CN118910576B - 一种多室连续光学镀膜机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多室连续光学镀膜机，属于光学镀膜技术领域，解决了现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作，同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定，从而使得薄膜厚度和均匀性无法保证的问题，包括：镀膜机体、基材承托机构、连续送料组件、光学镀膜组件，镀膜机体包括外壳体、镀膜机座、观察窗，外壳体内依次设置有基材净化腔以及光学镀膜腔；本发明实施例中，设置有基材承托机构，基材承托机构由角度调节电机、基材承托盘、基材限位部以及联动调节部组件，联动调节部的设置能够在基材承托盘运动时带动联动调节部运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件同步镀膜作业，保证了镀膜的厚度和均匀性。

Description

一种多室连续光学镀膜机

技术领域

本发明属于光学镀膜技术领域，具体涉及一种多室连续光学镀膜机。

背景技术

光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层金属薄膜的工艺过程，在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求，而光学镀膜机是一种用于信息科学与系统科学、物理学领域的工艺试验仪器，主要用于实现多层光学薄膜的精确制备。光学镀膜机在现代科技发展中扮演着重要角色。它不仅在光学元件的制造过程中提供关键支持，还在各种高科技领域如激光技术、光通信和空间技术中发挥着不可替代的作用。

中国专利CN117802472A公开了一种光学镀膜加工用的工装夹具，包括夹板、电机和正反丝杆，所述电机的一侧固定安装有正反丝杆，所述正反丝杆的外壁设置有动力机构，所述正反丝杆的一侧设置有抬升机构，所述正反丝杆的两侧转动在夹板内，所述夹板的一端开设有槽，但是现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作，同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定，从而使得薄膜的厚度和均匀性无法保证，针对上述问题，我们提出了一种多室连续光学镀膜机。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种多室连续光学镀膜机，解决了现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作，同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定，从而使得薄膜厚度和均匀性无法保证的问题。

现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作，同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定，从而使得薄膜的厚度和均匀性无法保证。针对上述问题，我们提出了多室连续光学镀膜机，简而言之，所述多室连续光学镀膜机包括镀膜机体、基材承托机构、连续送料组件以及光学镀膜组件，镀膜机体包括外壳体、镀膜机座、观察窗，所述外壳体固定安装在镀膜机座上，外壳体内依次设置有基材净化腔以及光学镀膜腔，而基材承托机构包括角度调节电机、基材承托盘、基材限位部以及联动调节部。在工作时，将待镀膜的基材放置在基材限位部上，然后开启所述连续送料组件，连续送料组件启动将基材限位部、基材承托盘以及基材送入光学镀膜腔内，然后开启所述角度调节电机以及光学镀膜组件，角度调节电机启动能够带动基材承托盘转动，同时基材承托盘转动能够带动联动调节部运动，使得联动调节部带动光学镀膜组件同步运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件同步镀膜作业。本发明实施例中，设置有基材承托机构，基材承托机构由角度调节电机、基材承托盘、基材限位部以及联动调节部组件，基材限位部的设置实现了对不同规格基材的夹持固定，同时夹持范围灵活可调，保证了基材镀膜的顺利进行，而联动调节部的设置能够在基材承托盘运动时带动联动调节部运动，使得联动调节部带动光学镀膜组件同步运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件同步镀膜作业，保证了镀膜的厚度和均匀性。

本发明是这样实现的，一种多室连续光学镀膜机，所述多室连续光学镀膜机包括：

镀膜机体，所述镀膜机体包括外壳体、镀膜机座、观察窗，所述外壳体固定安装在镀膜机座上，外壳体的侧壁安装有观察窗，外壳体的一侧设置有进料口，外壳体内依次设置有基材净化腔以及光学镀膜腔；

