CN120962022A - 行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其创新点在于：包括工作台，以及设在工作台上的工件夹持中心、磨削单元和车削单元，所述工件夹持中心的一侧设有砂轮修整单元，预先将工件夹持在工件夹具组件上，接着使车削单元的电动刀塔与工件同轴，由所述电动刀塔先对反向螺母半成品的内孔进行车削，然后调整磨削部件，使其与完成车削的反向螺母半成品同轴，驱动所述磨削电主轴，并由磨削部件对反向螺母半成品的内孔进行磨削，完成反向螺母的反向螺纹加工，最后驱动修整电主轴，所述修整砂轮对磨削部件进行修整。本发明通过车磨一体化工艺，对反向螺母先车削再磨削方式进行加工，不仅加工效率高，而且大大降低了生产成本。

Description

行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备

技术领域

本发明涉及一种专用加工设备，具体涉及一种行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备。

背景技术

随着人形机器人的快速发展，行星滚柱丝杠已成为人形机器人关节的必备部件。目前，对行星滚柱丝杠反向螺母的精度要求极高，其螺距误差需控制在正负3微米以内，螺旋线角一致性误差要小于10角秒。

从精度等级来看，人形机器人的行星滚柱丝杠传动误差需控制在8～18微米，需对应C3到C5级的精度要求。而已有技术中有的人形机器人optimus腕部关节因需要精确抓取物件，其行星滚柱丝杠导程精度要达到C0级(误差小于3.5微米)。还需要说明的是，目前人形机器人所需的行星滚柱丝杠，不但精度要求很高，而且反向内螺纹还特别长。为了保证加工精度，因此，反向螺母的内螺纹采用的是磨削方式，若采用传统的磨头磨削，又会使磨头受到磨杆干涉，以及磨削深度受到限制，只能采取弯杆磨头磨削，这就导致磨削效率更低，从而导致成本居高不下。

发明内容

本发明的目的是：提供一种通过车磨一体化工艺，对反向螺母先车削再磨削方式进行加工，不仅加工效率高，而且大大降低了生产成本的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备。

为了达到上述目的，本发明的技术方案是：一种行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其创新点在于：包括工作台，以及设在工作台上的工件夹持中心、磨削单元和车削单元，所述工件夹持中心的一侧设有砂轮修整单元，

所述工件夹持中心包括伺服电机、静压主轴和工件夹具组件，所述伺服电机的动力输出轴与静压主轴的一端传动连接，所述静压主轴另一端的端部设有用来定位夹持反向螺母半成品的工件夹具组件，

所述磨削单元包括磨削电主轴和磨削部件，所述磨削电主轴的动力输出轴上设有用来磨削反向螺母内孔的磨削部件，实施反向螺母的反向螺纹精加工，

所述砂轮修整单元包括修整电主轴和修整砂轮，所述修整电主轴设在静压主轴的外壳外侧壁上，所述修整电主轴的动力输出轴上设有用来对磨削部件实施修整的修整砂轮，

所述车削单元包括用来车削反向螺母内孔的电动刀塔，

在加工作业时，预先将反向螺母半成品夹持在工件夹具组件上，接着使车削单元的电动刀塔与反向螺母半成品同轴，由所述电动刀塔先对反向螺母半成品的内孔进行车削，实施反向螺纹的粗加工，然后调整磨削部件，使其与完成车削的反向螺母半成品同轴，驱动所述磨削电主轴，并由磨削部件对反向螺母半成品的内孔进行磨削，实施反向螺母的精加工，完成反向螺母的反向螺纹加工，最后驱动修整电主轴，所述修整砂轮对磨削部件进行修整。

在上述技术方案中，所述工作台上还设有相对布置的X向滑动组件和Z向滑动组件，所述工件夹持中心通过X向滑动组件与工作台装配连接，使工件夹持中心在X向滑动组件的作用下沿着工作台上下滑动，所述磨削单元和车削单元均通过Z向滑动组件与工作台装配连接，使磨削单元或车削单元在Z向滑动组件的作用下沿着工作台左右滑动并能与工件夹具组件上的反向螺母同轴。

在上述技术方案中，所述X向滑动组件包括X向托板、X向静压导轨和X向伺服电机，所述X向静压导轨设在工作台上，且X向托板与X向静压导轨滑动配合，所述X向伺服电机的动力输出轴与X向托板传动连接，所述工件夹持中心设在X向托板上，

