CN118649958A - 一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及多晶硅加工技术领域，且公开了一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，包括支撑组件、连接组件、固定组件、震动组件和调动组件，支撑组件用于支撑连接各个组件，连接组件用于固定连接固定组件、震动组件和调动组件，通过设置连接组件，配合固定组件和震动组件可将硅片上的灰尘清理地更加彻底；通过设置固定组件，便将多晶硅稳定定位夹持；通过设置震动组件，将硅片上的灰尘震动掉落；通过设置调动组件，以调节连接转轴两端的稳定性，便于电机带动连接转轴转动；通过设置连接管和螺旋板，使得连接管中的气流进入螺旋板会加速，便于灰尘的清理收集，防止灰尘在螺旋板中堆积。

Description

一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置

技术领域

本发明涉及多晶硅加工技术领域，具体为一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。目前，现有的多晶硅的加工用灰尘清理结构存在如下问题：不便将多晶硅稳定定位夹持，加工精确度低，难以自动化清理多晶硅表面的灰尘。因此亟需发明一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置来解决上述问题。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置。

为实现上述解决目的，本发明提供如下技术方案：一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，包括支撑组件、连接组件、固定组件、震动组件和调动组件，支撑组件用于支撑连接各个组件，连接组件用于固定连接固定组件、震动组件和调动组件，固定组件用于固定安装硅片，震动组件用于产生震动对硅片进行清尘，调动组件用于清尘过程中对硅片进行动态调节，支撑组件包括有支架、吹风机和电机，吹风机固定安装于支架顶部中间位置，吹风机下方连通连接组件，电机固定安装于支架一侧靠近连接组件的位置。

优选的，连接组件包括有清尘仓、连接管、螺旋板和两个连接转轴，两个连接转轴分别活动安装于清尘仓两侧中间位置，连接管固定安装于清尘仓底部且与清尘仓连通，连接管下方为螺旋板，螺旋板上方和下方均固定安装有一个盖板，连接管与螺旋板相互连通，清尘仓的一侧开设有舱门，舱门用于将清尘仓开关以方便硅片的取用。

优选的，电机活动连接清尘仓一侧的连接转轴的一端，清尘仓另一侧的连接转轴的一端固定安装有稳定块，连接转轴靠近清尘仓外侧的位置活动连接调动组件，连接转轴靠近清尘仓内侧的位置固定连接震动组件，两个连接转轴之间固定连接六个均匀分布的固定组件，震动组件和调动组件之间底部均固定连接有连接支杆，连接支杆底部固定安装于清尘仓上。

优选的，固定组件包括有两个夹板和第二连接杆，两个夹板为圆环型且上部相互靠近的一侧为斜面便于将硅片插入安装，两个夹板靠近的一面为粗糙面便于将硅片固定，夹板的两侧均固定安装有一个第一连接杆，第一连接杆的外侧开设有第一连接孔，第一连接孔中活动连接第二连接杆，第二连接杆的两端均固定安装有第一限位块，第一连接杆与第一限位块之间设有第一弹簧。

优选的，两个夹板的底部均固定安装有一个第三连接杆，第三连接杆下部开设有第二连接孔，第二连接孔的底端为圆弧凸面，两个第二连接孔之间活动安装有一个第四连接杆，第四连接杆的顶端为圆弧凹面且与第二连接孔啮合，第四连接杆的两端均固定安装有一个第二限位块。

优选的，震动组件包括有齿纹环，齿纹环内侧设有齿轮，齿纹环内侧中心位置为连接转轴，连接转轴与齿纹环之间均匀设有六个第五连接杆，第五连接杆靠近齿纹环一端固定安装有震动球，第五连接杆另一端与连接转轴固定连接，当连接转轴转动时会带动第五连接杆和震动球转动，震动球转动会对齿纹环上的齿纹接触并产生震动，从而带动连接转轴震动。

