CN1808273A - 感光树脂组合物、由它制成的薄膜面板及其制备方法 - Google Patents

Abstract

一种感光树脂组合物包括碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂。该溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3－乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。所述组合物可以用于制备具有均匀涂布的绝缘层的高质量显示面板。

Description

感光树脂组合物、由它制成的薄膜面板及其制备方法

                  相关申请的交叉参者

本申请要求于2004年12月16日提交的韩国专利申请10-2004-0106956的优先权，其全部内容引入本文作为参考。

                         技术领域

本发明通常涉及一种感光树脂组合物，包含由该感光树脂组合物制得的层的薄膜面板，及制备薄膜面板的方法。具体地，本发明涉及一种用于显示面板绝缘的感光树脂组合物。

                         背景技术

有源型显示装置，如有源矩阵(AM)液晶显示器(LCD)和有源矩阵有机发光二极管(OLED)显示器，包括多个以矩阵排列的像素。矩阵中的像素包括开关元件，并且像素边界通常由多个用于向该开关元件传送信号的信号线如栅极线和数据线形成。像素的开关元件响应来自于栅极线的栅极信号，选择性地将数据信号由数据线传送给像素以显示图像。LCD的像素根据数据信号调整入射光的透射率，而OLED显示器的像素根据数据信号调整发光亮度。

LCD和OLED显示器包括装有TFT、场-产生电极、信号线等的面板。面板具有包括若干导电层和绝缘层的分层结构。栅极线、数据线和场-产生电极由不同的导电层构成并且由绝缘层隔开。

绝缘层由无机或有机绝缘体构成。有机绝缘体的透光度高于无机绝缘体，因此常常提供增加的亮度(及对于LCD来说，增加的基准视角(referenceviewing angle))。若干这些有机绝缘体的感光灵敏度级别使它们可以仅仅通过光刻而不进行蚀刻就可以构图，由此简化了显示器的制备工序。

然而，常规感光有机绝缘层常常具有各种污点或斑点。具体地，随着显示器尺寸增加时，频繁产生与有机绝缘层的涂层有关的斑点。斑点可以是沿着涂布装置的狭缝型喷嘴方向的水平斑点、沿着狭缝型喷嘴的纵向方向的垂直斑点或基板整个表面上的不规则污点。另外，基板边缘附近的有机层部分有时比其他有机层部分厚。这些具有额外厚度的部分在显影期间不可能完全溶解，结果它们不必要地保留下来而形成斑点，降低了显示器的图像质量。

因此，需要形成几乎没有斑点的有机绝缘层的方法和装置。

                         发明内容

一方面，本发明为一种包含碱溶性树脂、重氮醌(quinone diazide)、表面活性剂和溶剂的感光树脂组合物。该溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

相对于溶剂的总重量，二甘醇二烷基醚的重量百分比可以为约10～70％重量，3-乙氧基丙酸乙酯的重量百分比可以为约10～70％重量，乙酸烷基酯的重量百分比可以为约1～20％重量，乳酸烷基酯的重量百分比可以为约1～20％重量。

另一方面，本发明为一种薄膜面板，其包括：基板；形成在该基板上的薄膜图案；及形成在该薄膜图案上并且由感光树脂组合物制成的绝缘层。该感光树脂组合物包含碱溶性树脂、重氮醌、至少一种表面活性剂和溶剂。该溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

另一方面，本发明为一种制备薄膜面板的方法。该方法包括：在基板上形成薄膜图案；涂布感光树脂组合物，该感光树脂组合物包含碱溶性树脂、重氮醌、至少一种表面活性剂和溶剂；对感光树脂组合物进行曝光；及使感光树脂组合物显影。所述溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

                         附图说明

通过参考附图详细描述其实施方案，本发明将变得更加显而易见，附图中：

图1为根据本发明实施方案的TFT阵列面板的线路图；

图2为图1所示的TFT阵列面板沿线II-II′的剖视图；

图3A、4A、5A和6A为在根据本发明实施方案的面板制备方法中间步骤中图1和2所示的TFT阵列面板的线路图；

图3B为图3A所示的TFT阵列面板沿线IIIB-IIIB′的剖视图；

图4B为图4A所示的TFT阵列面板沿线IVB-IVB′的剖视图；

图5B为图5A所示的TFT阵列面板沿线VB-VB′的剖视图；

图6B为图6A所示的TFT阵列面板沿线VIB-VIB′的剖视图；

图7为根据本发明另一个实施方案的TFT阵列面板的线路图；

图8为图7所示的TFT阵列面板沿线VIIIB-VIIIB′的剖视图；

图9A和10A为根据在根据本发明实施方案的面板制备方法中间步骤中图7和8所示的TFT阵列面板的线路图；

图9B为图9A所示的TFT阵列面板沿线IXB-IXB′的剖视图；

图10B为图9A所示的TFT阵列面板沿线XB-XB′的剖视图；

图11A至11F为根据本发明实施例和对比例的感光树脂膜的照片。

                         具体实施方式

现在将于下文中参考附图更全面地描述本发明，其中说明了本发明的优选实施方案。然而，本发明可以以多种不同的形式实施并且不应当理解为限于文中所提出的实施方案。

根据本发明的感光树脂组合物包含碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂。该溶剂包括二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸烷基酯和乳酸烷基酯。

所述碱溶性树脂可以包括可固化(curable)共聚物，该共聚物包括衍生于不饱和羧酸的化合物(a1)和衍生于含有交联基团的不饱和化合物的化合物(a2)，其中含有交联基团的不饱和化合物不是不饱和羧酸。

化合物(a1)中的不饱和羧酸可以包含具有一个或多个羧基的分子，并且该不饱和羧酸的实例包括不饱和一元羧酸和不饱和二元羧酸。不饱和羧酸可以选自丙烯酸、甲基丙烯酸、丁烯酸、衣康酸、马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸和肉桂酸。

化合物(a2)可以包括含有环氧基，或者优选氧杂环丁烷基(oxetanyl group)的不饱和化合物。

含有环氧基的不饱和化合物的实例包括(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸3-甲基-3，4-环氧丁酯、(甲基)丙烯酸3-乙基-3，4-环氧丁酯、(甲基)丙烯酸4-甲基-4，5-环氧戊酯、(甲基)丙烯酸2，3-环氧环己基甲酯、(甲基)丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯、邻-亚乙基苄基缩水甘油醚、间-亚乙基苄基缩水甘油醚、p-亚乙基苄基缩水甘油醚、1-乙烯环己烷氧化物(vinyl cyclohexene oxide)、3-乙烯环己烷氧化物和4-乙烯环己烷氧化物。

含有氧杂环丁烷基的不饱和化合物的实例包括3-(甲基)丙烯酰基氧甲基氧杂环丁烷(oxetane)、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰基氧甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰基氧甲基氧杂环丁烷、2-苯基-3-(甲基)丙烯酰基氧甲基氧杂环丁烷、2-三氟甲基-3-(甲基)丙烯酰基氧甲基氧杂环丁烷、2-五氟乙基-3-(甲基)丙烯酰基氧甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰基氧乙基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰基氧乙基氧杂环丁烷、2-苯基-3-(甲基)丙烯酰基氧乙基氧杂环丁烷、2-三氟甲基-3-(甲基)丙烯酰基氧乙基氧杂环丁烷、2-五氟乙基-3-(甲基)丙烯酰基氧乙基氧杂环丁烷。在上述氧杂环丁烷中，优选3-乙基-3-(甲基)丙烯酰基氧甲基氧杂环丁烷。

含有氧杂环丁烷基的感光树脂组合物有利于感光树脂组合物的储存。

可固化共聚物还可以包含化合物(a3)，该化合物(a3)包括选自下列的至少一种：衍生于具有烯双键的羧酸酯的化合物(a31)；衍生于含有可聚合的、不饱和碳-碳键的芳香族化合物的化合物(a32)；衍生于乙烯氰的化合物(a33)；及衍生于N-取代马来酰亚胺的化合物(a34)。

具有烯双键且衍生化合物(a31)的羧酸酯的实例包括下列化合物的衍生物：不饱和羧酸酯如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯或(甲基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸苯酯、马来酸二乙酯、富马酸二乙酯和衣康酸二乙酯；不饱和羧酸氨烷基酯如(甲基)丙烯酸氨乙酯；及亚乙基酯如乙酸亚乙基酯和丙酸亚乙基酯。

能够生成化合物(a32)的含有可聚合的、不饱和碳-碳键的芳香族化合物的实例包括苯乙烯、α-甲基苯乙烯和亚乙基甲苯。

能够生成化合物(a33)的乙烯氰的实例包括衍生于乙烯氰的化合物如丙烯腈、甲基丙烯腈和α-氯(甲基)丙烯腈。

衍生化合物(a34)的N-取代马来酰亚胺的实例包括N-甲基马来酰亚胺、N-乙基马来酰亚胺、N-丁基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-(4-乙酰苯基)马来酰亚胺、N-(2，6-二乙基苯基)马来酰亚胺、N-(4-二甲基氨基-3，5-二硝基苯基)马来酰亚胺、苯甲酸N-琥珀酰亚胺基(succinimidyl)-3-马来酰亚胺酯、丙酸-N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺酯、丁酸N-琥珀酰亚胺基-4-马来酰亚胺酯、己酸N-琥珀酰亚胺基-6马来酰亚胺酯、N-(1-苯胺基萘基)-4-马来酰亚胺、N-[4-(2-苯并噁唑基)苯基]马来酰亚胺和N-(9-吖啶基)马来酰亚胺。

化合物(a1)、(a2)、(a31)、(a32)、(a33)和(a34)均可以包括衍生于上述化合物的一种或多种化合物。

在包括包含衍生于不饱和羧酸的化合物(a1)和衍生于含有交联基团的不饱和化合物的化合物(a2)的共聚物中，化合物(a1)的摩尔份数优选为共聚物的约5～50％摩尔，更优选为共聚物的约15～40％摩尔，并且化合物(a2)的摩尔份数优选为共聚物的约5～95％摩尔，更优选为共聚物的约15～85％摩尔。

含有包含上述含量的化合物(a1)和(a2)的共聚物的感光树脂组合物，具有适于显影剂的分解速度并且具有高可固化性。

在不但包含化合物(a1)和(a2)，而且还包含化合物(a3)的共聚物中，化合物(a3)的摩尔份数优选为约0.01～90％摩尔，更优选为约0.01～80％摩尔。

共聚物可以通过例如下列步骤形成：

(1)如J.Polym.Sci.，Polym.Chem.(1968)，6(2)，pp.257-267中所述，在约60～300℃和有或没有链转移剂的情况下，在有机溶剂中混合单体和聚合引发剂的溶液聚合；

(2)如J.Polym.Sci.，Polym.Chem.(1983)，21(10)，pp.2949-2960中所述，在约60～300℃下利用不溶解单体的溶剂的悬浮聚合或乳液聚合；

(3)如日本专利申请公开平6-80735中所述，在约60～200℃下的本体聚合；及

(4)如日本专利申请公开10-195111中所述，向聚合室中连续供应单体，在约180～300℃和有或没有聚合引发剂的情况下加热单体约5～60分钟，及从室中提取反应产物。

