CN120809634B - 一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体衬底输送装置技术领域，具体地说，涉及一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其包括主体机构，主体机构包括机架，机架的外表面传动连接有输送链板，机架的内壁固定安装有两个防护板，机架的上方设置有链板清理机构；链板清理机构包括链板清洗单元，链板清理机构还包括清洗废水回收单元，能够利用链板清洗单元实现对输送链板内圈和外圈进行清洗的目的，通过单头喷头和双头喷头，双头喷头能够进行伸缩，调节与输送链板的距离，而单头喷头能够利用双轴独立电机进行旋转，在此基础上，单头喷头和双头喷头都能进行左右方向的移动,起到全面清洗输送链板内外圈的作用，进一步由喷洒液体配合清洗辊。

Description

一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置

技术领域

本发明涉及半导体衬底输送装置技术领域，具体地说，涉及一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置。

背景技术

半导体衬底是半导体器件制造的基础，是承载半导体器件制作、提供物理支撑与电学连接的基底材料，对半导体性能起关键作用，半导体衬底在生产过程中会进行热处理，进一步对半导体衬底进行超声波清洗，并且热处理后与超声波清洗机之间通常会采用视觉检测，视觉检测能定性甚至定量评估污染物的分布和种类，为超声波清洗机的参数设置提供依据，确保清洗针对性，提升清洗后衬底的洁净度，半导体衬底热处理后与超声波清洗机之间的输送装置需兼顾高温冷却和洁净度保持，会采用到高温链板式输送机。

半导体衬底制造对环境洁净度有所要求，在输送过程中，链板式输送机自身的清洁状况直接影响刚热处理后半导体衬底的质量，链板输送机表面的缝隙和凹槽，容易堆积杂质和灰尘积聚，而现有链板输送机不便对链板进行自动清洗，导致杂志或灰尘的清理需要根据人工清洗时间来决定链板式输送机的清洁度，比较浪费人力，且清洗不够方便，影响超声波清洗的效果和衬底的良品率。

基于此，本发明公开了一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置。

发明内容

为解决背景技术中提出的现有链板输送机不便对链板进行自动清洗，导致杂志或灰尘的清理需要根据人工清洗时间来决定链板式输送机的清洁度的问题，本发明提供了一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其包括主体机构，所述主体机构包括机架，所述机架的外表面传动连接有输送链板，所述机架的内壁固定安装有两个防护板，所述机架的上方设置有链板清理机构；

由于输送链板存在外圈和内圈，并且具备一定长度，为了可以在输送链板上进行移动清洗，本技术方案采用清洗废水回收单元进行移动清洗；

所述链板清理机构包括链板清洗单元，所述链板清理机构还包括清洗废水回收单元，所述链板清洗单元包括支撑架，所述支撑架的背面与机架的正面固定连接，所述支撑架的左侧面固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有丝杠，所述丝杠的外表面与支撑架的内壁转动连接，所述丝杠的外表面螺纹连接有配套螺母，所述配套螺母的外表面固定安装有移动块，所述移动块的外表面与支撑架的内壁相接触，所述移动块的上表面和底面均固定安装有安装外壳。

在此基础上，在输送链板上移动后，为了对输送链板内外圈进行全面清洗；

作为本技术方案的进一步改进，所述移动块的正面固定安装有小型水泵，所述小型水泵的输入管固定连通有进水软管，所述小型水泵的输出管固定连通有回形管，所述回形管固定安装在安装外壳内壁，所述回形管的内部固定连通有若干个相同的回收管，每个所述回收管的内部均滑动连通有伸缩管，每个所述伸缩管的内部均固定连通有双头喷头，每个所述安装外壳的右侧面均固定安装有电动推杆，每个所述电动推杆的伸缩端均固定安装有连接板，每个所述连接板的内壁均与伸缩管的外表面固定连接，所述回形管的内部固定连通有弯管，所述弯管的内部固定连通有L形管，所述L形管的内壁转动连接有旋转管，所述旋转管的内部固定连通有若干个相同的单头喷头，所述旋转管的后端固定安装有双轴独立电机。

