CN121179328A - 一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置及其工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及精密机械制造技术领域，具体公开了一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置及其工艺，包括工作台、壳体和研磨机构；壳体固接在工作台顶面上，壳体内底壁安装有驱动电机；驱动电机输出端设置有驱动轴；驱动轴顶端设置有夹爪卡盘；研磨机构设置在壳体顶部，研磨机构可对夹爪卡盘夹持的工件进行研磨；工作台底部设置有储液箱；壳体内底壁上设置有与储液箱连通的连通管，壳体靠近顶端的内壁设置有环管；环管外壁上设置有喷水管；工作台上设置有可将储液箱内的研磨液输送至环管内的抽吸组件；当喷洒研磨液对工件进行润滑、冷却和冲洗后，落至壳体底部的研磨液最终会通过连通管回流至储液箱中，实现研磨液的回收再利用，节约资源。

Description

一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置及其工艺

技术领域

本发明涉及精密机械制造技术领域，尤其是涉及一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置及其工艺。

背景技术

铝基碳化硅复合材料因其具有高硬度、高强度、良好的耐磨性和耐腐蚀性以及低密度、良好的塑韧性等优异性能，在航空航天、精密仪器等诸多领域作为精密构件材料应用广泛，为使产品具有更高的表面精度等级和尺寸精度，往往需要通过研磨装置对工件进行研磨处理。

现有技术中在对工件进行研磨时，为提高研磨效果需要在研磨的过程中不断地加入研磨液，但是并没有设置回收装置对喷洒的研磨液进行回收，从而易于造成资源浪费。

发明内容

本申请提供一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置及其工艺，具有对喷洒的研磨液进行回收，以便实现研磨液的循环利用，节约资源。

本申请提供的一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置及其工艺，采用如下的技术方案：

一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，包括工作台、壳体和研磨机构；所述壳体固接在工作台顶面上，壳体顶部敞口，壳体内底壁安装有驱动电机；所述驱动电机输出端同轴固接有驱动轴；所述驱动轴顶端同轴固接有可夹持工件的夹爪卡盘；所述研磨机构设置在壳体顶部，研磨机构可对夹爪卡盘夹持的工件进行研磨；所述工作台底部设置有储液箱；所述壳体内底壁上设置有与储液箱连通的连通管，壳体靠近顶端的内壁设置有环管；所述环管外壁上设置有倾斜指向夹爪卡盘的喷水管；所述工作台上设置有可将储液箱内的研磨液输送至环管内的抽吸组件。

通过采用上述技术方案，在对工件进行研磨加工时，将工件装夹安装在夹爪卡盘上，启动驱动电机带动夹爪卡盘和工件转动，并通过壳体顶部设置的研磨机构对工件表面进行研磨，在工件研磨加工过程中，通过抽吸组件将储液箱中的研磨液输送至环管内，研磨液再经由喷水管喷洒在工件研磨位置处，对工件进行润滑、冷却和冲洗，提高研磨质量，研磨液最终会通过连通管回流至储液箱中，实现研磨液的回收，以便研磨液能够进行重复利用，节约资源。

优选的，所述抽吸组件包括泵体；所述泵体安装在工作台上，泵体输入端固接有与储液箱连通的进液管，泵体输出端固接有与环管连通的出液管。

通过采用上述技术方案，启动泵体可将储液箱内的研磨液便捷输送至环管中，进而以便将研磨液喷洒在工件上，对工件的研磨工作进行润滑、冷却和洗涤，保证工件的研磨质量。

优选的，所述研磨机构包括架体、电推杆和研磨电机；所述架体安装在工作台顶面上，架体上开设有通槽，架体一端外壁上安装有第一电机；所述第一电机输出端同轴固接有伸至通槽内的第一丝杆；所述第一丝杆外部套设有与第一丝杆螺纹传动配合的滑块；所述滑块与通槽内壁滑动配合；所述电推杆设置在滑块底部；所述研磨电机设置在电推杆底部的输出端上，研磨电机输出端同轴固接有研磨盘。

通过采用上述技术方案，启动电推杆带动研磨电机下移，促使研磨盘压设在工件表面，在对工件进行研磨加工时，驱动电机会带动夹爪卡盘和工件转动，启动研磨电机带动研磨盘转动对工件进行研磨，并配合第一电机带动第一丝杆转动，促使滑块沿第一丝杆轴向移动，调整研磨盘的研磨位置，以便促使研磨盘对工件表面进行均匀研磨。