另外，共聚物可以通过混合单体、聚合引发剂和有机溶剂，并使其反应而获得。该混合与反应可以通过以添加剂聚合引发剂连续供给有机溶剂中的单体，及通过向有机溶剂中连续加入单体和引发剂来实施。为了使反应热消散，与同时加入聚合物单体相反，优选连续供应单体。为了获得分子量分布窄的聚合物化合物，优选连续供应聚合引发剂。

在优选约40～200℃，更优选约50～150℃，最优选约60～120℃的温度下，反应进行优选约1～20小时，更优选约2～10小时。当连续供应单体时，单体优选供应约1～5小时，并连续加热约1～10小时。在该情况下，反应浓度，即总反应溶液中单体的重量百分比优选为约10～70％，更优选为约20～60％。

有机溶剂的实例包括：

醇如甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、戊醇、己醇、环己醇；

酮如丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、二异丁基酮、环戊酮和环己酮；

醚如乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇二丙醚、乙二醇二丁醚、乙二醇乙基甲基醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇二丙醚、二甘醇二丁醚、二甘醇乙基甲基醚、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、二甘醇单甲醚、二甘醇单乙醚、二甘醇单丁醚、三甘醇二甲醚、四甘醇二甲醚、丙二醇单甲醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲基-3-甲氧基-1-丁醇。

酯如乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸戊酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基-1-丁酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、二甘醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、二丙二醇单甲醚乙酸酯、二丙二醇单乙醚乙酸酯、二乙酸1，3-丙二酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-羟基异丁酸甲酯(methyl2-hydroxy isobutanate)、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯和丁内酯；及

芳烃如甲苯和二甲苯。

溶剂可以包括上述化合物中的两种或多种。

包含化合物(a1)和(a2)的共聚物的实例包括3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸酯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸酯/苯乙烯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/苯乙烯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸环己酯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸甲酯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸-t-丁酯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸异冰片酯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/乙酸苄酯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/丙烯酸环己酯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/丙烯酸异冰片酯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸二环戊酯共聚物、或者3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/丙烯酸-t-丁酯共聚物、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/苯基马来酰亚胺共聚物和3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷/甲基丙烯酸酯/环己基马来酰亚胺共聚物。

使用聚苯乙烯标准由凝胶渗透色谱法(GPC)确定的含有化合物(a1)和(a2)的共聚物的平均分子量优选为约2000～100000，更优选为约2000～50000，最优选为约3000～20000。当平均分子量在上述范围内时，增加了显影速度同时维持不溶解物的份数。

相对于感光树脂组合物的固体含量，含有化合物(a1)和(a2)的共聚物的重量份数优选为约50～98％重量，更优选为约60～95％重量。

感光树脂组合物中的重氮醌可以选自1，2-重氮苯醌磺酸酯、1，2-重氮萘醌磺酸酯(sulfonate ester)、1，2-重氮苯醌磺酰胺(sulfonate amide)、1，2-重氮萘醌磺酰胺。

重氮醌的实例包括：

三羟基二苯甲酮的1，2-重氮萘醌磺酸酯如2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，4，6-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯和2，4，6-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯；

四羟基二苯甲酮的1，2-重氮萘醌磺酸酯如2，2′，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，2′，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，2′，4，3′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，2′，4，3′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4，2′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，3，4，2′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4，4′-四羟基-3′-甲氧基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，3，4，4′-四羟基-3′-甲氧基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯；

五羟基二苯甲酮的1，2-重氮萘醌磺酸酯如2，3，4，2′，6′-五羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯和2，3，4，2′，6′-五羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯；

六羟基二苯甲酮的1，2-重氮萘醌磺酸酯如2，4，6，3′，4′，5′-六羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，4，6，3′，4′，5′-六羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、3，4，5，3′，4′，5′-六羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯和3，4，5，3′，4′，5′-六羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯；

(聚羟苯基)烷烃的1，2-重氮萘醌磺酸酯如双(2，4-二-羟苯基)甲烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、双(2，4-二羟苯基)甲烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、双(p-羟苯基)甲烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、双(p-羟苯基)甲烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、1，1，1-三(p-羟苯基)乙烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、1，1，1-三(p-羟苯基)乙烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、双(2，3，4-三羟苯基)甲烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、双(2，3，4-三羟苯基)甲烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，2′-双(2，3，4-三羟苯基)丙烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，2′-双(2，3，4-三羟苯基)丙烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、1，1，3-三(2，5-二甲基-4-羟苯基)-3-苯丙烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、1，1，3-三(2，5-二甲基-4-羟苯基)-3-苯丙烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、4，4′-[1-[4-[1-[4-羟苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基])双酚-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、双(2，5-二甲基-4-羟苯基)-2-羟苯基甲烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、双(2，5-二甲基-4-羟苯基)-2-羟苯基甲烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、3，3，3′，3′-四甲基-1，1′-螺二茚-5，6，7，5′，6′，7′-己醇-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、3，3，3′，3′-四甲基-1，1′-螺二茚-5，6，7，5′，6′，7′-己醇-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，2，4-三甲基-7，2′，4′-三羟基黄烷-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯和2，2，4-三甲基-7，2′，4′-三羟基黄烷-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯。

感光树脂组合物可以包括上述重氮醌的两种或多种。

相对于感光树脂组合物的固体含量的重量，重氮醌的重量份数优选为约2～50％重量，更优选为约5～40％重量。在该情况下，感光树脂组合物的曝露部分和未曝露部分之间分解速度的差别变得更大，从而增大了不溶解物质份数。

表面活性剂可以包括有机含氟表面活化剂和含有或不含有氟原子的硅酮表面活性剂。

该有机含氟表面活性剂可以具有化学式1：

式中R_f为含有约5-10个碳原子的直链(chained)或支链(branched)全氟亚烷基，Z为氢或氟。

有机含氟表面活性的R_f的实例包括全氟n-亚戊基、全氟n-亚己基、全氟n-亚庚基、全氟n-亚辛基、全氟n-亚壬基、全氟n-亚癸基和全氟2-乙基亚己基。上述全氟亚烷基中，优选全氟n-亚己基、全氟n-亚辛基和全氟n-亚癸基。

有机含氟表面活性剂的实例包括3-全氟己基-1，2-环氧丙烷、3-全氟辛基-1，2-环氧丙烷和3-全氟癸基-1，2-环氧丙烷。上述实例中，优选3-全氟辛基-1，2-环氧丙烷。

相对于感光树脂组合物的总含量，有机含氟表面活性剂的浓度优选为约1～1000ppm，更优选为约10～500ppm，最优选为约50～300ppm。在该浓度下，感光树脂组合物可以形成斑点减少的膜。

相对于有机含氟表面活性剂和硅酮表面活性剂的总重量含量，有机含氟表面活性剂的重量份数优选为约10～50％重量。

硅酮表面活性剂包括具有化学式2的第一硅酮表面活性剂和具有化学式3的第二硅酮表面活性剂：

及

式中R为含有2～5个碳原子的直链或支链亚烷基，x和y均为约1～20的整数，R′为含有约1～20个碳原子的烷基，或者含有约2～21个碳原子的直链或支链羰基烷基，v和w均为1～20的整数，m和l均为约1～9的整数，其中(m+l)为2～10。

R的实例包括亚乙基、n-亚丙基、n-亚丁基、亚戊基、异亚丙基、2-甲基n-亚丙基、3-甲基n-亚丙基、2-甲基n-亚丁基、3-甲基n-亚丁基和2，2-二甲基n-亚丙基。上述基团中，优选亚乙基、n-亚丙基和异亚丙基。

整数x优选为2～6，整数y优选为5～10。

可以选择在上述范围内x和y的任意组合，并且优选在上述优选范围内x和y的任意组合。

第一硅酮表面活性剂的实例，包括甲基氢双(三甲基甲硅烷氧基)硅烷和分子量优选为约200～500的聚亚烷基二醇单烯丙基醚的反应产物。

相对于感光树脂组合物的总含量，第一硅酮表面活性剂的浓度优选为约1～1000ppm，更优选为约10～500ppm，最优选为约50～300ppm，使得由感光树脂组合物制成的膜斑点减少。

化学式3中R′的实例包括甲基、乙基、n-丙基、n-丁基、n-戊基、n-己基、n-庚基、n-辛基、n-壬基、n-癸基、n-十二烷基、n-十一烷基、n-十四烷基、n-十六烷基、n-十八烷基、异丙基、仲-丁基、叔-丁基、2-甲基己基、羰基甲基、羰基乙基、羰基n-丙基、羰基n-丁基、羰基n-戊基、羰基n-己基、羰基n-庚基、羰基n-辛基、羰基n-壬基、羰基n-癸基、羰基n-十二烷基、羰基n-十一烷基、羰基n-十四烷基、羰基n-十六烷基、羰基n-十八烷基、羰基异丙基、羰基仲-丁基、羰基叔-丁基和羰基2-甲基己基。上述基团中，优选甲基、乙基、n-丙基、n-丁基、n-戊基、n-己基、n-辛基、n-癸基、n-十一烷基、n-十四烷基、n-十六烷基、n-十八烷基、异丙基、仲-丁基、叔-丁基、2-甲基己基、羰基甲基、羰基乙基、羰基n-丙基、羰基n-丁基、羰基n-己基、羰基n-辛基、羰基n-癸基、羰基n-十一烷基、羰基n-十四烷基、羰基n-十六烷基、羰基n-十八烷基、羰基异丙基、羰基仲-丁基、羰基叔-丁基、羰基2-甲基己基。

整数v优选为2～6，整数w优选为5～10。

可以选择在上述范围内v和w的任意组合，并且优选在上述优选范围内v和w的任意组合。

整数m优选为1～10，整数l优选为1～10。

可以选择在上述范围内m和l的任意组合，并且优选在上述优选范围内m和l的任意组合。

第二硅酮表面活性剂的实例包括三甲基甲硅烷基链端-(二甲基硅氧烷-甲基氢硅氧烷)共聚物和聚亚烷基二醇烯丙基烷基醚或聚亚烷基二醇烯丙基醚的羧酸酯的加成产物，优选包括三甲基甲硅烷基链端-(二甲基硅氧烷-甲基氢硅氧烷)共聚物和聚乙二醇烯丙基烷基醚及聚乙二醇烯丙基醚的羧酸酯的加成产物。

相对于感光树脂组合物的总含量，第二硅酮表面活性剂的浓度优选为约1～1000ppm，更优选为约10～500ppm，最优选为约50～300ppm，使得由感光树脂组合物制成的膜斑点减少。

相对于感光树脂组合物的总含量，包括有机含氟表面活性剂和第一及第二硅酮表面活性剂的表面活性剂优选为约3～3000ppm，更优选为约5～800ppm，最优选为约10～800ppm，使得由感光树脂组合物制成的膜斑点减少。

相对于不含溶剂的感光树脂组合物的总固体含量，碱溶性树脂、重氮醌和表面活性剂的重量份数分别为约50～98％重量、约2～50％重量和约3～3000ppm。

用于溶解碱溶性树脂、重氮醌和表面活性剂的溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯、包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