基材承托机构，所述基材承托机构用于承托并固定不同规格的光学镀膜基材；

连续送料组件，所述连续送料组件设置在所述外壳体内，且连续送料组件贯穿所述基材净化腔以及光学镀膜腔，并与所述基材承托机构连接；

光学镀膜组件，所述光学镀膜组件设置在所述光学镀膜腔内，光学镀膜组件用于对基材进行光学镀膜；

其中，所述基材承托机构包括：

角度调节电机，所述角度调节电机与连续送料组件连接；

与角度调节电机固定连接的基材承托盘；

基材限位部，所述基材限位部设置在所述基材承托盘内，且基材限位部用于对基材进行限位锁定；

联动调节部，所述联动调节部设置在所述光学镀膜腔内，且联动调节部分别与基材承托盘以及光学镀膜组件连接，联动调节部用于调节所述光学镀膜组件的镀膜位置。

优选地，所述连续送料组件包括：

送料电机，所述送料电机固定安装在所述镀膜基座上；

与送料电机输出端固定连接的送料螺杆，所述送料螺杆远离所述送料电机的一端延伸至基材净化腔以及光学镀膜腔内，并与外壳体的侧壁转动连接；

滑动送料座，所述滑动送料座螺纹套设在所述送料螺杆的外壁，且滑动送料座与角度调节电机固定连接；

至少一组送料导向槽，所述送料导向槽开设在所述外壳体的底部，且送料导向槽与滑动送料座之间滑动连接。

优选地，所述镀膜机体还包括：

原料储存罐，所述原料储存罐固定安装在所述外壳体的上表面，原料储存罐用于向光学镀膜组件供应镀膜材料；

镀膜控制器，所述镀膜控制器可拆卸安装在所述外壳体的上表面，且镀膜控制器分别与所述送料电机以及角度调节电机电性连接。

优选地，所述基材限位部包括：

限位电机，所述限位电机固定安装在所述基材承托盘内；

与限位电机输出端固定连接的限位齿盘，所述限位齿盘转动设置在所述基材承托盘内；

至少一组第一齿轮，所述第一齿轮转动安装在基材承托盘上，第一齿轮与限位齿盘之间啮合传动。

优选地，所述基材限位部还包括：

限位螺杆，所述限位螺杆与第一齿轮的一端固定连接；

螺纹套设在所述限位螺杆外壁上的承托螺纹座，所述承托螺纹座的底部设置有承托定位座，承托定位座固定安装在基材承托盘上，承托定位座与承托螺纹座之间滑动连接；

基材限位板，所述基材限位板可拆卸安装在所述承托螺纹座上，基材限位板用于夹持锁定不同规格的基材。

优选地，所述联动调节部包括：

联动齿圈，所述联动齿圈固定套设在所述基材承托盘的外壁；

第二齿轮，所述第二齿轮设置在联动齿圈的一侧，且第二齿轮与所述联动齿圈之间啮合传动；

齿轮连杆，所述齿轮连杆固定安装在所述第二齿轮的上表面，且齿轮连杆与外壳体的侧壁转动连接。

优选地，所述联动调节部还包括：

第三齿轮，所述第三齿轮与齿轮连杆的端部固定连接；

联动齿座，所述联动齿座套设在所述第三齿轮的外部，且联动齿座与所述第三齿轮之间啮合传动，联动齿座与光学镀膜组件可拆卸连接；

齿座导向板，所述齿座导向板固定安装在所述外壳体的侧壁上，齿座导向板与联动齿座滑动连接。

优选地，所述光学镀膜组件包括：

镀膜送料管，所述镀膜送料管设置在所述光学镀膜腔内，镀膜送料管的一端与原料储存罐连通；

蒸镀成膜座，所述蒸镀成膜座与镀膜送料管连通，且蒸镀成膜座用于将镀膜材料加热到蒸发温度，且蒸镀成膜座内置加热电阻丝、电子枪蒸发器，蒸镀成膜座还与联动齿座之间可拆卸连接；

至少一组磁控溅射管，所述磁控溅射管可拆卸安装在蒸镀成膜座的底部。

优选地，还包括：

基材吹扫组件，所述基材吹扫组件设置在基材净化腔内，基材吹扫组件用于对基材表面进行净化吹扫；

其中，所述基材吹扫组件包括：

吹扫承托座，所述吹扫承托座固定安装在所述基材净化腔内；

吹扫电机，所述吹扫电机固定安装在所述吹扫承托座的上表面；

吹扫联动部，所述吹扫联动部设置在所述吹扫承托座内；

与吹扫联动部连接的基材吹扫部，所述基材吹扫部包括吹扫风机以及至少一组吹扫负压管，所述吹扫负压管固定安装在吹扫风机的下表面，且吹扫负压管与所述吹扫风机导通。

优选地，所述吹扫联动部包括：

内齿圈，所述内齿圈固定安装在所述吹扫承托座内；

联动摆臂，所述联动摆臂设置在吹扫承托座内，联动摆臂的一端与吹扫电机的输出端固定连接；

第四齿轮，所述第四齿轮转动安装在联动摆臂的端部，第四齿轮与所述内齿圈之间啮合传动，且第四齿轮与吹扫风机之间可拆卸连接。

与现有技术相比，本申请实施例主要有以下有益效果：

本发明实施例中，设置有基材承托机构，基材承托机构由角度调节电机、基材承托盘、基材限位部以及联动调节部组件，基材限位部的设置实现了对不同规格基材的夹持固定，同时夹持范围灵活可调，保证了基材镀膜的顺利进行，而联动调节部的设置能够在基材承托盘运动时带动联动调节部运动，使得联动调节部带动光学镀膜组件同步运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件同步镀膜作业，保证了镀膜的厚度和均匀性。