优选的，所述储液箱内壁上设置有滤网，储液箱外壁上安装有半导体制冷片。

通过采用上述技术方案，设置在储液箱内的滤网可对回流至储液箱内的研磨液进行过滤，去除研磨液中的杂质颗粒，储液箱外壁上设置的半导体制冷片可对研磨液进行冷却降温，保证研磨液在循环使用过程中的冷却效果。

优选的，所述储液箱外壁上安装有第二电机；所述第二电机输出端同轴固接有伸至储液箱内的搅拌轴；所述搅拌轴外壁上固接有位于滤网底部的搅拌板。

通过采用上述技术方案，在向工件淋喷研磨液的过程中，启动第二电机带动搅拌轴和搅拌板转动，对储液箱中的研磨液进行搅拌，促使研磨液进行运动，以便半导体制冷片能够更好的对研磨液进行冷却降温，保证研磨液在循环利用过程中的冷却效果。

优选的，所述储液箱内壁上转动连接有位于滤网顶部的往复丝杆；所述往复丝杆外部套设有与往复丝杆螺纹传动配合的清洁刷；所述清洁刷与储液箱内壁滑动配合，清洁刷与滤网顶面接触；所述搅拌轴一端外壁上安装有第一带轮；所述往复丝杆一端外壁上安装有第二带轮；所述第一带轮和第二带轮外部套设有同一条第一皮带。

通过采用上述技术方案，在第一带轮、第二带轮和第一皮带的配合工作下，搅拌轴在转动过程中会带动往复丝杆转动，促使清洁刷沿往复丝杆轴向进行往复移动，对滤网表面杂质进行清刷，降低杂质堆积堵塞网孔的可能性，保证滤网的透水性。

优选的，所述储液箱在与搅拌轴两端接触的两侧壁上均设置有开口；两所述开口内壁上均插设安装有分别伸至滤网两端底部的接料盒。

通过采用上述技术方案，在清洁刷进行往复移动对滤网进行清洁时，设置在滤网两端底部的接料盒可对清扫的杂质进行收集，以便工作人员将接料盒从开口中抽出对杂质进行清理。

优选的，所述清洁刷内设置有喷吹管；所述喷吹管上设置有喷嘴；所述储液箱外壁上设置有可向喷吹管内输气的吹气机构。

通过采用上述技术方案，在清洁刷对滤网表面杂质进行清刷时，通过吹气机构向喷吹管内持续的输气，当喷吹管内的气体通过喷嘴喷出后，喷吹的气体清洁刷的刷毛起到喷吹清洁效果，降低清洁刷的刷毛上粘附较多杂质的可能性，保证清洁刷对滤网的清刷效果。

优选的，所述吹气机构包括管体和扇叶；所述管体安装在储液箱侧壁上，管体内壁上通过支撑板同轴转动连接有旋转轴；所述扇叶安装在旋转轴外壁上；所述管体一端呈敞口状，管体在远离敞口的端面上设置有与喷吹管连通的输气管；所述往复丝杆靠近管体的端部外壁上安装有第三带轮；所述旋转轴靠近管体敞口端的外壁上安装有第四带轮；所述第三带轮和第四带轮套设有同一条第二皮带。

通过采用上述技术方案，在第三带轮、第四带轮和第二皮带的配合工作下，往复丝杆转动过程中带动旋转轴和扇叶转动，扇叶旋转过程中会产生连续风流并通过输气管将气体输送至喷吹管内，从而实现持续向喷吹管内进行输气。

一种铝基碳化硅精密零部件的研磨工艺，基于上述的铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，该工艺包括以下步骤：

S1:将工件装夹安装在夹爪卡盘上，通过研磨机构对装夹固定的工件进行研磨处理；

S2:研磨过程中，通过抽吸组件将储液箱中的研磨液输送至环管内，并通过喷水管将研磨液喷洒在工件上，提高工件研磨质量；

S3:在研磨液循环利用过程中，启动第二电机带动搅拌轴转动，促使搅拌板对研磨液进行搅拌，提高半导体制冷片对研磨液的降温效果，并使得清洁刷对滤网进行清刷，保证滤网的透水性。