在涂布时，碱溶性树脂、重氮醌和表面活性剂与溶剂的混合物的涂布得到改善，并且溶剂具有适当的挥发速度。

溶剂中的含有具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚的实例，包括二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇二-n-丙醚、二甘醇二异丙醚、二甘醇二n-丁醚、二甘醇二-仲-丁醚、二甘醇二-叔-丁醚、二甘醇二-n-戊醚、二甘醇甲基乙醚、二甘醇甲基n-丙醚、二甘醇甲基异丙醚、二甘醇甲基n-丁醚、二甘醇甲基仲-丁醚、二甘醇甲基叔-丁醚、二甘醇甲基n-戊醚、二甘醇乙基n-丙醚、二甘醇乙基异丙醚、二甘醇乙基n-丁醚、二甘醇乙基仲-丁醚、二甘醇乙基叔-丁醚、二甘醇乙基n-戊醚、二甘醇n-丙基异丙醚、二甘醇n-丙基n-丁醚、二甘醇n-丙基仲-丁醚、二甘醇n-丙基叔-丁醚、二甘醇n-丙基n-戊醚、二甘醇异丙基n-丁醚、二甘醇异丙基仲-丁醚、二甘醇异丙基叔-丁醚、二甘醇异丙基n-戊醚、二甘醇n-丁基仲-丁醚、二甘醇n-丁基叔-丁醚、二甘醇n-丁基n-戊醚、二甘醇仲-丁基叔-丁醚和二甘醇仲-丁基n-戊醚。上述化合物中，优选二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇二-n-丙醚、二甘醇二异丙醚、二甘醇二-n-丁醚、二甘醇甲基乙醚、二甘醇甲基n-丙醚、二甘醇甲基异丙醚、二甘醇甲基n-丁醚、二甘醇甲基仲-丁醚、二甘醇甲基叔-丁醚、二甘醇乙基n-丙醚、二甘醇乙基异丙醚、二甘醇乙基n-丁醚、二甘醇乙基仲-丁醚和二甘醇叔-丁醚。具体地，优选二甘醇二-n-丙醚、二甘醇二异丙醚、二甘醇甲基n-丁醚、二甘醇甲基仲-丁醚、二甘醇甲基叔-丁醚、二甘醇乙基n-丁醚、二甘醇仲-丁醚和二甘醇乙基叔-丁醚。

溶剂中乙酸烷基酯的实例包括乙酸n-丙酯、乙酸异丙酯、乙酸n-丁酯、乙酸异丁酯、乙酸仲丁酯、乙酸叔丁酯、乙酸n-戊酯、乙酸2-戊酯、乙酸3-戊酯、乙酸新戊酯、乙酸n-己酯、乙酸2-己酯、乙酸3-己酯、乙酸2-甲基戊酯、乙酸3-甲基戊酯、乙酸n-庚酯、乙酸2-庚酯、乙酸3-庚酯、乙酸4-庚酯、乙酸n-辛酯、乙酸2-辛酯、乙酸3-辛酯、乙酸4-辛酯和乙酸2-乙基己酯。

溶剂中乳酸烷基酯的实例包括乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸n-丙酯、乳酸异丙酯、乳酸n-丁酯、乳酸异丁酯、乳酸仲丁酯、乳酸叔丁酯、乳酸n-戊酯、乳酸2-戊酯、乳酸3-戊酯、乳酸新戊酯、乳酸n-己酯、乳酸2-己酯、乳酸3-己酯、乳酸2-甲酯和乳酸3-甲基戊酯。

相对于感光树脂组合物的总含量，二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸烷基酯和乳酸烷基酯的重量份数分别为约10～70％重量、约10～70％重量、约1～20％重量、约1～20％重量，更优选分别为约20～60％重量、约20～60％重量、约2～15％重量、约2～15％重量，最优选分别为约30～50％重量、约30～50％重量、约3～12％重量、约3～12％重量。在该组成下，感光树脂可以形成斑点减少的膜。

溶剂可以连同有机溶剂一起使用，溶剂的实例包括：

乙二醇单烷基醚如乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚和乙二醇单丁醚；

乙二醇烷基醚酯如甲基2-乙氧乙基乙酸酯和乙基2-乙氧乙基乙酸酯；

丙二醇单烷基醚乙酸酯如丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、二丙二醇单甲醚乙酸酯和二丙二醇单乙醚乙酸酯；

芳烃如苯、甲苯、二甲苯和1，3，5-三甲基苯；

酮如甲基乙基酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基异丁酮和环己酮；

醇如乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇和丙三醇；及

酯如3-甲氧基丙酸甲酯、2-羟基异丁酸甲酯、乳酸乙酯、乙酸戊酯、焦磷酸甲酯和二乙酸1，3-丁二醇酯。

相对于感光树脂组合物的总重量含量，溶剂的重量份数优选为约50～95％重量，更优选为约70～90％重量。相对于感光树脂组合物的总重量含量，具有狭缝型喷嘴的涂布设备中使用的溶剂的重量份数优选为约75～90％重量。至于进行旋涂以及狭缝涂布(slit coating)的涂布装置中使用的溶剂的重量份数，相对于感光树脂组合物的总重量含量，优选为约65～80％重量。在该组成下，感光树脂能够形成斑点减少的薄。

感光树脂组合物不但包括碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂，而且还可以包括阳离子聚合引发剂、多酚、交联剂、可聚合单体和硅烷偶联剂。

阳离子聚合引发剂的实例包括能够引发阳离子聚合的鎓盐。鎓盐包括鎓阳离子和路易斯酸阴离子。

鎓阳离子的实例包括二苯基碘鎓、双(p-甲苯基)碘鎓、双(p-叔丁基苯基)碘鎓、双(p-辛基苯基)碘鎓、双(p-十八烷基苯基)碘鎓、双(p-辛氧基苯基)碘鎓、双(p-十八烷氧基(octadecyloxy)苯基)碘鎓、苯基(p-十八烷氧基苯基)碘鎓、(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、三苯基锍(triphenyl sulfonate)、三(p-甲苯基)锍、三(p-异丙基苯基)锍、三(2，6-二甲基苯基)锍、三(p-叔丁基苯基)锍、三(p-氰基苯基)锍、三(p-氯苯基)锍、二甲基(甲氧基)锍、二甲基(乙氧基)锍、二甲基(丙氧基)锍、二甲基(丁氧基)锍、二甲基(辛氧基)锍、二甲基(十八烷氧基(octadecanoxy))锍、二甲基(异丙氧基)锍、二甲基(t-丁氧基)锍、二甲基(环戊氧基)锍、二甲基(环己氧基)锍、二甲基(氟甲氧基)锍、二甲基(2-氯乙氧基)锍、二甲基(3-溴丙氧基)锍、二甲基(4-氰基丁氧基)锍、二甲基(8-硝基辛氧基)锍、二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、二甲基(2-羟基异丙基)锍和二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍。上述鎓阳离子中，优选双(p-甲苯基)碘鎓、(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、双(p-叔丁基苯基)碘鎓、三苯基锍和三(p-叔丁基苯基)锍。

路易斯酸阴离子的实例包括六氟磷酸盐和六氟砷酸盐，优选包括六氟锑酸盐和四(五氟苯基)硼酸盐。

可以使用上述鎓阳离子和路易斯酸阴离子的任意组合。

阳离子聚合引发剂的实例包括六氟磷酸二苯基碘鎓、六氟磷酸双(p-甲苯基)碘鎓、六氟磷酸双(p-叔丁基苯基)碘鎓、六氟磷酸双(p-辛基苯基)碘鎓、六氟磷酸双(p-十八烷基苯基)碘鎓、六氟磷酸双(p-辛氧基苯基)碘鎓、六氟磷酸双(p-十八烷氧基苯基)碘鎓、六氟磷酸苯基(p-十八烷氧基苯基)碘鎓、六氟磷酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、六氟磷酸甲基萘基碘鎓、六氟磷酸乙基萘基碘鎓、六氟磷酸三苯基锍、六氟磷酸三(p-甲苯基)锍、六氟磷酸三(p-异丙基苯基)锍、六氟磷酸三(2，6-二甲基苯基)锍、六氟磷酸三(p-叔丁基苯基)锍、六氟磷酸三(p-氰基苯基)锍、六氟磷酸三(p-氯苯基)锍、六氟磷酸二甲基萘基锍、六氟磷酸二乙基萘基锍、六氟磷酸二甲基(甲氧基)锍、六氟磷酸二甲基乙氧基锍、六氟磷酸二甲基(丙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(丁氧基)锍、六氟磷酸二甲基(辛氧基)锍、六氟磷酸二甲基(十八烷氧基)锍、六氟磷酸二甲基(异丙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(t-丁氧基)锍、六氟磷酸二甲基(环戊氧基)锍、六氟磷酸二甲基(环己氧基)锍、六氟磷酸二甲基(氟甲氧基)锍、六氟磷酸二甲基(2-氯乙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(3-溴丙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(4-氰基丁氧基)锍、六氟磷酸二甲基(8-硝基辛氧基)锍、六氟磷酸二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、六氟磷酸二甲基(2-羟基异丙氧基)锍、六氟磷酸二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍、六氟砷酸二苯基碘鎓、六氟砷酸双(p-甲苯基)碘鎓、六氟砷酸双(p-辛基苯基)碘鎓、六氟砷酸双(p-十八烷基苯基)碘鎓、六氟砷酸双(p-辛氧基苯基)碘鎓、六氟砷酸双(p-十八烷氧基苯基)碘鎓、六氟砷酸苯基(p-十八烷氧基苯基)碘鎓、六氟砷酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、六氟砷酸甲基萘基碘鎓、六氟砷酸乙基萘基碘鎓、六氟砷酸三苯基锍、六氟砷酸三(p-甲苯基)锍、六氟砷酸三(p-异丙基苯基)锍、六氟砷酸三(2，6-二甲基苯基)锍、六氟砷酸三(p-叔丁基苯基)锍、六氟砷酸三(p-氰基苯基)锍、六氟砷酸三(p-氯苯基)锍、六氟砷酸二甲基萘基锍、六氟砷酸二乙基萘基锍、六氟砷酸二甲基(甲氧基)锍、六氟砷酸二甲基(乙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(丙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(丁氧基)锍、六氟砷酸二甲基(辛氧基)锍、六氟砷酸二甲基(十八烷氧基)锍、六氟砷酸二甲基(异丙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(t-丁氧基)锍、六氟砷酸二甲基(环戊氧基)锍、六氟砷酸二甲基(环己氧基)锍、六氟砷酸二甲基(氟甲氧基)锍、六氟砷酸二甲基(2-氯乙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(3-溴丙氧基)锍、六氟砷酸二甲基(4-氰基丁氧基)锍、六氟砷酸二甲基(8-硝基辛氧基)锍、六氟砷酸二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、六氟砷酸二甲基(2-羟基异丙基)锍、六氟砷酸二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍、六氟锑酸二苯基碘鎓、六氟锑酸双(p-甲苯基)碘鎓、六氟锑酸双(p-叔丁基苯基)碘鎓、六氟锑酸双(p-辛基苯基)碘鎓、六氟锑酸双(p-十八烷基苯基)碘鎓、六氟锑酸双(p-辛氧基苯基)碘鎓、六氟锑酸双(p-十八烷氧基苯基)碘鎓、六氟锑酸双(p-十八烷氧基苯基)碘鎓、六氟锑酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、六氟锑酸甲基萘基碘鎓、六氟锑酸乙基萘基碘鎓、六氟锑酸三苯基锍、六氟锑酸三(p-甲苯基)锍、六氟锑酸三(p-异丙基苯基)锍、六氟锑酸三(2，6-二甲基苯基)锍、六氟锑酸三(p-叔丁基苯基)锍、六氟锑酸三(p-氰基苯基)锍、六氟锑酸三(p-氯苯基)锍、六氟锑酸二甲基萘基锍、六氟锑酸二乙基萘基锍、六氟锑酸二甲基(甲氧基)锍、六氟锑酸二甲基(乙氧基)锍、六氟锑酸二甲基(丙氧基)锍、六氟锑酸二甲基(丁氧基)锍、六氟锑酸二甲基(辛氧基)锍、六氟锑酸二甲基(十八烷氧基)锍、六氟锑酸二甲基(异丙氧基)锍、六氟锑酸二甲基(t-丁氧基)锍、六氟锑酸二甲基(环戊氧基)锍、六氟锑酸二甲基(环己氧基)锍、六氟锑酸二甲基(氟甲氧基)锍、六氟锑酸二甲基(2-氯乙氧基)锍、六氟锑酸二甲基(3-溴丙氧基)锍、六氟锑酸二甲基(4-氰基丁氧基)锍、六氟锑酸二甲基(8-硝基辛氧基)锍、六氟锑酸二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、六氟锑酸二甲基(2-羟基异丙基)锍、六氟锑酸二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍、四(五氟苯基)硼酸二苯基碘鎓、四(五氟苯基)硼酸双(p-甲基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸双(p-叔丁基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸双(p-辛基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸双(p-十八烷基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸双(p-辛氧基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸双(p-十八烷氧基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸苯基(p-十八烷氧基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸甲基萘基碘鎓、四(五氟苯基)硼酸乙基萘基碘鎓、四(五氟苯基)硼酸三苯基锍、四(五氟苯基)硼酸三(p-甲苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(p-异丙基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(2，6-二甲基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(p-叔丁基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(p-氰基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸三(p-氯苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基萘基锍、四(五氟苯基)硼酸二乙基萘基锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(甲氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(乙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(丙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(丁氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(辛氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(十八烷氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(异丙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(t-丁氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(环戊氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(环己氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(氟甲氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(2-氯乙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(3-溴丙氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(4-氰基丁氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(8-硝基辛氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(18-三氟甲基十八烷氧基)锍、四(五氟苯基)硼酸二甲基(2-羟基异丙氧基)锍和四(五氟苯基)硼酸二甲基(三(三氯甲基)甲基)锍。上述阳离子聚合引发剂中，优选六氟磷酸双(p-甲苯基)碘鎓、六氟磷酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、六氟磷酸双(p-叔丁基苯基)碘鎓、六氟磷酸三苯基锍、六氟磷酸三(p-叔丁基苯基)锍、六氟砷酸双(p-甲苯基)碘鎓、六氟砷酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、六氟砷酸双(p-叔丁基苯基)碘鎓、六氟砷酸三苯基锍、六氟砷酸三(p-叔丁基苯基)锍、六氟锑酸双(p-甲苯基)碘鎓、六氟锑酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、六氟锑酸双(p-叔丁基苯基)碘鎓、六氟锑酸三苯基锍、六氟锑酸三(p-叔丁基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸双(p-甲苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸双(p-叔丁基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸三苯基锍和四(五氟苯基)硼酸三(p-叔丁基苯基)锍，更优选为六氟锑酸双(p-甲苯基)碘鎓、六氟锑酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、六氟锑酸双(p-叔丁基苯基)碘鎓、六氟锑酸三苯基锍、六氟锑酸三(p-叔丁基苯基)锍、四(五氟苯基)硼酸双(p-甲苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸双(p-叔丁基苯基)碘鎓、四(五氟苯基)硼酸三苯基锍、和四(五氟苯基)硼酸三(p-叔丁基苯基)锍。

