CN119971712B - 一种蚀刻液回收处理尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及尾气处理技术领域，尤其是一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，包括安装座，所述安装座的顶部固定连接有密封L型管道，所述密封L型管道的一侧设置有连通L型管道，所述连通L型管道的两端分别固定连通在所述密封L型管道的水平段和垂直段上；本发明通过第一滑环和第二滑环的同步转动以及扇形壳体对第一滑环的滑动连接，使不同种类的吸附剂不断对循环流动的回收尾气进行吸附处理，提高吸附剂替换的自动化程度，并且在吸附剂替换的过程中无需进行停机操作并且能够保证回收尾气的密封，有效的提高蚀刻液回收尾气的处理效率，并有利于回收尾气的连续处理。

Description

一种蚀刻液回收处理尾气处理装置

技术领域

本发明涉及尾气处理技术领域，尤其涉及一种蚀刻液回收处理尾气处理装置。

背景技术

蚀刻液通常用于半导体或电子制造中，用来腐蚀金属或材料表面，可能含有酸性或碱性成分，比如盐酸、硝酸、氢氟酸等。在回收过程中，这些化学物质可能会挥发或分解，产生有害气体，传统的尾气处理方法包括吸附、吸收、燃烧、催化氧化等。

公开号为CN214437907U的专利文件，公开了一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，包括底座、内部装有处理液的处理罐和水泵，所述处理罐和水泵安装在底座的顶部，所述处理罐的顶部开口处安装有排气管，所述处理罐远离水泵的一侧安装有进液管和排液管，所述进液管位于排液管的上方，所述进液管的另一端延伸至处理罐内腔的底部。

现有技术在对蚀刻液的回收尾气进行处理时，通常利用活性炭对尾气中的有害物质进行吸附，在吸附处理时，由于尾气中的有害气体成分多样，从而需要采用活性炭、分子筛和硅胶等多种吸附剂进行对应净化，传统的吸附处理过程通常是在吸附剂吸附饱和后人工进行替换，在替换过程中需要进行停机，从而降低了蚀刻液回收尾气的处理效率，并且对回收尾气的连续处理造成影响。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置。

为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，包括安装座，所述安装座的顶部固定连接有密封L型管道，所述密封L型管道的一侧设置有连通L型管道，所述连通L型管道的两端分别固定连通在所述密封L型管道的水平段和垂直段上，所述密封L型管道和所述连通L型管道之间连接有进气循环机构；

所述密封L型管道的垂直段固定连通有扇形壳体，所述扇形壳体的内部滑动连接有第一滑环，所述扇形壳体上固定连接有固定板，所述固定板位于所述第一滑环的底部，所述第一滑环上沿周向开设有多个第一圆形槽，所述第一滑环顶部的一侧设置有第二滑环，所述第二滑环上沿周向开设有多个第二圆形槽，所述第二滑环的底部设置有挡料板，所述第二圆形槽的顶部均固定连通有料斗，所述第一滑环和所述第二滑环之间连接有同步转动机构；

所述第一滑环的底部沿周向开设有多个滑槽，所述滑槽和对应的所述第一圆形槽相连通，所述滑槽的内部均滑动连接有两个支撑板，所述支撑板上均开设有多个气孔，所述支撑板的底部均固定连接有第一圆形销，所述扇形壳体和所述固定板上共同固定连接有两个第一引导槽轨，所述第一引导槽轨均包括圆弧段和展开段，所述第一圆形销均位于对应的所述第一引导槽轨内部。

优选的，所述进气循环机构包括进气管和排气管，所述进气管固定连通在所述密封L型管道水平段的一端，所述排气管固定连通在所述连通L型管道的垂直段上，所述进气管和所述排气管上均固定安装有电控阀，所述密封L型管道和所述连通L型管道上均固定安装有单向阀，两个所述单向阀分别位于所述进气管的一侧和所述排气管的下方，所述密封L型管道和所述连通L型管道上均固定连通有导流扇。

