CN1184074C - 喷墨式记录装置和带功能性液体的基板的制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种喷墨式记录装置和带功能性液体的基板的制造方法，能够以简单的步骤和构成使喷嘴间功能性液体的吐出量均匀。喷墨式记录装置(100)具有用来吐出功能性液体的多个喷嘴(111)，上述多个喷嘴分成组数比喷嘴数少的多个组，对各组控制从上述喷嘴吐出的功能性液体的吐出量。喷嘴的分组是将配置喷嘴的喷头(1a)上的位置分成多个区，并将属于各区的喷嘴作为1个组。

Description

喷墨式记录装置和带功能性 液体的基板的制造方法
技术领域
本发明涉及能均匀吐出墨水或EL(场致发光)发光体溶液等功能性液体的喷墨式记录装置和显示装置使用的色彩滤光器或EL元件基板等带功能性液体的基板的制造方法以及具有这样的带功能性液体的基板的电光学装置等器件的电子机器的制造方法。
背景技术
作为显示装置用的带功能性液体的基板的制造方法，已知的有利用喷墨方式向在基板上用‘堆积’分隔形成的各象素导入功能性液体的方法。该带功能性液体的基板必须使向各象素吐出的功能性液体尽可能均匀，使象素间的不均匀性达到最小限度。
在特开平11-58074号公报中，记载了为了校正喷嘴间墨水吐出量的离散，根据预先对每一个喷嘴测定形成的离散校正数据去控制驱动电压的技术。
但是，在上述特开平11-58074号公报中，因必须对每一个喷嘴作成校正数据，故作业起来很费事。此外，因对每一个喷嘴都必须分别具有控制驱动电压的装置，故电路构成不得不复杂一些。
另一方面，当不必使吐出量的离散完全是0时，就不必象上述那样需要费工夫和复杂的电路结构。例如，将膜厚的不均匀度设定为：64级的EL元件基板在±1.5％以下；32级的EL元件基板在±3％以下；16级的EL元件基板在±6％以下；色彩滤光器在±5％以下，带功能性液体的基板的涂敷膜厚的离散具有一定的允许范围。
本发明的目的在于提供一种以简单的程序及功能使功能性液体的吐出量在喷嘴间均一化的喷墨式记录装置和带功能性液体的基板的制造方法。
发明的公开
为了解决上述问题，本发明的喷墨式记录装置的特征在于：具有用来吐出功能性液体的多个喷嘴，上述多个喷嘴分成组数比喷嘴数少的多个组，对各组控制从上述喷嘴吐出的功能性液体的吐出量。这样，因可以不按喷嘴而按组来调整，故能简化校正值的选定作业和电路结构，同时可以确保喷嘴间吐出量的均匀性。
在上述喷墨式记录装置中，上述功能性液体是墨水，也可以是能制造色彩滤光器的液体。此外，在上述喷墨式记录装置中，上述功能性液体是EL发光体溶液，也可以是能制造EL元件基板的溶液。上述功能性液体是导电粒子分散溶液，也可以是能制造具有导线图案的基板的溶液。
在上述喷墨式记录装置中，最好将喷头上的配置上述多个喷嘴的位置分成多个区，将属于各区的喷嘴作为1个组。利用位置接近的喷嘴具有相似的吐出特性这一点，通过对属于同一区的喷嘴使用同一波形，可以达到使喷嘴间的吐出量均匀化的效果。
此外，在上述喷墨式记录装置中，配置上述多个喷嘴的喷头最好具有设在上述各喷嘴上的空腔、与各空腔连通的各喷嘴共用的容器和向上述容器供给功能性液体的供给口，上述多个组最好至少具有由上述多个喷嘴中的靠近上述供给口的喷嘴组成的第1组和由上述多个喷嘴中的远离上述供给口的喷嘴组成的第2组。利用墨水的吐出量受从供给口到喷嘴之间的距离的影响的性质，根据距供给口的距离对喷嘴进行分组，可以达到使喷嘴间的吐出量均匀化的效果。