由于输送链板表面存在缝隙和凹槽，为了对输送链板缝隙和凹槽进行深度且全面清洗；

作为本技术方案的进一步改进，所述旋转管的下方设置有两个清洗辊，且输送链板位于清洗辊之间，每个所述清洗辊的一端均固定安装有连接轴，其中一个所述连接轴的外表面和双轴独立电机的输出端均固定安装有单槽带轮，另外一个所述连接轴的外表面固定安装有双槽带轮，每个所述单槽带轮的外表面均传动连接有同步带，每个所述同步带的内圈均与双槽带轮的外表面传动连接，两个所述连接轴的外表面共同转动连接有轴座滑板，所述机架的背面开设有移动口，所述轴座滑板的外表面与移动口的内部滑动连接。

由于旋转管需要有支撑部件，为了支撑旋转管稳定转动和L形管的稳定；

作为本技术方案的进一步改进，所述L形管的外表面卡接有固定板，所述旋转管的外表面与固定板的内壁转动连接。

在此基础上，旋转管需要在L形管内转动，为降低旋转管和L形管配合时产生泄露的可能；

作为本技术方案的进一步改进，所述旋转管的外表面固定安装有密封转环，所述密封转环的外表面与L形管的内壁转动连接。

由于水清洗输送链板后，输送链板表面较为潮湿，容易吸附灰尘等，为输送链板保持表面干燥；

作为本技术方案的进一步改进，所述机架的上表面固定安装有密封盖，所述密封盖的内顶壁固定安装有若干个相同的干燥风机。

另一方案中，由于需要为链板清洗单元提供清洗液体，清洗后的废液也需要进行回收再利用，为了提供清洗液体和回收废液；

作为本技术方案的进一步改进，所述清洗废水回收单元包括液体容器，所述液体容器的底面与机架的内壁固定连接，所述液体容器的内部固定连通有排液管，所述排液管的内部与进水软管的内部固定连通，所述液体容器的内壁固定安装有倾斜导板，所述液体容器的内部滑动连接有移动容器，所述移动容器的内部与排液管的内部相连通，所述移动容器的内壁固定安装有进水滤网，所述移动容器的内壁固定安装有过滤膜，所述液体容器的内壁转动连接有两个封闭侧盖。

为了封闭侧盖和密封盖能够形成闭合，保证输送链板在密封空间下进行清洗；

作为本技术方案的进一步改进，每个所述封闭侧盖的上表面均固定安装有磁铁板，所述密封盖的底面固定安装有两个吸附铁板。

在此基础上，由于需要在密封盖和液体容器等部分进行封闭，避免灰尘进入到密封空间内；

作为本技术方案的进一步改进，所述密封盖的内壁、移动口的内壁和液体容器的内壁均固定安装有两个伸缩挡罩，每个所述安装外壳的外表面和弯管的外表面均与伸缩挡罩的内壁固定连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

1、该一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置中，能够利用链板清洗单元实现对输送链板内圈和外圈进行清洗的目的，通过单头喷头和双头喷头，双头喷头能够进行伸缩，调节与输送链板的距离，而单头喷头能够利用双轴独立电机进行旋转，在此基础上，单头喷头和双头喷头都能进行左右方向的移动，起到全面清洗输送链板内外圈的作用，进一步由喷洒液体配合清洗辊，可以实现对输送链板缝隙和凹槽进行深度清洗的目的，节省清洗时间和人力。

2、该一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置中，能够利用清洗废水回收单元实现为链板清洗单元提供液体和回收废水的目的，在输送链板底部通过移动容器进行集中收集，并且由过滤膜和进水滤网等对废水内杂物进行过滤，能够为链板清洗单元提供清水，保证链板清洗单元对输送链板的清洗效果。