本发明实施例中，设置有联动调节部，联动调节部由联动齿圈、第二齿轮、第三齿轮以及联动齿座组成，联动齿圈、第二齿轮、第三齿轮以及联动齿座联动配合实现了带动联动齿座在光学镀膜腔内往复移动，从而实现了带动光学镀膜组件往复运动，提高了镀膜的效率和膜体的均匀性。

本发明实施例中，设置有基材吹扫组件，基材吹扫组件的设置方便了对基材表面的灰尘和杂质吹扫干净，从而避免灰尘和杂质影响对基材表面的镀膜作业，基材吹扫组件的吹扫范围同时可以灵活的调节，进而能够适应不同规格的基材吹扫工作。

附图说明

图1是本发明提供的多室连续光学镀膜机的结构示意图。

图2是本发明提供的多室连续光学镀膜机的主视图。

图3是本发明提供的多室连续光学镀膜机的俯视图。

图4是图3的A-A向剖视图。

图5是本发明提供的多室连续光学镀膜机的内部结构示意图。

图6是本发明提供的多室连续光学镀膜机的内部三维结构示意图。

图7是本发明提供的基材承托机构的结构示意图。

图8是本发明提供的基材承托机构的主视图。

图9是本发明提供的基材承托机构的俯视图。

图10是本发明提供的基材限位部的结构示意图。

图11是本发明提供的基材限位部的轴测图。

图12是本发明提供的基材吹扫组件的结构示意图。

图中：1-镀膜机体、11-外壳体、111-进料口、112-基材净化腔、113-光学镀膜腔、12-镀膜机座、13-原料储存罐、14-观察窗、15-镀膜控制器、2-光学镀膜组件、21-镀膜送料管、22-蒸镀成膜座、23-磁控溅射管、3-基材承托机构、31-角度调节电机、32-基材承托盘、33-基材限位部、331-承托定位座、332-限位齿盘、333-第一齿轮、334-限位螺杆、335-承托螺纹座、336-基材限位板、34-联动调节部、341-联动齿圈、342-第二齿轮、343-齿轮连杆、344-第三齿轮、345-联动齿座、346-齿座导向板、4-连续送料组件、41-送料电机、42-送料螺杆、43-滑动送料座、44-送料导向槽、5-基材吹扫组件、51-吹扫电机、52-吹扫承托座、53-吹扫联动部、531-联动摆臂、532-第四齿轮、533-内齿圈、54-基材吹扫部、541-吹扫风机、542-吹扫负压管。

具体实施方式

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文中在申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。本申请的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。

现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作，同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定，从而使得薄膜的厚度和均匀性无法保证。针对上述问题，我们提出了多室连续光学镀膜机，简而言之，所述多室连续光学镀膜机包括镀膜机体1、基材承托机构3、连续送料组件4以及光学镀膜组件2，镀膜机体1包括外壳体11、镀膜机座12、观察窗14，所述外壳体11固定安装在镀膜机座12上，外壳体11内依次设置有基材净化腔112以及光学镀膜腔113，而基材承托机构3包括角度调节电机31、基材承托盘32、基材限位部33以及联动调节部34。在工作时，将待镀膜的基材放置在基材限位部33上，然后开启所述连续送料组件4，连续送料组件4启动将基材限位部33、基材承托盘32以及基材送入光学镀膜腔113内，然后开启所述角度调节电机31以及光学镀膜组件2，角度调节电机31启动能够带动基材承托盘32转动，同时基材承托盘32转动能够带动联动调节部34运动，使得联动调节部34带动光学镀膜组件2同步运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件2同步镀膜作业。本发明实施例中，设置有基材承托机构3，基材承托机构3由角度调节电机31、基材承托盘32、基材限位部33以及联动调节部34组件，基材限位部33的设置实现了对不同规格基材的夹持固定，同时夹持范围灵活可调，保证了基材镀膜的顺利进行，而联动调节部34的设置能够在基材承托盘32运动时带动联动调节部34运动，使得联动调节部34带动光学镀膜组件2同步运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件2同步镀膜作业，保证了镀膜的厚度和均匀性。

