CN201107506Y - 适用多尺寸基板的夹持承载设备 - Google Patents
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Abstract
一种适用多尺寸基板的夹持承载设备,包含一个机架、一个设置在该机架的夹持单元及一个设置在该机架的支撑单元。该夹持单元利用一个定位组与二个夹制组配合以供该基板三个侧边沿水平方向抵靠定位,所述夹制组的多数个夹制部同步对该基板两个相对侧边夹制,该支撑单元由多数支支撑件共同界定出一个沿水平设置且供承载该基板的承托面,所述支撑件相对于基板产生升降以及相对于该基板改变支撑位置。借此,供多尺寸基板稳固定位。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种供基板在各制程稳固定位的设备,特别是涉及一种适用多尺寸基板的夹持承载设备。
背景技术
液晶显示器在array、cell、module各段生产、检测或修补制程中,都需利用一个夹持承载设备将各种基板加以固定,且为了适应不同尺寸的基板,夹持承载设备也大多为可调整。
如图1及图2所示,现有一种液晶基板夹持机构,包含一个基座1、四组设置在该基座1上的滑轨2及四个于所述滑轨2上滑移的滑动座3。所述滑轨2是两两相对地呈十字状延伸。所述滑动座3各具有一个定位件301及一个固定部302,滑动座3利用定位件301共同夹固一个液晶基板4,且以该固定部302定位滑动座3于滑轨2的预定位置。
虽然,这种液晶基板夹持机构利用滑动座3沿该轨2滑动,以适用于各种尺寸的基板,但是实际使用时会有下列缺失:
一、当不同尺寸的液晶基板4欲放置在滑动座3上时,必须分别调整各个滑动座3的固定部302,不但操作相当繁复、麻烦,且调整的速度缓慢、效率差。
二、该液晶基板4入料前,必须操作滑动座3对应于该液晶基板4的长宽尺寸,再操作轴设在滑动座3的多数个调整件5,使得多数个卡抵件6相对于各个滑动座3的定位件301下降,且当该液晶基板4跨设在卡抵件6上后,操作者又必须分别转动调整件5,促使卡抵件6相对于定位件301相对靠近并夹固该液晶基板4,因此,该液晶基板4入料定位、移出操作都相当麻烦,产能低。此外,滑轨2固设在该基座1上无法位移,阻碍了由底部对液晶基板4作业(例如激光修补缺陷点)的可行性。
实用新型内容
本实用新型的一个目的是在提供一种利用自动化操作以适用不同尺寸基板且入料快速、定位性佳、产能高的适用多尺寸基板的夹持承载设备。
本实用新型的另一个目的是在提供一种由底部对基板作业且适用性广泛的适用多尺寸基板的夹持承载设备。本实用新型适用多尺寸基板的夹持承载设备的一个态样,包含一个机架、一个设置在该机架的夹持单元及一个设置在该机架的支撑单元。该夹持单元具有一个定位组及二个对应该定位组且彼此相对设置的夹制组,该定位组与所述夹制组配合以供该基板三个侧边沿水平方向抵靠定位。该支撑单元是由多数支支撑件共同界定出一个沿水平设置且供承载该基板的承托面,所述支撑件沿垂直方向相对于基板产生升降,以及沿水平方向相对于该机架产生位移,以相对于该基板改变支撑位置。
本实用新型适用多尺寸基板的夹持承载设备的另一个态样,包含一个机架、一个设置在该机架的夹持单元及一个设置在该机架的支撑单元。该夹持单元具有一个定出一条基准线的定位组、二个对应该定位组的夹制组及一个与该定位组相对设置的推抵组,该基准线是沿一个第一方向延伸且供该基板抵靠定位,所述夹制组各具有一个沿一垂直于该第一方向的第二方向延伸的横杆、多数支安装在该横杆上的夹杆及多数个固设在该横杆上且驱动所述夹杆沿第一方向移动的压力缸,所述夹杆各具有一个夹制部,所述夹制部沿该第一方向对该基板夹制定位,该推抵组具有一个与该基准线配合以使基板沿第二方向定位的推抵件。
本实用新型的有益效果在于:利用该夹持单元及该支撑单元的配合,供不同尺寸的基板快速定位,且基板入料及移出快速、可提升产能。
附图说明
图1是现有一种液晶基板夹持机构的俯视示意图;
图2是沿图1中的直线II-II所取的剖视示意图;
图3是本实用新型第一个较佳实施例的立体组合图;
图4是本实用新型上述较佳实施例的俯视组合示意图;
图5是沿图4中的直线V-V所取的剖视示意图;
图6是本实用新型上述较佳实施例的操作示意图,说明一个中、大尺寸液晶基板以机械手臂移入一个机架顶部;