综上所述，本申请具有以下有益效果：

1.在研磨机构对工件进行研磨加工时，通过抽吸组件将储液箱中的研磨液输送至环管内并通过喷水管喷洒在工件研磨位置处，对工件进行润滑、冷却和冲洗，喷洒的研磨液会落至壳体底部并通过连通管回流至储液箱中，实现研磨液的回收，以便研磨液能够进行重复利用，节约资源；

2.设置在储液箱内的滤网可对回流至储液箱内的研磨液进行过滤，去除研磨液中的杂质颗粒，储液箱外壁上设置的半导体制冷片可对研磨液进行冷却降温，保证研磨液在循环使用过程中的冷却效果；

3.通过启动第二电机带动搅拌轴和搅拌板转动，促使研磨液运动，以便半导体制冷片更好的对研磨液进行冷却降温，搅拌轴在转动过程中通过第一带轮、第二带轮和第一皮带的配合工作带动往复丝杆转动，促使清洁刷沿滤网表面往复移动对滤网进行清刷，降低滤网的网孔被杂质堵塞的可能性，保证滤网的透水性。

附图说明

图1是一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置的结构示意图；

图2是本申请中夹爪卡盘和研磨机构的配合结构示意图；

图3是本申请中环管和抽吸组件的配合结构示意图；

图4是本申请中储液箱内部结构示意图；

图5是本申请中搅拌轴和往复丝杆的传动配合结构示意图；

图6是本申请中清洁刷和喷吹管的配合结构示意图；

图7是本申请中吹气机构的结构示意图。

附图标记说明：1、工作台；2、壳体；21、连通管；22、环管；23、喷水管；24、抽吸组件；241、泵体；242、进液管；243、出液管；3、研磨机构；31、架体；311、通槽；32、电推杆；33、研磨电机；34、第一电机；35、第一丝杆；36、滑块；37、研磨盘；4、驱动电机；41、驱动轴；42、夹爪卡盘；5、储液箱；51、滤网；52、半导体制冷片；53、开口；54、接料盒；6、第二电机；61、搅拌轴；611、搅拌板；612、第一带轮；62、往复丝杆；621、第二带轮；63、清洁刷；64、第一皮带；65、喷吹管；651、喷嘴；7、吹气机构；71、管体；72、扇叶；73、旋转轴；74、输气管；75、第三带轮；76、第四带轮；77、第二皮带。

具体实施方式

以下结合附图对本发明作进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”、“底面”和“顶面”指的是附图中的方向，词语 “内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

本发明公开一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，如图1和图2所示，包括工作台1、壳体2、研磨机构3和驱动电机4，壳体2固接在工作台1顶面上，壳体2顶端呈敞口状，驱动电机4竖直安装在壳体2内底壁上，驱动电机4竖直端同轴固接有驱动轴41，驱动轴41顶端同轴固接有可夹持工件的夹爪卡盘42；壳体2内底壁上固接有罩设在驱动电机4外部的防护壳；研磨机构3设置在工作台1顶面上，研磨机构3可对夹爪卡盘42夹持固定的工件进行研磨。

在对工件进行研磨加工时，将工件装夹安装在夹爪卡盘42上进行夹持固定，启动驱动电机4带动夹爪卡盘42和工件转动，并配合壳体2顶部设置的研磨机构3可便捷实现工件的研磨工作。

如图1和图2所示，研磨机构3包括架体31、电推杆32、研磨电机33和第一电机34，架体31安装在工作台1顶面上，架体31上开设有通槽311，第一电机34水平安装在架体31一侧外壁上，第一电机34输出端同轴固接有伸至通槽311内的第一丝杆35，第一丝杆35沿夹爪卡盘42径向布置，第一丝杆35外部套设有与第一丝杆35螺纹传动配的滑块36，滑块36与通槽311内壁滑动配合，电推杆32竖直安装在滑块36底面上，研磨电机33竖直安装在电推杆32底部输出端上，研磨电机33输出端同轴固接有研磨盘37。

启动电推杆32带动研磨电机33下移使研磨盘37压设在工件上，在工件转动过程中，研磨电机33带动研磨盘37转动对工件进行研磨，并配合第一电机34带动第一丝杆35转动使滑块36移动，调整研磨盘37的研磨位置，以便使得研磨盘37对工件进行均匀研磨。