优选的，连接转轴靠近固定组件的一端固定安装有六个第六连接杆，第六连接杆固定连接有第三限位块，第三限位块的两端分布固定连接一个第一限位块，第三限位块与第一连接杆互不接触，连接转轴震动时会通过第六连接杆带动第三限位块震动，第三限位块会通过第一限位块带动第二连接杆震动，第二连接杆会通过第一连接杆带动夹板震动，从而对夹板之间的硅片进行震动除尘。

优选的，调动组件包括有第一连接环和第二连接环，第二连接环位于第一连接环内侧的中心位置，第一连接环上均匀开设有六个圆孔，孔内活动安装有调节活动杆，调节活动杆底部固定安装有调节转轴，第二连接环上均匀开设有六个凹槽，凹槽位置与第一连接环上的圆孔位置一一对应，调节转轴的两端活动安装于凹槽中。

优选的，第一连接环与第二连接环之间设有第二弹簧，第二弹簧套于调节活动杆外侧，第二弹簧的一端固定连接第一连接环内侧，第二弹簧另一端固定连接第二连接环外侧，第二连接环中间与连接转轴活动连接，当连接转轴震动时会带动第二连接环震动，第二连接环震动时会带动调节转轴转动、调节活动杆移动和第二弹簧形变，从而吸收调动组件处的震动动能，以调节连接转轴两端的稳定性。

与现有技术相比，本发明提供了一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，具备以下有益效果：

1、该用于多晶硅加工的灰尘清理装置，通过设置连接组件，通过吹风机对硅片进行吹洗配合固定组件和震动组件可将硅片上的灰尘清理地更加彻底，通过设置连接管和盖板，螺旋板为螺旋型隔板，便于将灰尘随气流导出，防止气流回流，同时连接管的截面面积大于螺旋板的截面面积，则会产生狭管效应，使得连接管中的气流进入螺旋板会加速，便于灰尘的清理收集，防止灰尘在螺旋板中堆积。

2、该用于多晶硅加工的灰尘清理装置，通过设置固定组件，将两个夹板张开，夹板会带动第一连接杆和第三连接杆移动，第一连接杆两端的第一连接孔会顺着第二连接杆移动，第一连接杆移动会压缩第一连接杆与第一限位块之间的第一弹簧，当夹板张开至合适位置可将硅片置于两个夹板之间，此时硅片的底部会接触到第三连接杆之间的第四连接杆，第四连接杆靠近硅片的一面为圆弧面可与硅片贴合，第四连接杆两端的第二限位块会对第三连接杆进行限位，硅片安装好后松开夹板，则第一连接杆与第一限位块之间的第一弹簧会提供给第一连接杆一个力使得第一连接杆带动夹板靠近，从而夹板将硅片夹紧，便将多晶硅稳定定位夹持。

3、该用于多晶硅加工的灰尘清理装置，通过设置震动组件，电机转动会带动连接转轴转动，连接转轴转动时会带动第五连接杆转动，第五连接杆转动时会带动震动球转动，震动球转动时会与齿纹环内侧的齿纹接触并产生震动，震动球产生震动会带动第五连接杆产生震动，第五连接杆产生震动会带动连接转轴产生震动，连接转轴产生震动会带动第六连接杆产生震动，第六连接杆产生震动会带动第三限位块产生震动，第三限位块产生震动会带动第一限位块产生震动，第一限位块产生震动会带动第二连接杆产生震动，第二连接杆产生震动会带动第一连接杆产生震动，第一连接杆产生震动会带动夹板产生震动，夹板产生震动会带动硅片产生震动，从而可将硅片上的灰尘震动掉落。

4、该用于多晶硅加工的灰尘清理装置，通过设置调动组件，当连接转轴震动时会带动第二连接环震动，第二连接环震动时会带动调节转轴在凹槽之间转动，同时第二连接环震动时会带动第二连接环移动，第二连接环移动时会带动调节活动杆移动，此时调节活动杆会在第一连接环上的圆孔处移动，调节活动杆和第二连接环移动时会使得第二连接环和第一连接环之间的第二弹簧产生形变，从而吸收连接转轴靠近清尘仓一端处的震动动能，以调节连接转轴两端的稳定性，便于电机带动连接转轴转动。