此外，本发明的带功能性液体的基板的制造方法的特征在于：将具有可吐出功能性液体的多个喷嘴的喷墨式记录装置的上述多个喷嘴分成组数比喷嘴数少的多个组，对各组调整控制从上述喷嘴吐出功能性液体的信号的波形，向基板上形成的各象素吐出上述功能性液体。
在上述制造方法中，最好将喷头上的配置上述多个喷嘴的位置分成多个区，将属于各区的喷嘴作为1个组。
此外，在上述制造方法中，配置上述多个喷嘴的喷头最好具有设在上述各喷嘴上的空腔、与各空腔连通的各喷嘴共用的容器和向上述容器供给功能性液体的供给口，上述多个组最好至少具有由上述多个喷嘴中的靠近上述供给口的喷嘴组成的第1组和由上述多个喷嘴中的远离上述供给口的喷嘴组成的第2组。
此外，本发明的器件的制造方法的特征在于：具有根据上述制造方法制造的带功能性液体的基板。
此外，本发明的器件的特征在于：具有根据上述制造方法制造的带功能性液体的基板。
此外，本发明的电子机器的制造方法的特征在于：使用根据上述制造方法制造的电光学装置等器件。
附图的简单说明
图1是本发明的1实施形态的喷墨式记录装置的概略透视图。
图2是构成喷头群1的各喷头1a的结构的说明图。
图3是表示上述喷墨式记录装置的控制系统的构成的方框图。
图4是表示一例上述喷头中的各喷嘴的墨水吐出量的分布的图。
图5是作为利用上述实施形态的制造装置和制造方法制造的带功能性液体的基板的色彩滤光器的局部放大图。
图6是上述色彩滤光器的各制造工序的截面图。
图7是表示驱动波形选择电路36输入的多种信号波形的例子的波形图。
图8是对于从本实施形态的喷头1a中的各喷嘴喷出的1滴墨水的吐出量示出其校正前和校正后的数据的图。
图9是作为根据本发明的1实施形态的制造方法制造的电光学装置的彩色液晶显示装置的截面图。
图10是作为根据本发明的1实施形态的制造方法制造的电子机器的笔记本电脑的截面图。
再有，图中，符号100是喷墨式记录装置，1a是喷头，111是喷嘴，121是空腔，123是容器，200是色彩滤光器(带功能性液体的基板)，300是彩色液晶显示装置(电光学装置)，500是电脑(电子机器)。
实施发明的最佳形态
下面，作为本发明的实施形态，举例说明将作为一例功能性液体的墨水附在基板上来制造色彩滤光器的装置和方法。
(1、制造装置的构成)
图1是本发明的1实施形态的喷墨式记录装置的概略透视图。如图所示，喷墨式记录装置100包括喷头群1、X方向驱动轴4、Y方向导向轴5、控制装置6、放置台7、清洗机构部8和底座9。
喷头群1具有使从未图示的墨水盒供给的作为功能性液体的墨水从喷嘴(吐出口)向各象素吐出的喷头1a。
放置台7因放置应利用该制造装置制造的色彩滤光器用基板101，故具有将该基板固定在基准位置上的机构。
X方向驱动轴4与X方向驱动电机2连接。X方向驱动电机2是步进电机等，当从控制装置6供给X方向的驱动信号时，使X方向驱动轴4旋转。当X方向驱动轴4旋转时，喷头群1向X轴方向移动。
Y方向导向轴5固定后，使其相对底座9不移动。放置台7具有Y方向驱动电机3。Y方向驱动电机3是步进电机等，当从控制装置6供给Y方向的驱动信号时，使放置台7向Y轴方向移动。
即，通过进行X轴方向的驱动和Y轴方向的驱动，可以使喷头群1自由移动到色彩滤光器用基板101的任何地方。喷头群1相对色彩滤光器用基板101的速度也通过各轴方向的驱动机构的控制来定。
