固在其上的工件3的回转中心连线构成一正方形图案，所述的正方形图案的中心与转架4的回转中心同心；所述的任意两个相邻转架4上的由工件回转中心连线构成的正方形图案的初始位置相对于转盘5的回转中心的角度可以相同，也可以不相同。

该实施例真空室的直径为900mm，真空室内工件的装载数量为56支，其空间利用率约为23.3％。

实施例6

参照图7，本实施例的工件布置方式与实施例4类似。

图7是真空室的横剖面图，它示出了所述的高效太阳能集热管镀膜机包括真空室1、靶极2、工件3、转架4、转盘5、夹具6，其中真空室1是圆柱形筒体，筒体上开有门(图中未作表示)；靶极2是一圆柱形细长部件，可绕其轴心作旋转运动；工件3是一细长圆柱形的太阳能集热管玻璃毛坯管。

镀膜时工件3需套夹在夹具6上，依靠其内表面定位并被紧固在夹具6上；夹具6带动工件3绕工件回转中心作旋转运动，其运动称为工件自转；转盘5在传动链带动下绕转盘圆心作旋转运动，从而带动其上的夹具6和工件3绕转盘圆心作旋转运动，其运动称为工件公转；所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括16个转架4；夹具6全部安装在转架4上；所述的每个转架4上有4个夹具6；所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，使得夹具6能够带动其上的工件3作工件自转运动；所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置联接，使得转架4能够绕其自身的回转中心相对于转盘5作工件附加公转运动；所述的各转架4上的夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的同一圆周上；所述的各转架4的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的同一圆周上；本实施例的传动链可以采用行星齿轮传动机构来实现，当然，也可以采用其他类型能够实现上述传动的传动机构来实现。

所述的各个转架4的回转中心等间隔均匀布置在转盘5的同一个圆周上，所述的圆周的圆心与转盘5的回转中心同心；所述的各个转架4相对于转盘5的转速大小相同，任意两个相邻转架之间的转向相反；所述的转架4上的4个夹具6的回转中心等间隔均匀布置在转架4的同一个圆周上，使得紧固在其上的工件3的回转中心连线构成一正方形图案，所述的正方形图案的中心与转架4的回转中心同心；所述的任意两个相邻转架4上的由工件回转中心连线构成的正方形图案的初始位置相对于转盘5的回转中心均错开一个45°的角度。

该实施例真空室的直径为900mm，真空室内工件的装载数量为64支，其空间利用率约为26.6％。

实施例7

参照图8，本实施例的工件布置方式与实施例4类似。

图8是真空室的横剖面图，它示出了所述的高效太阳能集热管镀膜机包括真空室1、靶极2、工件3、转架4、转盘5、夹具6，其中真空室1是圆柱形筒体，筒体上开有门(图中未作表示)；靶极2是一圆柱形细长部件，可绕其轴心作旋转运动；工件3是一细长圆柱形的太阳能集热管玻璃毛坯管。

镀膜时工件3需套夹在夹具6上，依靠其内表面定位并被紧固在夹具6上；夹具6带动工件3绕工件回转中心作旋转运动，其运动称为工件自转；转盘5在传动链带动下绕转盘圆心作旋转运动，从而带动其上的夹具6和工件3绕转盘圆心作旋转运动，其运动称为工件公转；所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括18个转架4；夹具6全部安装在转架4上；所述的每个转架4上有3个夹具6；所述夹具6通过自转运动传动链与驱动装置连接，使得夹具6能够带动其上的工件3作工件自转运动；所述转架4通过附加公转传动链与驱动装置联接，使得转架4能够绕其自身的回转中心相对于转盘5作工件附加公转运动；所述的各转架4上的夹具6的回转中心布置在以转架4回转中心为圆心的同一圆周上；所述的各转架4的回转中心布置在以转盘5回转中心为圆心的同一圆周上；本实施例的传动链可以采用行星齿轮传动机构来实现，当然，也可以采用其他类型能够实现上述传动的传动机构来实现。

所述的各个转架4的回转中心等间隔均匀布置在转盘5的同一个圆周上，所述的圆周的圆心与转盘5的回转中心同心；所述的各个转架4相对于转盘5的转速大小相同，任意两个相邻转架之间的转向相反；所述的转架4上的3个夹具6的回转中心等间隔均匀布置在转架4的同一个圆周上，使得紧固在其上的工件3的回转中心连线构成一等边三角形图案，所述的等边三角形图案的中心与转架4的回转中心同心；所述的任意两个相邻转架4上的由工件回转中心连线构成的等边三角形图案的初始位置相对于转盘5的回转中心均错开一个60°的角度。

该实施例真空室的直径为870mm，真空室内工件的装载数量为54支，其空间利用率约为24％。

Claims

1.一种高效太阳能集热管镀膜机，包括真空室、靶极、转盘和夹具，所述真空室为圆柱形筒体，所述圆柱形筒体上开有门，所述靶极是绕其轴心作旋转运动的圆柱形细长部件，所述靶极位于所述转盘中央，所述转盘位于所述真空室内，太阳能集热管工件套夹在夹具上，所述夹具通过自转运动传动链与驱动装置连接，所述转盘通过公转运动传动链与驱动装置连接，其特征在于：所述的高效太阳能集热管镀膜机还包括2个以上的转架；部分夹具安装在转架上，其余夹具安装在转架或转盘上；所述转架上有n个夹具，n为2至9之间的自然数；所述转架安装在转盘上，所述转架通过附加公转传动链与驱动装置连接；所述各个转架上的夹具的回转中心布置在以转架回转中心为圆心的圆环带内；所述的各个转架的回转中心和安装在转盘上的各个夹具的回转中心布置在以转盘回转中心为圆心的圆环带内。

2.如权利要求1所述的高效太阳能集热管镀膜机，其特征在于：各个转架的回转中心布置在以转盘回转中心为圆心的的同一个圆周上。

3.如权利要求2所述的高效太阳能集热管镀膜机，其特征在于：各个转架的回转中心等间隔均匀布置在以转盘回转中心为圆心的的同一个圆周上。

4.如权利要求1-3之一所述的高效太阳能集热管镀膜机，其特征在于：n个夹具的回转中心布置在以转架回转中心为圆心的同一个圆周上。

5.如权利要求4所述的高效太阳能集热管镀膜机，其特征在于：n个夹具的回转中心等间隔均匀布置在以转架回转中心为圆心的同一个圆周上。

6.如权利要求4所述的高效太阳能集热管镀膜机，其特征在于：两个相邻转架之间的转向相同或相反。

7.如权利要求5所述的高效太阳能集热管镀膜机，其特征在于：两个相邻转架之间的转向相同或相反。

8.如权利要求1-3所述的高效太阳能集热管镀膜机，其特征在于：两个相邻转架上的n个夹具回转中心连线构成的正n边形图案的初始位置相对于转盘的回转中心的角度相同或不同。

9.如权利要求4所述的高效太阳能集热管镀膜机，其特征在于：所述夹具全部安装在转架上，两个相邻转架上的n个夹具回转中心连线构成的正n边形图案的初始位置相对于转盘的回转中心均错开一个180°/n的角度，并且所述各个转架相对于转盘的转速大小相同而方向相反。