需要说明的是，本实施例中光学镀膜基材可以为透镜、反射镜、合金材料、塑料以及晶体，而基材的形状可以为矩形、圆形或不规则形状。

本发明实施例提供了一种多室连续光学镀膜机，如图1-图4所示，所述多室连续光学镀膜机包括：

镀膜机体1，所述镀膜机体1包括外壳体11、镀膜机座12、观察窗14，所述外壳体11固定安装在镀膜机座12上，外壳体11的侧壁安装有观察窗14，外壳体11的一侧设置有进料口111，外壳体11内依次设置有基材净化腔112以及光学镀膜腔113；

在本实施例中，所述外壳体11采用耐高温的合金材质，外壳体11可以为内部中空的矩形座或圆座，基材净化腔112与光学镀膜腔113之间设置有启闭阀门，外壳体11的底部采用焊接或铆接的方式固定安装在镀膜基座上，观察窗14可以为圆形或矩形结构。

基材承托机构3，所述基材承托机构3用于承托并固定不同规格的光学镀膜基材；

连续送料组件4，如图5-图6所示，所述连续送料组件4设置在所述外壳体11内，且连续送料组件4贯穿所述基材净化腔112以及光学镀膜腔113，并与所述基材承托机构3连接；

光学镀膜组件2，所述光学镀膜组件2设置在所述光学镀膜腔113内，光学镀膜组件2用于对基材进行光学镀膜；

其中，如图7-图9所示，所述基材承托机构3包括：

角度调节电机31，所述角度调节电机31与连续送料组件4连接，所述角度调节电机31可以为伺服电机；

与角度调节电机31固定连接的基材承托盘32，所述基材承托盘32可以为内部中空的矩形盘或圆盘结构；

基材限位部33，所述基材限位部33设置在所述基材承托盘32内，且基材限位部33用于对基材进行限位锁定；

联动调节部34，所述联动调节部34设置在所述光学镀膜腔113内，且联动调节部34分别与基材承托盘32以及光学镀膜组件2连接，联动调节部34用于调节所述光学镀膜组件2的镀膜位置。

在本实施例中，在工作时，将待镀膜的基材放置在基材限位部33上，然后开启所述连续送料组件4，连续送料组件4启动将基材限位部33、基材承托盘32以及基材送入光学镀膜腔113内，然后开启所述角度调节电机31以及光学镀膜组件2，角度调节电机31启动能够带动基材承托盘32转动，同时基材承托盘32转动能够带动联动调节部34运动，使得联动调节部34带动光学镀膜组件2同步运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件2同步镀膜作业。

本发明实施例中，设置有基材承托机构3，基材承托机构3由角度调节电机31、基材承托盘32、基材限位部33以及联动调节部34组件，基材限位部33的设置实现了对不同规格基材的夹持固定，同时夹持范围灵活可调，保证了基材镀膜的顺利进行，而联动调节部34的设置能够在基材承托盘32运动时带动联动调节部34运动，使得联动调节部34带动光学镀膜组件2同步运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件2同步镀膜作业，保证了镀膜的厚度和均匀性。

本发明进一步较佳实施例中，如图5-图6所示，所述连续送料组件4包括：

送料电机41，所述送料电机41固定安装在所述镀膜基座上；

与送料电机41输出端固定连接的送料螺杆42，所述送料螺杆42远离所述送料电机41的一端延伸至基材净化腔112以及光学镀膜腔113内，并与外壳体11的侧壁转动连接；

滑动送料座43，所述滑动送料座43螺纹套设在所述送料螺杆42的外壁，且滑动送料座43与角度调节电机31固定连接；

至少一组送料导向槽44，所述送料导向槽44开设在所述外壳体11的底部，且送料导向槽44与滑动送料座43之间滑动连接。

在本实施例中，所述送料电机41可以为步进电机，且送料电机41电性连接有镀膜控制器15之间电性连接，送料电机41采用卡箍或紧固螺栓固定安装在镀膜基座上，送料电机41的输出端采用插接或过盈配合的方式与送料螺杆42固定连接，送料螺杆42的一端通过轴承与外壳体11的侧壁转动连接，滑动送料座43可以为螺纹座，而送料导向槽44对称设置在外壳体11的底部，送料导向槽44可以为矩形槽。

在工作时，开启所述送料电机41，送料电机41启动能够带动送料螺杆42转动，从而使得送料螺杆42带动所述滑动送料座43沿所述送料导向槽44滑动，实现了对基材承托机构3位置的调节。