驱动所述X向伺服电机，所述工件夹持中心在X向托板的作用下沿着X向静压导轨滑动；

所述Z向滑动组件包括Z向托板、Z向静压导轨和Z向伺服电机，所述Z向静压导轨设在工作台上，且Z向托板与Z向静压导轨滑动配合，所述Z向伺服电机的动力输出轴与Z向托板传动连接，所述磨削单元和车削单元并排设在Z向托板上，且磨削单元靠近砂轮修整单元，

驱动所述Z向伺服电机，所述磨削单元或车削单元在Z向托板的作用下沿着Z向静压导轨滑动，并能与工件夹具组件上的反向螺母同轴。

在上述技术方案中，所述工作台上还设有相对布置的X向滑动组件和Z向滑动组件，所述工件夹持中心通过Z向滑动组件与工作台装配连接，使工件夹持中心在Z向滑动组件的作用下沿着工作台左右滑动，所述磨削单元和车削单元均通过X向滑动组件与工作台装配连接，使磨削单元或车削单元在X向滑动组件的作用下沿着工作台左右滑动并能与工件夹具组件上的反向螺母同轴。

在上述技术方案中，所述Z向滑动组件包括Z向托板、Z向静压导轨和Z向伺服电机，所述Z向静压导轨设在工作台上，且Z向托板与Z向静压导轨滑动配合，所述Z向伺服电机的动力输出轴与Z向托板传动连接，所述工件夹持中心设在Z向托板上，且磨削单元靠近砂轮修整单元，

驱动所述Z向伺服电机，所述工件夹持中心在Z向托板的作用下沿着Z向静压导轨滑动；

所述X向滑动组件包括X向托板、X向静压导轨和X向伺服电机，所述X向静压导轨设在工作台上，且X向托板与X向静压导轨滑动配合，所述X向伺服电机的动力输出轴与X向托板传动连接，所述磨削单元和车削单元并排设在X向托板上，

驱动所述X向伺服电机，所述磨削单元或车削单元在X向托板的作用下沿着X向静压导轨滑动，并能与工件夹具组件上的反向螺母同轴。

在上述技术方案中，所述工作台上还设有与工件夹持中心相对布置的X向滑动组件和Z向滑动组件，由所述X向滑动组件和Z向滑动组件构成十字滑台结构，且所述磨削单元和车削单元均设在X向滑动组件上，使磨削单元或车削单元在X向滑动组件的作用下沿着Z向滑动组件左右滑动并能与工件夹具组件上的反向螺母同轴。

在上述技术方案中，所述Z向滑动组件包括Z向托板、Z向静压导轨和Z向伺服电机，所述Z向静压导轨设在工作台上，且Z向托板与Z向静压导轨滑动配合，所述Z向伺服电机的动力输出轴与Z向托板传动连接，

所述X向滑动组件包括X向托板、X向静压导轨和X向伺服电机，所述X向静压导轨设Z向托板上，且X向托板与X向静压导轨滑动配合，所述X向伺服电机的动力输出轴与X向托板传动连接，所述磨削单元和车削单元并排设在X向托板上，

驱动所述Z向伺服电机，所述X向静压导轨在Z向托板的作用下沿着Z向静压导轨滑动；

再驱动所述X向伺服电机，所述磨削单元或车削单元在X向托板的作用下沿着X向静压导轨滑动，并能与工件夹具组件上的反向螺母同轴。

在上述技术方案中，所述工件夹具组件包括夹持盘和夹持块，所述夹持盘设在静压主轴另一端的端部，且夹持盘的端面上设有沿其圆周方向均匀布置的夹持块，所述夹持块设有能与反向螺母半成品外圆定位贴合的夹持定位面。

在上述技术方案中，所述修整电主轴通过安装块固定在静压主轴的外壳外侧壁上。

在上述技术方案中，所述磨削部件是由刀柄和砂轮构成的组合件，或者是弯杆磨头，

当所述磨削部件是由刀柄和砂轮构成的组合件时，所述砂轮通过刀柄设在磨削电主轴的动力输出轴上，

当所述磨削部件是弯杆磨头时，所述弯杆磨头设在磨削电主轴(31)的动力输出轴上。

本发明所具有的积极效果是：采用本发明的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备后，由于本发明包括工作台，以及设在工作台上的工件夹持中心、磨削单元和车削单元，所述工件夹持中心的一侧设有砂轮修整单元，