附图说明

图1为本发明的整体的结构示意图；

图2为本发明的机架的拆分示意图；

图3为本发明的安装外壳的结构示意图；

图4为本发明的回形管的结构示意图；

图5为本发明的移动口的结构示意图；

图6为本发明的清洗辊的结构示意图；

图7为本发明的连接板的结构示意图；

图8为本发明的旋转管的结构示意图；

图9为本发明的轴座滑板的剖视图；

图10为本发明的液体容器和倾斜导板的剖视图；

图11为本发明的密封盖翻转示意图。

图中各个标号意义为：

1、主体机构；11、机架；12、输送链板；13、防护板；2、链板清理机构；

21、链板清洗单元；2101、支撑架；2102、丝杠；2103、驱动电机；2104、移动块；2105、进水软管；2106、安装外壳；2107、回形管；2108、弯管；2109、配套螺母；2110、小型水泵；2111、移动口；2112、轴座滑板；2113、双轴独立电机；2114、连接轴；2115、清洗辊；2116、旋转管；2117、L形管；2118、固定板；2119、电动推杆；2120、连接板；2121、伸缩管；2122、回收管；2123、双头喷头；2124、单头喷头；2125、密封转环；2126、同步带；2127、双槽带轮；2128、单槽带轮；2129、密封盖；2130、干燥风机；

22、清洗废水回收单元；2201、液体容器；2202、排液管；2203、磁铁板；2204、封闭侧盖；2205、移动容器；2206、进水滤网；2207、过滤膜；2208、倾斜导板；2209、吸附铁板；2210、伸缩挡罩。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

现有链板输送机不便对链板进行自动清洗，导致杂志或灰尘的清理需要根据人工清洗时间来决定链板式输送机的清洁度，比较浪费人力，且清洗不够方便。

为此本发明提供了一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，参见图1所示，其包括主体机构1，主体机构1包括机架11，机架11的外表面传动连接有输送链板12，机架11的内壁固定安装有两个防护板13，机架11的上方设置有链板清理机构2；

具体的链板清洗单元21，参见图1-图5所示，为全面清洗输送链板12，在输送链板12静止状态下，需要能够进行移动清洗，满足输送链板12的长度，先要具备移动功能，链板清理机构2包括链板清洗单元21，链板清理机构2还包括清洗废水回收单元22，链板清洗单元21包括支撑架2101，支撑架2101的背面与机架11的正面固定连接，支撑架2101的左侧面固定安装有驱动电机2103，驱动电机2103的输出端固定安装有丝杠2102，丝杠2102的外表面与支撑架2101的内壁转动连接，丝杠2102的外表面螺纹连接有配套螺母2109，配套螺母2109的外表面固定安装有移动块2104，移动块2104的外表面与支撑架2101的内壁相接触，移动块2104的上表面和底面均固定安装有安装外壳2106。

工作时，启动驱动电机2103，驱动电机2103带动丝杠2102进行转动，丝杠2102与配套螺母2109进行传动，驱动配套螺母2109进行直线移动，再带动移动块2104移动，由移动块2104进行左右方向的移动，以此在输送链板12表面改变清洗位置。

进一步的，参见图6-图9所示，在能改变清洗位置的基础上，需要对输送链板12内外圈进行全面清洗，保证输送链板12的清洁度，移动块2104的正面固定安装有小型水泵2110，小型水泵2110的输入管固定连通有进水软管2105，小型水泵2110的输出管固定连通有回形管2107，回形管2107固定安装在安装外壳2106内壁，回形管2107的内部固定连通有若干个相同的回收管2122，每个回收管2122的内部均滑动连通有伸缩管2121，每个伸缩管2121的内部均固定连通有双头喷头2123，每个安装外壳2106的右侧面均固定安装有电动推杆2119，每个电动推杆2119的伸缩端均固定安装有连接板2120，每个连接板2120的内壁均与伸缩管2121的外表面固定连接，回形管2107的内部固定连通有弯管2108，弯管2108的内部固定连通有L形管2117，L形管2117的内壁转动连接有旋转管2116，旋转管2116的内部固定连通有若干个相同的单头喷头2124，旋转管2116的后端固定安装有双轴独立电机2113。