本发明进一步较佳实施例中，如图1-图2所示，所述镀膜机体1还包括：

原料储存罐13，所述原料储存罐13固定安装在所述外壳体11的上表面，原料储存罐13用于向光学镀膜组件2供应镀膜材料；

镀膜控制器15，所述镀膜控制器15可拆卸安装在所述外壳体11的上表面，且镀膜控制器15分别与所述送料电机41以及角度调节电机31电性连接。

在本实施例中，所述原料储存罐13可以为内部中空的矩形座或圆座结构，原料储存罐13的底部通过卡扣或紧固螺栓固定安装在外壳体11的上表面，原料储存罐13内存放有合金材料、氧化物类材料、氟化物类材料，所述镀膜控制器15可以为PLC控制器。

本发明进一步较佳实施例中，如图10-图11所示，所述基材限位部33包括：

限位电机，所述限位电机固定安装在所述基材承托盘32内，所述限位电机与镀膜控制器15之间电性连接，且限位电机采用卡箍或卡扣安装在基材承托盘32内；

与限位电机输出端固定连接的限位齿盘332，所述限位齿盘332转动设置在所述基材承托盘32内，所述限位齿盘332的底部采用插接或铆接的方式与限位电机的输出端固定连接；

至少一组第一齿轮333，所述第一齿轮333转动安装在基材承托盘32上，第一齿轮333与限位齿盘332之间啮合传动。

在本实施例中，所述第一齿轮333的数量可以为3-6组，且第一齿轮333通过轴承与基材承托盘32转动连接。

限位螺杆334，所述限位螺杆334与第一齿轮333的一端固定连接；

螺纹套设在所述限位螺杆334外壁上的承托螺纹座335，所述承托螺纹座335的底部设置有承托定位座331，承托定位座331固定安装在基材承托盘32上，承托定位座331与承托螺纹座335之间滑动连接；

基材限位板336，所述基材限位板336可拆卸安装在所述承托螺纹座335上，基材限位板336用于夹持锁定不同规格的基材。

在本实施例中，所述限位螺杆334的一端采用插接或铆接的方式与第一齿轮333固定连接，限位螺杆334的另一端螺纹套设有承托螺纹座335，所述基材限位板336采用卡扣或螺栓固定安装在承托螺纹座335上。

在工作时，开启所述限位电机，限位电机启动能够带动限位齿盘332转动，从而使得限位齿盘332带动第一齿轮333转动，第一齿轮333转动能够带动限位螺杆334转动，进而使得限位螺杆334带动承托螺纹座335以及基材限位板336移动，从而使得基材限位板336对不同规格的基材进行承托夹持。

本发明进一步较佳实施例中，如图7-图9所示，所述联动调节部34包括：

联动齿圈341，所述联动齿圈341固定套设在所述基材承托盘32的外壁，所述联动齿圈341采用插接或铆接的方式固定安装在基材承托盘32的外壁；

第二齿轮342，所述第二齿轮342设置在联动齿圈341的一侧，且第二齿轮342与所述联动齿圈341之间啮合传动；

齿轮连杆343，所述齿轮连杆343固定安装在所述第二齿轮342的上表面，且齿轮连杆343与外壳体11的侧壁转动连接。

第三齿轮344，所述第三齿轮344与齿轮连杆343的端部固定连接。

所述第二齿轮342的上表面采用插接或铆接的方式与齿轮连杆343固定连接，齿轮连杆343的侧壁通过轴承与外壳体11的侧壁转动连接，齿轮连杆343的顶部采用插接或焊接的方式与第三齿轮344固定连接，第三齿轮344可以为二分之一或三分之一不完全齿轮。

联动齿座345，所述联动齿座345套设在所述第三齿轮344的外部，且联动齿座345与所述第三齿轮344之间啮合传动，联动齿座345与光学镀膜组件2可拆卸连接；

齿座导向板346，所述齿座导向板346固定安装在所述外壳体11的侧壁上，齿座导向板346与联动齿座345滑动连接。

在本实施例中，所述联动齿座345内部对称设置有两组齿条，且齿座导向板346采用卡扣或紧固螺栓固定安装在外壳体11的侧壁上，齿座导向板346可以为矩形座或“T”形座结构。

本发明实施例中，设置有联动调节部34，联动调节部34由联动齿圈341、第二齿轮342、第三齿轮344以及联动齿座345组成，联动齿圈341、第二齿轮342、第三齿轮344以及联动齿座345联动配合实现了带动联动齿座345在光学镀膜腔113内往复移动，从而实现了带动光学镀膜组件2往复运动，提高了镀膜的效率和膜体的均匀性。