相对于感光树脂组合物的总固体含量，阳离子聚合引发剂的重量份数优选为约0.01～10％重量，更优选为约0.1～5％重量。包含上述范围内的聚合引发剂的感光树脂组合物的热固化速率增加，在热固化过程中分解的减少受到抑制，并且固化膜的耐溶剂性增加。

多酚包括含有包含两个或多个酚羟基的分子的化合物、至少由羟基苯乙烯聚合得到的聚合物或酚醛清漆树脂。

该含有包含两个或多个酚羟基的分子的化合物的实例，包括在重氮醌的说明中描述的三羟基二苯甲酮、四羟基二苯甲酮、五羟基二苯甲酮、六羟基二苯甲酮和(多羟基苯基)烷烃。

至少由羟基苯乙烯聚合得到的聚合物的实例，包括由羟基苯乙烯聚合得到的树脂如多羟基苯乙烯、羟基苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯共聚物、羟基苯乙烯/甲基丙烯酸环己酯共聚物、羟基苯乙烯/苯乙烯共聚物和羟基苯乙烯/烷氧基苯乙烯共聚物。

酚醛清漆树脂的实例可以通过苯酚、甲苯酚和邻苯二酚中的至少一种与醛和酮中的至少一种的缩聚而得到。

多酚优选为感光树脂组合物的总固体重量含量的约0.01～40％重量，更优选为约0.1～25％重量，使得分解增加并且避免可见光的透射率降低。

交联剂的实例包括羟甲基化合物。羟甲基化合物可以是烷氧基甲基化的氨基树脂如烷氧基甲基化的三聚氰胺树脂和烷氧基甲基化的脲醛树脂。烷氧基甲基化的三聚氰胺树脂的实例包括甲氧基甲基化的三聚氰胺树脂、乙氧基甲基化的三聚氰胺树脂、丙氧基甲基化的三聚氰胺树脂和丁氧基甲基化的三聚氰胺树脂。烷氧基甲基化的脲醛树脂的实例包括甲氧基甲基化的脲醛树脂、乙氧基甲基化的脲醛树脂、丙氧基甲基化的脲醛树脂和丁氧基甲基化的脲醛树脂。

可以使用上述交联剂的两种或多种。

相对于感光树脂组合物的总固体含量，交联剂优选为约0.01～15％重量，使得所得到的膜的可见光透射率增加并且提高其起到的可固化树脂图案的作用。

可聚合单体可以通过自由基或阳离子聚合得到。

可聚合单体可以是含有可聚合碳-碳不饱和键的化合物，该键可以是单官能的、双官能的或多官能的(即三官能的或更多)。

单官能可聚合单体的实例包括壬基苯基卡必醇丙烯酸酯、壬基苯基卡必醇甲基丙烯酸酯、丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、甲基丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、2-乙基己基卡必醇丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇甲基丙烯酸酯、丙烯酸2-羟乙酯、甲基丙烯酸2-羟乙酯和N-乙烯基吡咯烷酮。

双官能可聚合单体的实例包括1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、双酚A的双(丙烯酰氧乙基)醚、3-甲基戊二醇二丙烯酸酯和3-甲基戊二醇二甲基丙烯酸酯。

多官能可聚合单体的实例包括三丙烯酸三羟甲基丙烷酯、三甲基丙烯酸三羟甲基丙烷酯、三丙烯酸季戊四醇酯、三甲基丙烯酸季戊四醇酯、四丙烯酸季戊四醇酯、四甲基丙烯酸季戊四醇酯、五丙烯酸季戊四醇酯、五甲基丙烯酸季戊四醇酯、六丙烯酸二-季戊四醇酯和六甲基丙烯酸二-季戊四醇酯。

可以优选使用双官能和多官能可聚合单体。具体地，优选四丙烯酸季戊四醇酯和六丙烯酸二-季戊四醇酯，更优选六丙烯酸二-季戊四醇酯。双官能和多官能可聚合单体可以与单官能可聚合单体组合使用。

通过阳离子聚合得到的可聚合单体可以包括阳离子可聚合的官能团如乙烯醚基团、丙烯醚基团、环氧基团和氧杂环丁烷基团。

含有乙烯醚基团的单体的实例包括三乙二醇二乙烯醚、1，4-环己烷二羟甲基二乙烯醚、4-羟基丁基乙烯醚和十二烷基乙烯醚。

含有丙烯醚基团的单体的实例包括4-(1-丙烯基氧甲基)-1，3-二氧戊环-2-酮(on)。

含有环氧基团的单体的实例包括双酚A类环氧树脂、苯酚酚醛类环氧树脂、甲酚酚醛类环氧树脂、环脂肪族环氧树脂、缩水甘油酯类环氧树脂、缩水甘油胺类环氧树脂和杂环环氧树脂。

含有氧杂环丁烷基的单体的实例包括双{3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲基}醚、1，4-双{3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲氧基}苯、1，3-双{3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲氧基}苯、1，4-双{3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲氧基甲基}苯、1，3-双{3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲氧基}苯、1，4-双{3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲氧基}环己烷、1，3-双{3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲氧基}环己烷、1，4-双{3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲氧基甲基}环己烷、1，3-双{3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲氧基甲基}环己烷和3-(3-乙基氧杂环丁烷基)甲基化的酚醛清漆树脂。

可以使用上述化合物中的两种或多种。

相对于感光树脂组合物的总固体重量含量，可聚合单体优选为约0.001～20％重量，更优选为约0.01～10％重量。

硅烷偶联剂的实例包括甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、乙烯基三氯硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三乙酸基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、3-氯丙基-三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基-二氯硅烷、3-氯丙基甲基-二甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基-二乙氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基-三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基-三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基甲基-二甲氧基硅烷、3-巯基丙基-三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧丙基-三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧丙基甲基-二甲氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基-三甲氧基硅烷、N-2-(N-乙烯基苄基氨乙基)-3-氨丙基-三甲氧基硅烷氢氯化物、六甲基二硅氮烷、二氨基硅烷、三氨丙基-三甲氧基硅烷、3-氨丙基-三甲氧基硅烷、3-氨丙基-三乙氧基硅烷、3-氨丙基甲基-二乙氧基硅烷、3-氨丙基-三(2-甲氧基乙氧基硅烷、3-(2-氨乙基)-3-氨丙基-三甲氧基硅烷、3-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基-三甲氧基硅烷、3-脲基丙基-三甲氧基硅烷、3-脲基丙基-三乙氧基硅烷、N-氨乙基-3-氨丙基-三甲氧基硅烷、N-氨乙基-3-氨丙基甲基-三甲氧基硅烷、N-甲基-3-氨丙基-三甲氧基硅烷和N-苯基-3-氨丙基-三甲氧基硅烷，优选包括含有环氧基团的3-环氧丙氧丙基-三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基-三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基-二甲氧基硅烷和3-环氧丙氧丙基甲基-二甲氧基硅烷，更优选含有环氧环的2-(3，4-环氧环己基)乙基-三甲氧基硅烷。

相对于感光树脂组合物的总含量，硅烷偶联剂优选为约0.01～10％重量，更优选为约0.1～2％重量，最优选为约0.2～1％重量，使得由该感光树脂组合物制得的可固化树脂图案与基板的附着力提高。

