CN120242621B - 一种三氟化磷制备用过滤器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种三氟化磷制备用过滤器，包括：固定筒体，其两端封闭设置，固定筒体的一端向上设置有进料管、另一端向下连接有出料管；过滤机构，包含固接于固定筒体内的第一密封轴承、以及第二密封轴承，所述第一密封轴承和第二密封轴承上分别固接有相应的固定环板，安装于第一密封轴承上的固定环板上密封固接有挡板，且固定环板之间呈锯齿状固接有相应的滤板；除尘机构，包含除尘缺口，所述除尘缺口外侧的固定筒体底部向下连接有除尘管，所述滤板的外端部固接有螺旋除尘板；驱动机构，用于驱动所述挡板产生转动。本发明能够在不对过滤器进行拆装的前提下，有效对滤除后的颗粒物进行排出收集，且能够有效提升过滤机构的整体结构稳定性。

Description

一种三氟化磷制备用过滤器

技术领域

本发明涉及三氟化磷制备用提纯辅助设备，具体是指一种三氟化磷制备用过滤器，其能够有效对混入三氟化磷物料中颗粒物进行滤除。

背景技术

三氟化磷可作为一种氟化剂，可以进行离子转移，应用于电子工业、电池制造、高分子材料和催化剂等领域。在半导体制造方面，三氟化磷在微波作用下变为等离子气体掺杂入半导体可以显著改善半导体性能。半导体产业对产品纯度和杂质含量非常敏感，因此需要对完成制备后的三氟化磷物料进行提纯处理。其中，通过过滤器以对混入三氟化磷物料中颗粒物进行滤除是提纯处理步骤中不可或缺的部分。

由于三氟化磷在正常条件下是一种有毒、且具有腐蚀性的气体，这便要求其过滤过程必须处于完全密封的条件下。现有的三氟化磷制备用过滤器在实际使用过程中存在以下缺项：1）滤除后的颗粒物在清除过程中需要对过滤器进行拆装，易导致过滤器的密闭性受损；2）过滤机构的结构稳定性不足，随着使用时间的延长容易产生形变，从而导致过滤效果达不到设计要求。

因此，设计一款能够在不对过滤器进行拆装的前提下，即可有效对滤除后的颗粒物进行排出收集，且能够有效提升过滤机构的结构稳定性，以长时间保持对颗粒物的过滤效果的三氟化磷制备用过滤器是本发明的研究目的。

发明内容

针对上述现有技术存在的技术问题，本发明在于提供了一种三氟化磷制备用过滤器，该三氟化磷制备用过滤器能够有效解决上述现有技术存在的技术问题。

本发明的技术方案是：

一种三氟化磷制备用过滤器，包括：

固定筒体，其两端封闭设置，所述固定筒体的一端向上设置有进料管，固定筒体的另一端向下连接有出料管；

过滤机构，包含固接于所述固定筒体内、且位于进料管外侧的的第一密封轴承、以及固接于所述固定筒体内、且位于所述出料管内侧的第二密封轴承，所述第一密封轴承和第二密封轴承的内圈分别固接有相应的固定环板，安装于所述第一密封轴承上的固定环板上密封固接有相应的挡板，且安装于所述第一密封轴承和第二密封轴承上的固定环板之间呈锯齿状固接有相应的滤板；

除尘机构，包含设置于所述第一密封轴承的外圈底侧的除尘缺口，所述除尘缺口外侧的固定筒体底部向下连接有一安装有除尘阀的除尘管，所述滤板的外端部固接有相应的螺旋除尘板；

驱动机构，用于驱动所述挡板产生转动，以带动所述过滤机构转动，使所述螺旋除尘板旋转将滤除后的颗粒物经过所述除尘缺口向外输出、并经所述除尘管进行外排。

所述驱动机构包含固接于所述挡板中心处的驱动叶轮、以及安装于所述驱动叶轮上侧的高压氮气出气管，所述高压氮气出气管的进气端通过第一增压泵连接到外界氮气源，高压氮气出气管的出气端正对所述驱动叶轮。

所述固定筒体上密封贯穿设置有一相应的反冲管，所述反冲管通过相应的反冲阀连接到外界氮气源，反冲管设置于未固接有所述挡板的固定环板的外侧，所述反冲管位于所述固定筒体内的部分横向翻折设置、并按间隔朝下设置有朝向滤板的第一反冲出气口。

