CN201307583Y - 多晶粒反罩吸风模 - Google Patents

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CN201307583Y CNU2008201614034U CN200820161403U CN201307583Y CN 201307583 Y CN201307583 Y CN 201307583Y CN U2008201614034 U CNU2008201614034 U CN U2008201614034U CN 200820161403 U CN200820161403 U CN 200820161403U CN 201307583 Y CN201307583 Y CN 201307583Y
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吕全亚
陈海林
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Abstract

本实用新型公开了一种多晶粒反罩吸风模,包括吸风罩和吸风模座,吸风罩罩在吸风模座上;吸风模座包括料斗盖、吸盘和吸风模底座;料斗盖安装在吸盘的尾端上,吸盘安装在吸风模底座上,吸盘与吸风模底座之间有一空腔,吸盘的一端置有一吸风孔,吸风孔与空腔相通;吸盘上布有晶粒槽,晶粒槽槽底通过通孔与空腔相通,料斗盖与吸盘之间有一料腔;吸风罩与吸盘之间留有吸风腔,吸风腔与料腔连通。排列多晶粒时,吸风嘴抽气,晶粒被吸入到各晶粒槽中,而多余的晶粒以相同的正负极朝向落入料腔中,致使排列后多余的晶粒不再散落在多晶粒吸风模外;由于落入料腔的晶粒的正、负极朝向不会被打乱,可方便地供给多晶粒吸风模下一次排列用。

Description

多晶粒反罩吸风模
技术领域
本实用新型属于电子元器件加工过程中使用的工具装备,更确切地说是涉及二极管制造中晶粒排列用的专用模具。
背景技术
二极管制造过程数多工序中,第一道工序是将硅片裂片后的、极其细微的晶粒,需按正、负极朝向排列在上千个孔位的多晶粒吸风模中;一般是盖上吸风罩,摇动多晶粒吸风模,使吸风罩上正、负极朝向一致的晶粒吸入到晶粒槽中;排列后多余的晶粒随着吸风罩打开,会散落在多晶粒吸风模外,此时晶粒的正、负极朝向被打乱,为了让这些晶粒被再利用,需要由人工将其挑选并翻转成相同的朝向,这将耗费大量人力。
晶粒价格昂贵,散落的晶粒需要再利用;目前劳动力的价格也不断上涨,为了降低二极管的制造成本,必须寻找到改进多晶粒吸风模方案,使多余的晶粒在吸风罩打开后,不会散落在多晶粒吸风模外,同时晶粒的正、负极朝向也不会打乱,在下一次晶粒排列时,晶粒能方便地被利用。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种在二极管制造即排列多晶粒时,多余的晶粒不会散落在多晶粒吸风模外,其正、负极朝向也不会打乱,在下一次多晶粒排列时再利用。
为了达到上述目的,本实用新型的技术方案是:一种多晶粒反罩吸风模,包括吸风罩和吸风模座,吸风罩罩在吸风模座上;吸风模座包括料斗盖、吸盘和吸风模底座;料斗盖安装在吸盘的尾端上,吸盘安装在吸风模底座上,吸盘与吸风模底座之间有一空腔,吸盘的一端置有一吸风孔,吸风孔与空腔相通;吸盘上布有晶粒槽,晶粒槽槽底通过通孔与空腔相通,料斗盖与吸盘之间有一料腔;吸风罩与吸盘之间留有吸风腔,吸风腔与料腔连通。
上述料斗盖的尾端和两侧均有凸沿。
吸风罩与吸盘均设有止口,吸风罩为阳止口,吸盘为阴止口,吸风罩的阳止口与吸盘的阴止口相配合。
吸风罩两端设有定位销,所述吸盘上设有与定位销相配合的定位孔。
料斗盖与吸盘采用螺钉连接;吸风模底座与吸盘采用螺钉连接。
本实用新型由于采用了料斗式多晶粒反罩吸风模,由于料腔和吸风腔的空间高度小于晶粒边长,即晶粒翻转高度;晶粒排列操作时,晶粒的正、负极朝向不会因模具翻转而打乱;而且在排列操作完成后,多余的晶粒以相同的正负极朝向落入料腔中,不会散落在多晶粒吸风模外,方便地供给多晶粒吸风模下一次排列用。
附图说明
以下结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步详细地说明。
图1是本实用新型的立体示意图;
图2是本实用新型的俯视示意图;
图3是图2的A—A剖面放大示意图;
图4是图3中B孔放大示意图。
具体实施方式
如图1是本实施例的立体示意图。
一种多晶粒反罩吸风模,包括吸风罩1和吸风模座2,吸风罩1罩在吸风模座2上;吸风模座2包括料斗盖2-1、吸盘2-2和吸风模底座2-3;料斗盖2-1安装在吸盘2-2的尾端上,吸盘2-2安装在吸风模底座2-3上。
如图2是本实用新型的俯视示意图;图3是图2的A—A剖面放大示意图;图4是图3中B孔放大示意图。
吸盘2-2与吸风模底座2-3之间有一空腔5,吸盘2-2的一端置有一吸风孔4,吸风孔4与空腔5相通;吸盘2-2上布有晶粒槽6,晶粒槽6槽底通过通孔7与空腔5相通,料斗盖2-1与吸盘2-2之间有一料腔9,吸风罩1与吸盘2-2之间留有吸风腔10,吸风腔10与料腔9连通;吸风腔10与料腔9的高度小于晶粒边长,即晶粒翻转高度。
料斗盖2-1的尾端和两侧均有凸沿8。
吸风罩1与吸盘2-2均设有止口11,吸风罩1的阳止口与吸盘2-2的阴止口相配合。
吸风罩1两端设有定位销3,吸盘2-2上设有与定位销3相配合的定位孔。
料斗盖2-1与吸盘2-2采用螺钉连接;吸风模底座2-3与吸盘2-2采用螺钉连接。
本实施例的操作步骤为:先将裂片后具有统一朝向的晶粒铺在吸风罩1上,将吸风模座2以定位销3为基准合盖在吸风罩1上,翻转多晶粒反罩吸风模,打开吸风嘴4并抽气,同时摇晃多晶粒反罩吸风模,使晶粒落入各晶粒槽6,然后将多余的晶粒倒入料斗盖2-1与吸盘2-2间形成的料腔9中;停止摇晃多晶粒反罩吸风模并关闭吸风嘴4,停止抽气,取走吸风罩1,则晶粒整齐排列在吸风模座2的晶粒槽6中,料腔`中的多晶硅晶粒供给多晶硅吸风模下一次排列用。