在工作时，当送料螺杆42带动所述滑动送料座43沿所述送料导向槽44滑动，使得基材承托盘32移动至光学镀膜腔113指定位置后，联动齿圈341与第二齿轮342接触并啮合，然后开启所述角度调节电机31，角度调节电机31启动能够带动基材承托盘32转动，基材承托盘32转动能够带动联动齿圈341转动，联动齿圈341转动能够带动第二齿轮342、齿轮连杆343、第三齿轮344转动，使得第三齿轮344带动联动齿座345在光学镀膜腔113内往复移动，从而实现了带动光学镀膜组件2往复运动，提高了镀膜的效率和膜体的均匀性。

本发明进一步较佳实施例中，如图7所示，所述光学镀膜组件2包括：

镀膜送料管21，所述镀膜送料管21设置在所述光学镀膜腔113内，镀膜送料管21的一端与原料储存罐13连通；

蒸镀成膜座22，所述蒸镀成膜座22与镀膜送料管21连通，且蒸镀成膜座22用于将镀膜材料加热到蒸发温度，且蒸镀成膜座22内置加热电阻丝、电子枪蒸发器，蒸镀成膜座22还与联动齿座345之间可拆卸连接；

至少一组磁控溅射管23，所述磁控溅射管23可拆卸安装在蒸镀成膜座22的底部。

在本实施例中，所述镀膜送料管21可以为螺旋管或伸缩管结构，而蒸镀成膜座22的侧壁通过卡扣或紧固螺栓与联动齿座345的侧壁固定连接，磁控溅射管23通过螺纹或卡扣安装在蒸镀成膜座22上，磁控溅射管23的数量可以为2-8组。

本发明进一步较佳实施例中，如图12所示，本发明实施例还包括：

基材吹扫组件5，所述基材吹扫组件5设置在基材净化腔112内，基材吹扫组件5用于对基材表面进行净化吹扫；

本发明实施例中，设置有基材吹扫组件5，基材吹扫组件5的设置方便了对基材表面的灰尘和杂质吹扫干净，从而避免灰尘和杂质影响对基材表面的镀膜作业，基材吹扫组件5的吹扫范围同时可以灵活的调节，进而能够适应不同规格的基材吹扫工作。

其中，所述基材吹扫组件5包括：

吹扫承托座52，所述吹扫承托座52固定安装在所述基材净化腔112内；

吹扫电机51，所述吹扫电机51固定安装在所述吹扫承托座52的上表面；

吹扫联动部53，所述吹扫联动部53设置在所述吹扫承托座52内；

与吹扫联动部53连接的基材吹扫部54，所述基材吹扫部54包括吹扫风机541以及至少一组吹扫负压管542，所述吹扫负压管542固定安装在吹扫风机541的下表面，且吹扫负压管542与所述吹扫风机541导通。

需要说明的是，所述吹扫承托座52可以为内部中空的圆座或圆环，且吹扫承托座52采用卡扣或紧固螺栓与外壳体11的内壁固定连接，吹扫电机51与镀膜控制器15之间电性连接，吹扫电机51采用卡扣或螺栓固定安装在吹扫承托座52的表面，而吹扫风机541可以为负压风机，且吹扫风机541也与镀膜控制器15之间电性连接，吹扫负压管542的数量可以为2-4组。

在本实施例中，所述吹扫联动部53包括：

内齿圈533，所述内齿圈533固定安装在所述吹扫承托座52内；

联动摆臂531，所述联动摆臂531设置在吹扫承托座52内，联动摆臂531的一端与吹扫电机51的输出端固定连接；

第四齿轮532，所述第四齿轮532转动安装在联动摆臂531的端部，第四齿轮532与所述内齿圈533之间啮合传动，且第四齿轮532与吹扫风机541之间可拆卸连接。

需要说明的是，所述内齿圈533采用焊接或铆接的方式固定安装在吹扫承托座52内，联动摆臂531的一端与吹扫电机51的输出端铆接，联动摆臂531的另一端与第四齿轮532通过轴承转动连接，而第四齿轮532通过紧固螺栓或卡扣的方式与吹扫风机541可拆卸连接。