5、该用于多晶硅加工的灰尘清理装置，通过设置连接管和螺旋板，启动吹风机，吹风机会在固定组件的上方提供快速气流，并将掉落的灰尘带到连接管中，连接管中的灰尘会随着气流进入螺旋板中并排出收集，当气流进入到盖板中，螺旋板为螺旋型隔板，便于将灰尘随气流导出，防止气流回流，同时连接管的截面面积大于螺旋板的截面面积，则会产生狭管效应，使得连接管中的气流进入螺旋板会加速，便于灰尘的清理收集，防止灰尘在螺旋板中堆积。

附图说明

图1为本发明主体结构示意图；

图2为本发明清尘仓内部结构示意图；

图3为本发明固定组件、震动组件和调动组件连接结构示意图；

图4为本发明固定组件和震动组件结构示意图；

图5为本发明震动组件结构示意图；

图6为本发明固定组件和震动组件结构示意图；

图7为本发明夹板结构示意图；

图8为本发明调动组件结构示意图。

图中：100、支撑组件；101、支架；102、吹风机；103、电机；200、连接组件；201、清尘仓；202、连接管；203、盖板；204、螺旋板；205、舱门；206、连接支杆；207、连接转轴；208、稳定块，300、固定组件；301、夹板；302、第一连接杆；303、第一连接孔；304、第二连接杆；305、第一限位块；306、第一弹簧；307、第三连接杆；308、第二连接孔；309、第四连接杆；310、第二限位块；400、震动组件；401、齿纹环；402、震动球；403、第五连接杆；404、第六连接杆；405、第三限位块；500、调动组件；501、第一连接环；502、第二连接环；503、凹槽；504、调动转轴；505、调节活动杆；506、第二弹簧。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1～8，一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，包括支撑组件100、连接组件200、固定组件300、震动组件400和调动组件500，支撑组件100用于支撑连接各个组件，连接组件200用于固定连接固定组件300、震动组件400和调动组件500，固定组件300用于固定安装硅片，震动组件400用于产生震动对硅片进行清尘，调动组件500用于清尘过程中对硅片进行动态调节，支撑组件100包括有支架101、吹风机102和电机103，吹风机102固定安装于支架101顶部中间位置，吹风机102下方连通连接组件200，电机103固定安装于支架101一侧靠近连接组件200的位置。

连接组件200包括有清尘仓201、连接管202、螺旋板204和两个连接转轴207，两个连接转轴207分别活动安装于清尘仓201两侧中间位置，连接管202固定安装于清尘仓201底部且与清尘仓201连通，连接管202下方为螺旋板204，螺旋板204上方和下方均固定安装有一个盖板203，连接管202与螺旋板204相互连通，清尘仓201的一侧开设有舱门205，舱门205用于将清尘仓201开关以方便硅片的取用。

电机103活动连接清尘仓201一侧的连接转轴207的一端，清尘仓201另一侧的连接转轴207的一端固定安装有稳定块208，连接转轴207靠近清尘仓201外侧的位置活动连接调动组件500，连接转轴207靠近清尘仓201内侧的位置固定连接震动组件400，两个连接转轴207之间固定连接六个均匀分布的固定组件300，震动组件400和调动组件500之间底部均固定连接有连接支杆206，连接支杆206底部固定安装于清尘仓201上。

固定组件300包括有两个夹板301和第二连接杆304，两个夹板301为圆环型且上部相互靠近的一侧为斜面便于将硅片插入安装，两个夹板301靠近的一面为粗糙面便于将硅片固定，夹板301的两侧均固定安装有一个第一连接杆302，第一连接杆302的外侧开设有第一连接孔303，第一连接孔303中活动连接第二连接杆304，第二连接杆304的两端均固定安装有第一限位块305，第一连接杆302与第一限位块305之间设有第一弹簧306。

两个夹板301的底部均固定安装有一个第三连接杆307，第三连接杆307下部开设有第二连接孔308，第二连接孔308的底端为圆弧凸面，两个第二连接孔308之间活动安装有一个第四连接杆309，第四连接杆309的顶端为圆弧凹面且与第二连接孔308啮合，第四连接杆309的两端均固定安装有一个第二限位块310。