控制装置6具有向喷头群1供给墨滴吐出控制用的信号的驱动信号控制装置31(后述)。此外，还具有喷头位置控制装置32(后述)，向X轴方向驱动电机2和Y轴方向驱动电机3供给控制喷头群1和放置台的位置关系的信号。
清洗机构部8具有未图示的Y方向的驱动电机。利用该Y方向的驱动电机的驱动，清洗机构8沿Y方向导向轴5移动。清洗机构8的移动也由控制装置6控制。
(2、喷头的构成)
图2是构成喷头群1的各喷头1a的结构的说明图。喷头1a如图所示，由喷嘴板110、压力室基板120和振动板130构成。该喷头构成按需形的高压喷射式喷头。
压力室基板120具有压力室121、隔板122、容器123和导入路124。压力室121是通过刻蚀硅等基板而形成的用来吐出墨水等的贮藏空间。隔板122用来分隔压力室121。容器123是用来使各压力室121充满墨水的流道。导入路124可以使墨水从容器123导入各压力室121。再有，压力室121等的形状因喷墨方式的不同可以有各种形状。例如，可以是扁平的肚子(kyser)形状，也可以是圆筒形的Zoltan形状。
喷嘴板110与压力室基板120的一个面贴合，以便在与设在压力室基板120上的各压力室121对应的位置上配置喷嘴111。喷嘴111的个数不限于图中所示的个数，例如，也可以是1列32个喷嘴。贴合有喷嘴板110的压力室120进而放在筐体125中，构成喷头1a。
振动板130与压力室基板120的另一面贴合。在与振动板130的各压力室121的位置对应的部分分别设置压电元件(未图示)。此外，在与振动板130的容器123的位置对应的部分设置供给口(未图示)，可以将贮藏在未图示的墨水槽中的墨水供给压力室基板120的内部。
多个喷嘴111分成比喷嘴111的个数少的多个组。更详细一点说，将配置多个喷嘴111的喷头1a分成多个区，属于该多个区中的各个区的喷嘴是1组。再详细一点说，这些组包括由接近供给口的喷嘴群构成的组和由远离供给口的喷嘴群构成的组。对于属于同一组的喷嘴，使用同一波形的控制信号来吐出墨水，该控制信号可以根据每一个组来调整。
(3、控制系统的构成)
图3是表示上述喷墨式记录装置100的控制系统的构成的方框图。喷墨式记录装置100的控制系统具有由个人计算机等电子计算机形成的驱动信号控制装置31和喷头位置控制装置32。
驱动信号控制装置31输出用来驱动喷头1a的多种波形。此外，驱动信号控制装置31还输出表示向色彩滤光器的各象素吐出R、G、B中的哪一种墨水的位图数据。
驱动信号控制装置31与模拟放大器33和定时控制电路34连接。模拟放大器33是放大上述多种波形的电路。定时控制电路34是内置时钟脉冲电路并根据上述位图数据控制墨水的吐出时序的电路。
模拟放大器33和定时控制电路34都与中继电路35连接，中继电路35与驱动波形选择电路36连接。中继电路35根据从定时控制电路34输出的时序信号将从模拟放大器33输出的信号传送给驱动波形选择电路36。
驱动波形选择电路36是在上述多种波形中选择控制喷头1a吐出墨水的波形并发送给喷头1a的电路。喷头1a具有的多个喷嘴分成组数比喷嘴个数少的组，对各组选择1个波形。对各组选择上述多种波形中的哪种波形可以根据预先测定的喷头1a的各喷嘴的墨水吐出量的数据，对驱动波形选择电路36进行设定。
图4是表示一例上述喷头中的各喷嘴的墨水吐出量的分布的图。横轴是根据喷头1a具有的多个喷嘴的排列而加的喷嘴号，纵轴是当使用同一驱动波形从喷嘴吐出墨水时从各喷嘴吐出的1滴墨水的吐出量(ng)。