如图1、图2和图3所示，工作台1底面固接有盛放有研磨液的储液箱5，壳体2内底壁上竖直固接有贯穿工作台1与储液箱5连通的连通管21，壳体2靠近顶端的内壁上固接有环管22，环管22外壁上设置有多个倾斜指向夹爪卡盘42顶面的喷水管23，多个喷水管23沿环管22周向均匀间隔布置，喷水管23呈现有技术中的蛇形竹节状结构，方便调整喷水角度，在此不再赘述，工作台1顶面上设置有抽吸组件24，抽吸组件24包括泵体241、进液管242和出液管243，泵体241安装在工作台1顶面上，进液管242一端固接在泵体241输入端上，另一端固接在储液箱5靠近底端的外壁上与储液箱5连通，出液管243一端固接在泵体241输出端上，另一端固接在环管22外壁上与环管22连通。

在工件研磨加工过程中，通过泵体241将储液箱5中的研磨液输送至环管22内，再由喷水管23将研磨液喷洒在工件研磨位置处，对工件进行润滑、冷却和冲洗，提高工件研磨质量，喷洒的研磨液最终可通过连通管21回流至储液箱5中，以便实现研磨液的循环利用。

如图1和图4所示，储液箱5靠近顶端的内壁上安装有滤网51，储液箱5外壁上安装有多个半导体制冷片52。

滤网51可对回流的研磨液进行过滤，去除研磨液中的杂质颗粒，半导体制冷片52可对研磨液进行冷却降温，保证研磨液在循环使用过程中的冷却效果。

如图1和图4所示，储液箱5一端外壁上水平安装有第二电机6，第二电机6输出端同轴固接有伸至储液箱5内的搅拌轴61，搅拌轴61外壁上固接有一对搅拌板611，搅拌轴61与搅拌板611均位于滤网51底部。

通过启动第二电机6可带动搅拌轴61和搅拌板611转动，使得搅拌板611对研磨液进行搅拌，促使研磨液运动，以便半导体制冷片52能够更好的对研磨液进行冷却降温。

如图4和图5所示，储液箱5内壁上水平转动连接有位于滤网51顶部的往复丝杆62，往复丝杆62与搅拌轴61同轴向，往复丝杆62外部套设有与往复丝杆62螺纹传动配合的清洁刷63，清洁刷63与储液箱5内壁滑动配合，清洁刷63与滤网51顶面接触；搅拌轴61远离第二电机6的端部同轴固接有位于储液箱5外的第一带轮612，往复丝杆62远离第二电机6的端部同轴固接有位于储液箱5外的第二带轮621，第一带轮612和第二带轮621外部张紧套设有同一条第一皮带64，第一皮带64使第一带轮612和第二带轮621联动；储液箱5在与往复丝杆62两端接触的两侧壁上均开设有位于滤网51底部的开口53，每个开口53内壁上均插设安装有分别伸至滤网51两端底部的接料盒54。

在搅拌轴61转动过程中，通过第一带轮612、第二带轮621和第一皮带64的配合工作使得往复丝杆62进行转动，促使清洁刷63往复移动对滤网51进行清刷，将滤网51表面堆积的杂质颗粒清刷至接料盒54中，降低滤网51的网孔被杂质堵塞的可能性，保证滤网51的透水性，接料盒54设置为抽拉结构式方便对收集的杂质颗粒取出。

如图4和图6所示，清洁刷63内安装有喷吹管65，喷吹管65位于清洁刷63的刷毛内部，喷吹管65外壁上均布有多个竖直向下设置的喷嘴651，储液箱5外壁上设置有可持续向喷吹管65内输气的吹气机构7。

在清洁刷63清刷滤网51的过程中，吹气机构7可向喷吹管65内持续输气并通过喷嘴651喷出，对清洁刷63的刷毛进行喷吹清洁，降低刷毛上粘附较多杂质的可能性，保证清洁刷63的清刷效果。

如图4、图6和图7所示，吹气机构7包括管体71、旋转轴73、扇叶72、第三带轮75、第四带轮76和第二皮带77，管体71水平安装在储液箱5靠近顶端的侧壁上，管体71远离储液箱5的一端呈敞口状，管体71在远离敞口的端面上固接有连通喷吹管65与管体71的输气管74，旋转轴73通过支撑板同轴水平转动连接在管体71内壁上，旋转轴73与往复丝杆62同轴向，扇叶72安装在旋转轴73外壁上，第三带轮75同轴固接在往复丝杆62靠近管体71的端部外壁上，第四带轮76同轴固接在旋转轴73靠近敞口端的外壁上，第四带轮76位于管体71外部，第二皮带77张紧套设在第三带轮75和第四带轮76外部，第二皮带77使第三带轮75和第四带轮76联动，管体71在靠近敞口端的内壁上安装有滤尘网。