优选的，所述连通L型管道的垂直段上固定安装有多个气体监测器，所述气体监测器均位于所述排气管的顶部。

优选的，所述同步转动机构包括滑动支架，所述滑动支架固定连接在所述安装座的顶部，所述第二滑环滑动连接在所述滑动支架上，所述挡料板固定连接在所述滑动支架上，所述第一滑环和所述第二滑环的侧面均开设有弧形槽，所述弧形槽的内部均固定连接有外齿环，所述安装座的顶部转动连接有第一转动轴，所述第一转动轴上固定连接有两个第一齿轮，两个所述第一齿轮分别和对应的所述外齿环相啮合，所述安装座的底部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴贯穿所述安装座且固定连接在所述第一转动轴的底部。

优选的，所述第一圆形槽内部的内部均转动连接有连接轴，所述连接轴的表面固定连接有多个拨料板，所述连接轴的一端均贯穿所述第一滑环且延伸至所述第一滑环的内部后固定连接有圆形盘，所述固定板的顶部固定连接有限位环，所述限位环靠近所述扇形壳体的一侧开设有弧形缺口，所述弧形缺口的内部设置有转动条，所述固定板上固定安装有第二电机，所述第二电机的输出轴固定连接在所述转动条上，所述扇形壳体的内侧开设有条形槽，其中一个所述圆形盘滑动连接在所述转动条上，剩余的所述圆形盘滑动连接在所述限位环上。

优选的，所述扇形壳体和所述密封L型管道上方的固定连通处固定连接有圆形滤板，所述圆形滤板位于所述第一滑环的顶部。

优选的，所述第一滑环的内部沿周向设置有多个填充板，所述填充板的一端均贯穿所述第一滑环且延伸至对应的所述第一圆形槽内部，所述填充板的一端和所述第一圆形槽的内壁相平齐，所述填充板位于对应的所述支撑板顶部，所述填充板位于所述第一滑环内部的一端均固定连接有第二圆形销，所述固定板的顶部固定连接有第二引导槽轨，所述第二圆形销的底端均位于所述第二引导槽轨内部，所述第二引导槽轨包括平齐段和延伸段，所述延伸段靠近所述第二滑环。

优选的，所述安装座的顶部转动连接有收集筒，所述收集筒的内部滑动插接有多个扇形筐，所述收集筒位于所述第一引导槽轨的展开段一侧下方，所述收集筒上连接有配合转动机构。

优选的，所述配合转动机构包括第二转动轴，所述第二转动轴转动连接在所述安装座的顶部，所述第二转动轴上固定连接有两个第二齿轮，所述收集筒的侧面固定连接有配合齿环，所述配合齿环以及所述第一滑环侧面的所述外齿环分别和两个所述第二齿轮相啮合。

优选的，所述料斗的表面开设有观察槽，所述观察槽的内部固定连接有透明玻璃。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

1、通过第一滑环和第二滑环的同步转动以及扇形壳体对第一滑环的滑动连接，使不同种类的吸附剂不断对循环流动的回收尾气进行吸附处理，提高吸附剂替换的自动化程度，并且在吸附剂替换的过程中无需进行停机操作并且能够保证回收尾气的密封，有效的提高蚀刻液回收尾气的处理效率，并有利于回收尾气的连续处理。

2、通过第二电机的输出轴转动带动转动条在弧形缺口内部转动，从而使圆形盘带动连接轴进行转动，使连接轴上的拨料板对第一圆形槽内部的吸附剂进行旋转拨动，提高吸附剂和回收尾气之间的接触效率，并且在第一滑环继续进行转动之前，第二电机的输出轴带动转动条返回初始位置，从而使圆形盘从转动条移动到限位环上。

3、吸附剂沿着第二圆形槽向第一圆形槽内部填充时，填充板的一端在第一圆形槽内部占用一定空间，当第一圆形槽和对应的第二圆形槽转动脱离时，第二圆形销从延伸段移动到平齐段中，从而使填充板的一端从第一圆形槽内部退出，并且解除对空间的占用，通过填充板的移动防止第一圆形槽内部的吸附剂填充过于饱和，保证拨料板的转动能够使吸附剂进行相对移动。