感光树脂组合物还可以包括其他成分如抗氧化剂、溶解抑制剂、感光剂、UV吸收剂、光稳定剂、粘合增进剂和电子给体。

感光树脂组合物可以通过下列方法制得：混合含有溶解在溶剂中的碱溶性树脂的溶液、溶剂中含有重氮醌的另一种溶液和溶剂中含有表面活性剂的另一种溶液。可以加入溶剂与该混合物混合。固体优选通过下列方法除去：使用孔径小于约3微米，优选为约0.1～2微米的过滤器过滤该混合物。

碱溶性树脂和重氮醌可以溶解在同一种溶剂中。可以使用多种能够彼此混合的溶剂。

现在，提供一种由该感光树脂组合物形成薄膜图案的方法。

将感光膜涂布在基板如透明玻璃上，通过掩模曝光并显影。在涂布感光膜之前，在基板上可以形成一种或多种薄膜图案如薄膜晶体管、滤色片、有机发光二极管等。

感光膜涂布的实例包括使用具有狭缝型喷嘴的涂布装置的狭缝涂布、其中感光树脂组合物流经基板上的狭缝同时旋转基板的狭缝与旋转(slit-and-spin)涂布、模头涂布和幕流动涂布(curtain-flow coating)。这些涂布方法中，优选狭缝与旋转涂布。涂布之后，可以预烘感光树脂组合物以除去挥发性组分如溶剂，从而形成基本上不含挥发性组分的感光树脂膜。感光树脂膜的厚度可以为约1.0～8.0微米。

接下来，通过掩模对感光膜进行第一次曝光。该掩模具有适合硬化树脂图案功能的图案。曝光产生光如g线或垂直于感光树脂膜整个表面的g线，并使用掩模对准器或步进机(stepper)使掩模和感光树脂膜对准。

然后通过混拌显影(puddle development)、浸渍显影或喷射显影，对感光树脂膜进行显影。

显影可以通过使用碱性水溶液进行。碱性水溶液含有无机碱性化合物或有机碱性化合物。

无机碱性化合物的实例包括氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾和铵。

有机碱性化合物的实例包括氢氧化四甲胺、氢氧化2-羟乙基三甲胺、一甲胺、二甲胺、三甲胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、一异丙胺、二异丙胺和乙醇胺。

可以使用上述碱性化合物中的两种或多种。相对于显影剂的总含量，碱性化合物的含量为约0.01～10％重量，优选为约0.1～5％重量。

显影剂可以含有表面活性剂如非离子型表面活性剂、阳离子型表面活性剂和阴离子型表面活性剂。

非离子型表面活性剂的实例包括聚氧乙烯衍生物如聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯烯丙醚、聚氧乙烯烷基烯丙醚、氧乙烯/氧丙烯嵌段共聚物、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯和聚氧乙烯烷基胺。

阳离子型表面活性剂的实例包括胺鎓盐如十八胺氢氯化物和季铵盐如十二烷基三甲胺氯化物。

阴离子型表面活性剂的实例包括高级醇的硫酸酯，如十二烷醇硫酸酯钠和油醇硫酸酯钠；烷基硫酸盐，如十二烷基硫酸钠和十二烷基硫酸铵；及烷基烯丙基磺酸盐，如十二烷基苯磺酸钠和十二烷基萘磺酸钠。

使用上述表面活性剂中的两种或多种。

显影剂可以包含有机溶剂，该有机溶剂包括水溶性溶剂如甲醇和乙醇。

显影剂溶解感光树脂膜的经过曝光的暴露部分，并且保留感光树脂膜的未暴露部分形成薄膜图案。

因为感光树脂组合物包括重氮醌，所以感光树脂膜的暴露部分在短时间内快速除去，同时其未暴露部分即使与显影剂长时间接触也几乎没有除去。

显影之后，用去离子水清洗具有薄膜图案的基板并干燥。

然后优选使用(深)紫外(UV)线对薄膜图案的部分或全部进行第二次曝光。第二次曝光中单位面积上UV的光照可以高于第一次曝光。第二次曝光除去了第一次曝光中没有被充分曝光的部分，从而减少残余物。

在约150～250℃下，更优选在约180～240℃下，对感光树脂图案进行后烘约5～120分钟，更优选约15～90分钟。后烘通过用加热板、干净的烘箱等加热基板来进行。后烘提高了固化的感光树脂图案的耐热性和耐溶剂性。

实施方案1

合成例1

碱溶性树脂合成

将下列材料放入带有搅拌器、冷却管和温度计的200ml烧瓶中：

甲基丙烯酸酯                             6.8g；

N-环己基马来酰亚胺                       14.2g；

3-乙基-3-甲基丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷      17.8g；

3-乙氧基丙酸乙酯                         45.3g；

二甘醇甲基乙醚                           45.3g；及

偶氮二异丁腈                             1.1g

然后将烧瓶浸渍在油浴中并在氮(N₂)气氛下搅拌约3小时，同时将烧瓶内的温度保持在约100～110℃。结果，得到碱溶性树脂A1，其基于聚苯乙烯标准的平均分子量(Mw)为约8000。

在下列条件下，通过GPC进行平均分子量的测定：

设备：HLC-8120GPC(由日本TOSOH公司制造)

塔：TSK-GELG4000HXL+TSK-GELG2000HXL(串联)(由日本TOSOH公司制造)

塔温：40℃

溶剂：四氢呋喃(THF)

流速：1.0ml/分钟

喷射量：50μl

检测器：RI(折射率)

样品浓度：0.6％重量

标准：TSK标准聚苯乙烯F-40，F-4，F-1，A-2500，A-500

合成例2

硅酮化合物合成

使204g如化学式4所示的分子链末端具有烯丙基在另一末端具有OH基团的聚氧乙烯在烧瓶中与300g异丙醇、0.5g含有2％氯铂酸的异丙醇和1g乙酸钾均匀混合。然后将温度升至异丙醇的回流温度(即，83℃)，例如使用滴管逐渐加入111g具有化学式5的甲基硅氧烷，开始反应。

          CH₂＝CH-CH₂-[O(CH₂)₂]₈OH(4)，及

加入甲基硅氧烷之后，反应持续4小时并在证实形成SiH基团之后终止。此后，在110℃和10mmHg下加热产物2小时以除去异丙醇。形成310g具有化学式6的化合物。

实施例1

感光树脂组合物1的制备

在23℃下，混合100重量份的碱溶性树脂A1，22重量份的具有化学式7的重氮醌，2重量份的作为阳离子聚合引发剂的四(五氟苯基)硼酸(p-甲苯基)(p-异丙基苯基)碘鎓，包含0.08重量份的作为含氟表面活性剂的3-全氟辛基-1，2-环氧丙烷、0.08重量份的具有化学式6的第一硅酮化合物和0.15重量份的作为第二硅酮化合物的SH8400(由Dow Corning Toray Silicone Co.，Ltd制造)的表面活性剂，及包含291重量份的3-乙氧基丙酸乙酯、291重量份的二甘醇甲基乙醚、32重量份乙酸丁酯和32重量份乳酸丁酯的溶剂，然后在压力下经过孔径为1.0微米的聚四氟乙烯筒式过滤器过滤，得到感光树脂组合物1。

对比例1

感光树脂组合物2的制备

条件和材料与实施例1的相同，只是溶剂包含557重量份的s-乳酸乙酯(ethyl-s-lactate)和62重量份的乙酸丁酯，得到感光树脂组合物2。

对比例2

感光树脂组合物3的制备

条件和材料与实施例1的相同，只是溶剂包含557重量份的二甘醇甲基乙醚和62重量份的乙酸丁酯，得到感光树脂组合物3。

对比例3

感光树脂组合物4的制备

条件和材料与实施例1的相同，只是溶剂包含251重量份的3-乙氧基丙酸乙酯、314重量份的二甘醇甲基乙醚和63重量份的乙酸丁酯，得到感光树脂组合物4。

对比例4

感光树脂组合物5的制备

条件和材料与实施例1的相同，只是溶剂包含35重量份的乳酸丁酯、314重量份的3-乙氧基丙酸乙酯和349重量份的二甘醇甲基乙醚，得到感光树脂组合物5。

对比例5

感光树脂组合物6的制备

条件和材料与实施例1的相同，只是溶剂包含588重量份的二甘醇甲基乙醚和31重量份的乙酸丁酯，得到感光树脂组合物6。

斑点产生和涂布均匀性的评价

使用由Dainippon Screen Manufacturing有限公司制造的旋转与狭缝涂布机，在六个涂有Mo薄膜的单独玻璃基板上涂布感光树脂组合物1(实施例1)、感光树脂组合物2(对比例1)、感光树脂组合物3(对比例2)、感光树脂组合物4(对比例3)、感光树脂组合物5(对比例4)、感光树脂组合物6(对比例5)。此后，溶剂通过在100℃下，在加热板中预烘树脂组合物135秒来除去。

接下来，使用曝光器(日本Canon Inc.制造的MPA-2000)对基板进行第一次曝光并通过混拌显影对其进行显影。然后用纯水漂洗基板并干燥，在第二次曝光过程中曝光基板的整个表面。随后，在130℃下，在加热板中后烘树脂组合物160秒，形成透明的固化树脂图案。

观察透明的固化基板上的斑点和基板边缘的隆起(build-up)现象，结果示于表1和图11A～11E中。

此处，应当注意，实施例1(EX1)是使用本发明的溶剂而形成的，对比例1(CE1)是使用常规溶剂而形成的，对比例2-5(CE1-5)是使用缺少一种或多种本发明的溶剂组分的溶剂而形成的。

图11A、11B、11C、11D和11E分别为对比例1、对比例2、对比例3、对比例4、对比例5和实施例1的感光树脂膜的照片。

                             表1

	横向条斑点	垂直条斑点	不规则污点	基板边缘的厚度差
					CE1	×	△	○	△

CE2	△	△	△	△
					CE3	×-△	△	△	△
CE4	×	○	△	△
					CE5	×	×	△	×
EX1	◎	◎	○	○

(◎：优良，○：良好，△：正常，×：差)

在对比例1中，溶剂的主要组分s-乳酸乙酯的沸点具有相对较低，为约150℃，因而树脂组合物在它到达基板之前在喷嘴附近就部分变干了。因此，喷射性质差并产生了横向条和垂直条斑点。

实施例1中的溶剂包括沸点相对较高的组分，如二甘醇二烷基醚(沸点为约177℃)、3-乙氧基丙酸乙酯(沸点为约170℃)和沸点为约188℃的乳酸丁酯。这些溶剂还具有对固体组分良好的溶解性质和良好的涂布特性。在干燥阶段，这些组分调整溶剂的挥发，降低了由溶剂的干燥不良引起的斑点产生。另外，与常规溶剂组分相比，这些组分对固体组分具有良好的溶解性，减少了膜边缘附近的隆起现象。因此，改善了透射和反射特性。