工作时，通过启动小型水泵2110，小型水泵2110将清洗液体抽出，输入到回形管2107内，回形管2107内液体首先供应给回收管2122，由回收管2122输入到伸缩管2121内，由双头喷头2123喷出，双头喷头2123处于输送链板12外圈，双头喷头2123从输送链板12上方和输送链板12下方对其进行清洗，在双头喷头2123与输送链板12清洗距离较大时，可以启动电动推杆2119，电动推杆2119通过连接板2120带动伸缩管2121，伸缩管2121回收到回收管2122内或带动伸缩管2121从回收管2122内伸出，调节清洗距离，随着液体在回形管2107内的流通，液体经弯管2108进入到L形管2117内，由L形管2117进入到旋转管2116内，最后由单头喷头2124喷出，单头喷头2124喷出的液体对输送链板12内圈进行清洗，为方便对输送链板12弯曲处或内圈上下侧进行清洗，可以启动双轴独立电机2113，带动旋转管2116转动，带动单头喷头2124以旋转方式对输送链板12进行清洗。

进一步的，参见图6、图9和图11所示，在清洗输送链板12的过程中，为对输送链板12缝隙或凹槽处进行清理，旋转管2116的下方设置有两个清洗辊2115，且输送链板12位于清洗辊2115之间，每个清洗辊2115的一端均固定安装有连接轴2114，其中一个连接轴2114的外表面和双轴独立电机2113的输出端均固定安装有单槽带轮2128，另外一个连接轴2114的外表面固定安装有双槽带轮2127，每个单槽带轮2128的外表面均传动连接有同步带2126，每个同步带2126的内圈均与双槽带轮2127的外表面传动连接，两个连接轴2114的外表面共同转动连接有轴座滑板2112，机架11的背面开设有移动口2111，轴座滑板2112的外表面与移动口2111的内部滑动连接。

工作时，启动双轴独立电机2113另一个轴，通过单槽带轮2128、双槽带轮2127和同步带2126进行同步传动，带动连接轴2114进行转动，由连接轴2114带动清洗辊2115进行转动，清洗辊2115配合清洗液体对输送链板12缝隙和凹槽处进行清理。

其中，L形管2117的外表面卡接有固定板2118，旋转管2116的外表面与固定板2118的内壁转动连接，通过固定板2118，保证L形管2117的稳定，并且支撑旋转管2116稳定转动，为L形管2117和旋转管2116提供支撑；

其中，旋转管2116的外表面固定安装有密封转环2125，密封转环2125的外表面与L形管2117的内壁转动连接，通过密封转环2125，旋转管2116和L形管2117都用于输送液体，为避免在连接处出现泄漏，密封转环2125起到密封连接处的作用，且能够支撑旋转管2116进行转动；

其中，机架11的上表面固定安装有密封盖2129，密封盖2129的内顶壁固定安装有若干个相同的干燥风机2130，通过密封盖2129和干燥风机2130，密封盖2129对输送链板12进行密封，降低灰尘进入输送链板12的可能，在输送链板12由液体清洗后，干燥风机2130对输送链板12进行干燥，可以一定程度上防止灰尘沾染在输送链板12上。

另外具体的清洗废水回收单元22，参见图10-图11所示，为了对链板清洗单元21提供清洗液体，并且在清洗输送链板12后，防止废水的飞溅或杂物在随意排放，清洗废水回收单元22包括液体容器2201，液体容器2201的底面与机架11的内壁固定连接，液体容器2201的内部固定连通有排液管2202，排液管2202的内部与进水软管2105的内部固定连通，液体容器2201的内壁固定安装有倾斜导板2208，液体容器2201的内部滑动连接有移动容器2205，移动容器2205的内部与排液管2202的内部相连通，移动容器2205的内壁固定安装有进水滤网2206，移动容器2205的内壁固定安装有过滤膜2207，液体容器2201的内壁转动连接有两个封闭侧盖2204。