或者，所述驱动机构包含密封贯穿连接于未固接有所述挡板的固定环板外侧的驱动进气管，所述驱动进气管通过第二增压泵连接到外界氮气源，驱动进气管位于所述固定筒体内的部分横向设置于所述固定筒体的轴心处、并按间隔朝下设置有朝向滤板的第二反冲出气口，所述挡板的中心处密封贯穿固接有一相应的驱动管，所述驱动管的一端通过密封轴承转动套接到所述驱动进气管上，驱动管的另一端封闭设置、并按间隔朝外垂直连接有若干个呈弧形状设置的喷气反推管，所述喷气反推管的出气端分别呈缩口状设置。

所述固定环板上间隔交错设置有相应的V形金属骨架，所述滤板呈锯齿状排布固接于相邻两个V形金属骨架之间，所述螺旋除尘板固接到所述V形金属骨架上。

所述滤板的滤孔不超过0.3μm。

所述固定筒体上固接有一用于对所述除尘管的进料端形成覆盖的弧面罩盖，所述弧面罩盖的内端部与所述第一密封轴承之间呈间隔设置以形成气流通道。

所述除尘管上并联连接有一相应的虹吸管，所述虹吸管未连接于所述除尘管的一端，连接到除尘缺口下侧的固定筒体上。

所述固定筒体的外侧壁固接有用于对除尘过程所产生的机械振动量进行消减的减振机构。

所述减振机构包含设置于所述固定筒体上的环形盒体，所述环形盒体内装填有相应的减振材料。

本发明的优点：

1）本发明的固定筒体的两端封闭设置，其一端向上设置有进料管、另一端向下连接有出料管，然后再于固定筒体内设置有过滤机构，其包含固接于进料管外侧的固定筒体内的第一密封轴承、以及固接于出料管内侧的固定筒体内的第二密封轴承，第一密封轴承和第二密封轴承的内圈分别固接有相应的固定环板，安装于第一密封轴承上的固定环板上密封固接有相应的挡板，且安装于第一密封轴承和第二密封轴承上的固定环板之间呈锯齿状固接有相应的滤板。三氟化磷气体经进料管进入，经滤板进行过滤后沿过滤机构未设有挡板的一侧经出料管排出，从而有效对三氟化磷气体中的颗粒物进行充分过滤。

在过滤机构改进设计的基础上，本发明进一步增设有除尘机构，其包含设置于第一密封轴承的外圈底侧的除尘缺口，除尘缺口外侧的固定筒体底部向下连接有一安装有除尘阀的除尘管，最主要的是滤板的外端部固接有相应的螺旋除尘板。需要对滤除后的颗粒物进行清排时，只需将固定筒体内的三氟化磷气体置换为氮气，然后再通过驱动机构对挡板进行转动驱动，以带动过滤机构转动，使螺旋除尘板旋转将滤除后的灰尘传送经过除尘缺口进行外排即可。从而能够在不对过滤器进行拆装的前提下，即可有效对滤除后的颗粒物进行排出收集。

2）本发明的螺旋除尘板不仅能够在转动的前提下对滤除后的颗粒物进行清排，且能够于过滤机构的外围对其形成整体结构加强，从而能够有效提升过滤机构的结构稳定性，以长时间保持对颗粒物的过滤效果。

3）本发明的驱动机构包含固接于挡板中心处的驱动叶轮、以及连接于驱动叶轮上侧的高压氮气出气管，高压氮气出气管的进气端通过第一增压泵连接到外界氮气源，且其出气端正对所述驱动叶轮；加之，固定筒体上密封贯穿连接有一通过反冲阀连接到外界氮气源的反冲管，反冲管设置于未固接有挡板的固定环板的外侧，且反冲管位于固定筒体内的部分横向反正设置、并按间隔朝下设置有朝向滤板的第一反冲出气口。在完成氮气置换后，第一增压泵启动以将高压氮气引入以对驱动叶轮形成冲击，驱动叶轮随之产生转动、并带动挡板产生转动，同时反冲阀开启，氮气经反冲管的第一反冲出气口向下吹扫，以对附着于滤板上的灰尘颗粒进行去除；该过程中，所述除尘阀打开，所述螺旋除尘板随着挡板的转动而产生旋转，以将滤除后的灰尘传送经过除尘缺口进行外排。以进一步确保本发明能够在不对过滤器进行拆装的前提下，即可有效对滤除后的颗粒物进行排出收集。