虽然溶剂中乙酸丁酯的沸点相对较低，但是它调整喷射压力，改善了感光树脂膜的平整度。

而且，组分的最佳比例甚至可以除去由溶解的不均匀而引起的部分斑点，并且可以提供最佳的喷射条件。

如上所述，二甘醇甲基乙醚和3-乙氧基丙酸乙酯的各重量份数均优选为约10～70％重量。当这些化合物的重量份数均少于约10％重量时，所得到的组合物干得太快，并且变得难以维持适当的喷射。与基板的附着力也变差。另一方面，如果这些化合物的重量份数均大于约70％重量，所得到的组合物干得太慢，以致部分产生不规则的斑点并且对固体的溶解度降低，从而产生不均匀的树脂。应当注意，所溶解的固体组分的不均匀性可以被认为是斑点，其与干燥速度无关。

乳酸丁酯的重量份数优选为约1～20％重量。当乳酸丁酯为等于或大于组合物的1％重量时，它改善了涂层均匀性。然而，使用大于20％重量的乳酸丁酯可能降低组合物的流动性，并且在基板边缘附近引起部分隆起。

乙酸丁酯的重量份数优选为约1～20％重量。当乙酸丁酯重量份数低于约1％重量时，喷射压力可能不均匀并引起薄膜的不平坦。当重量份数大于约20％重量时，乙酸丁酯的低沸点增加了干燥速度，产生部分斑点，并且喷射流动性增加，引起涂布性质差。

重量份数不在上述范围内时的溶解特性和涂布特性示于表2中。虽然不象对比例1～5那样，在整个表面上没有斑点，但是产生了斑点，并且涂布特性和膜附着力退化。

                                      表2

％重量	BLC	EEP	EDM	nBA	部分污点	基板边缘的厚度	涂布均匀性	膜附着力
									CE6	25	35	30	10	◎	×	○	○
CE7	5	80	10	5	△(不规则污点)	◎	○	◎
									CE8	10	5	68	13	△(横向/垂直)	○	◎	△
CE9	8	35	35	22	×(横向/垂直)	◎	○	○
									CE10	5	13	77	5	△(不规则污点)	◎	△	○
CE11	18	65	7	15	△(横向/垂直)	△	◎	△

BLC：乳酸丁酯

EEP：3-乙氧基丙酸乙酯

EMD：二甘醇甲基乙醚

nBA：乙酸丁酯

(◎：优良，○：良好，△：正常，×：差)

实施方案2

现在，参考附图详细描述用于液晶显示器(LCD)的包含由上述感光树脂组合物1制成的绝缘层的薄膜晶体管(TFT)阵列面板及其制备方法。

在附图中，为了清楚，放大各层、膜和区域的厚度。整个说明书中，相同的附图标记表示相同的元件。应当理解，当元件如层、膜、区域和基板称为“在…(另一个元件)上”时，它可以直接在另一个元件的上或者也可以存在插入元件。

首先，将参考图1和2详细描述根据本发明实施方案的薄膜晶体管(TFT)阵列面板。

图1为根据本发明实施方案的TFT阵列面板的线路图，图2为图1所示的TFT阵列面板沿线II-II′的剖视图。

在绝缘基板110上形成多个栅极线121，在各种材料中，绝缘基板110可以是透明玻璃或塑料。

栅极线121传送栅极信号并且基本上沿第一方向延伸。各栅极线121包括多个栅电极124、多个向下突出的凸起127和具有较大面积用于与另一层或外部驱动电路接触的末端129。用于产生栅极信号的栅极驱动电路(未示出)可以安装在柔性印刷电路(FPC)膜(未示出)上，其可以连接在基板110上，直接安装在基板110上，或者集成在基板110上。栅极线121可以延伸连接到能够集成到基板110上的驱动电路上。

栅极线121包括两个具有不同物理特性的导电膜：下膜(lower film)和布置在该下膜上的上膜(upper film)。下膜优选由低电阻的金属制成以减少信号延迟或电压降，该低电阻的金属包括含Al的金属如Al和Al合金、含Ag的金属如Ag和Ag合金、含Cu的金属如Cu和Cu合金。上膜优选由具有良好的物理特性、化学特性和与其他材料如氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)的电接触特性的材料制得，例如含Mo的金属如Mo和Mo合金、Cr、Ta或Ti。两种膜组合的一个良好实例为下Al(合金)膜和上Mo(合金)膜。

然而，下膜可以由良好接触材料制成，上膜可以由低电阻材料制成。在这种情况下，栅极121末端129的上膜129q可以除去而暴露出下膜129p。另外，栅极线121可以包括优选由上述材料制成的单层。不同地，栅极线121可以由各种金属或导体制成。

图2A和2B中，对于栅电极124和凸起127，其下膜和上膜分别由附加符号p和q表示。

栅极线121的侧面相对于基板110的表面来说是倾斜的，并且其倾斜角为约30～80度。

在栅极线121上形成栅极绝缘层140，其优选由氮化硅(SiN_x)或氧化硅(SiO_x)制成。

在栅极绝缘层140上形成多个半导体条151，其优选由氢化非晶硅(缩写为“a-Si”)或多晶硅制成。各半导体条151基本上均沿第二方向延伸并且在栅极线121附近变宽，使得半导体条151覆盖大面积的栅极线121。第二方向基本上垂直于第一方向。各半导体条151均具有多个向栅电极124分支出来的凸起154。

在半导体条151上形成多个欧姆接触(ohmic contact)条161和岛状物(island)165。欧姆接触条161和岛状物165优选由大量掺有n-型杂质如磷的n+氢化a-Si制成，或者它们可以由硅化物制成。各欧姆接触条161均具有多个凸起163，并且该凸起163和欧姆接触岛状物165成对地位于半导体条151的凸起154上。

半导体条151和欧姆接触161和165的侧面相对于基板的表面倾斜，并且其倾斜角优选为约30～80度。

在欧姆接触161和165以及栅极绝缘层140上形成多个数据线171、多个漏电极175和多个储存导体(storage conductor)177。

数据线171传送数据信号并且基本上沿着第二方向延伸，从而与栅极线121交叉。各数据线171均包括多个向栅电极124突出的源电极173和具有大面积以与另一层或外部驱动电路接触的末端179。用于产生数据信号的数据驱动电路(未示出)可以安装在FPC膜(未示出)上，其可以与基板110相连、直接安装在基板110上或集成在基板110上。数据线171可以延伸连接可以集成在基板110上的驱动电路。

漏电极175与数据线171分离，并且相对于栅电极124，与源电极173相对布置。

栅电极124、源电极173和漏电极175连同半导体条151的凸起154一起形成TFT，该TFT具有形成于布置在源电极173和漏电极175之间凸起154内的沟道。

储存导体177布置在栅极线121的凸起127上。

数据线171、漏电极175和储存导体177具有三层结构，该三层结构包括下膜171p、175p和177p、中膜171q、175q和177q与上膜171r、175r和177r。下膜171p、175p和177p优选由高熔点金属如Cr、Mo、Ta、Ti或其合其金制成，中膜171q、175q和177q优选由低电阻金属如含Al的金属、含Ag的金属和含Cu的金属制成，上膜171r、175r和177r由与ITO或IZO具有良好接触特性的高熔点金属或其合金制成。

数据线171、漏电极175和储存导体177可以具有双层结构，该双层结构包括高熔点金属的下膜(未示出)和低电阻的上膜(未示出)，或者单层结构，该单层结构优选由上述材料制成。然而，数据线171、漏电极175和储存导体177可以由各种金属或导体制成。

在图2A和2B中，对于数据线171的源电极173和末端179，其下膜、中膜和上膜分别由附加符号p、q和r表示。

数据线171、漏电极175和储存导体177具有倾斜的边缘外形，并且其倾斜角为约30～80度。

欧姆接触161和165仅位于下面的半导体条151与其上叠加的导体171和175之间，并且降低了其间的接触电阻。虽然半导体条151在大多数地方都比数据线171窄，但是如上所述，半导体条151的宽度在栅极线121附近变宽，使表面的外形平坦，从而防止数据线171的断开。半导体条151的凸起154包括数据线171、漏电极175和储存导体177所没有覆盖的若干暴露部分，如位于源电极173和漏电极175之间的部分。

在数据线171、漏电极175、储存导体177和半导体条151的暴露部分上形成钝化层180。

钝化层180优选由感光有机绝缘体制成，其介电常数优选小于约4.0。钝化层180可以具有平坦的表面并且厚度为约1.0～8.0微米。

用于钝化层180的有机绝缘体为感光树脂组合物，其包含碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂。溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

感光树脂组合物中的溶剂提高了对于固体组分如碱溶性树脂和重氮醌的溶解度，从而有助于感光树脂组合物的均匀沉积。在溶剂组分中，二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯和乳酸丁酯利用它们的高沸点适当调整干燥速度，避免喷嘴的前端的干燥。相同的溶剂组分还提高了对于固体组分的溶解度。另外，溶剂中的乙酸丁酯提高了树脂组合物的均匀性。因此，感光树脂组合物调整溶剂的挥发速度，减少了由于溶剂干燥较差产生的斑点，并提高了对于固体组分的溶解度，从而形成均匀厚膜。结果，在钝化层180边缘上的隆起显著减少，提高了钝化层180的透射特性和反射特性。

钝化层180可以包括无机绝缘体如氮化硅或氧化硅的下膜和上述有机绝缘体的上膜，使得它利用有机绝缘体优良的绝缘特性，同时防止半导体条151的暴露部分受到有机绝缘体损坏。

绝缘层180具有多个分别暴露出数据线171的末端179、漏电极175和储存导体177的接触孔182、185和187。钝化层180和栅极绝缘层140具有多个暴露出栅极线121的末端129的接触孔181。

在钝化层180上形成多个像素电极190和多个接触辅助物(contactassistant)81和82。它们优选由透明导体如ITO或IZO，或者发射导体如Ag、Al、Cr或其合金制成。

像素电极190经过接触孔185与漏电极175，并且经过接触孔187与储存导体177物理和电连接，使得像素电极190接受来自漏电极175的数据电压并且将数据电压传送给储存导体177。供以数据电压的像素电极190与供以公共电压的反向显示面板(opposing display panel)(未示出)的公共电极(未示出)协作产生电场。所产生的电场决定了布置在两电极之间的液晶层(未示出)的液晶分子(未示出)的取向。像素电极190和公共电极构成电容器，称之为“液晶电容器”，其在TFT关闭后储存施加的电压。

像素电极190与前述栅极线121的凸起127交迭。像素电极190和与其相连储存导体177及凸起127形成另外的电容器，称之为“储存电容器”，其提高了液晶电容器的电压储存容量。

像素电极190与栅极线121和数据线171交迭，增加了开口率(apertureratio)。

接触辅助物81和82分别经过接触孔181和182与栅极线121的末端129和数据线171的末端179连接。接触辅助物81和82保护末端129和179并增强末端129和179与外部器件之间的附着力。

在像素电极190和钝化层180上可以形成多个倾斜元件(未示出)。各倾斜元件包括脊和倾斜角为约1～10度的倾斜面，并且决定了液晶分子的倾斜方向，减少液晶的响应时间。象钝化层180一样，倾斜元件可以由感光树脂组合物制成，该感光树脂组合物包含碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂。该溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

将参考图3A至6B以及图1和2，描述根据本发明实施方案的制备图1和2所示的TFT阵列面板的方法。

图3A、4A、5A和6A为根据本发明实施方案TFT图1和2所示的TFT阵列面板在其制备方法的中间步骤中的线路图，图3B为图3A所示的TFT阵列面板沿线IIIB-IIIB′的剖视图；图4B为图4A所示的TFT阵列面板沿线IVB-IVB′的剖视图；图5B为图5A所示的TFT阵列面板沿线VB-VB′的剖视图；图6B为图6A所示的TFT阵列面板沿线VIB-VIB′的剖视图。