Claims (5)

1、一种多晶粒反罩吸风模,包括吸风罩(1)和吸风模座(2),吸风罩(1)罩在吸风模座(2)上,其特征在于:吸风模座(2)包括料斗盖(2-1)、吸盘(2-2)和吸风模底座(2-3);料斗盖(2-1)安装在吸盘(2-2)的尾端上,吸盘(2-2)安装在吸风模底座(2-3)上,吸盘(2-2)与吸风模底座(2-3)之间有一空腔(5),吸盘(2-2)的一端置有一吸风孔(4),吸风孔(4)与空腔(5)相通;吸盘(2-2)上布有晶粒槽(6),晶粒槽(6)槽底通过通孔(7)与空腔(5)相通,料斗盖(2-1)与吸盘(2-2)之间有一料腔(9);吸风罩(1)与吸盘(2-2)之间留有吸风腔(10),吸风腔(10)与料腔(9)连通。
2、根据权利要求1所述的多晶粒反罩吸风模,其特征在于:所述料斗盖(2-1)的尾端和两侧均有凸沿(8)。
3、根据权利要求1或2所述的多晶粒反罩吸风模,其特征在于:所述吸风罩(1)与吸盘(2-2)均设有止口(11),吸风罩(1)的阳止口与吸盘(2-2)的阴止口相配合。
4、根据权利要求3所述的多晶粒反罩吸风模,其特征在于:所述吸风罩(1)两端设有定位销(3),所述吸盘(2-2)上设有与定位销(3)相配合的定位孔。
5、根据权利要求4所述的多晶粒反罩吸风模,其特征在于:所述料斗盖(2-1)与吸盘(2-2)采用螺钉连接;吸风模底座(2-3)与吸盘(2-2)采用螺钉连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102543815A (zh) * 2011-12-31 2012-07-04 苏州固锝电子股份有限公司 用于转移石墨舟上半导体晶粒的吸盘装置

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