附图说明

图1为本发明的第一结构示意图；

图2为本发明图1中的A处结构放大示意图；

图3为本发明图1中的B处结构放大示意图；

图4为本发明的第二结构示意图；

图5为本发明图4中的C处结构放大示意图；

图6为本发明图4中的D处结构放大示意图；

图7为本发明的第二滑环、挡料板和滑动支架配合结构示意图；

图8为本发明的扇形壳体、第一滑环和固定板第一配合结构示意图；

图9为本发明图8中的E处结构放大示意图；

图10为本发明图8中的F处结构放大示意图；

图11为本发明的扇形壳体、第一滑环和固定板第二配合结构示意图；

图12为本发明图11中的G处结构放大示意图。

图中：1、安装座；2、密封L型管道；3、连通L型管道；4、扇形壳体；5、第一滑环；6、固定板；7、第一圆形槽；8、第二滑环；801、挡料板；9、第二圆形槽；10、料斗；11、滑槽；12、支撑板；13、气孔；14、第一圆形销；15、第一引导槽轨；1501、圆弧段；1502、展开段；16、进气管；17、排气管；18、电控阀；19、单向阀；20、导流扇；21、气体监测器；22、滑动支架；23、弧形槽；24、外齿环；25、第一转动轴；26、第一齿轮；27、第一电机；28、连接轴；29、拨料板；30、圆形盘；31、限位环；32、弧形缺口；33、转动条；34、第二电机；35、条形槽；36、圆形滤板；37、填充板；38、第二圆形销；39、第二引导槽轨；3901、平齐段；3902、延伸段；40、收集筒；41、扇形筐；42、第二转动轴；43、第二齿轮；44、配合齿环；45、观察槽；46、透明玻璃。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。

如图1至图12所示的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，包括安装座1，安装座1的顶部固定连接有密封L型管道2，密封L型管道2的一侧设置有连通L型管道3，连通L型管道3的两端分别固定连通在密封L型管道2的水平段和垂直段上，密封L型管道2和连通L型管道3之间连接有进气循环机构；

密封L型管道2的垂直段固定连通有扇形壳体4，扇形壳体4的内部滑动连接有第一滑环5，扇形壳体4上固定连接有固定板6，固定板6位于第一滑环5的底部，第一滑环5上沿周向开设有多个第一圆形槽7，第一滑环5顶部的一侧设置有第二滑环8，第二滑环8上沿周向开设有多个第二圆形槽9，第二滑环8的底部设置有挡料板801(如图3和图7所示)，第二圆形槽9的顶部均固定连通有料斗10，第一滑环5和第二滑环8之间连接有同步转动机构；