所述工件夹持中心包括伺服电机、静压主轴和工件夹具组件，所述伺服电机的动力输出轴与静压主轴的一端传动连接，所述静压主轴另一端的端部设有用来定位夹持反向螺母半成品的工件夹具组件，

所述磨削单元包括磨削电主轴和磨削部件，所述磨削电主轴的动力输出轴上设有用来磨削反向螺母内孔的磨削部件，实施反向螺母的反向螺纹精加工，

所述砂轮修整单元包括修整电主轴和修整砂轮，所述修整电主轴设在静压主轴的外壳外侧壁上，所述修整电主轴的动力输出轴上设有用来对磨削部件实施修整的修整砂轮，

所述车削单元包括用来车削反向螺母内孔的电动刀塔，

在加工作业时，预先将反向螺母半成品夹持在工件夹具组件上，接着使车削单元的电动刀塔与反向螺母半成品同轴，由所述电动刀塔先对反向螺母半成品的内孔进行车削，实施反向螺纹的粗加工，然后调整磨削部件，使其与完成车削的反向螺母半成品同轴，驱动所述磨削电主轴，并由磨削部件对反向螺母半成品的内孔进行磨削，实施反向螺母的精加工，完成反向螺母的反向螺纹加工，最后驱动修整电主轴，所述修整砂轮对磨削部件进行修整，

本发明通过工件夹持中心对反向螺母半成品进行装夹定位，从而保证车削和磨削采用同一个基准，实现了车削和磨削能一次装夹完成，进而本发明通过车削单元对反向螺母先进行去余量硬车削，再进一步通过磨削单元对其磨削，本发明既能承受硬车削的高震动、高刚性要求，又能确保磨削时极高的进给精度，确保行星滚柱丝杠反向螺母先硬车削高效去除余量后再在同一基准模式下进行高精度磨削，从而高效率的制造出高精度的行星滚柱丝杠反向螺母，

综上所述，本发明通过车磨一体化工艺，对反向螺母先车削再磨削方式进行加工，不仅加工效率高，而且大大降低了生产成本。

附图说明

图1是本发明的第一种具体实施方式的立体结构示意图；

图2是图1的另一方向示意图；

图3是本发明的第二种具体实施方式的立体结构示意图；

图4是图3的另一方向示意图；

图5是本发明的第三种具体实施方式的立体结构示意图；

图6是图5的另一方向示意图。

具体实施方式

以下结合附图以及给出的实施例，对本发明作进一步的说明，但并不局限于此。

实施例1

如图1、2所示，一种行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，包括工作台1，以及设在工作台1上的工件夹持中心2、磨削单元3和车削单元5，所述工件夹持中心2的一侧设有砂轮修整单元4，

所述工件夹持中心2包括伺服电机21、静压主轴22和工件夹具组件23，所述伺服电机21的动力输出轴与静压主轴22的一端传动连接，所述静压主轴22另一端的端部设有用来定位夹持反向螺母半成品的工件夹具组件23，

所述磨削单元3包括磨削电主轴31和磨削部件32，所述磨削电主轴31的动力输出轴上设有用来磨削反向螺母内孔的磨削部件32，实施反向螺母的反向螺纹精加工，

所述砂轮修整单元4包括修整电主轴41和修整砂轮42，所述修整电主轴41设在静压主轴22的外壳外侧壁上，所述修整电主轴41的动力输出轴上设有用来对磨削部件32实施修整的修整砂轮42，

所述车削单元5包括用来车削反向螺母内孔的电动刀塔51，

在加工作业时，预先将反向螺母半成品夹持在工件夹具组件23上，接着使车削单元5的电动刀塔51与反向螺母半成品同轴，由所述电动刀塔51先对反向螺母半成品的内孔进行车削，实施反向螺纹的粗加工，然后调整磨削部件32，使其与完成车削的反向螺母半成品同轴，驱动所述磨削电主轴31，并由磨削部件32对反向螺母半成品的内孔进行磨削，实施反向螺母的精加工，完成反向螺母的反向螺纹加工，最后驱动修整电主轴41，所述修整砂轮42对磨削部件32进行修整。