图7是本实用新型上述较佳实施例的操作示意图,说明一个夹持单元对该液晶基板夹制、一个支撑单元对液晶基板吸真空固定;
图8是本实用新型上述较佳实施例的操作示意图,说明该支撑单元的支撑组位移以修补未能修补的区域;
图9是本实用新型上述较佳实施例的操作示意图,说明该支撑单元的支撑组破真空且回复至原位、夹持单元取消夹制且以机械手臂取片;
图10是本实用新型上述较佳实施例的另一个操作流程示意图,说明适用于对一个中尺寸液晶基板进行修补;
图11是本实用新型第二个较佳实施例的操作示意图,说明一个中、小尺寸液晶基板以机械手臂移入一个机架顶部;
图12是本实用新型第二个较佳实施例的操作示意图,说明一个夹持单元对该液晶基板夹制及一个支撑单元对液晶基板吸真空固定;
图13是本实用新型第二个较佳实施例的操作示意图,说明该支撑单元的支撑组位移以修补未能修补的区域;
图14是本实用新型第二个较佳实施例的操作示意图,说明该支撑单元的支撑组破真空且回复至原位、夹持单元取消夹制且以机械手臂取片。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明:
如图3~图5所示,本实用新型适用多尺寸基板的夹持承载设备第一个较佳实施例,包含一个机架10、二支组设在该机架10的导轨20、二支设置在该机架10的螺杆30、一个设置在该机架10的夹持单元40、一个设置在该夹持单元40的支撑单元50。且该夹持承载设备可供液晶显示器各段生产、品质检测或修补制程中的各种基板用途,以下说明将以一个液晶基板100的修补制程为例,该液晶基板100具有平行设置的一个第一长侧边120、一个第二长侧边130及衔接于该第一、二长侧边120、130间的一个第一短侧边140、一个第二短侧边140’,且其中三个周角处各设有一个归零记号150、150’、150”(见图7),并在机架10底部设有一个移载单元60及一个激光发射单元70。
该机架10是以多数支框杆11构成矩型立方框架状,并具有一个顶部12及一个设于该顶部12下方的底部13,该顶部12具有一个对应进料方向的第一侧边14及一个与该第一侧边14相反设置的第二侧边15,该第一、二侧边14、15是沿一个第一方向X延伸。另外,在该第一、二侧边14、15间又具有一个第一端部16及一个与该第一端部16相反设置的第二端部17。
所述导轨20是呈长杆状,分别组设在该机架10的第一、二侧边14、15,且由该第一端部16沿该第一方向X延伸至该第二端部1 7。
所述螺杆30分别设置在该机架10的第一、二侧边14、15且沿该第一方向X延伸。
该夹持单元40是设置在该机架10的顶部12,并具有一个定位组41、对应该定位组41的一个第一夹制组42、一个第二夹制组43及一个与该定位组41相对设置的推抵组44。
该定位组41具有一个固设在该机架10的第二侧边15的固定架411、四支固设在该固定架411顶端且沿一个垂直于该第一方向X的第二方向Y延伸的定位杆412及多数个轴设在所述定位杆412末端底部的滚轮413,且所述滚轮413的外侧周缘共同界定出一个供该液晶基板100第一长侧边120抵靠定位的基准线L(如图6所示),也就是说,该基准线L是沿该第一方向X延伸,且相切于滚轮413的外周缘上。
该第一、二夹制组42、43分别对应于该第一、二端部16、17,并各具有二个分别沿导轨20滑动的滑座421、431、一个连接在所述滑座421、431间且沿该第二方向Y延伸的横杆422、432、多数支间隔设置在该横杆422、432上的夹杆423、433、多数个固设在该横杆422、432上且驱动所述夹杆423、433沿第一方向X移动的压力缸424、434及二个组设在滑座421、431内部且螺合在螺杆30上的伺服驱动器425、435。所述夹杆423、433的末端各设有一个以滚轮为例的夹制部426、436,所述夹制部426、436沿该第一方向X共同对该液晶基板100第一、二短侧边140、140’夹制定位(如图7所示)。
