CN201232853Y - 供气控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种气体供气控制装置，其主要技术特征在于包括连通第一管道和第二管道的第三管道以及第三管道之上的手动气阀。在电磁阀或可编程逻辑控制器模块失效的紧急情况下，通过手动选择手动气阀的开关，从而选择控制气阀的导通与关闭，等效实现电磁阀控制的功能。因此本实用新型所提供的供气控制装置能在特殊紧急故障情况下能保证快速强制正常供气，并且供气控制装置结构相对简单。

Description

供气控制装置

技术领域

本实用新型涉及供气装置，尤其涉及一种供气控制装置。

背景技术

在晶圆制造厂中，各种设备需要使用各种不同的特种气体，因此传输特殊气体的管道也很多。特殊气体一般通过管道上的气阀控制管道是否导通。如图1所示，通过两个气阀同时控制特殊气体的流通，气阀的开关通过一定气压的气源输入气阀控制，气源输入气阀一和气阀二，气阀一和气阀二同时打开，则特殊气体通过管道从左向右传输。

现有技术的供气控制装置结构如图2所示，包括可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller)模块10、电磁阀20、连通气源90和电磁阀30的导管30、气阀50以及连通气阀和电磁阀的导管40，电磁阀20具有一个以上出气口，20a和20b为其中的两个，电磁阀20和若干个气阀50连通，其中40a为电磁阀的出气口20a与气阀50a连通的导管，40b为电磁阀的出气口20b与气阀50b连通的导管。电磁阀20通过可编程逻辑控制器模块10控制电磁阀20的出气口是否与气源导通。如图2所示，气瓶柜需向某工艺设备供特殊气体时，需要气阀50a和50b导通。通过可编程逻辑控制器模块10控制电磁阀20，使分别与气阀50a和50b连通的出气口20a和20b连通于气源90，从而气阀50a和50b置于“开”状态，实现供气控制。

然而，可编程逻辑控制器模块或者电磁阀失灵时，也或者突发停电导致可编程逻辑控制器模块和电磁阀断电时，图2所示的供气控制装置将失效，不能对气阀20控制。图2所示的供气控制装置在失效时，一般是通过手动控制电磁阀的20a和20b与气源连通。但是这种方法，不能完全保证电磁阀的20a和20b与气源连通，并且很难在短时间内完成。因此这种供气装置，不能在特殊紧急故障情况下保证快速强制供气，这将直接影响特殊气体的稳定供应，并进一步影响工艺设备生产制造的稳定性。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是：在特殊紧急故障情况下，供气控制装置能保证特殊气体快速恢复持续供气。

本实用新型公开的供气控制装置包括电磁阀、控制电磁阀的可编程逻辑控制器模块、连接气源和电磁阀的第一管道、气阀以及连接气阀和电磁阀的第二管道，其特征在于还包括连通所述第一管道和所述第二管道的第三管道以及第三管道之上的手动气阀。

其中，所述第三管道包括连接第一管道的总路部分和连接第二管道的支路部分，所述第三管道的支路部分的数量与第二管道的数量相同。所述手动气阀置于所述第三管道的支路部分上。总路部分和支路部分通过T形快速连接器连接。

另一技术方案中，所述第三管道的数量与第二管道数量相同，并且每条第三管道相互独立，每条第三管道连接各自对应的第二管道和公共的第一管道。

其中，所述第一管道和第三管道之间通过T形快速连接器连接，所述第二管道和第三管道之间通过T形快速连接器连接。

所述电磁阀通过第一管道连接气源，并通过第二管道连接一个或者若干个气阀，电磁阀具有一个或者若干个出气口，一个出气口对应连接一个气阀。所述可编程逻辑控制器模块控制电磁阀，从而控制气阀的导通。

本实用新型的有益效果是：电磁阀以及可编程逻辑控制器模块正常工作情况下，手动气阀关闭，供气控制装置通过电磁阀控制气阀的导通与关闭，从而实现特殊气体输送管道的控制。在电磁阀或可编程逻辑控制器模块失效的紧急情况下，通过手动选择手动气阀的开关，从而选择控制气阀的导通与关闭，等效实现电磁阀控制的功能。因此本实用新型所提供的供气控制装置能在特殊紧急故障情况下能保证快速强制正常供气，并且供气控制装置结构相对简单。