4）本发明的驱动机构包含密封贯穿连接于未固接有挡板的固定环板外侧的驱动进气管，驱动进气管通过第二增压泵连接到外界氮气源，驱动进气管位于固定筒体内的部分横向翻转设置于固定筒体的轴心处、并按间隔朝下设置有朝向滤板的反冲孔，挡板的中心处密闭固接有一相应的驱动管，驱动管的一端通过密封轴承转动套接到驱动进气管上，驱动管的另一端封闭设置、并按间隔朝外垂直连接有呈弧形状设置的喷气反推管。在完成氮气置换后，第二增压泵启动以将高压氮气引入，一部分高压气体经第二反冲出气口下排以对滤板进行反冲，以对附着于滤板上的灰尘颗粒进行去除；一部分高压气体经呈弧形状设置的喷气反推管纵向倾斜喷出，以在喷气所形成的反作用力的驱动下，带动驱动管产生转动，从而驱动挡板、过滤器整体产生转动；该过程中，除尘阀打开，螺旋除尘板随着挡板的转动而产生旋转，以将滤除后的灰尘传送经过除尘缺口进行外排。以进一步确保本发明能够在不对过滤器进行拆装的前提下，即可有效对滤除后的颗粒物进行排出收集。

5）本发明的固定环板上间隔交错设置有相应的V形金属骨架，滤板呈锯齿状排布固接于相邻两个V形金属骨架之间，螺旋除尘板固接到所述V形金属骨架上。通过V形金属骨架的介入既能够对滤板提供足够的支撑，且能够与螺旋除尘板形成固定衔接，从而进一步确保过滤机构的整体刚性。

6）由于高压氮气出气管、或喷气反推管在将氮气喷出的过程中会导致挡板外侧的固定筒体内产生高压气流，从而导致颗粒物易于挡板外侧的固定筒体内形成翻滚而无法被快速排出。通过本发明的弧面罩盖的设置、及其安装位置的调整，使进入挡板外侧的固定筒体内的氮气可沿弧面罩盖的内端部与第一密封轴承的间隔处流通进入弧面罩盖内，再沿除尘管进行外排，该过程中，被螺旋除尘板推出的物料可随着流通的气流被携带排出、而不进入挡板外侧的固定筒体内，从而确保被过滤下来的颗粒物能够顺利排出；且高压气流于除尘管的外排过程中，可对虹吸管形成虹吸，从而将位于除尘缺口下侧的固定筒体部分的物料抽排走，以进一步确保被过滤下来的颗粒物能够顺利排出，进而确保本发明的实用效果。

7）本发明于固定筒体的外侧壁固接有用于对除尘过程所产生的机械振动量进行消减的减振机构，其包含设置于固定筒体安装有所述第一密封轴承和第二密封轴承的环形盒体，环形盒体内装填有相应的减振材料。这是因为：本发明的除尘机构在除尘的过程中，过滤机构整体会产生转动，转动所产生的振动会沿第一密封轴承和第二密封轴承传递至固定筒体上，从而增加了各部件的连接处的振动量，即增加了各部件的连接处出现泄漏的概率。为此，本发明于固定筒体上设置有位置与第一密封轴承和第二密封轴承相对应的减振机构，从而减少沿第一密封轴承和第二密封轴承向外传递的振动量，以克服除尘所导致的振动问题，从而进一步确保本发明的实用效果。

附图说明

图1为本发明的实施例一的结构示意图。

图2为实施例一的剖视图。

图3为实施例一的过滤器的结构示意图。

图4为实施例一的过滤器的另一侧结构示意图。

图5为本发明的实施例二的结构示意图。

图6为实施例二的剖视图。

图7为本发明的实施例三的结构示意图。

附图中：固定筒体1、进料管101、出料管102、过滤机构2、第一密封轴承201、第二密封轴承202、固定环板203、挡板204、滤板205、除尘机构3、除尘缺口301、除尘管302、螺旋除尘板303、除尘阀4、驱动机构5、驱动叶轮501、高压氮气出气管502、驱动进气管503、驱动管504、密封轴承505、喷气反推管506、反冲管6、反冲阀601、第一反冲出气口7、反冲出气口8、V形金属骨架9、弧面罩盖10、虹吸管11、减振机构12、环形盒体1201、减振材料1202。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员理解，现将实施例结合附图对本发明的结构作进一步详细描述：