该推抵组44具有二支组设在该机架10顶部12且沿该第一方向X延伸的导引件441、一支与所述导引件441平行设置的螺杆442、一个驱动该螺杆442转动的马达442’、一个沿导引件441且受该螺杆442驱动的定位座443、一个安装在该定位座443上的Z向压力缸444、一个设置在该定位座443下方且受该Z向压力缸444驱动沿一个垂直于该第一、二方向X、Y的第三方向Z升降的固定板445、一支轴设在该固定板445底部且沿该第二方向Y延伸的螺杆446、一个驱动该螺杆446转动的马达447、一个螺设在该螺杆446上且受该马达447驱动沿该第二方向Y移动的移动块448、一个安装在该移动块448底部的驱动压缸448’及一个受该驱动压缸448’连动的推抵件449,该推抵件449为两个间隔设置的滚轮。
该支撑单元50是设置在该机架10顶部12,并具有套设在导杆20上且位在夹制组40间的一个第一支撑组51、一个位在该第一支撑组51与该第二夹制组43间的第二支撑组52、一个位在该第一支撑组51与该第一夹制组42间的第三支撑组53及一个位在该第二支撑组52与该第二夹制组43间的第四支撑组54。
该第一、二、三、四支撑组51、52、53、54各具有二个分别沿导轨20滑动的滑动块511、521、531、541、一支连接在所述滑动块511、521、531、541间的支撑件512、522、532、542、二个组设在滑动块511、521、531、541内部且螺合于螺杆30上的伺服驱动器513、523、533、543及二个安装在滑动块511、521、531、541与支撑件512、522、532、542间的压力缸514、524、534、544,该第一、二、三、四支撑组51、52、53、54的支撑件512、522、532、542都是沿该第二方向Y延伸且呈长杆状,且支撑件512、522、532、542受所对应的压力缸514、524、534、544驱动沿第三方向Z产生升降。所述支撑件512、522、532、542共同界定出一个沿水平设置且支撑该液晶基板100的修补面110的承托面55,并各具有多数个对该液晶基板100吹气或吸真空的气孔56及多数个由顶面凹设的凹槽57,所述凹槽57供滚轮413及夹制部426、436穿过。
该移载单元60是组设在该机架10底部13,并具有一个沿该第一方向X延伸的第一线性滑轨组61、一个设置在该第一线性滑轨组61上的滑板62、一个组设在该滑板62且沿该第二方向Y延伸的第二线性滑轨组63、一个设置在该第二线性滑轨组63上的基座64、一个驱动该滑板62沿该第一方向X相对于机架10移动的第一驱动组66、一个驱动该基座64沿该第二方向Y相对于该滑板62移动的第二驱动组67。
该激光发射单元70是安装在该移载单元60的基座64上且位在该液晶基板100下方,受该第一、二驱动组66、67驱动沿该第一方向X及第二方向Y相对于该液晶基板100产生位移,并具有二个对应该修补面100且具有不同放大倍率的摄影镜头71及二个发射不同光斑大小的激光发射部72。
该液晶基板100在进行修补以前,已预先经过前一个工作站的检测,缺陷点座标也已经定址取得。再如图3及图6所示,当欲对大尺寸(例如47时、37时)液晶基板100进行修补时,该夹持单元40的第一、二夹制组42、43朝外退移,利用机械手臂200将液晶基板100送进该机架10顶部12时,该液晶基板100的第一长侧边120尚未抵靠定位在该定位组41的基准线L上,此时,该支撑单元50的气孔56吹气,机械手臂200下降放片、移出。接着,如图3、图5及7所示,该推抵组44的Z向压力缸444驱动该固定板445向下位移后,再利用该驱动压缸448’驱动该推抵件449推抵该液晶基板100的第二长侧边130,且使液晶基板100沿Y向移动,直到该第一长侧边120抵靠定位在该基准线L上,继续,该第一、二夹制组42、43分别向右、左位移,使得夹制部426、436夹持该液晶基板100的第一、二短侧边140、140’,随即该驱动压缸448’再驱动该推抵件449往反方向退移,该Z向压力缸444再驱动该固定板445向上升起,再操作该支撑单元50的气孔56吸真空以固定该液晶基板100,利用该移载单元60运载该激光发射单元70,以摄影镜头71读取该液晶基板100的归零记号150、150’、150”后,就依各缺陷点的座标位移,以激光发射部72对缺陷点逐一进行修补。