该喷头设置一个向各喷嘴的公共容器供给墨水的供给口，该供给口位于喷嘴号8～15的附近。如图所示，有供给口附近的墨水吐出量少而在远离供给口的两端附近墨水吐出量多的倾向。
因此，对位于喷头两端附近且远离供给口的喷嘴可以选择能抑制吐出量的波形，而对位于中央附近且接近供给口的喷嘴可以选择吐出量多的波形。这样，若利用吐出量因喷嘴位置而增减的特点将各喷嘴按位置分成多个区并对每一个具有相近吐出量的区决定波形，则可以不用对各喷嘴算出校正量就能充分抑制吐出量的离散，而且可以使装置结构简单。
喷头位置控制装置32是控制装置喷头1a和防止台7(和放置该喷头的色彩滤光器用基板)的位置关系的电路，与驱动信号控制装置31协调一起进行控制，使从喷头1a吐出的墨水到达色彩滤光器用基板上的规定的地点。喷头位置控制装置32与X-Y控制电路3 7连接，向该X-Y控制电路37发送与喷头位置有关的信息。
X-Y控制电路37与X方向驱动电机2和Y方向驱动电机3连接，根据从喷头位置控制装置32来的信号，向X方向驱动电机2和Y方向驱动电机3发送控制喷头1a的X轴方向的位置和放置台7的Y轴方向的位置的信号。
(4.带功能性液体的基板的构成)
图5是作为利用上述实施形态的制造装置和制造方法制造的带功能性液体的基板的色彩滤光器的局部放大图。图5(a)是平面图，图5(b)是图5(a)的B-B’剖面图。省略了剖面图的部分剖面线。
如图5(a)所示，色彩滤光器200具有呈矩阵状排列的象素13，象素和象素的边界由隔片14分开。对象素13的各象素导入红(R)、绿(G)、兰(B)中的某种墨水。在该例子中，红绿兰的配置是所谓的三角形排列，但也可以是条形排列、玛赛克排列等其他的配置形式。
如图5(b)所示，色彩滤光器200具有透光性基板12和透光性隔片14。未形成隔片14的部分(已除去)构成上述象素13。导入该象素13的各色墨水构成着色层20。在隔片14和着色层20的上面形成覆盖层21和电极层22。
(5.带功能性液体的基板的制造方法)
图6是上述色彩滤光器的各制造工序的截面图。省略了剖面图的部分剖面线。根据该图具体说明色彩滤光器的一例制造方法。
(5-1.堆积的形成和表面处理工序)
用对热浓硫酸添加1％重量的双氧水形成的洗净液清洗膜厚为0.7mm、长38cm、宽30cm的由无碱玻璃形成的基板，并用纯净水冲洗后，再进行空气干燥，得到清净的表面。用溅射法在该表面上形成铬膜，平均膜厚为0.2μm，得到金属层16’(图6：S1)。
在电热板上，以80℃的温度使该基板干燥5分钟后，利用旋涂法在金属16’的表面形成光致抗蚀层(未图示)。在该基板的表面粘合一层按所要的矩阵图案画出的掩膜，并在紫外线下进行暴光。其次，在包含8％重量的氢氧化钾的碱性显像液中浸渍，再除去未暴光部分的光致抗蚀层，使光致抗蚀层形成图案。接着，用以盐酸为主要成分的腐蚀液将露出的金属层除去。这样，就可以得到具有规定的矩阵图案的遮光层(黑色矩阵)16(图6：S2)。遮光层16的膜厚大约是0.2μm。遮光层16的宽度大约是22μm。
进而，仍然使用旋涂法在该基板上涂敷负型透明丙烯酸系感光性树脂组成物17’(图6：S3)。在100℃的温度下对此预烘干20分钟后，使用按所要的矩阵图案画出的掩膜进行紫外线暴光。仍然使用碱性显像液显像，用纯净水冲洗后进行旋转干燥。作为最终的干燥工序，在200℃的温度下进行30分钟的后烘干，通过使树脂充分硬化，形成堆积层17，并形成由遮光层16和堆积层17构成的隔片14(图6：S4)。该堆积层17的平均膜厚为2.7μm。此外，堆积层17的宽度大约是14μm。