进一步的，如图1、2所示，为了进一步保证加工精度，所述工作台1上还设有相对布置的X向滑动组件6和Z向滑动组件7，所述工件夹持中心2通过X向滑动组件6与工作台1装配连接，使工件夹持中心2在X向滑动组件6的作用下沿着工作台1上下(X向)滑动，所述磨削单元3和车削单元5均通过Z向滑动组件7与工作台1装配连接，使磨削单元3或车削单元5在Z向滑动组件7的作用下沿着工作台1左右(Z向)滑动并能与工件夹具组件23上的反向螺母同轴。

由于行星滚柱丝杠反向螺母自身是高硬度钢，且硬度为60度左右，这就大大增加了硬车削的加工难度系数，而且反向螺母的长度特别长，属于高倍径内孔，就造成硬车削更困难。本发明具有极高的刚性和精度，可以保证硬车削的顺利进行，从而使行星丝杠反向螺母先通过硬车削达到余量0.03mm，再进一步磨削，从而大大提高效率，传统磨床需要磨削0.5mm的量，效率极低。

具体的，如图1、2所示，为了确保车削精度和磨削精度，所述X向滑动组件6包括X向托板61、X向静压导轨62和X向伺服电机63，所述X向静压导轨62设在工作台1上，且X向托板61与X向静压导轨62滑动配合，所述X向伺服电机63的动力输出轴与X向托板61传动连接，所述工件夹持中心2设在X向托板61上，

驱动所述X向伺服电机63，所述工件夹持中心2在X向托板61的作用下沿着X向静压导轨62滑动；

所述Z向滑动组件7包括Z向托板71、Z向静压导轨72和Z向伺服电机73，所述Z向静压导轨72设在工作台1上，且Z向托板71与Z向静压导轨72滑动配合，所述Z向伺服电机73的动力输出轴与Z向托板71传动连接，所述磨削单元3和车削单元5并排设在Z向托板71上，且磨削单元3靠近砂轮修整单元4，

驱动所述Z向伺服电机73，所述磨削单元3或车削单元5在Z向托板71的作用下沿着Z向静压导轨72滑动，并能与工件夹具组件23上的反向螺母同轴。

本发明的结构既能承受硬车削的高震动、高刚性要求，又能在磨削时给出极高的进给精度。

进一步的，如图1、2所示，为了保证在对反向螺母实施车磨过程中不会发生晃动，影响加工精度，所述工件夹具组件23包括夹持盘231和夹持块232，所述夹持盘231设在静压主轴22另一端的端部，且夹持盘231的端面上设有沿其圆周方向均匀布置的夹持块232，所述夹持块232设有能与反向螺母半成品外圆定位贴合的夹持定位面。

进一步的，如图2所示，为了使得结构更加紧凑、合理，所述修整电主轴41通过安装块43固定在静压主轴22的外壳外侧壁上。

进一步的，如图1所示，为了能够保证磨削精度，所述磨削部件32是由刀柄和砂轮构成的组合件，或者是弯杆磨头，

当所述磨削部件32是由刀柄和砂轮构成的组合件时，所述砂轮通过刀柄设在磨削电主轴31的动力输出轴上，

当所述磨削部件32是弯杆磨头时，所述弯杆磨头设在磨削电主轴31的动力输出轴上。

实施例1的具体工作过程：

装夹：预先将反向螺母半成品夹持在工件夹具组件23上，即将反向螺母半成品装夹在夹持盘231上，并通过夹持块对工件进行定位，确保每个夹持块232的夹持定位面均能与工件外圆进行定位贴合，

车削：工件通过所述X向滑动组件6进行基准定位，驱动所述Z向伺服电机73，所述车削单元5在Z向托板71的作用下沿着Z向静压导轨72滑动，并能与工件夹具组件23上的反向螺母同轴，由所述电动刀塔51先对工件进行车削达到余量0.03mm，实施反向螺纹的粗加工，

磨削：再次驱动所述Z向伺服电机73，所述磨削单元3在Z向托板71的作用下沿着Z向静压导轨72滑动，并能与工件夹具组件23上的反向螺母同轴，此时，驱动所述磨削电主轴31，并由磨削部件32对工件进行高精度磨削，实施反向螺母的精加工，完成反向螺母的反向螺纹加工，