在第三带轮75、第四带轮76和第二皮带77的配合工作下，往复丝杆62转动过程中会带动旋转轴73和扇叶72转动，扇叶72旋转过程中会产生连续风流，并通过输气管74将气体输送至喷吹管65内，实现向喷吹管65内进行持续输气，以便能够对清洁刷63进行喷吹清洁，滤尘网的设置用于对外部环境的灰尘杂质进行阻挡，保证喷吹气流的洁净。

一种铝基碳化硅精密零部件的研磨工艺，基于上述的铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，该工艺包括以下步骤：

S1:将工件装夹安装在夹爪卡盘42上，启动驱动电机4带动夹爪卡盘42和工件转动，并通过电推杆32、研磨电机33和第一电机34的配合工作促使研磨盘37对工件进行研磨工作；

S2:在工件研磨加工过程中，启动泵体241将储液箱5中的研磨液输送至环管22内，再由喷水管23将研磨液喷洒在工件研磨位置处，对工件进行润滑、冷却和冲洗，落至壳体2底部的研磨液最终会经由连通管21回流至储液箱5中，以便实现研磨液的循环利用；

S3:在研磨液的循环利用过程中，启动第二电机6带动搅拌轴61和搅拌板611转动，促使研磨液运动，以便半导体制冷片52更好的对研磨液进行冷却降温，并通过第一带轮612、第二带轮621和第一皮带64的配合工作促使搅拌轴61带动往复丝杆62转动，使得清洁刷63对滤网51进行往复清刷，降低滤网51的网孔被杂质堵塞的可能性，保证滤网51的透水性。

工作原理：在对工件进行研磨加工时，将工件装夹安装在夹爪卡盘42上，启动驱动电机4带动夹爪卡盘42和工件转动，并通过壳体2顶部设置的研磨机构3对工件表面进行研磨，在工件研磨加工过程中，通过泵体241将储液箱5中的研磨液输送至环管22内，再由喷水管23将研磨液喷洒在工件研磨位置处，对工件进行润滑、冷却和冲洗，提高工件研磨质量；

喷出的研磨液最终会经由连通管21回流至储液箱5中，储液箱5内的滤网51可对回流的研磨液进行过滤，去除研磨液中的杂质颗粒，半导体制冷片52可对研磨液进行冷却降温，以便实现研磨液的循环利用；

在研磨液的循环利用过程中，启动第二电机6带动搅拌轴61和搅拌板611转动，使得搅拌板611对研磨液进行搅拌，促使研磨液运动，以便半导体制冷片52更好的对研磨液进行冷却降温；

搅拌轴61在转动过程中通过第一带轮612、第二带轮621和第一皮带64的配合工作带动往复丝杆62转动，促使清洁刷63沿滤网51表面往复移动对滤网51进行清刷，将滤网51表面堆积的杂质颗粒清刷至接料盒54中进行收集，降低滤网51的网孔被杂质堵塞的可能性，保证滤网51的透水性；

往复丝杆62转动过程中通过第三带轮75、第四带轮76和第二皮带77的配合工作会带动旋转轴73和扇叶72旋转，扇叶72旋转过程中会产生连续风流，气流通过输气管74输送至喷吹管65内后经由喷气嘴喷出，对清洁刷63的刷毛进行喷出清洁，降低清洁刷63的刷毛上粘附较多杂质颗粒的可能性，保证清洁刷63的清洁效果。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：包括工作台(1)、壳体(2)和研磨机构(3)；所述壳体(2)固接在工作台(1)顶面上，壳体(2)顶部敞口，壳体(2)内底壁安装有驱动电机(4)；所述驱动电机(4)输出端同轴固接有驱动轴(41)；所述驱动轴(41)顶端同轴固接有可夹持工件的夹爪卡盘(42)；所述研磨机构(3)设置在壳体(2)顶部，研磨机构(3)可对夹爪卡盘(42)夹持的工件进行研磨；所述工作台(1)底部设置有储液箱(5)；所述壳体(2)内底壁上设置有与储液箱(5)连通的连通管(21)，壳体(2)靠近顶端的内壁设置有环管(22)；所述环管(22)外壁上设置有倾斜指向夹爪卡盘(42)的喷水管(23)；所述工作台(1)上设置有可将储液箱(5)内的研磨液输送至环管(22)内的抽吸组件(24)。