第一滑环5的底部沿周向开设有多个滑槽11，滑槽11和对应的第一圆形槽7相连通，滑槽11的内部均滑动连接有两个支撑板12，支撑板12上均开设有多个气孔13，支撑板12的底部均固定连接有第一圆形销14，扇形壳体4和固定板6上共同固定连接有两个第一引导槽轨15(如图11和图12所示)，第一引导槽轨15均包括圆弧段1501和展开段1502，第一圆形销14均位于对应的第一引导槽轨15内部；工作时，现有技术在对蚀刻液的回收尾气进行处理时，通常利用活性炭对尾气中的有害物质进行吸附，在吸附处理时，由于尾气中的有害气体成分多样，从而需要采用活性炭、分子筛和硅胶等多种吸附剂进行对应净化，传统的吸附处理过程通常是在吸附剂吸附饱和后人工进行替换，在替换过程中需要进行停机，从而降低了蚀刻液回收尾气的处理效率，并且对回收尾气的连续处理造成影响；本技术方案能够解决以上问题，具体的工作方式如下：通过进气循环机构的作用将蚀刻液的回收尾气导入密封L型管道2的内部，并沿着密封L型管道2和连通L型管道3的内部不断循环流动，通过相邻的两个支撑板12对第一圆形槽7的底部进行支撑，并在第一圆形槽7的内部填充对应的吸附剂，回收尾气在流动的过程中沿着扇形壳体4和第一滑环5的滑动连接处向对应的第一圆形槽7内部移动，从而沿着支撑板12上的气孔13进入第一圆形槽7内部，并通过与填充的吸附剂进行接触，从而对回收尾气中对应的有害物质进行吸附，接着通过同步转动机构的作用使第一滑环5和第二滑环8进行同步转动，从而使下一个第一圆形槽7转动进入扇形壳体4的内部，并通过下一个第一圆形槽7中的另一种吸附剂继续对回收尾气进行吸附处理，同时废弃的吸附剂沿着扇形壳体4转动至外部，对应的支撑板12在转动的过程中，沿着第一引导槽轨15的圆弧段1501移动到展开段1502中，从而使两个支撑板12沿着滑槽11滑动并解除对第一圆形槽7底部的支撑，使废弃的吸附剂从第一圆形槽7底部掉落，完成废弃吸附剂的自动上料，并通过第一滑环5和第二滑环8的同步转动，使第一圆形槽7和第二圆形槽9依次进行连通并间歇停止，从而使料斗10中的吸附剂在重力作用下沿着第二圆形槽9自动填充至第一圆形槽7中，完成吸附剂的自动上料，通过挡料板801对第二圆形槽9底部进行遮挡，挡料板801和第一滑环5侧面滑动贴合，通过第一滑环5和第二滑环8的同步转动以及扇形壳体4对第一滑环5的滑动连接，使不同种类的吸附剂不断对循环流动的回收尾气进行吸附处理，提高吸附剂替换的自动化程度，并且在吸附剂替换的过程中无需进行停机操作并且能够保证回收尾气的密封，有效的提高蚀刻液回收尾气的处理效率，并有利于回收尾气的连续处理。

作为本发明的进一步实施方案，进气循环机构包括进气管16和排气管17，进气管16固定连通在密封L型管道2水平段的一端，排气管17固定连通在连通L型管道3的垂直段上，进气管16和排气管17上均固定安装有电控阀18，密封L型管道2和连通L型管道3上均固定安装有单向阀19，两个单向阀19分别位于进气管16的一侧和排气管17的下方，密封L型管道2和连通L型管道3上均固定连通有导流扇20；工作时，将回收尾气沿着进气管16泵送至密封L型管道2的内部，并通过两个导流扇20的导流作用，使回收尾气沿着密封L型管道2的水平段向密封L型管道2的垂直段移动，并沿着密封L型管道2的垂直段向连通L型管道3的水平段移动，然后沿着连通L型管道3的水平段向连通L型管道3的垂直段移动，从而使回收尾气进行单向循环，通过密封L型管道2上的单向阀19防止回收尾气向进气管16方向流动，并且在回收尾气处理结束后，同步打开进气管16和排气管17上的电控阀18并向进气管16内部继续泵送回收尾气，通过进气管16中进入的回收尾气将处理后的回收尾气沿着排气管17排出，并通过连通L型管道3上的单向阀19防止新进入的回收尾气直接向密封L型管道2上垂直段移动，当处理后的回收尾气从排气管17中完全排出后，进气管16和排气管17上的电控阀18同步关闭，并通过导流扇20的导流作用进行新一轮的单向循环。

作为本发明的进一步实施方案，连通L型管道3的垂直段上固定安装有多个气体监测器21，气体监测器21均位于排气管17的顶部；工作时，通过多个气体监测器21对回收尾气中对应的有害物质含量进行监测，当气体监测器21监测到对应的有害物质含量低于标准值后，第一滑环5转动从而对吸附剂进行更换，当有的气体监测器21数值均低于标准值后，气体监测器21上连接的控制器控制进气管16和排气管17上的电控阀18同步打开从而进行回收气体的更换，并且在新进入的回收尾气经过气体监测器21时，所有气体监测器21均监测到数值升高，并通过气体监测器21上连接的控制器控制进气管16和排气管17上的电控阀18同步关闭，从而完成气体的替换并进行下一轮回收尾气的吸附处理。