再如图3及8所示,为了修补该第一、二、三、四支撑组51、52、53、54对该液晶基板100遮蔽的部份,该第三、四支撑组53、54同时破真空,并利用该压力缸534、544驱动支撑件532、542先下降再分别相对向内位移,再向上升起顶持在液晶基板100上后吸真空(此时,仍然有该第一、二支撑组51、52对液晶基板100支撑),之后,该第一、二支撑组51、52也在破真空后,利用该压力缸514、524驱动该支撑件512、522先下降再分别相对向内位移,再向上升起顶持在液晶基板100上后吸真空(此时,仍然有该第三、四支撑组53、54对液晶基板100支撑),如此一来,利用该激光发射部72修补原先该第一、二、三、四支撑组51、52、53、54所遮蔽的区域。最后如图3及图9所示,该第三、四支撑组53、54破真空后,利用压力缸534、544驱动支撑件532、542先下降再分别相对向外位移,再向上升起顶持在液晶基板100上(就是回复至图6、图7的原始位置),该第一、二支撑组51、52也在破真空后,利用该压力缸514、524驱动该支撑件512、522先下降再分别相对向外位移,再向上升起顶持在液晶基板100上(就是回复至图6、图7的原始位置),且再操作该第一、二夹制组42、43向外移出,以取消对该液晶基板100的夹持,等待该机械手臂200取片。
再如图3及图10所示,当欲对中尺寸(例如32时~17时)液晶基板100进行修补时,操作动作与图6~图9类似不再多加说明,差异处只在于:利用该第一、二支撑组51、52对液晶基板100就足以稳定支撑,而该第三、四支撑组53、54并无作用,只会在该夹持单元40进行夹制、释放操作时,随该第一、二夹制组42、43朝内、外产生位移,且为适用不同尺寸的液晶基板100,该推抵组44利用马达447驱动螺杆446,使移动块448间接带动推抵件449沿第二方向Y位移。
因此,本实用新型的功效归纳如下:
一、当不同尺寸的液晶基板100欲入料至该机架10上时,利用该支撑单元50的支撑件512、522、532、542共同界定出的承托面55,在利用机械手臂200将该液晶基板100移入时获得稳定支撑,且利用该夹持单元40的夹制操作,使液晶基板100稳固、准确定位。在每一个液晶基板100执行完毕修补作业后,该夹持单元40都已呈朝外退移状态,相当方便机械手臂200将液晶基板100移出及再入料,因此,该液晶基板100入料定位、移出操作都相当简单、快速,可提升产能。
二、利用该支撑单元50的轮替位移使该液晶基板100没有遮蔽死角,非常适合由底部进行激光修补缺陷座标点,也可适用于检测工作站。
再如图11所示(未见于图11~14的元件请配合参阅图3),本实用新型的第二实施例与第一实施例的构成组件大致相同,差异只在于该支撑单元50只具有一个第一支撑组51及一个第二支撑组52。且适用于对中、小尺寸(例如26时~12.1时)液晶基板100进行修补,利用机械手臂200将液晶基板100送至该机架10顶部12,第一短侧边140尚未抵靠定位在该基准线L上,此时,该第一、二支撑组51、52对液晶基板100产生支撑,且利用气孔56吹气,机械手臂200下降放片、移出。接着,如图12所示,该推抵组44的推抵件449推抵该液晶基板100的第二短侧边140’,且使第一短侧边140抵靠定位在该定位组41的基准线L上,继续,该第一、二夹制组42、43向右、左位移,夹制部426、436夹制在该液晶基板100第一、二长侧边120、130后,该推抵组44随即退移,再操作该第一、二支撑组51、52的气孔56吸真空以固定该液晶基板100,利用该移载单元60运载该激光发射单元70,以摄影镜头71读取该液晶基板100的归零记号150、150’、150”后,依各缺陷点的座标位移,以激光发射部72对缺陷点逐一进行修补。
再如图13所示,为了修补该第一、二支撑组51、52对该液晶基板100遮蔽的部份,该第一支撑组51破真空,该压力缸514驱动该支撑件512先下降再朝该第二支撑组52位移,再向上升起顶持在液晶基板100上后吸真空(此时,仍然有该第二支撑组52对液晶基板100支撑),该第二支撑组52也在破真空后,利用该压力缸524驱动该支撑件522先下降再朝该第一支撑组51位移,再向上升起顶持在液晶基板100上后吸真空(此时,仍然有该第一支撑组51对液晶基板100支撑),如此一来,利用该激光发射部72修补原先该第一、二支撑组51、52所遮蔽的区域。最后如图14所示,该第一、二支撑组51、52也在破真空后,利用该压力缸514、524驱动该支撑件512、522先下降再分别相对向外位移,再向上升起顶持在液晶基板100上(就是回复至图11、图12的原始位置),且再操作该第一、二夹制组42、43向外移出,并取消对该液晶基板100的夹持,等待该机械手臂200取片。