综上所述，本发明提供了一种多室连续光学镀膜机，在工作时，将待镀膜的基材放置在基材限位部33上，然后开启所述连续送料组件4，连续送料组件4启动将基材限位部33、基材承托盘32以及基材送入光学镀膜腔113内，然后开启所述角度调节电机31以及光学镀膜组件2，角度调节电机31启动能够带动基材承托盘32转动，同时基材承托盘32转动能够带动联动调节部34运动，使得联动调节部34带动光学镀膜组件2同步运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件2同步镀膜作业。

本发明实施例中，设置有基材承托机构3，基材承托机构3由角度调节电机31、基材承托盘32、基材限位部33以及联动调节部34组件，基材限位部33的设置实现了对不同规格基材的夹持固定，同时夹持范围灵活可调，保证了基材镀膜的顺利进行，而联动调节部34的设置能够在基材承托盘32运动时带动联动调节部34运动，使得联动调节部34带动光学镀膜组件2同步运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件2同步镀膜作业，保证了镀膜的厚度和均匀性。

需要说明的是，对于前述的各实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可能采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对发明的保护范围进行限制。显然，所描述的实施例仅仅是本发明部分实施例，而不是全部实施例。基于这些实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明所要保护的范围。尽管参照上述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域普通技术人员依然可以在不冲突的情况下，不作出创造性劳动对本发明各实施例中的特征根据情况相互组合、增删或作其他调整，从而得到不同的、本质未脱离本发明的构思的其他技术方案，这些技术方案也同样属于本发明所要保护的范围。

Claims (7)

1.一种多室连续光学镀膜机，所述多室连续光学镀膜机包括：

镀膜机体（1），所述镀膜机体（1）包括外壳体（11）、镀膜机座（12）、观察窗（14），所述外壳体（11）固定安装在镀膜机座（12）上，外壳体（11）的侧壁安装有观察窗（14），外壳体（11）的一侧设置有进料口（111），外壳体（11）内依次设置有基材净化腔（112）以及光学镀膜腔（113）；

基材承托机构（3），其特征在于，所述基材承托机构（3）用于承托并固定不同规格的光学镀膜基材；

连续送料组件（4），所述连续送料组件（4）设置在所述外壳体（11）内，且连续送料组件（4）贯穿所述基材净化腔（112）以及光学镀膜腔（113），并与所述基材承托机构（3）连接；

光学镀膜组件（2），所述光学镀膜组件（2）设置在所述光学镀膜腔（113）内，光学镀膜组件（2）用于对基材进行光学镀膜；

其中，所述基材承托机构（3）包括：

角度调节电机（31），所述角度调节电机（31）与连续送料组件（4）连接；

与角度调节电机（31）固定连接的基材承托盘（32）；

基材限位部（33），所述基材限位部（33）设置在所述基材承托盘（32）内，且基材限位部（33）用于对基材进行限位锁定；

联动调节部（34），所述联动调节部（34）设置在所述光学镀膜腔（113）内，且联动调节部（34）分别与基材承托盘（32）以及光学镀膜组件（2）连接，联动调节部（34）用于调节所述光学镀膜组件（2）的镀膜位置；

基材限位部（33）包括：限位电机、与限位电机输出端固定连接的限位齿盘（332）、至少一组第一齿轮（333）、限位螺杆（334）、螺纹套设在所述限位螺杆（334）外壁上的承托螺纹座（335）、基材限位板（336）；

联动调节部（34）包括：联动齿圈（341）、第二齿轮（342）、齿轮连杆（343）、第三齿轮（344）、联动齿座（345）、齿座导向板（346）；

还包括：基材吹扫组件（5），所述基材吹扫组件（5）设置在基材净化腔（112）内，基材吹扫组件（5）用于对基材表面进行净化吹扫；

所述连续送料组件（4）包括：

送料电机（41），所述送料电机（41）固定安装在所述镀膜基座上；

与送料电机（41）输出端固定连接的送料螺杆（42），所述送料螺杆（42）远离所述送料电机（41）的一端延伸至基材净化腔（112）以及光学镀膜腔（113）内，并与外壳体（11）的侧壁转动连接；

滑动送料座（43），所述滑动送料座（43）螺纹套设在所述送料螺杆（42）的外壁，且滑动送料座（43）与角度调节电机（31）固定连接；

至少一组送料导向槽（44），所述送料导向槽（44）开设在所述外壳体（11）的底部，且送料导向槽（44）与滑动送料座（43）之间滑动连接；

所述基材吹扫组件（5）包括：

吹扫承托座（52），所述吹扫承托座（52）固定安装在所述基材净化腔（112）内；

吹扫电机（51），所述吹扫电机（51）固定安装在所述吹扫承托座（52）的上表面；

吹扫联动部（53），所述吹扫联动部（53）设置在所述吹扫承托座（52）内；

与吹扫联动部（53）连接的基材吹扫部（54），所述基材吹扫部（54）包括吹扫风机（541）以及至少一组吹扫负压管（542），所述吹扫负压管（542）固定安装在吹扫风机（541）的下表面，且吹扫负压管（542）与所述吹扫风机（541）导通；