作为本发明的进一步实施方案，同步转动机构包括滑动支架22，滑动支架22固定连接在安装座1的顶部，第二滑环8滑动连接在滑动支架22上，挡料板801固定连接在滑动支架22上，第一滑环5和第二滑环8的侧面均开设有弧形槽23，弧形槽23的内部均固定连接有外齿环24，安装座1的顶部转动连接有第一转动轴25，第一转动轴25上固定连接有两个第一齿轮26，两个第一齿轮26分别和对应的外齿环24相啮合，安装座1的底部固定安装有第一电机27，第一电机27的输出轴贯穿安装座1且固定连接在第一转动轴25的底部；工作时，两个第一齿轮26的规格相同并且两个外齿环24的规格相同，通过第一电机27的输出轴转动带动第一转动轴25进行转动，从而使第一转动轴25上的两个第一齿轮26同步转动，并通过第一齿轮26和对应的外齿环24啮合，使第一滑环5和第二滑环8分别沿着扇形壳体4和滑动支架22的滑动连接处进行同向转动。

作为本发明的进一步实施方案，第一圆形槽7内部的内部均转动连接有连接轴28，连接轴28的表面固定连接有多个拨料板29，连接轴28的一端均贯穿第一滑环5且延伸至第一滑环5的内部后固定连接有圆形盘30，固定板6的顶部固定连接有限位环31，限位环31靠近扇形壳体4的一侧开设有弧形缺口32，弧形缺口32的内部设置有转动条33，固定板6上固定安装有第二电机34，第二电机34的输出轴固定连接在转动条33上，扇形壳体4的内侧开设有条形槽35，其中一个圆形盘30滑动连接在转动条33上，剩余的圆形盘30滑动连接在限位环31上；工作时，通过限位环31对圆形盘30进行滑动限位，当第一滑环5转动时多个连接轴28同步转动，圆形盘30沿着限位环31的滑动连接处进行移动，并通过条形槽35对连接轴28进行移动让位，当对应的第一圆形槽7和连接轴28进入扇形壳体4内部后，对应的圆形盘30从限位环31移动到转动条33上，通过第二电机34的输出轴转动带动转动条33在弧形缺口32内部转动，从而使圆形盘30带动连接轴28进行转动，使连接轴28上的拨料板29对第一圆形槽7内部的吸附剂进行旋转拨动，提高吸附剂和回收尾气之间的接触效率，并且在第一滑环5继续进行转动之前，第二电机34的输出轴带动转动条33返回初始位置，从而使圆形盘30从转动条33移动到限位环31上。

作为本发明的进一步实施方案，扇形壳体4和密封L型管道2上方的固定连通处固定连接有圆形滤板36，圆形滤板36位于第一滑环5的顶部；工作时，通过在扇形壳体4和密封L型管道2上方的固定连通处设置圆形滤板36，对吸附剂进行阻挡，防止吸附剂在导流作用以及拨料板29的拨动下进入密封L型管道2内部。

作为本发明的进一步实施方案，第一滑环5的内部沿周向设置有多个填充板37，填充板37的一端均贯穿第一滑环5且延伸至对应的第一圆形槽7内部，填充板37的一端和第一圆形槽7的内壁相平齐，填充板37位于对应的支撑板12顶部，填充板37位于第一滑环5内部的一端均固定连接有第二圆形销38，固定板6的顶部固定连接有第二引导槽轨39(如图10所示)，第二圆形销38的底端均位于第二引导槽轨39内部，第二引导槽轨39包括平齐段3901和延伸段3902，延伸段3902靠近第二滑环8；工作时，当第二圆形销38沿着第二引导槽轨39的平齐段3901移动时，填充板37的一端和对应的第一圆形槽7内壁相平齐，当第一圆形槽7和对应的第二圆形槽9转动连通时，第二圆形销38从平齐段3901向延伸段3902中移动，并且使填充板37的一端向第一圆形槽7内部移动，从而使吸附剂沿着第二圆形槽9向第一圆形槽7内部填充时，填充板37的一端在第一圆形槽7内部占用一定空间，当第一圆形槽7和对应的第二圆形槽9转动脱离时，第二圆形销38从延伸段3902移动到平齐段3901中，从而使填充板37的一端从第一圆形槽7内部退出，并且解除对空间的占用，通过填充板37的移动防止第一圆形槽7内部的吸附剂填充过于饱和，保证拨料板29的转动能够使吸附剂进行相对移动。