为了改善由得到的遮光层16和堆积层17区分的着色层形成区(特别是玻璃基板12的露出面)的墨水的润湿性，进行干腐蚀，即大气压下的等离子体处理。具体地说，对氦加20％的氧的混合气体加高电压，在大气压下形成等离子体蚀刻光点，使基板通过该蚀刻光点进行刻蚀。
(5-2.功能性液体的导入工序)
其次，利用喷墨方式将作为功能性液体的墨水导入由隔片14隔开形成的象素13内(图6：S5)。喷墨式记录头使用应用压电效应的精密喷头，有选择地使10滴微小的墨水飞向每一个着色层形成区。驱动频率为14.4kHz，即各墨滴的吐出间隔设定为69.5μS。喷头到目标之间的距离设定为0.3mm。为了防止因从喷头到作为目标的着色层形成区的飞行速度不当而发生飞行弯曲或称之为卫星滴的分裂墨滴，墨水的物性固然重要，但驱动喷头的压电元件的波形(包含电压)也很重要。驱动喷头的波形如上所述，经驱动信号控制装置31、模拟放大器33、中继电路35和驱动波形选择电路36传送到喷头。
图7是表示驱动波形选择电路36输入的多种信号波形的例子的波形图。横轴是时间(μS)，纵轴是与施加电压最小值的差(V)。这里示出的4种波形都称作推挽型，在第1阶段的电压下降阶段(推)，将墨水引人月形容器内，在第2阶段的电压上升阶段(挽)，将墨水吐出，在第3阶段的再使电压下降阶段(推)，月形容器的振动急剧衰减。这里，如图所示，生成4种波形，其施加电压的最大值和最小值的差(Vh)分别为19V、19.5V、20V、20.5V。若Vh低，则墨水的吐出量小，若Vh高，则墨水吐出量大。这样，利用电压的高低去控制墨水的吐出量。
驱动波形选择电路36从上述4种波形中，选择控制从喷头13a吐出墨水的波形，向喷头1a发送。特别是，喷头1a具有的32个喷嘴分成7个、7个、6个、6个、6个共5组，对各组分别选择1个波形。
图8是对于从本实施形态的喷头1a中的各喷嘴喷出的1滴墨水的吐出量示出其校正前和校正后的数据的图。横轴是根据各喷嘴的排列顺序临时添加的喷嘴号，纵轴是各喷嘴喷射的1滴墨水的吐出量(ng)。校正前的数据用实折线标表示，校正后的数据用虚折线表示。再有，1滴墨水的吐出量根据从喷嘴吐出的墨滴的速度算出。
校正前，对所有的喷嘴都使用上述4种波形中的Vh＝20V的波形。结果，各喷嘴的墨水吐出量最大约19.5ng(喷嘴号32)，最小约17.6ng(喷嘴号16)。墨水重量的离散是±6.0％。
为了校正该墨水重量的离散，使序号是8～14的1组喷嘴的墨水吐出控制信号的Vh为20.5V，序号是21～26的1组喷嘴的墨水吐出控制信号的Vh为19.5V，序号是27～32的1组喷嘴的墨水吐出控制信号的Vh为19V，其余的喷嘴还是20V。结果，各喷嘴的墨水吐出量最大约18.6ng(喷嘴号24)，最小约17.6ng(喷嘴号16)。墨水重量的离散是±2.9％。特性得到了改善。
此外，从喷嘴吐出的墨滴的飞行速度的离散校正前是±10％，校正后是±5％。这样，通过使墨滴的飞行速度均匀，即使放置台的移动速度高，墨滴中弹位置也难以发生偏差。所以，可以提高制造速度。