实施例一：

参考图1-4，一种三氟化磷制备用过滤器，包括：

固定筒体1，其两端封闭设置，所述固定筒体1的一端向上设置有进料管101，固定筒体1的另一端向下连接有出料管102；

过滤机构2，包含固接于所述固定筒体1内、且位于所述进料管101外侧的第一密封轴承201、以及固接于所述固定筒体1内、且位于所述出料管102内侧的第二密封轴承202，所述第一密封轴承201和第二密封轴承202的内圈分别固接有相应的固定环板203，安装于所述第一密封轴承201上的固定环板203上密封固接有相应的挡板204，且安装于所述第一密封轴承201和第二密封轴承202上的固定环板203之间呈锯齿状固接有相应的滤板205；

除尘机构3，包含设置于所述第一密封轴承201的外圈底侧的除尘缺口301，所述除尘缺口301外侧的固定筒体1底部向下连接有一安装有除尘阀4的除尘管302，所述滤板205的外端部固接有相应的螺旋除尘板303；

驱动机构5，用于驱动所述挡板204产生转动，以带动所述过滤机构2转动，使所述螺旋除尘板303旋转将滤除后的颗粒物经过所述除尘缺口301向外输出、并经所述除尘管302进行外排。

本发明的固定筒体1的两端封闭设置，其一端向上设置有进料管101、另一端向下连接有出料管102，然后再于固定筒体1内设置有过滤机构2。过滤时，三氟化磷气体经进料管101进入，经滤板205进行过滤后沿过滤机构2未设有挡板204的一侧经出料管102排出，从而有效对三氟化磷气体中的颗粒物进行充分过滤。

在过滤机构2改进设计的基础上，本发明进一步增设有除尘机构3，其包含设置于第一密封轴承201的外圈底侧的除尘缺口301，除尘缺口301外侧的固定筒体1底部向下连接有一安装有除尘阀4的除尘管302，最主要的是滤板205的外端部固接有相应的螺旋除尘板303。需要对滤除后的颗粒物进行清排时，只需将固定筒体1内的三氟化磷气体置换为氮气，然后再通过驱动机构5对挡板204进行转动驱动，以带动过滤机构2转动，使螺旋除尘板303旋转将滤除后的灰尘传送经过除尘缺口301进行外排即可。从而能够在不对过滤器进行拆装的前提下，即可有效对滤除后的颗粒物进行排出收集。

本发明的螺旋除尘板303不仅能够在转动的前提下对滤除后的颗粒物进行清排，且能够于过滤机构2的外围对其形成整体结构加强，从而能够有效提升过滤机构2的结构稳定性，以长时间保持对颗粒物的过滤效果。

所述驱动机构5包含固接于所述挡板204中心处的驱动叶轮501、以及安装于所述驱动叶轮501上侧的高压氮气出气管502，所述高压氮气出气管502的进气端通过第一增压泵连接到外界氮气源，高压氮气出气管502的出气端正对所述驱动叶轮501。

所述固定筒体1上密封贯穿设置有一相应的反冲管6，所述反冲管6通过相应的反冲阀601连接到外界氮气源，反冲管6设置于未固接有所述挡板204的固定环板203的外侧，所述反冲管6位于所述固定筒体1内的部分横向翻折设置、并按间隔朝下设置有朝向滤板205的第一反冲出气口7。

在完成氮气置换后，第一增压泵启动以将高压氮气引入以对驱动叶轮501形成冲击，驱动叶轮501随之产生转动、并带动挡板204产生转动，同时反冲阀601开启，氮气经反冲管6的第一反冲出气口7向下吹扫，以对附着于滤板205上的灰尘颗粒进行去除；该过程中，所述除尘阀4打开，所述螺旋除尘板303随着挡板204的转动而产生旋转，以将滤除后的灰尘传送经过除尘缺口301进行外排。以进一步确保本发明能够在不对过滤器进行拆装的前提下，即可有效对滤除后的颗粒物进行排出收集。

所述固定环板203上间隔交错设置有相应的V形金属骨架9，所述滤板205呈锯齿状排布固接于相邻两个V形金属骨架9之间，所述螺旋除尘板303固接到所述V形金属骨架9上。所述滤板205的滤孔不超过0.3μm。