工作时，清洗后废水会经过输送链板12向下方流通，先排放在倾斜导板2208上，倾斜导板2208引导废水进入到移动容器2205内，随着废水的堆积，废水会先经过过滤膜2207进行过滤，过滤膜2207可以采用高耐腐蚀性、高精度过滤和抗污染能力的膜材料，经过过滤膜2207过滤后的废水，最后经过进水滤网2206进一步过滤废水中杂物，将较为清洁的水输入到进水滤网2206另一侧，通过排液管2202提供给链板清洗单元21，在需要更换或清理过滤膜2207和进水滤网2206时，可以直接从液体容器2201内抽出移动容器2205，而在输送链板12清洗过程中，可以转动封闭侧盖2204，封闭侧盖2204与密封盖2129形成密封空间，进一步隔绝灰尘进入。

其中，每个封闭侧盖2204的上表面均固定安装有磁铁板2203，密封盖2129的底面固定安装有两个吸附铁板2209，通过磁铁板2203吸附铁板2209的配合，可以将封闭侧盖2204固定在密封盖2129上；

其中，密封盖2129的内壁、移动口2111的内壁和液体容器2201的内壁均固定安装有两个伸缩挡罩2210，每个安装外壳2106的外表面和弯管2108的外表面均与伸缩挡罩2210的内壁固定连接，通过伸缩挡罩2210，密封盖2129和移动口2111等部分，由于存在传动空间，导致密封盖2129部分处和移动口2111存在裸露部分，伸缩挡罩2210可以对其进行密封，并且可以随移动器件进行伸缩，保证移动器件在密封盖2129和移动口2111等处的正常移动。

综上所述，本方案通过链板清洗单元21和清洗废水回收单元22的配合，能够对输送链板12进行全面清洗，清洗较为方便，进而有效解决现有的链板输送机不便对链板进行自动清洗，导致杂志或灰尘的清理需要根据人工清洗时间来决定链板式输送机的清洁度的问题。

工作原理：在对半导体衬底进行输送时，半导体衬底经热处理和视觉检测后进入到输送链板12上，由输送链板12将半导体衬底输送到超声波清洗部分，由于工作环境和半导体衬底热处理后，会导致输送链板12上堆积杂物或灰尘，为保持输送链板12的清洁度，可以启动小型水泵2110，小型水泵2110将液体抽出，供应给回形管2107，进一步由双头喷头2123对输送链板12外圈进行清洗，由单头喷头2124对输送链板12内圈进行清洗，并且单头喷头2124使用过程中能够进行转动清洗，在单头喷头2124和双头喷头2123清洗过程中，转动清洗辊2115，清洗辊2115配合液体清理输送链板12凹槽处，清洗产生的废液进入到移动容器2205内，在移动容器2205内经过滤膜2207进行过滤，将较为清洁的水存储在移动容器2205内，进一步再次利用液体对输送链板12进行清洗。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其包括主体机构（1），其特征在于：所述主体机构（1）包括机架（11），所述机架（11）的外表面传动连接有输送链板（12），所述机架（11）的内壁固定安装有两个防护板（13），所述机架（11）的上方设置有链板清理机构（2）；

所述链板清理机构（2）包括链板清洗单元（21），所述链板清理机构（2）还包括清洗废水回收单元（22），所述链板清洗单元（21）包括支撑架（2101），所述支撑架（2101）的背面与机架（11）的正面固定连接，所述支撑架（2101）的左侧面固定安装有驱动电机（2103），所述驱动电机（2103）的输出端固定安装有丝杠（2102），所述丝杠（2102）的外表面与支撑架（2101）的内壁转动连接，所述丝杠（2102）的外表面螺纹连接有配套螺母（2109），所述配套螺母（2109）的外表面固定安装有移动块（2104），所述移动块（2104）的外表面与支撑架（2101）的内壁相接触，所述移动块（2104）的上表面和底面均固定安装有安装外壳（2106）；