2.根据权利要求1所述的一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：所述抽吸组件(24)包括泵体(241)；所述泵体(241)安装在工作台(1)上，泵体(241)输入端固接有与储液箱(5)连通的进液管(242)，泵体(241)输出端固接有与环管(22)连通的出液管(243)。

3.根据权利要求1所述的一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：所述研磨机构(3)包括架体(31)、电推杆(32)和研磨电机(33)；所述架体(31)安装在工作台(1)顶面上，架体(31)上开设有通槽(311)，架体(31)一端外壁上安装有第一电机(34)；所述第一电机(34)输出端同轴固接有伸至通槽(311)内的第一丝杆(35)；所述第一丝杆(35)外部套设有与第一丝杆(35)螺纹传动配合的滑块(36)；所述滑块(36)与通槽(311)内壁滑动配合；所述电推杆(32)设置在滑块(36)底部；所述研磨电机(33)设置在电推杆(32)底部的输出端上，研磨电机(33)输出端同轴固接有研磨盘(37)。

4.根据权利要求1所述的一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：所述储液箱(5)内壁上设置有滤网(51)，储液箱(5)外壁上安装有半导体制冷片(52)。

5.根据权利要求4所述的一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：所述储液箱(5)外壁上安装有第二电机(6)；所述第二电机(6)输出端同轴固接有伸至储液箱(5)内的搅拌轴(61)；所述搅拌轴(61)外壁上固接有位于滤网(51)底部的搅拌板(611)。

6.根据权利要求5所述的一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：所述储液箱(5)内壁上转动连接有位于滤网(51)顶部的往复丝杆(62)；所述往复丝杆(62)外部套设有与往复丝杆(62)螺纹传动配合的清洁刷(63)；所述清洁刷(63)与储液箱(5)内壁滑动配合，清洁刷(63)与滤网(51)顶面接触；所述搅拌轴(61)一端外壁上安装有第一带轮(612)；所述往复丝杆(62)一端外壁上安装有第二带轮(621)；所述第一带轮(612)和第二带轮(621)外部套设有同一条第一皮带(64)。

7.根据权利要求5所述的一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：所述储液箱(5)在与搅拌轴(61)两端接触的两侧壁上均设置有开口(53)；两所述开口(53)内壁上均插设安装有分别伸至滤网(51)两端底部的接料盒(54)。

8.根据权利要求6所述的一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：所述清洁刷(63)内设置有喷吹管(65)；所述喷吹管(65)上设置有喷嘴(651)；所述储液箱(5)外壁上设置有可向喷吹管(65)内输气的吹气机构(7)。

9.根据权利要求8所述的一种铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：所述吹气机构(7)包括管体(71)和扇叶(72)；所述管体(71)安装在储液箱(5)侧壁上，管体(71)内壁上通过支撑板同轴转动连接有旋转轴(73)；所述扇叶(72)安装在旋转轴(73)外壁上；所述管体(71)一端呈敞口状，管体(71)在远离敞口的端面上设置有与喷吹管(65)连通的输气管(74)；所述往复丝杆(62)靠近管体(71)的端部外壁上安装有第三带轮(75)；所述旋转轴(73)靠近管体(71)敞口端的外壁上安装有第四带轮(76)；所述第三带轮(75)和第四带轮(76)套设有同一条第二皮带(77)。

10.一种铝基碳化硅精密零部件的研磨工艺，基于权利要求1-9中任一项所述的铝基碳化硅精密零部件的研磨装置，其特征在于：该工艺包括以下步骤：

S1:将工件装夹安装在夹爪卡盘(42)上，通过研磨机构(3)对装夹固定的工件进行研磨处理；

S2:研磨过程中，通过抽吸组件(24)将储液箱(5)中的研磨液输送至环管(22)内，并通过喷水管(23)将研磨液喷洒在工件上，提高工件研磨质量；

S3:在研磨液循环利用过程中，启动第二电机(6)带动搅拌轴(61)转动，促使搅拌板(611)对研磨液进行搅拌，提高半导体制冷片(52)对研磨液的降温效果，并使得清洁刷(63)对滤网(51)进行清刷，保证滤网(51)的透水性。