修整：再次驱动所述Z向伺服电机73，所述磨削单元3在Z向托板71的作用下沿着Z向静压导轨72滑动，并能与修整砂轮42相对布置，驱动修整电主轴41，所述修整砂轮42对磨削部件32进行修整，完成工件的高精度加工。

实施例2

实施例2与实施例1的不同之处在于：如图3、4所示，所述工作台1上还设有相对布置的X向滑动组件6和Z向滑动组件7，所述工件夹持中心2通过Z向滑动组件7与工作台1装配连接，使工件夹持中心2在Z向滑动组件7的作用下沿着工作台1左右滑动，所述磨削单元3和车削单元5均通过X向滑动组件6与工作台1装配连接，使磨削单元3或车削单元5在X向滑动组件6的作用下沿着工作台1左右滑动并能与工件夹具组件23上的反向螺母同轴。

所述Z向滑动组件7包括Z向托板71、Z向静压导轨72和Z向伺服电机73，所述Z向静压导轨72设在工作台1上，且Z向托板71与Z向静压导轨72滑动配合，所述Z向伺服电机73的动力输出轴与Z向托板71传动连接，所述工件夹持中心2设在Z向托板71上，且磨削单元3靠近砂轮修整单元4，

驱动所述Z向伺服电机73，所述工件夹持中心2在Z向托板71的作用下沿着Z向静压导轨72滑动；

所述X向滑动组件6包括X向托板61、X向静压导轨62和X向伺服电机63，所述X向静压导轨62设在工作台1上，且X向托板61与X向静压导轨62滑动配合，所述X向伺服电机63的动力输出轴与X向托板61传动连接，所述磨削单元3和车削单元5并排设在X向托板61上，

驱动所述X向伺服电机63，所述磨削单元3或车削单元5在X向托板61的作用下沿着X向静压导轨62滑动，并能与工件夹具组件23上的反向螺母同轴。

实施例2的其它结构与实施例1完全相同。

实施例3

实施例3与实施例1的不同之处在于：如图5、6所示，所述工作台1上还设有与工件夹持中心2相对布置的X向滑动组件6和Z向滑动组件7，由所述X向滑动组件6和Z向滑动组件7构成十字滑台结构，且所述磨削单元3和车削单元5均设在X向滑动组件6上，使磨削单元3或车削单元5在X向滑动组件6的作用下沿着Z向滑动组件7左右滑动并能与工件夹具组件23上的反向螺母同轴。

所述Z向滑动组件7包括Z向托板71、Z向静压导轨72和Z向伺服电机73，所述Z向静压导轨72设在工作台1上，且Z向托板71与Z向静压导轨72滑动配合，所述Z向伺服电机73的动力输出轴与Z向托板71传动连接，

所述X向滑动组件6包括X向托板61、X向静压导轨62和X向伺服电机63，所述X向静压导轨62设Z向托板71上，且X向托板61与X向静压导轨62滑动配合，所述X向伺服电机63的动力输出轴与X向托板61传动连接，所述磨削单元3和车削单元5并排设在X向托板61上，

驱动所述Z向伺服电机73，所述X向静压导轨62在Z向托板71的作用下沿着Z向静压导轨72滑动；

再驱动所述X向伺服电机63，所述磨削单元3或车削单元5在X向托板61的作用下沿着X向静压导轨62滑动，并能与工件夹具组件23上的反向螺母同轴。

实施例2和实施例3是对实施例1中工件夹持中心2、磨削单元3和车削单元5与X向滑动组件6和Z向滑动组件7的组合装配进行变形，且实施例1、实施例2和实施例3的工作原理相同，均通过不同单元的不同动作实现工件与磨削部件或电动刀塔同轴，以实现对工件高精度车削或磨削的目的。

本发明通过工件夹持中心对反向螺母半成品进行装夹定位，从而保证车削和磨削采用同一个基准，实现了车削和磨削能一次装夹完成，进而本发明通过车削单元对反向螺母先进行去余量硬车削，再进一步通过磨削单元对其磨削，本发明既能承受硬车削的高震动、高刚性要求，又能确保磨削时极高的进给精度，确保行星滚柱丝杠反向螺母先硬车削高效去除余量后再在同一基准模式下进行高精度磨削，从而高效率的制造出高精度的行星滚柱丝杠反向螺母。