所述吹扫联动部（53）包括：

内齿圈（533），所述内齿圈（533）固定安装在所述吹扫承托座（52）内；

联动摆臂（531），所述联动摆臂（531）设置在吹扫承托座（52）内，联动摆臂（531）的一端与吹扫电机（51）的输出端固定连接；

第四齿轮（532），所述第四齿轮（532）转动安装在联动摆臂（531）的端部，第四齿轮（532）与所述内齿圈（533）之间啮合传动，且第四齿轮（532）与吹扫风机（541）之间可拆卸连接。

2.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机，其特征在于：所述镀膜机体（1）还包括：

原料储存罐（13），所述原料储存罐（13）固定安装在所述外壳体（11）的上表面，原料储存罐（13）用于向光学镀膜组件（2）供应镀膜材料；

镀膜控制器（15），所述镀膜控制器（15）可拆卸安装在所述外壳体（11）的上表面，且镀膜控制器（15）分别与所述送料电机（41）以及角度调节电机（31）电性连接。

3.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机，其特征在于：所述基材限位部（33）包括：

限位电机，所述限位电机固定安装在所述基材承托盘（32）内；

与限位电机输出端固定连接的限位齿盘（332），所述限位齿盘（332）转动设置在所述基材承托盘（32）内；

至少一组第一齿轮（333），所述第一齿轮（333）转动安装在基材承托盘（32）上，第一齿轮（333）与限位齿盘（332）之间啮合传动。

4.如权利要求3所述的多室连续光学镀膜机，其特征在于：所述基材限位部（33）还包括：

限位螺杆（334），所述限位螺杆（334）与第一齿轮（333）的一端固定连接；

螺纹套设在所述限位螺杆（334）外壁上的承托螺纹座（335），所述承托螺纹座（335）的底部设置有承托定位座（331），承托定位座（331）固定安装在基材承托盘（32）上，承托定位座（331）与承托螺纹座（335）之间滑动连接；

基材限位板（336），所述基材限位板（336）可拆卸安装在所述承托螺纹座（335）上，基材限位板（336）用于夹持锁定不同规格的基材。

5.如权利要求4所述的多室连续光学镀膜机，其特征在于：所述联动调节部（34）包括：

联动齿圈（341），所述联动齿圈（341）固定套设在所述基材承托盘（32）的外壁；

第二齿轮（342），所述第二齿轮（342）设置在联动齿圈（341）的一侧，且第二齿轮（342）与所述联动齿圈（341）之间啮合传动；

齿轮连杆（343），所述齿轮连杆（343）固定安装在所述第二齿轮（342）的上表面，且齿轮连杆（343）与外壳体（11）的侧壁转动连接。

6.如权利要求5所述的多室连续光学镀膜机，其特征在于：所述联动调节部（34）还包括：

第三齿轮（344），所述第三齿轮（344）与齿轮连杆（343）的端部固定连接；

联动齿座（345），所述联动齿座（345）套设在所述第三齿轮（344）的外部，且联动齿座（345）与所述第三齿轮（344）之间啮合传动，联动齿座（345）与光学镀膜组件（2）可拆卸连接；

齿座导向板（346），所述齿座导向板（346）固定安装在所述外壳体（11）的侧壁上，齿座导向板（346）与联动齿座（345）滑动连接。

7.如权利要求1所述的多室连续光学镀膜机，其特征在于：所述光学镀膜组件（2）包括：

镀膜送料管（21），所述镀膜送料管（21）设置在所述光学镀膜腔（113）内，镀膜送料管（21）的一端与原料储存罐（13）连通；

蒸镀成膜座（22），所述蒸镀成膜座（22）与镀膜送料管（21）连通，且蒸镀成膜座（22）用于将镀膜材料加热到蒸发温度，且蒸镀成膜座（22）内置加热电阻丝、电子枪蒸发器，蒸镀成膜座（22）还与联动齿座（345）之间可拆卸连接；

至少一组磁控溅射管（23），所述磁控溅射管（23）可拆卸安装在蒸镀成膜座（22）的底部。