震动组件400包括有齿纹环401，齿纹环401内侧设有齿轮，齿纹环401内侧中心位置为连接转轴207，连接转轴207与齿纹环401之间均匀设有六个第五连接杆403，第五连接杆403靠近齿纹环401一端固定安装有震动球402，第五连接杆403另一端与连接转轴207固定连接，当连接转轴207转动时会带动第五连接杆403和震动球402转动，震动球402转动会对齿纹环401上的齿纹接触并产生震动，从而带动连接转轴207震动。

连接转轴207靠近固定组件300的一端固定安装有六个第六连接杆404，第六连接杆404固定连接有第三限位块405，第三限位块405的两端分布固定连接一个第一限位块305，第三限位块405与第一连接杆302互不接触，连接转轴207震动时会通过第六连接杆404带动第三限位块405震动，第三限位块405会通过第一限位块305带动第二连接杆304震动，第二连接杆304会通过第一连接杆302带动夹板301震动，从而对夹板301之间的硅片进行震动除尘。

调动组件500包括有第一连接环501和第二连接环502，第二连接环502位于第一连接环501内侧的中心位置，第一连接环501上均匀开设有六个圆孔，孔内活动安装有调节活动杆505，调节活动杆505底部固定安装有调节转轴504，第二连接环502上均匀开设有六个凹槽503，凹槽503位置与第一连接环501上的圆孔位置一一对应，调节转轴504的两端活动安装于凹槽503中。

第一连接环501与第二连接环502之间设有第二弹簧506，第二弹簧506套于调节活动杆505外侧，第二弹簧506的一端固定连接第一连接环501内侧，第二弹簧506另一端固定连接第二连接环502外侧，第二连接环502中间与连接转轴207活动连接，当连接转轴207震动时会带动第二连接环502震动，第二连接环502震动时会带动调节转轴504转动、调节活动杆505移动和第二弹簧506形变，从而吸收调动组件500处的震动动能，以调节连接转轴207两端的稳定性。

在使用时，通过舱门205打开清尘仓201，将硅片放于两个夹板301之间，此过程中，将两个夹板301张开，夹板301会带动第一连接杆302和第三连接杆307移动，第一连接杆302两端的第一连接孔303会顺着第二连接杆304移动，第一连接杆302移动会压缩第一连接杆302与第一限位块305之间的第一弹簧306，当夹板301张开至合适位置可将硅片置于两个夹板301之间，此时硅片的底部会接触到第三连接杆307之间的第四连接杆309，第四连接杆309靠近硅片的一面为圆弧面可与硅片贴合，第四连接杆309两端的第二限位块310会对第三连接杆307进行限位，硅片安装好后松开夹板301，则第一连接杆302与第一限位块305之间的第一弹簧306会提供给第一连接杆302一个力使得第一连接杆302带动夹板301靠近，从而夹板301将硅片夹紧，转动连接转轴207，则连接转轴207转动会带动第六连接杆404转动，第六连接杆404转动会带动第三限位块405转动，第三限位块405转动会带动第一限位块305转动，第一限位块305转动会带动第二连接杆304转动，第二连接杆304转动会带动第一连接杆302转动，第一连接杆302转动会带动夹板301转动，将安装好硅片的固定组件300转走，将下一个没有安装硅片的固定组件300重复上述步骤进行安装，当六个固定组件300均安装完成则可将舱门205关闭。

启动电机103，电机103转动会带动连接转轴207转动，连接转轴207转动时会带动第五连接杆403转动，第五连接杆403转动时会带动震动球402转动，震动球402转动时会与齿纹环401内侧的齿纹接触并产生震动，震动球402产生震动会带动第五连接杆403产生震动，第五连接杆403产生震动会带动连接转轴207产生震动，连接转轴207产生震动会带动第六连接杆404产生震动，第六连接杆404产生震动会带动第三限位块405产生震动，第三限位块405产生震动会带动第一限位块305产生震动，第一限位块305产生震动会带动第二连接杆304产生震动，第二连接杆304产生震动会带动第一连接杆302产生震动，第一连接杆302产生震动会带动夹板301产生震动，夹板301产生震动会带动硅片产生震动，从而可将硅片上的灰尘震动掉落，于此同时启动吹风机102，吹风机102会在固定组件300的上方提供快速气流，并将掉落的灰尘带到连接管202中，连接管202中的灰尘会随着气流进入螺旋板204中并排出收集，当气流进入到盖板203中，盖板203为螺旋型隔板，便于将灰尘随气流导出，防止气流回流，同时连接管202的截面面积大于螺旋板204的截面面积，则会产生狭管效应，使得连接管202中的气流进入螺旋板204会加速，便于灰尘的清理收集，防止灰尘在螺旋板204中堆积。