综上所述，本发明通过车磨一体化工艺，对反向螺母先车削再磨削方式进行加工，不仅加工效率高，而且大大降低了生产成本。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：

包括工作台(1)，以及设在工作台(1)上的工件夹持中心(2)、磨削单元(3)和车削单元(5)，所述工件夹持中心(2)的一侧设有砂轮修整单元(4)，

所述工件夹持中心(2)包括伺服电机(21)、静压主轴(22)和工件夹具组件(23)，所述伺服电机(21)的动力输出轴与静压主轴(22)的一端传动连接，所述静压主轴(22)另一端的端部设有用来定位夹持反向螺母半成品的工件夹具组件(23)，

所述磨削单元(3)包括磨削电主轴(31)和磨削部件(32)，所述磨削电主轴(31)的动力输出轴上设有用来磨削反向螺母内孔的磨削部件(32)，实施反向螺母的反向螺纹精加工，

所述砂轮修整单元(4)包括修整电主轴(41)和修整砂轮(42)，所述修整电主轴(41)设在静压主轴(22)的外壳外侧壁上，所述修整电主轴(41)的动力输出轴上设有用来对磨削部件(32)实施修整的修整砂轮(42)，

所述车削单元(5)包括用来车削反向螺母内孔的电动刀塔(51)，

在加工作业时，预先将反向螺母半成品夹持在工件夹具组件(23)上，接着使车削单元(5)的电动刀塔(51)与反向螺母半成品同轴，由所述电动刀塔(51)先对反向螺母半成品的内孔进行车削，实施反向螺纹的粗加工，然后调整磨削部件(32)，使其与完成车削的反向螺母半成品同轴，驱动所述磨削电主轴(31)，并由磨削部件(32)对反向螺母半成品的内孔进行磨削，实施反向螺母的精加工，完成反向螺母的反向螺纹加工，最后驱动修整电主轴(41)，所述修整砂轮(42)对磨削部件(32)进行修整。

2.根据权利要求1所述的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：所述工作台(1)上还设有相对布置的X向滑动组件(6)和Z向滑动组件(7)，所述工件夹持中心(2)通过X向滑动组件(6)与工作台(1)装配连接，使工件夹持中心(2)在X向滑动组件(6)的作用下沿着工作台(1)上下滑动，所述磨削单元(3)和车削单元(5)均通过Z向滑动组件(7)与工作台(1)装配连接，使磨削单元(3)或车削单元(5)在Z向滑动组件(7)的作用下沿着工作台(1)左右滑动并能与工件夹具组件(23)上的反向螺母同轴。

3.根据权利要求2所述的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：

所述X向滑动组件(6)包括X向托板(61)、X向静压导轨(62)和X向伺服电机(63)，所述X向静压导轨(62)设在工作台(1)上，且X向托板(61)与X向静压导轨(62)滑动配合，所述X向伺服电机(63)的动力输出轴与X向托板(61)传动连接，所述工件夹持中心(2)设在X向托板(61)上，

驱动所述X向伺服电机(63)，所述工件夹持中心(2)在X向托板(61)的作用下沿着X向静压导轨(62)滑动；

所述Z向滑动组件(7)包括Z向托板(71)、Z向静压导轨(72)和Z向伺服电机(73)，所述Z向静压导轨(72)设在工作台(1)上，且Z向托板(71)与Z向静压导轨(72)滑动配合，所述Z向伺服电机(73)的动力输出轴与Z向托板(71)传动连接，所述磨削单元(3)和车削单元(5)并排设在Z向托板(71)上，且磨削单元(3)靠近砂轮修整单元(4)，

驱动所述Z向伺服电机(73)，所述磨削单元(3)或车削单元(5)在Z向托板(71)的作用下沿着Z向静压导轨(72)滑动，并能与工件夹具组件(23)上的反向螺母同轴。