参考图3A和3B，通过溅射等在绝缘基板110上沉积导电层。导电层具有优选由Al或Al-Nd合金制成且厚度优选为约2500的下膜和由Mo制成的上膜。

可以使用Al或Al-Nd合金靶和Mo靶共同溅射下膜和上膜。当沉积下膜时，使Al(-Nd)靶通电，而Mo靶断电。下膜沉积之后，使Al(-Nd)靶断电，而Mo靶通电，沉积上膜。

通过光刻法和蚀刻使上膜和下膜构图，形成多个包含栅电极124、凸起127和末端129的栅极线121。

参考图4A和4B，在约250～500℃的温度下沉积厚度为约2000～5000的栅极绝缘层140。接着，在栅极绝缘层140上顺序沉积本征(intrinsic)非晶硅层和非本征(extrinsic)多晶硅层并通过光刻法和蚀刻构图，形成多个非本征半导体条164和包括凸起154的多个本征半导体条151。

参考图5A和5B，通过溅射等沉积导电层。导电层包括优选由Mo制成的下膜、优选由Al制成的中膜和优选由Mo制得的上膜。导电层的厚度为约4000，溅射温度为约150℃。

然后通过光刻法和湿蚀刻使导电层构图，形成多个包括源电极173和末端179的数据线171、漏电极175和储存导体177。用于湿蚀刻的蚀刻剂可以包含优选约63～73％的磷酸、优选约4～8％的硝酸、优选约8～11％的乙酸和去离子水。

此后，除去未覆盖有数据线171、漏电极175和储存导体177的非本征半导体条164的暴露部分，得到包含凸起163的多个欧姆接触条161和多个欧姆接触岛状物165，并暴露部分本征半导体条151。为了使半导体条151暴露的表面稳定，优选接着进行氧等离子体处理。

参考图6A和6B，涂布含有碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂的感光树脂膜。溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

通过移动基板110或涂布机(未示出)的喷嘴(未示出)的狭缝涂布进行涂布，涂布的树脂组合物的厚度为约1.0～8.0微米。

涂布后，将涂有感光树脂组合物的基板110放入烘箱中并在约90～110℃的温度下预烘约90～180秒。预烘除去了挥发性组分如溶剂。

接下来，使用掩模对准器把感光膜与掩模对准，并通过掩模进行第一次曝光。曝光产生光如g线或垂直于感光树脂膜的整个表面的g线。

然后用优选含有3％重量二异丙铵的碱性水溶液的显影剂，通过混拌显影使感光树脂膜显影。显影剂溶解感光树脂膜经过曝光的暴露部分，然后留下感光树脂膜未暴露的部分，形成如图6A和6B所示含有多个接触孔182、185和187的钝化层180及多个接触孔181的上部。

由于感光树脂组合物包含重氮醌，所以感光树脂膜的暴露部分在短时间内快速除去，同时未暴露部分即使与显影剂长时间接触也几乎没有除去。

显影后，用去离子水清洗具有钝化层180的基板110并干燥。

然后优选使用(深)紫外(UV)线对至少部分钝化层180进行第二次曝光。第二次曝光中单位面积上UV的光照可以高于第一次曝光。进行第二次曝光是为了降低钝化层180的透明度。

在约150～250℃，更优选约180～240℃的温度下，在加热板(未示出)中后烘钝化层180约130～160秒，或者在干净的烘箱中后烘钝化层180约20～90分钟。后烘提高了固化的感光树脂图案的耐热性和耐溶剂性。

感光树脂组合物中的溶剂对于固体组分如碱溶性树脂和重氮醌的溶解度改善，使感光树脂组合物均匀地展开。溶剂组分中，二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乳酸丁酯通过它们的高沸点适当地调整干燥速度，避免喷嘴的前端干燥，并且它们提高了对于固体组分的溶解性。另外，溶剂中的乙酸丁酯提高了树脂组合物的均匀性。因此，感光树脂组合物调整溶剂的挥发速度，减少由于溶剂干燥较差产生的斑点，并且提高对于固体组分的溶解性，从而形成均匀厚膜。结果，在上钝化膜180的边缘的隆起显著减少，提高了钝化层180的透射特性和反射特性。

接着，利用钝化层180作为蚀刻掩模蚀刻栅绝缘层140，完成接触孔181。

最后，如图1和2所示，通过溅射、光刻和蚀刻IZO或ITO层，在钝化层180上和在漏电极175的暴露部分，栅极线121的末端129，及数据线171的末端179上形成多个像素电极190和多个接触辅助物81和82。

上述感光树脂组合物可以用于其它绝缘层如栅极绝缘层140。

实施方案3

图7为根据本发明另一个实施方案的TFT阵列面板的线路图，图8为图7所示的TFT阵列面板沿线VIII-VIII′的剖视图。

在绝缘基板110如透明玻璃或塑料上形成多条栅极线121。

栅极线121传送栅极信号并且基本上沿第一方向延伸。各栅极线121包括多个栅电极124、多个向下突出的凸起127和具有较大面积用于与另一层或外部驱动电路接触的末端129。用于产生栅极信号的栅极驱动电路(未示出)可以安装在柔性印刷电路(FPC)膜(未示出)上，其可以连接在基板110上，直接安装在基板110上或集成在基板110上。栅极线121可以延伸连接可以集成在基板110上的驱动电路。

栅极线121包括两个具有不同物理特性的导电膜：下膜和布置在该下膜上的上膜。下膜优选由低电阻的金属，例如含Al的金属如Al和Al合金、含Ag的金属如Ag和Ag合金、含Cu的金属如Cu和Cu合金制成，以减少信号延迟或电压降。上膜优选由具有良好的物理、化学和与其他材料如氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)的电接触特性的材料，例如含Mo的金属如Mo和Mo合金、Cr、Ta或Ti制成。两种膜组合的一个良好实例为下Al(合金)膜和上Mo(合金)膜。

然而，下膜可以由良好的接触材料制成，上膜可以由低电阻材料制成。在这种情况下，栅极线121末端129的上膜129q可以除去以暴露出下膜129p。此外，栅极线121可以包括优选由上述材料制成的单层。另外，栅极线121可以由各种金属或导体制成。

图7和8中，对于栅电极124和凸起127来说，下膜和上膜分别由附加符号p和q表示。

栅极线121的侧面相对于基板110的表面倾斜，并且倾角为约30～80度。

在栅极线121上形成优选由氮化硅(SiNx)或氧化硅(SiOx)制成的栅极绝缘层140。

在栅极绝缘层140上形成多个优选由氢化非晶硅(缩写为“a-Si”)或多晶硅制成的半导体条151。各半导体条151基本上沿第二方向延伸并且在栅极线121附近变宽，使得半导体条151覆盖了大面积的栅极线121。各半导体条151均具有多个向栅电极124分支出来的凸起154。

在半导体条151上形成多个欧姆接触条161和岛状物165。欧姆接触条161和岛状物165优选由大量掺有n-型杂质如磷的n⁺氢化a-Si制成，或者它们可以由硅化物制成。各欧姆接触条161具有多个凸起163，并且凸起163和欧姆接触岛状物165成对地位于半导体条151的凸起154上。

半导体条151及欧姆接触161和165的侧面相对于基板110的表面倾斜，倾角优选为约30～80度。

在欧姆接触161和165及栅极绝缘层140上形成多条数据线171、多个漏电极175和多个储存导体177。

数据线171传送数据信号，并且基本上沿第二方向延伸和栅极线121交叉。第二方向基本上垂直于第一方向。各数据线171包括多个向栅电极124突出的源电极173和具有较大面积用于与另一层或外部驱动电路接触的末端179。用于产生数据信号的数据驱动电路(未示出)可以安装在FPC膜(未示出)上，其可以连接在基板110上、直接安装在基板110上或集成在基板110上。数据线171可以延伸连接可以集成在基板110上的驱动电路。

漏电极175与数据线171分离，并且相对于栅电极124与源电极173相对放置。

栅电极124、源电极173和漏电极175连同半导体条151的凸起154形成TFT，该TFT具有形成于布置在源电极173和漏电极175之间凸起154内的沟道。

储存导体177布置在栅极线121的凸起127上。

数据线171、漏电极175和储存导体177具有包括下膜171p和175p、中膜171q和175q及上膜171r和175r的三层结构。下膜171p和175p优选由高熔点金属如Cr、Mo、Ta、Ti或其合金制成，中膜171q和175q优选由低电阻金属如含Al的金属、含Ag的金属和含Cu的金属制成，上膜171r和175r由具有与ITO或IZO良好接触特性的高熔点金属或其合金制成。

数据线171、漏电极175和储存导体177可以具有包括高熔点金属下膜(未示出)和低电阻上膜(未示出)的双层结构，或者优选由上述材料制成的单层结构。然而，数据线171、漏电极175和储存导体177可以由各种金属或导体制成。

在图7和8中，对于源电极173、储存导体177和数据线171的末端179来说，其下膜、中膜和上膜分别由附加符号p、q和r表示。

数据线171、漏电极175和储存导体177具有倾斜的边缘外形，倾角为约30～80度。

欧姆接触161和165仅介于下面的半导体条151与上面的导体171和175之间，并降低了其间的接触电阻。虽然半导体条151在大多数地方都比数据线171窄，但是如上所述，半导体条151的宽度在栅极线121附近变宽，使表面的外形平坦，从而防止数据线171断开。半导体条151的凸起154包括未覆盖有数据线171、漏电极175和储存导体177的若干暴露部分，如位于源电极173和漏电极175之间的部分。

在数据线171、漏电极175、储存导体177和半导体条151的暴露部分上形成下钝化膜180p。下钝化膜180p优选由无机绝缘体如氮化硅或氧化硅制成。

在下钝化膜180p上形成多个滤色片条(color filter stripe)230。

滤色片条230沿第二方向延伸，并且各滤色片条230均表示一种基色(红、绿和蓝)。相邻滤色片条230表示不同颜色，并且它们在数据线171上具有彼此完全匹配的边缘。然而，相邻滤色片条230可以彼此重叠以阻挡像素电极190之间的漏光，或者可以彼此隔开。在具有信号线121和171的末端129和179的周边区域中没有滤色片条230。

当滤色片条230连同TFT一起布置在基板110上时，可以增大开口率。

在滤色片条230上形成上钝化膜180q。下钝化膜180p和上钝化膜180q防止滤色片条230中的颜料渗透到其它层中。

上钝化膜180q优选由介电常数优选小于约4.0的感光有机绝缘体制成。钝化膜180可以具有平坦的表面。

用于上钝化膜180q的有机绝缘体为含有碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂的感光树脂组合物。该溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