当连接转轴207震动时会带动第二连接环502震动，第二连接环502震动时会带动调节转轴504在凹槽503之间转动，同时第二连接环502震动时会带动第二连接环502移动，第二连接环502移动时会带动调节活动杆505移动，此时调节活动杆505会在第一连接环501上的圆孔处移动，调节活动杆505和第二连接环502移动时会使得第二连接环502和第一连接环501之间的第二弹簧506产生形变，从而吸收连接转轴207靠近清尘仓201一端处的震动动能，以调节连接转轴207两端的稳定性，便于电机103带动连接转轴207转动。

当清尘完成时打开舱门205，将两个夹板301张开，夹板301会带动第一连接杆302和第三连接杆307移动，第一连接杆302两端的第一连接孔303会顺着第二连接杆304移动，第一连接杆302移动会压缩第一连接杆302与第一限位块305之间的第一弹簧306，当夹板301张开至合适位置可将硅片取出并安装未清尘的硅片，转动连接转轴207，则连接转轴207转动会带动第六连接杆404转动，第六连接杆404转动会带动第三限位块405转动，第三限位块405转动会带动第一限位块305转动，第一限位块305转动会带动第二连接杆304转动，第二连接杆304转动会带动第一连接杆302转动，第一连接杆302转动会带动夹板301转动，将安装好硅片的固定组件300转走，将下一个没有取出硅片的固定组件300重复上述步骤进行下料，当六个固定组件300均完成下料并安装好未清除的硅片后则可将舱门205关闭重复上述步骤进行清尘。

通过吹风机102对硅片进行吹洗配合固定组件300和震动组件400可将硅片上的灰尘清理地更加彻底，通过设置连接管202和螺旋板204，螺旋板204为螺旋型隔板，便于将灰尘随气流导出，防止气流回流，同时连接管202的截面面积大于螺旋板204的截面面积，则会产生狭管效应，使得连接管202中的气流进入螺旋板204会加速，便于灰尘的清理收集，防止灰尘在螺旋板204中堆积。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，包括支撑组件（100）、连接组件（200）、固定组件（300）、震动组件（400）和调动组件（500），支撑组件（100）用于支撑连接各个组件，连接组件（200）用于固定连接固定组件（300）、震动组件（400）和调动组件（500），固定组件（300）用于固定安装硅片，震动组件（400）用于产生震动对硅片进行清尘，调动组件（500）用于清尘过程中对硅片进行动态调节，其特征在于：所述支撑组件（100）包括有支架（101）、吹风机（102）和电机（103），吹风机（102）固定安装于支架（101）顶部中间位置，吹风机（102）下方连通连接组件（200），电机（103）固定安装于支架（101）一侧靠近连接组件（200）的位置；

连接组件（200）包括有清尘仓（201）、连接管（202）、螺旋板（204）和两个连接转轴（207），两个连接转轴（207）分别活动安装于清尘仓（201）两侧中间位置，连接管（202）固定安装于清尘仓（201）底部且与清尘仓（201）连通，连接管（202）下方为螺旋板（204），螺旋板（204）上方和下方均固定安装有一个盖板（203），连接管（202）与螺旋板（204）相互连通，清尘仓（201）的一侧开设有舱门（205），舱门（205）用于将清尘仓（201）开关以方便硅片的取用；