作为本发明的进一步实施方案，安装座1的顶部转动连接有收集筒40，收集筒40的内部滑动插接有多个扇形筐41，收集筒40位于第一引导槽轨15的展开段1502一侧下方，收集筒40上连接有配合转动机构；工作时，通过收集筒40内部的多个扇形筐41对使用后的吸附剂进行收集，当两个支撑板12沿着滑槽11滑动并解除对第一圆形槽7底部的支撑时，第一圆形槽7内部的吸附剂落入对应的扇形筐41中，并通过收集筒40的配合转动，使多个扇形筐41分别对不同种类的吸附剂进行分类收集，提高吸附剂处理的便捷程度。

作为本发明的进一步实施方案，配合转动机构包括第二转动轴42，第二转动轴42转动连接在安装座1的顶部，第二转动轴42上固定连接有两个第二齿轮43，收集筒40的侧面固定连接有配合齿环44，配合齿环44以及第一滑环5侧面的外齿环24分别和两个第二齿轮43相啮合；工作时，两个第二齿轮43的规格相同，配合齿环44和外齿环24的规格相同，通过外齿环24的转动带动对应的第二齿轮43转动，从而使第二转动轴42转动，第二转动轴42上的另一个第二齿轮43通过啮合作用带动配合齿环44转动，从而使收集筒40和第一滑环5同步转动。

作为本发明的进一步实施方案，料斗10的表面开设有观察槽45，观察槽45的内部固定连接有透明玻璃46；通过在料斗10上安装透明玻璃46，便于工作人员观察料斗10内部的吸附剂余量，从而对吸附剂进行及时添加。

本发明工作原理：

通过进气循环机构的作用将蚀刻液的回收尾气导入密封L型管道2的内部，并沿着密封L型管道2和连通L型管道3的内部不断循环流动，通过相邻的两个支撑板12对第一圆形槽7的底部进行支撑，并在第一圆形槽7的内部填充对应的吸附剂，回收尾气在流动的过程中沿着扇形壳体4和第一滑环5的滑动连接处向对应的第一圆形槽7内部移动，从而沿着支撑板12上的气孔13进入第一圆形槽7内部，并通过与填充的吸附剂进行接触，从而对回收尾气中对应的有害物质进行吸附，接着通过同步转动机构的作用使第一滑环5和第二滑环8进行同步转动，从而使下一个第一圆形槽7转动进入扇形壳体4的内部，并通过下一个第一圆形槽7中的另一种吸附剂继续对回收尾气进行吸附处理，同时废弃的吸附剂沿着扇形壳体4转动至外部，对应的支撑板12在转动的过程中，沿着第一引导槽轨15的圆弧段1501移动到展开段1502中，从而使两个支撑板12沿着滑槽11滑动并解除对第一圆形槽7底部的支撑，使废弃的吸附剂从第一圆形槽7底部掉落，完成废弃吸附剂的自动上料，并通过第一滑环5和第二滑环8的同步转动，使第一圆形槽7和第二圆形槽9依次进行连通并间歇停止，从而使料斗10中的吸附剂在重力作用下沿着第二圆形槽9自动填充至第一圆形槽7中，完成吸附剂的自动上料，通过挡料板801对第二圆形槽9底部进行遮挡，挡料板801和第一滑环5侧面滑动贴合，通过第一滑环5和第二滑环8的同步转动以及扇形壳体4对第一滑环5的滑动连接，使不同种类的吸附剂不断对循环流动的回收尾气进行吸附处理，提高吸附剂替换的自动化程度，并且在吸附剂替换的过程中无需进行停机操作并且能够保证回收尾气的密封，有效的提高蚀刻液回收尾气的处理效率，并有利于回收尾气的连续处理。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内，本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (8)