利用象上述那样选出的波形，同时喷射红、绿、兰3种颜色的墨滴，根据规定的配色图案喷射墨水。作为墨水，例如可以使用粘度为6～8厘泊的墨水，即，将无机颜料分散到低聚物的聚氨酯树脂中，然后，加低沸点溶剂环己酮和丁基醋酸，加高沸点溶剂丁基卡必醇乙酸盐，进而，作为分散剂添加0.01％重量的非离子系的界面活性剂。
(5-3.干燥、硬化工序)
其次，使喷涂的墨水干燥。首先，在自然环境中防止3小时，进行墨水层19的定形，然后，在80℃的电热板上加热40分钟，最后，在炉子中，在200℃的温度下加热30分钟，对墨水层19进行硬化处理，得到着色层20(图6：S6)。
对上述基板旋涂透明的丙烯基树脂涂料，形成具有平滑面的覆盖层21。进而，按所要的图案在其上面形成由ITO(氧化铟锡)形成的电极层22，最后做成色彩滤光器200(图6：S7)。
(6.显示装置的构成)
图9是作为根据本发明的1实施形态的制造方法制造的电光学装置的彩色液晶显示装置的截面图。省略剖面图的部分剖面线。该彩色液晶显示装置300因使用由上述方法制造的色彩滤光器200，故在象素之间，功能性液体的吐出量均匀，干燥和硬化后的功能性液体的膜厚也均匀，能显示画质良好的图像。
该彩色液晶显示装置300将色彩滤光器200和对置基板338组合在一起，通过在两者之间封入液晶组成物337构成。在彩色液晶显示装置300的一个基板338的内侧表面，呈矩阵形状形成TFT(薄膜晶体管)元件(未图示)和象素电极32。此外，作为另一块基板，设置色彩滤光器200，在和象素电极332相对的位置上排列红、绿、兰着色层20。
在基板338和色彩滤光器200相对的各个面上形成取向膜326、336。通过对该取向膜326、336进行磨擦处理，可以使液晶分子排列在一定方向上。此外，在基板338和色彩滤光器200的外侧表面，分别粘接偏光板329、339。此外，作为背景光源，一般使用荧光灯(未图示)和散射板的组合部件，通过把液晶组成物当作使背景光的透光率变化的光栅来进行显示。
再有，电光学装置在本发明中不限于上述彩色液晶显示装置，例如，也可以是使用了薄型阴极射线管或液晶光栅等的小型电视机，使用了EL显示装置、等离子体显示器、CRT显示器或FED(场发射显示器)面板等的各种电光学装置。
(7.电子机器的构成)
图10是作为根据本发明的1实施形态的制造方法制造的电子机器的笔记本电脑的透视图。该电脑500因使用上述彩色液晶显示装置300作为其显示部，故在象素之间，功能性液体的吐出量均匀，干燥和硬化后的功能性液体的膜厚也均匀，能显示画质良好的图像。
如图所示，液晶显示装置300放在筐体300中，液晶显示装置300的显示区从该筐体510形成的开口部511露出。此外，电脑500具有作为输入部的键盘530。
该电脑500除液晶显示装置300之外，还包括由未图示的显示信息输出源、显示信息处理电路、时钟发生电路等各种电路和向这些电路供给电源的电源电路等构成的显示信号生成部。显示信号生成部根据例如从输入部30输入的信息等生成显示信号，并将其供给液晶显示装置300，形成显示图像。
作为组装有本实施形态的电光学装置的电子机器，不限于电脑，还可以列举便携式电话机、电子笔记本、寻呼机、POS终端、IC卡、CD唱机、液晶投影仪、工程师工作站(EWS)、字处理器、电视机、取景器型或监视器直视型摄像机、台式电子计算器、车辆导航装置、具有触摸面板的装置、钟表、游戏机等各种各样的电子机器。
(8.其它实施例)