感光树脂组合物中的溶剂对于固体组分如碱溶性树脂和重氮醌溶解性得到改善，使感光树脂组合物均匀地展开。在溶剂组分中，二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乳酸丁酯通过它们的高沸点适当地调整干燥速度，防止在喷嘴的前端干燥，同种溶剂组分还提高了固体组合的溶解性。此外，溶剂中乙酸丁酯提高了树脂组合物的均匀性。因此，感光树脂组合物调整溶剂的挥发速度，减少了由于溶剂干燥较差产生的斑点，并且提高了固体组分的溶解性，从而形成均匀厚膜。结果，在上钝化膜180q的边缘上的隆起显著减少，提高了上钝化膜180q的透射特性和反射特性。

钝化膜180p和180q具有多个分别暴露出数据线171的末端179、漏电极175和储存导体177的接触孔182、185和187。钝化层180和栅极绝缘层140具有多个暴露出栅极线121的末端129的接触孔181。而且，滤色片条230具有多个暴露出接触孔185和187的下部和在接触孔185和187附近的下钝化膜180q表面的接触孔235和237。

在上钝化膜180q上形成多个像素电极190和多个接触辅助物81和82。它们优选由透明导体如ITO或IZO，或者反射导体(reflective conductor)如Ag、Al、Cr或其合金制成。

像素电极190经过接触孔185与漏电极175电连接，并经过接触孔187与储存导体177电连接，使得像素电极190从漏电极175接收数据电压并且将数据电压传送给储存导体177。供以数据电压的像素电极190与供以公共电压的反向显示面板(未示出)的公共电极(未示出)协作产生电场。所产生的电场决定布置在两电极之间的液晶层(未示出)的液晶分子(未示出)的取向。像素电极190和公共电极构成液晶电容器。

像素电极190与前一个栅极线121的凸起127重叠。像素电极190和连接到其上的储存导体177及凸起127形成储存电容器。

像素电极190与栅极线121和数据线171重叠，增加了开口率。

接触辅助物81和82分别经过接触孔181和182与栅极线121的末端129和数据线171的末端179连接。接触辅助物81和82保护末端129和179，并增强了末端129和179与外部器件之间的附着力。

现在，参考图9A～10B以及图7和8，详述制备图7和8所示的TFT阵列面板的方法。

图9A和10A为根据本发明实施方案的图7和8所示的TFT阵列面板在其制备方法的中间步骤中的线路图，图9B为图9A所示的TFT阵列面板沿线IXB-IXB′的剖视图，图10B为图9A所示的TFT阵列面板沿线XB-XB′的剖视图。

参考图9A和9B，在绝缘基板110上形成多个包含栅电极凸起127和末端129的栅极线121。在该栅极线121和基板110上顺序形成栅极绝缘层140、多个包含凸起154的半导体条151和多个包括凸起163的欧姆接触161和165。在欧姆接触161和165及栅极绝缘层140上形成多个包括源电极173的数据线171、多个数据线171和多个储存导体177。通过PECVD等形成下钝化膜180p。涂布和构图包含一种基色颜料的负性感光膜，形成多个具有接触孔235和237的滤色片条。重复其它基色的膜涂布和构图，还形成表示其它基色的多个滤色片条230。

接着，在滤色片条230上涂布含有碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂的感光树膜。该溶剂包括包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯和包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

涂布通过狭缝涂布进行，同时移动基板110或涂布机(未示出)的喷嘴(未示出)。涂布的树脂组合物厚度为约1.0～8.0微米。

涂布后，将涂有感光树脂组合物的基板110放入烘箱中，在约90～110℃的温度下预烘约90～180秒。预烘除去了挥发性组分如溶剂。

接着，使用掩模对准器使感光膜与掩模对准，并通过掩模经受第一次曝光。曝光产生光例如g线或垂直于感光树脂膜整个表面的g线。

然后使用优选含有3％重量二异丙胺的碱性水溶液的显影剂，通过混拌显影使感光树脂膜显影。显影剂溶解经曝光的感光树脂膜的暴露部分，并保留感光树脂膜的未暴露部分，形成如图10A和10B所示的含有多个接触孔181、182、185和187上部的上钝化膜180q。

因为感光树脂组合物包括重氮醌，所以感光树脂膜的暴露部分在短时间内很快除去，而其未暴露部分即使与显影剂长时间接触也几乎没有除去。

显影后，用去离子水洗涤具有上钝化膜180q的基板110，并干燥。

然后优选使用(深)紫外(UV)线对上钝化膜180q的一部分或全部进行第二次曝光。第二次曝光中单位面积上UV的光照可以高于第一次曝光。第二次曝光除去了第一次曝光中可能未充分曝光的部分，减少残余物。

在约150～250℃，更优选约180～240℃的温度下，后烘上钝化膜180q约5～120分钟，更优选约15～90分钟。通过用加热板(未示出)加热基板110来进行后烘。后烘提高了固化的感光树脂图案的耐热性和耐溶剂性。

感光树脂组合物中的溶剂对于固体组分如碱溶性树脂和重氮醌的溶解性得到改善，使感光树脂组合物均匀地展开。在溶剂组分中，二甘醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乳酸丁酯通过它们的高沸点适当地调整干燥速度，防止喷嘴的前端干燥，并且它们提高了对于固体组分的溶解性。另外，溶剂中的乙酸丁酯提高了树脂组合物的均匀性。因此，感光树脂组合物调整溶剂的挥发速度，减少了由于溶剂干燥较差产生的斑点，并且提高了对于固体组分的溶解性，从而形成均匀厚膜。结果，在上钝化膜180q边缘上的隆起显著减少，提高了上钝化膜180q的透射特性和反射特性。

随后，使用上钝化膜180q作为蚀刻掩模蚀刻下钝化膜180p和栅极绝缘层140，完成接触孔181、182、185和187。

最后，如图7和8所示，通过溅射、光刻和蚀刻IZO或ITO层，在上钝化膜180q和在漏电极175的暴露部分、栅极线121的末端129和数据线171的末端179上形成多个像素电极190和多个接触辅助物81和82。

上述感光树脂组合物可以用于其它绝缘层如栅极绝缘层140和下钝化膜180p。

图1～6B所示的TFT阵列面板及其制备方法的许多上述特征适于图7A～10B所示的TFT阵列面板及其制备方法。

上述感光树脂组合物还可以用于与TFT面板组合的另一面板上的绝缘层或倾斜元件。另外，上述感光树脂组合物可以用于其它显示器件如有机发光二极管(OLED)显示器中。

尽管已经参照优选实施方案详述了本发明，但是本领域的技术人员将会理解其中可以进行各种修改和替换，而不脱离如所附的权利要求书中阐述的本发明的精神和范围。

Claims (24)

1、一种感光树脂组合物，包含：

碱溶性树脂；

重氮醌(quinone diazide)；

表面活性剂；及

溶剂，该溶剂包括

包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚，

3-乙氧基丙酸乙酯，

包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯，及

包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

2、根据权利要求1的组合物，其中所述溶剂中，二甘醇二烷基醚的重量百分比为约10～70％重量，3-乙氧基丙酸乙酯的重量百分比为约10～70％重量，乙酸烷基酯的重量百分比为约1～20％重量，乳酸烷基酯的重量百分比为约1～20％重量。

3、根据权利要求1的组合物，其中所述二甘醇二烷基醚包括二甘醇甲基乙醚，乙酸烷基酯包括乙酸丁酯，乳酸烷基酯包括乳酸丁酯。

4、根据权利要求1的组合物，其中所述感光树脂组合物中的溶剂的重量百分比为约50～95％重量。

5、根据权利要求1的组合物，其中所述感光树脂组合物的总固体含量中的碱溶性树脂的重量百分比为约50～98％重量。

6、根据权利要求1的组合物，其中所述感光树脂组合物的总固体含量中的重氮醌的重量百分比为约2～50％重量。

7、根据权利要求1的组合物，其中所述感光树脂组合物的总固体含量中的表面活性剂的重量百分比至多为约0.3％重量。

8、根据权利要求1的组合物，还包含阳离子聚合引发剂、酚类化合物、交联剂、可聚合单体和硅烷偶联剂中的至少一种。

9、根据权利要求1的组合物，其中所述表面活性剂包括：

有机氟化合物

式中R_f为含有约5～10个碳原子的直链或支链全氟亚烷基，Z为氢或氟；

第一硅酮化合物

式中R为含有2～5个碳原子的直链或支链亚烷基，x和y均为约1～20的整数；及

第二硅酮化合物

式中R′为含有约1～20个碳原子的烷基，或者含有约2～21个碳原子的直链或支链羰基烷基，v和w均为约1～20的整数，m和l均为约1～9的整数，其中(m+l)为2～10。

10、一种薄膜面板，包括：

基板；

形成在该基板上的薄膜图案；及

形成在该薄膜图案上并由感光树脂组合物制成的绝缘层，该感光树脂组合物包含碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂，该溶剂包括：

包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚，

3-乙氧基丙酸乙酯，

包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯，及

包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

11、根据权利要求10的薄膜面板，其中所述溶剂中，二甘醇二烷基醚的重量百分比为约10～70％重量，3-乙氧基丙酸乙酯的重量百分比为约10～70％重量，乙酸烷基酯的重量百分比为约1～20％重量，乳酸烷基酯的重量百分比为约1～20％重量。

12、根据权利要求10的薄膜面板，其中所述薄膜图案包括导电信号线。

13、根据权利要求10的薄膜面板，其中薄膜图案包括：

栅极线；

形成在该栅极线上的栅极绝缘体；

形成在该栅极绝缘体上的半导体层；及

形成在该半导体层上的数据线和漏电极。

14、根据权利要求13的薄膜面板，还包括形成在所述绝缘层上并与漏电极连接的像素电极。

15、根据权利要求13的薄膜面板，还包括布置在所述绝缘层下方的滤色片。

16、一种制备薄膜面板的方法，该方法包括：

在基板上形成薄膜图案；

涂布包含碱溶性树脂、重氮醌、表面活性剂和溶剂的感光树脂组合物；

经过光掩模对该感光树脂组合物进行曝光；及

使感光树脂组合物显影，得到薄膜图案；

其中所述溶剂包括：

包含具有1～5个碳原子的烷基的二甘醇二烷基醚，

3-乙氧基丙酸乙酯，

包含具有3～8个碳原子的烷基的乙酸烷基酯，及

包含具有1～6个碳原子的烷基的乳酸烷基酯。

17、根据权利要求16的方法，其中所述感光树脂组合物的涂布利用狭缝型喷嘴。

18、根据权利要求16的方法，其中所述感光树脂组合物的厚度为约1.0～8.0微米。

19、根据权利要求16的方法，还包括：

在曝光之前，从感光树脂组合物中除去溶剂。

20、根据权利要求16的方法，还包括：

在显影之后，使薄膜图案曝光；及

在曝光之后，烘焙薄膜图案。

21、根据权利要求16的方法，还包括：

在显影之后，烘焙薄膜图案。

22、根据权利要求16的方法，其中所述薄膜图案的形成包括：

在基板上形成信号线。

23、根据权利要求16的方法，其中所述薄膜图案的形成包括：

在基板上形成栅极线；

按顺序沉积栅极绝缘层和半导体层；

蚀刻该半导体层；及

在半导体层上形成数据线和漏电极。

24、根据权利要求23的方法，还包括：

在所述感光树脂组合物上形成像素电极；

其中感光树脂组合物具有暴露出漏电极的接触孔，并且所述像素电极与漏电极连接。

Images