附图说明

图1为现有技术气阀控制示意图；

图2为现有技术供气控制装置示意图；

图3为本实用新型所提供的供气控制装置的一实施例示意图；

图4为本实用新型所提供的供气控制装置的又一实施例示意图；

图5为本实用新型所提供的供气控制装置的又一实施例示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。

图3所示为本实用新型所提供的供气控制装置的一实施例示意图。如图3所示，供气控制装置包括电磁阀20、可编程逻辑控制器模块10、第一管道30、气阀50、第二管道40、第三管道60以及手动气阀70a和70b。其中第一管道30连接电磁阀20和气源90，第二管道40连接气阀50和电磁阀20的出口，气源90中为具有一定气压的气体，气源气体依次通过第一管道30、电磁阀20、第二管道40流到气阀50，气阀50在气源90的气体压力下使气阀50导通。电磁阀20上具有若干个出气口，本实施例中示意有六个出气口，其中电磁阀的出气口20a通过第二导管40a与气阀50a连接，出气口20b通过第二导管40b与气阀50b连接，可编程逻辑控制器模块10与电磁阀20通过信号线连接，实现选择控制电磁阀的开关，从而可以快速控制每个出气口是否与气源90连通。其中，第三管道60连接第一管道30与第二管道40，第三管道60包括一条与第一管道连接的总路部分60a以及两条分别与第二管道连接的支路部分60b，第三管道的支路部分60a和60b上分别置有手动气阀70a和70b，70a控制支路部分60a管道的导通与否，70b控制支路部分60b管道的导通与否。第三管道的总路部分60a与第一管道30通过T形快速连接器(图中未示出)连通，第三管道的支路部分60b与第二管道40通过T形快速连接器(图中未示出)连通，第三管道的总路部分60a与第三管道的支路部分60b通过T形快速连接器(图中未示出)连接。当手动气阀70手动置于“开”状态时，气源可以从第一管道30、第三管道的60a和60b、第二管道40流入气阀50，从而可以使气阀50导通。

当可编程逻辑控制器模块10以及电磁阀20正常工作时，选择手动气阀70全部关闭，通过可编程逻辑控制器模块10以及电磁阀20选择控制不同的气阀50的导通与关闭。当可编程逻辑控制器模块10以及电磁阀20因突发原因不能正常工作时，打开气阀70，气源90不再依次通过第一导管30、电磁阀20、第二导管40回路来控制气阀50的导通与关闭，而是通过第一导管30、第三导管60、第二导管40回路来控制气阀50的导通与关闭，通过不同手动气阀70的开关动作，使相应的不同的气阀50导通，例如，如图3所示，选择70a关闭、70b导通，则气阀50a关闭、50a导通。

图4所示为本实用新型所提供的供气控制装置的又一实施例示意图。与图3所示供气控制装置实施例的具体区别在于所述手动气阀70置于一条第三管道的总路部分60a上，第三管道的支路部分60b上没有手动气阀70，第三管道60的导通与否通过唯一的手动气阀70控制，手动气阀70处于“开”状态时，气源可以通过第一导管30、第三导管60、第二导管40回路同时使气阀50a和50b导通。

图5所示为本实用新型所提供的供气控制装置的又一实施例示意图。与图3所示供气控制装置实施例的具体区别在于第三管道60不分为总路部分和支路部分，如图5所示，第三管道60是两条独立的管道，每条第三管道60连接第一管道30和第二管道40，第三管道60数量与第二管道40的数量相当，每条第三管道60上都置有一个气阀70。

在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下还可以构成许多有很大差别的实施例。应当理解，除了如所附的权利要求所限定的，本实用新型不限于在说明书中所述的具体实施例。

Claims (7)

1.一种供气控制装置，包括电磁阀、控制电磁阀的可编程逻辑控制器模块、连接气源和电磁阀的第一管道、气阀以及连接气阀和电磁阀的第二管道，其特征在于还包括：

连通所述第一管道和所述第二管道的第三管道；

以及，第三管道之上的手动气阀。

2.根据权利要求1所述的供气控制装置，其特征在于所述第三管道包括连接第一管道的总路部分和连接第二管道的支路部分，所述第三管道的支路部分的数量与第二管道的数量相同。

3.根据权利要求1或2所述的供气控制装置，其特征在于所述手动气阀置于所述第三管道的支路部分上。

4.根据权利要求1或2所述的供气控制装置，其特征在于所述手动气阀置于所述第三管道的总路部分上。

5.根据权利要求2所述的供气控制装置，其特征在于所述第三管道总路部分和支路部分通过T形快速连接器连接。

6.根据权利要求1所述的供气控制装置，其特征在于所述第三管道可以是若干条相互独立的管道。

7.根据权利要求1所述的供气控制装置，其特征在于所述第一管道和第三管道之间通过T形快速连接器连接，所述第二管道和第三管道之间通过T形快速连接器连接。

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