所述移动块（2104）的正面固定安装有小型水泵（2110），所述小型水泵（2110）的输入管固定连通有进水软管（2105），所述小型水泵（2110）的输出管固定连通有回形管（2107），所述回形管（2107）固定安装在安装外壳（2106）内壁，所述回形管（2107）的内部固定连通有若干个相同的回收管（2122），每个所述回收管（2122）的内部均滑动连通有伸缩管（2121），每个所述伸缩管（2121）的内部均固定连通有双头喷头（2123），所述双头喷头（2123）位于输送链板（12）外圈，且所述双头喷头（2123）从输送链板（12）上方和输送链板（12）下方对其进行清洗；

所述回形管（2107）围成的回形区域内部固定连通有弯管（2108），所述弯管（2108）的内部一端固定连通有L形管（2117），所述L形管（2117）的内壁一端转动连接有旋转管（2116），所述旋转管（2116）的内部固定连通有若干个相同的单头喷头（2124），所述单头喷头（2124）位于输送链板（12）内圈，且所述单头喷头（2124）对输送链板（12）内圈上下侧进行清洗，所述旋转管（2116）的后端固定安装有双轴独立电机（2113），所述旋转管（2116）的下方设置有两个清洗辊（2115），且输送链板（12）位于清洗辊（2115）之间，每个所述清洗辊（2115）的一端均固定安装有连接轴（2114），其中一个所述连接轴（2114）的外表面和双轴独立电机（2113）的输出端均固定安装有单槽带轮（2128），另外一个所述连接轴（2114）的外表面固定安装有双槽带轮（2127），每个所述单槽带轮（2128）的外表面均传动连接有同步带（2126），每个所述同步带（2126）的内圈均与双槽带轮（2127）的外表面传动连接，两个所述连接轴（2114）的外表面共同转动连接有轴座滑板（2112），所述机架（11）的背面开设有移动口（2111），所述轴座滑板（2112）的外表面与移动口（2111）的内部滑动连接。

2.根据权利要求1所述的视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其特征在于：每个所述安装外壳（2106）的右侧面均固定安装有电动推杆（2119），每个所述电动推杆（2119）的伸缩端均固定安装有连接板（2120），每个所述连接板（2120）的内壁均与伸缩管（2121）的外表面固定连接。

3.根据权利要求1所述的视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其特征在于：所述L形管（2117）的外表面卡接有固定板（2118），所述旋转管（2116）的外表面与固定板（2118）的内壁转动连接。

4.根据权利要求1所述的视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其特征在于：所述旋转管（2116）的外表面固定安装有密封转环（2125），所述密封转环（2125）的外表面与L形管（2117）的内壁转动连接。

5.根据权利要求1所述的视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其特征在于：所述机架（11）的上表面固定安装有密封盖（2129），所述密封盖（2129）的内顶壁固定安装有若干个相同的干燥风机（2130）。

6.根据权利要求5所述的视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其特征在于：所述清洗废水回收单元（22）包括液体容器（2201），所述液体容器（2201）的底面与机架（11）的内壁固定连接，所述液体容器（2201）的内部固定连通有排液管（2202），所述排液管（2202）的内部与进水软管（2105）的内部固定连通，所述液体容器（2201）的内壁固定安装有倾斜导板（2208），所述液体容器（2201）的内部滑动连接有移动容器（2205），所述移动容器（2205）的内部与排液管（2202）的内部相连通，所述移动容器（2205）的内壁固定安装有进水滤网（2206），所述移动容器（2205）的内壁固定安装有过滤膜（2207），所述液体容器（2201）的内壁转动连接有两个封闭侧盖（2204）。

7.根据权利要求6所述的视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其特征在于：每个所述封闭侧盖（2204）的上表面均固定安装有磁铁板（2203），所述密封盖（2129）的底面固定安装有两个吸附铁板（2209）。

8.根据权利要求6所述的视觉检测的半导体衬底生产用输送装置，其特征在于：所述密封盖（2129）的内壁、移动口（2111）的内壁和液体容器（2201）的内壁均固定安装有两个伸缩挡罩（2210），每个所述安装外壳（2106）的外表面和弯管（2108）的外表面均与伸缩挡罩（2210）的内壁固定连接。