Claims (13)
1. 一种适用多尺寸基板的夹持承载设备,包含一个机架、一个设置在该机架的夹持单元及一个设置在该机架的支撑单元;该夹持承载设备的特征在于:
该夹持单元,具有一个定位组及二个对应该定位组且彼此相对设置的夹制组,该定位组与所述夹制组配合以供该基板三个侧边沿水平方向抵靠定位;
该支撑单元,是由多数支支撑件共同界定出一个沿水平设置且供承载该基板的承托面,所述支撑件沿垂直方向相对于基板产生升降,以及沿水平方向相对于该机架产生位移,且相对于该基板改变支撑位置。
2. 如权利要求1所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该夹持单元的定位组定出一条基准线,该基准线沿一个第一方向延伸,每一个夹制组还具有一个沿垂直于该第一方向的一个第二方向延伸的横杆、多数支安装在该横杆上的夹杆及多数个固设在该横杆上且驱动夹杆沿第一方向移动的压力缸,且该夹持单元还具有一个与该定位组相对设置的推抵组,该推抵组具有一个与该基准线配合以使基板沿第二方向定位的推抵件。
3. 如权利要求2所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该机架具有一个第一侧边及一个与该第一侧边相反设置的第二侧边,且该夹持承载设备还包含有二支组设在该机架的第一、二侧边且沿该第一方向延伸的导轨及至少一支设置在该机架且沿该第一方向延伸的螺杆,该夹持单元的每一夹制组还各具有二个沿导轨滑动的滑座及至少一个组设在其中一个滑座内部且螺合该螺杆上的伺服驱动器,每一个横杆连接在两个对应的滑座间,且夹杆各具有一个设在末端的夹制部。
4. 如权利要求3所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该支撑单元具有多数个套设在导杆上且位在夹制组间的支撑组,所述支撑组各具有二个沿导轨滑动的滑动块、一支连接在滑动块间的支撑件及一个组设在滑动块内部且螺合于该螺杆上的伺服驱动器,每一支撑组的支撑件是沿该第二方向延伸且呈长杆状,并具有多数个气孔。
5. 如权利要求4所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该支撑单元的每一支撑组还具有至少一个安装在滑动块与该支撑件间的压力缸,且压力缸驱动支撑件相对于基板产生远离或靠近。
6. 如权利要求5所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该夹持单元的定位组具有一个固设在该机架的第二侧边的固定架、多数支固设在该固定架且悬设在支撑件上方的定位杆及多数个轴设在所述定位杆末端的滚轮,该基准线相切于所述滚轮的外周缘上,该支撑单元的支撑件还各具有多数个由顶面凹设的凹槽,凹槽供滚轮及夹制部穿过。
7. 如权利要求6所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该夹持单元的推抵组还具有二支组设在该机架且沿该第一方向延伸的导引件、一支与所述导引件平行设置的螺杆、一个沿导引件且受该螺杆驱动的定位座、一个安装在该定位座上的压力缸、一个设置在该定位座下方且受该压力缸驱动的固定板、一支轴设在该固定板底部且沿该第二方向延伸的螺杆、一个驱动该螺杆转动的马达、一个螺设在该螺杆上且受该马达驱动的移动块及一个安装在该移动块底部的驱动压缸,该推抵件受该驱动压缸连动。
8. 一种适用多尺寸基板的夹持承载设备,包含一个机架、一个设置在该机架的夹持单元及一个设置在该机架的支撑单元;该夹持承载设备的特征在于:
该夹持单元,具有一个定出一条基准线的定位组、二个对应该定位组的夹制组及一个与该定位组相对设置的推抵组,该基准线是沿一个第一方向延伸且供该基板抵靠定位,所述夹制组各具有一个沿垂直于该第一方向的一个第二方向延伸的横杆、多数支安装在该横杆上的夹杆及多个数固设在该横杆上且驱动所述夹杆沿第一方向移动的压力缸,夹杆各具有一个夹制部,所述夹制部沿该第一方向对该基板夹制定位,该推抵组具有一个与该基准线配合以使基板沿第二方向定位的推抵件;