4.根据权利要求1所述的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：所述工作台(1)上还设有相对布置的X向滑动组件(6)和Z向滑动组件(7)，所述工件夹持中心(2)通过Z向滑动组件(7)与工作台(1)装配连接，使工件夹持中心(2)在Z向滑动组件(7)的作用下沿着工作台(1)左右滑动，所述磨削单元(3)和车削单元(5)均通过X向滑动组件(6)与工作台(1)装配连接，使磨削单元(3)或车削单元(5)在X向滑动组件(6)的作用下沿着工作台(1)左右滑动并能与工件夹具组件(23)上的反向螺母同轴。

5.根据权利要求4所述的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：

所述Z向滑动组件(7)包括Z向托板(71)、Z向静压导轨(72)和Z向伺服电机(73)，所述Z向静压导轨(72)设在工作台(1)上，且Z向托板(71)与Z向静压导轨(72)滑动配合，所述Z向伺服电机(73)的动力输出轴与Z向托板(71)传动连接，所述工件夹持中心(2)设在Z向托板(71)上，且磨削单元(3)靠近砂轮修整单元(4)，

驱动所述Z向伺服电机(73)，所述工件夹持中心(2)在Z向托板(71)的作用下沿着Z向静压导轨(72)滑动；

所述X向滑动组件(6)包括X向托板(61)、X向静压导轨(62)和X向伺服电机(63)，所述X向静压导轨(62)设在工作台(1)上，且X向托板(61)与X向静压导轨(62)滑动配合，所述X向伺服电机(63)的动力输出轴与X向托板(61)传动连接，所述磨削单元(3)和车削单元(5)并排设在X向托板(61)上，

驱动所述X向伺服电机(63)，所述磨削单元(3)或车削单元(5)在X向托板(61)的作用下沿着X向静压导轨(62)滑动，并能与工件夹具组件(23)上的反向螺母同轴。

6.根据权利要求1所述的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：

所述工作台(1)上还设有与工件夹持中心(2)相对布置的X向滑动组件(6)和Z向滑动组件(7)，由所述X向滑动组件(6)和Z向滑动组件(7)构成十字滑台结构，且所述磨削单元(3)和车削单元(5)均设在X向滑动组件(6)上，使磨削单元(3)或车削单元(5)在X向滑动组件(6)的作用下沿着Z向滑动组件(7)左右滑动并能与工件夹具组件(23)上的反向螺母同轴。

7.根据权利要求1所述的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：

所述Z向滑动组件(7)包括Z向托板(71)、Z向静压导轨(72)和Z向伺服电机(73)，所述Z向静压导轨(72)设在工作台(1)上，且Z向托板(71)与Z向静压导轨(72)滑动配合，所述Z向伺服电机(73)的动力输出轴与Z向托板(71)传动连接，

所述X向滑动组件(6)包括X向托板(61)、X向静压导轨(62)和X向伺服电机(63)，所述X向静压导轨(62)设Z向托板(71)上，且X向托板(61)与X向静压导轨(62)滑动配合，所述X向伺服电机(63)的动力输出轴与X向托板(61)传动连接，所述磨削单元(3)和车削单元(5)并排设在X向托板(61)上，

驱动所述Z向伺服电机(73)，所述X向静压导轨(62)在Z向托板(71)的作用下沿着Z向静压导轨(72)滑动；

再驱动所述X向伺服电机(63)，所述磨削单元(3)或车削单元(5)在X向托板(61)的作用下沿着X向静压导轨(62)滑动，并能与工件夹具组件(23)上的反向螺母同轴。

8.根据权利要求1所述的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：所述工件夹具组件(23)包括夹持盘(231)和夹持块(232)，所述夹持盘(231)设在静压主轴(22)另一端的端部，且夹持盘(231)的端面上设有沿其圆周方向均匀布置的夹持块(232)，所述夹持块(232)设有能与反向螺母半成品外圆定位贴合的夹持定位面。

9.根据权利要求1所述的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：所述修整电主轴(41)通过安装块(43)固定在静压主轴(22)的外壳外侧壁上。

10.根据权利要求1所述的行星滚柱丝杠反向螺母的专用加工设备，其特征在于：所述磨削部件(32)是由刀柄和砂轮构成的组合件，或者是弯杆磨头，

当所述磨削部件(32)是由刀柄和砂轮构成的组合件时，所述砂轮通过刀柄设在磨削电主轴(31)的动力输出轴上，

当所述磨削部件(32)是弯杆磨头时，所述弯杆磨头设在磨削电主轴(31)的动力输出轴上。