电机（103）活动连接清尘仓（201）一侧的连接转轴（207）的一端，清尘仓（201）另一侧的连接转轴（207）的一端固定安装有稳定块（208），连接转轴（207）靠近清尘仓（201）外侧的位置活动连接调动组件（500），连接转轴（207）靠近清尘仓（201）内侧的位置固定连接震动组件（400），两个连接转轴（207）之间固定连接六个均匀分布的固定组件（300），震动组件（400）和调动组件（500）之间底部均固定连接有连接支杆（206），连接支杆（206）底部固定安装于清尘仓（201）上。

2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，其特征在于：所述固定组件（300）包括有两个夹板（301）和第二连接杆（304），两个夹板（301）为圆环型且上部相互靠近的一侧为斜面便于将硅片插入安装，两个夹板（301）靠近的一面为粗糙面便于将硅片固定，夹板（301）的两侧均固定安装有一个第一连接杆（302），第一连接杆（302）的外侧开设有第一连接孔（303），第一连接孔（303）中活动连接第二连接杆（304），第二连接杆（304）的两端均固定安装有第一限位块（305），第一连接杆（302）与第一限位块（305）之间设有第一弹簧（306）。

3.根据权利要求2所述的一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，其特征在于：所述两个夹板（301）的底部均固定安装有一个第三连接杆（307），第三连接杆（307）下部开设有第二连接孔（308），第二连接孔（308）的底端为圆弧凸面，两个第二连接孔（308）之间活动安装有一个第四连接杆（309），第四连接杆（309）的顶端为圆弧凹面且与第二连接孔（308）啮合，第四连接杆（309）的两端均固定安装有一个第二限位块（310）。

4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，其特征在于：所述震动组件（400）包括有齿纹环（401），齿纹环（401）内侧设有齿轮，齿纹环（401）内侧中心位置为连接转轴（207），连接转轴（207）与齿纹环（401）之间均匀设有六个第五连接杆（403），第五连接杆（403）靠近齿纹环（401）一端固定安装有震动球（402），第五连接杆（403）另一端与连接转轴（207）固定连接，当连接转轴（207）转动时会带动第五连接杆（403）和震动球（402）转动，震动球（402）转动会对齿纹环（401）上的齿纹接触并产生震动，从而带动连接转轴（207）震动。

5.根据权利要求4所述的一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，其特征在于：所述连接转轴（207）靠近固定组件（300）的一端固定安装有六个第六连接杆（404），第六连接杆（404）固定连接有第三限位块（405），第三限位块（405）的两端分布固定连接一个第一限位块（305），第三限位块（405）与第一连接杆（302）互不接触，连接转轴（207）震动时会通过第六连接杆（404）带动第三限位块（405）震动，第三限位块（405）会通过第一限位块（305）带动第二连接杆（304）震动，第二连接杆（304）会通过第一连接杆（302）带动夹板（301）震动，从而对夹板（301）之间的硅片进行震动除尘。

6.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，其特征在于：所述调动组件（500）包括有第一连接环（501）和第二连接环（502），第二连接环（502）位于第一连接环（501）内侧的中心位置，第一连接环（501）上均匀开设有六个圆孔，孔内活动安装有调节活动杆（505），调节活动杆（505）底部固定安装有调节转轴（504），第二连接环（502）上均匀开设有六个凹槽（503），凹槽（503）位置与第一连接环（501）上的圆孔位置一一对应，调节转轴（504）的两端活动安装于凹槽（503）中。

7.根据权利要求6所述的一种用于多晶硅加工的灰尘清理装置，其特征在于：所述第一连接环（501）与第二连接环（502）之间设有第二弹簧（506），第二弹簧（506）套于调节活动杆（505）外侧，第二弹簧（506）的一端固定连接第一连接环（501）内侧，第二弹簧（506）另一端固定连接第二连接环（502）外侧，第二连接环（502）中间与连接转轴（207）活动连接，当连接转轴（207）震动时会带动第二连接环（502）震动，第二连接环（502）震动时会带动调节转轴（504）转动、调节活动杆（505）移动和第二弹簧（506）形变，从而吸收调动组件（500）处的震动动能，以调节连接转轴（207）两端的稳定性。