1.一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，包括安装座，其特征在于，安装座的顶部固定连接有密封L型管道，密封L型管道的一侧设置有连通L型管道，连通L型管道的两端分别固定连通在密封L型管道的水平段和垂直段上，密封L型管道和连通L型管道之间连接有进气循环机构；

密封L型管道的垂直段固定连通有扇形壳体，扇形壳体的内部滑动连接有第一滑环，扇形壳体上固定连接有固定板，固定板位于第一滑环的底部，第一滑环上沿周向开设有多个第一圆形槽，第一滑环顶部的一侧设置有第二滑环，第二滑环上沿周向开设有多个第二圆形槽，第二滑环的底部设置有挡料板，第二圆形槽的顶部均固定连通有料斗，第一滑环和第二滑环之间连接有同步转动机构；

第一滑环的底部沿周向开设有多个滑槽，滑槽和对应的第一圆形槽相连通，滑槽的内部均滑动连接有两个支撑板，支撑板上均开设有多个气孔，支撑板的底部均固定连接有第一圆形销，扇形壳体和固定板上共同固定连接有两个第一引导槽轨，第一引导槽轨均包括圆弧段和展开段，第一圆形销均位于对应的第一引导槽轨内部；

第一圆形槽的内部均转动连接有连接轴，连接轴的表面固定连接有多个拨料板，连接轴的一端均贯穿第一滑环且延伸至第一滑环的内部后固定连接有圆形盘，固定板的顶部固定连接有限位环，限位环靠近扇形壳体的一侧开设有弧形缺口，弧形缺口的内部设置有转动条，固定板上固定安装有第二电机，第二电机的输出轴固定连接在转动条上，扇形壳体的内侧开设有条形槽，其中一个圆形盘滑动连接在转动条上，剩余的圆形盘滑动连接在限位环上；

第一滑环的内部沿周向设置有多个填充板，填充板的一端均贯穿第一滑环且延伸至对应的第一圆形槽内部，填充板的一端和第一圆形槽的内壁相平齐，填充板位于对应的支撑板顶部，填充板位于第一滑环内部的一端均固定连接有第二圆形销，固定板的顶部固定连接有第二引导槽轨，第二圆形销的底端均位于第二引导槽轨内部，第二引导槽轨包括平齐段和延伸段，延伸段靠近第二滑环。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，进气循环机构包括进气管和排气管，进气管固定连通在密封L型管道水平段的一端，排气管固定连通在连通L型管道的垂直段上，进气管和排气管上均固定安装有电控阀，密封L型管道和连通L型管道上均固定安装有单向阀，两个单向阀分别位于进气管的一侧和排气管的下方，密封L型管道和连通L型管道上均固定连通有导流扇。

3.根据权利要求2所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，连通L型管道的垂直段上固定安装有多个气体监测器，气体监测器均位于排气管的顶部。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，同步转动机构包括滑动支架，滑动支架固定连接在安装座的顶部，第二滑环滑动连接在滑动支架上，挡料板固定连接在滑动支架上，第一滑环和第二滑环的侧面均开设有弧形槽，弧形槽的内部均固定连接有外齿环，安装座的顶部转动连接有第一转动轴，第一转动轴上固定连接有两个第一齿轮，两个第一齿轮分别和对应的外齿环相啮合，安装座的底部固定安装有第一电机，第一电机的输出轴贯穿安装座且固定连接在第一转动轴的底部。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，扇形壳体和密封L型管道上方的固定连通处固定连接有圆形滤板，圆形滤板位于第一滑环的顶部。

6.根据权利要求4所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，安装座的顶部转动连接有收集筒，收集筒的内部滑动插接有多个扇形筐，收集筒位于第一引导槽轨的展开段一侧下方，收集筒上连接有配合转动机构。

7.根据权利要求6所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，配合转动机构包括第二转动轴，第二转动轴转动连接在安装座的顶部，第二转动轴上固定连接有两个第二齿轮，收集筒的侧面固定连接有配合齿环，配合齿环以及第一滑环侧面的外齿环分别和两个第二齿轮相啮合。

8.根据权利要求1所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，料斗的表面开设有观察槽，观察槽的内部固定连接有透明玻璃。