通过V形金属骨架9的介入既能够对滤板205提供足够的支撑，且能够与螺旋除尘板303形成固定衔接，从而进一步确保过滤机构2的整体刚性。

所述固定筒体1的外侧壁固接有用于对除尘过程所产生的机械振动量进行消减的减振机构12。

所述减振机构12包含设置于所述固定筒体1上的环形盒体1201，所述环形盒体1201内装填有相应的减振材料1202。

由于本发明的除尘机构在除尘的过程中，过滤机构2整体会产生转动，转动所产生的振动会沿第一密封轴承201和第二密封轴承202传递至固定筒体1上，从而增加了各部件的连接处的振动量，即增加了各部件的连接处出现泄漏的概率。为此，本发明于固定筒体1上设置有位置与第一密封轴承201和第二密封轴承202相对应的减振机构12，从而减少沿第一密封轴承201和第二密封轴承202向外传递的振动量，以克服除尘所导致的振动问题，从而进一步确保本发明的实用效果。

实施例二：

参考图5-6，本实施例与实施例一的区别在于：所述驱动机构5包含密封贯穿连接于未固接有所述挡板204的固定环板203外侧的驱动进气管503，所述驱动进气管503通过第二增压泵连接到外界氮气源，驱动进气管503位于所述固定筒体1内的部分横向设置于所述固定筒体1的轴心处、并按间隔朝下设置有朝向滤板205的第二反冲出气口8，所述挡板204的中心处密封贯穿固接有一相应的驱动管504，所述驱动管504的一端通过密封轴承505转动套接到所述驱动进气管503上，驱动管504的另一端封闭设置、并按间隔朝外垂直连接有若干个呈弧形状设置的喷气反推管506，所述喷气反推管506的出气端分别呈缩口状设置。

在完成氮气置换后，第二增压泵启动以将高压氮气引入，一部分高压气体经第二反冲出气口8下排以对滤板205进行反冲，以对附着于滤板205上的灰尘颗粒进行去除；一部分高压气体经呈弧形状设置的喷气反推管506纵向倾斜喷出，以在喷气所形成的反作用力的驱动下，带动驱动管504产生转动，从而驱动挡板204、过滤器整体产生转动；该过程中，除尘阀4打开，螺旋除尘板303随着挡板204的转动而产生旋转，以将滤除后的灰尘传送经过除尘缺口301进行外排。以进一步确保本发明能够在不对过滤器进行拆装的前提下，即可有效对滤除后的颗粒物进行排出收集。

需要指出的是，本实施例与实施例一实现原理及产生的技术效果相同，为简要描述，本实施例未提及之处，可参考实施例一中相应内容。

实施例三：

参考图7，本实施例与实施例一、实施例二的区别在于：所述固定筒体1上固接有一用于对所述除尘管302的进料端形成覆盖的弧面罩盖10，所述弧面罩盖10的内端部与所述第一密封轴承201之间呈间隔设置以形成气流通道。

所述除尘管302上并联连接有一相应的虹吸管11，所述虹吸管11未连接于所述除尘管302的一端，连接到除尘缺口301下侧的固定筒体1上。

由于高压氮气出气管、或喷气反推管在将氮气喷出的过程中会导致挡板外侧的固定筒体内产生高压气流，从而导致颗粒物易于挡板外侧的固定筒体内形成翻滚而无法被快速排出。通过本发明的弧面罩盖的设置、及其安装位置的调整，使进入挡板外侧的固定筒体内的氮气可沿弧面罩盖的内端部与第一密封轴承的间隔处流通进入弧面罩盖内，再沿除尘管进行外排，该过程中，被螺旋除尘板推出的物料可随着流通的气流被携带排出、而不进入挡板外侧的固定筒体内，从而确保被过滤下来的颗粒物能够顺利排出；且高压气流于除尘管的外排过程中，可对虹吸管形成虹吸，从而将位于除尘缺口下侧的固定筒体部分的物料抽排走，以进一步确保被过滤下来的颗粒物能够顺利排出，进而确保本发明的实用效果。

需要指出的是，本实施例与实施例一、实施例二实现原理及产生的技术效果相同，为简要描述，本实施例未提及之处，可参考实施例一、实施例二中相应内容。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种三氟化磷制备用过滤器，其特征在于，包括：