该支撑单元,是由多数支支撑件共同界定出一个沿水平设置的承托面,该承托面支撑该基板。
9. 如权利要求8所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该机架具有一个第一侧边及一个与该第一侧边相反设置的第二侧边,该夹持承载设备还包含有二支组设在该机架的第一、二侧边且沿该第一方向延伸的导轨及至少一支设置在该机架且沿该第一方向延伸的螺杆,该夹持单元的每一夹制组还各具有二个沿导轨滑动的滑座及至少一个组设在其中一个滑座内部且螺合该螺杆上的伺服驱动器,每一个横杆连接在两个对应的滑座间。
10. 如权利要求9所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该支撑单元具有多数个套设在导杆上且位在夹制组间的支撑组,所述支撑组各具有二个沿导轨滑动的滑动块、一个连接在滑动块间的支撑件及一个组设在该滑动块内部且螺合于该螺杆上的伺服驱动器,每一支撑组的支撑件是沿该第二方向延伸且呈长杆状,并具有多数个气孔。
11. 如权利要求10所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该支撑单元的每一支撑组还具有至少一个安装在滑动块与该支撑件间的压力缸,压力缸驱动支撑件沿一个垂直于该第一、二方向的第三方向相对于基板产生远离或靠近。
12. 如权利要求11所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该夹持单元的定位组具有一个固设在该机架的第二侧边的固定架、多数支固设在该固定架且悬设在支撑件上方的定位杆及多数个轴设在所述定位杆末端的滚轮,该基准线相切于滚轮的外周缘上,该支撑单元的支撑件还各具有多数个由顶面凹设的凹槽,所述凹槽供滚轮及夹制部穿过。
13. 如权利要求12所述的适用多尺寸基板的夹持承载设备,其特征在于:该夹持单元的推抵组还具有二支组设在该机架且沿该第一方向延伸的导引件、一支与所述导引件平行设置的螺杆、一个沿导引件且受该螺杆驱动的定位座、一个安装在该定位座上的压力缸、一个设置在该定位座下方且受该压力缸驱动的固定板、一支轴设在该固定板底部且沿该第二方向延伸的螺杆、一个驱动该螺杆转动的马达、一个螺设在该螺杆上且受该马达驱动的移动块及一个安装在该移动块底部的驱动压缸,该推抵件是受该驱动压缸连动。
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CNU2007201295566U CN201107506Y (zh) | 2007-08-14 | 2007-08-14 | 适用多尺寸基板的夹持承载设备 |
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CN110304321A (zh) * | 2019-07-31 | 2019-10-08 | 深圳市利和兴股份有限公司 | 一种屏幕撕膜机 |
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2007
- 2007-08-14 CN CNU2007201295566U patent/CN201107506Y/zh not_active Expired - Fee Related
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CN106098601A (zh) * | 2016-06-30 | 2016-11-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板的支撑装置、干燥设备及相关工作方法 |
CN106098601B (zh) * | 2016-06-30 | 2019-04-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板的支撑装置、干燥设备及相关工作方法 |
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