固定筒体（1），其两端封闭设置，所述固定筒体（1）的一端向上设置有进料管（101），固定筒体（1）的另一端向下连接有出料管（102）；

过滤机构（2），包含固接于所述固定筒体（1）内、且位于所述进料管（101）外侧的第一密封轴承（201）、以及固接于所述固定筒体（1）内、且位于所述出料管（102）内侧的第二密封轴承（202），所述第一密封轴承（201）和第二密封轴承（202）的内圈分别固接有相应的固定环板（203），安装于所述第一密封轴承（201）上的固定环板（203）上密封固接有相应的挡板（204），且安装于所述第一密封轴承（201）和第二密封轴承（202）上的固定环板（203）之间呈锯齿状固接有相应的滤板（205）；

除尘机构（3），包含设置于所述第一密封轴承（201）的外圈底侧的除尘缺口（301），所述除尘缺口（301）外侧的固定筒体（1）底部向下连接有一安装有除尘阀（4）的除尘管（302），所述滤板（205）的外端部固接有相应的螺旋除尘板（303）；

驱动机构（5），用于驱动所述挡板（204）产生转动，以带动所述过滤机构（2）转动，使所述螺旋除尘板（303）旋转将滤除后的颗粒物经过所述除尘缺口（301）向外输出、并经所述除尘管（302）进行外排；

所述驱动机构（5）包含密封贯穿连接于未固接有所述挡板（204）的固定环板（203）外侧的驱动进气管（503），驱动进气管（503）按间隔朝下设置有朝向滤板（205）的第二反冲出气口（8），所述挡板（204）的中心处密封贯穿固接有一相应的驱动管（504），所述驱动管（504）的一端通过密封轴承（505）转动套接到所述驱动进气管（503）上，驱动管（504）的另一端封闭设置、并按间隔朝外垂直连接有若干个呈弧形状设置的喷气反推管（506），所述喷气反推管（506）的出气端分别呈缩口状设置；

或者，所述驱动机构（5）包含固接于所述挡板（204）中心处的驱动叶轮（501）、以及安装于所述驱动叶轮（501）上侧的高压氮气出气管（502），所述高压氮气出气管（502）的进气端通过第一增压泵连接到外界氮气源，高压氮气出气管（502）的出气端正对所述驱动叶轮（501）。

2.根据权利要求1所述的一种三氟化磷制备用过滤器，其特征在于，所述固定筒体（1）上密封贯穿设置有一相应的反冲管（6），所述反冲管（6）通过相应的反冲阀（601）连接到外界氮气源，反冲管（6）设置于未固接有所述挡板（204）的固定环板（203）的外侧，所述反冲管（6）位于所述固定筒体（1）内的部分横向翻折设置、并按间隔朝下设置有朝向滤板（205）的第一反冲出气口（7）。

3.根据权利要求1所述的一种三氟化磷制备用过滤器，其特征在于，所述驱动进气管（503）通过第二增压泵连接到外界氮气源，驱动进气管（503）位于所述固定筒体（1）内的部分横向设置于所述固定筒体（1）的轴心处。

4.根据权利要求1所述的一种三氟化磷制备用过滤器，其特征在于，所述固定环板（203）上间隔交错设置有相应的V形金属骨架（9），所述滤板（205）呈锯齿状排布固接于相邻两个V形金属骨架（9）之间，所述螺旋除尘板（303）固接到所述V形金属骨架（9）上。

5.根据权利要求1所述的一种三氟化磷制备用过滤器，其特征在于，所述滤板（205）的滤孔不超过0.3μm。

6.根据权利要求1所述的一种三氟化磷制备用过滤器，其特征在于，所述固定筒体（1）上固接有一用于对所述除尘管（302）的进料端形成覆盖的弧面罩盖（10），所述弧面罩盖（10）的内端部与所述第一密封轴承（201）之间呈间隔设置以形成气流通道。

7.根据权利要求1所述的一种三氟化磷制备用过滤器，其特征在于，所述除尘管（302）上并联连接有一相应的虹吸管（11），所述虹吸管（11）未连接于所述除尘管（302）的一端，连接到除尘缺口（301）下侧的固定筒体（1）上。

8.根据权利要求1所述的一种三氟化磷制备用过滤器，其特征在于，所述固定筒体（1）的外侧壁固接有用于对除尘过程所产生的机械振动量进行消减的减振机构（12）。

9.根据权利要求8所述的一种三氟化磷制备用过滤器，其特征在于，所述减振机构（12）包含设置于所述固定筒体（1）上的环形盒体（1201），所述环形盒体（1201）内装填有相应的减振材料（1202）。