此外，利用本发明的制造装置和方法制造的带功能性液体的基板不限于上述彩色滤光片，也可以是EL元件基板。这时，使用EL发光体溶液作为功能性液体。
此外，利用本发明的制造装置和方法制造的带功能性液体的基板还可以是形成有导线图案的基板。这时，作为功能性液体，使用导电粒子分散溶液，例如，将由Au(金)、Ag(银)、Cu(铜)、Pt(铂)、Pd(钯)等具有导电性的物质形成的粉末、使粉末结合的粘合剂和使粉末均匀分散的分散剂等溶解在溶剂中，从而形成导电粒子分散溶液。
接着，使用本发明的喷头将导电粒子分散溶液喷涂在基板上，形成所要的导线图案。然后，使该功能性液体干燥固化，形成导线图案。
此外，作为带功能性液体的基板，也可以是形成有半导体元件的基板或形成有由半导体元件构成的存储器的基板。这时，作为功能性液体，使用包含无机半导体材料、有机半导体材料、导电性高分子材料或强电介质材料等溶液。
此外，作为带功能性液体的基板，也可以是作为遗传因子分析的试料使用的基板。这时，作为功能性使用包含蛋白质或脱氧核糖核酸(DNA)的溶液。
此外，作为带功能性液体的基板，也可以是以构成显示器的电子抢的基板为首的构成电子器件的基板。这时，作为功能性液体，使用包含炭纳米管(Carbonnanotube)的溶液。
此外，作为带功能性液体的基板，也可以是构成燃料电池的催化剂、无电场电镀使用的催化剂或场发射显示器(FED)的基板。这时，作为功能性液体，使用包含稀有金属和稀有金属盐或其氧化物的溶液。
工业上利用的可能性
若按照本发明，可以提供一种喷墨式记录装置和带功能性液体的基板的制造方法，能够以简单的步骤和构成使喷嘴间功能性液体的吐出量均匀。

Claims (7)

1、一种喷墨式记录装置，其特征在于：具有用来吐出功能性液体的多个喷嘴，上述多个喷嘴分成组数比喷嘴数少的多个组，对各组控制从上述喷嘴吐出的功能性液体的吐出量，
配置上述多个喷嘴的喷头具有设在上述各喷嘴上的空腔、与各空腔连通的各喷嘴共用的容器和向上述容器供给功能性液体的供给口，
上述多个组至少具有由上述多个喷嘴中的靠近上述供给口的喷嘴组成的第1组和由上述多个喷嘴中的远离上述供给口的喷嘴组成的第2组。
2、权利要求1记载的喷墨式记录装置，其特征在于：上述功能性液体是墨水，或者是能制造色彩滤光器的液体。
3、权利要求1记载的喷墨式记录装置，其特征在于：上述功能性液体是场致发光发光体溶液，能够制造场致发光元件基板。
4、权利要求1记载的喷墨式记录装置，其特征在于：上述功能性液体是导电粒子分散溶液，能制造具有导线图案的基板。
5、权利要求1至4的任何一项记载的喷墨式记录装置，其特征在于：将喷头上的配置上述多个喷嘴的位置分成多个区，将属于各区的喷嘴作为1个组。
6、一种带功能性液体的基板的制造方法，利用具有可吐出功能性液体的多个喷嘴的喷墨式记录装置制造带功能性液体的基板，其特征在于：将上述多个喷嘴分成组数比喷嘴数少的多个组，对各组调整控制从上述喷嘴吐出功能性液体的信号的波形，向基板上形成的各象素吐出上述功能性液体，
配置上述多个喷嘴的喷头具有设在上述各喷嘴上的空腔、与各空腔连通的各喷嘴共用的容器和向上述容器供给功能性液体的供给口，
上述多个组至少具有由上述多个喷嘴中的靠近上述供给口的喷嘴组成的第1组和由上述多个喷嘴中的远离上述供给口的喷嘴组成的第2组。
7、权利要求6记载的带功能性液体的基板的制造方法，其特征在于：将喷头上的配置上述多个喷嘴的位置分成多个区，将属于各区的喷嘴作为1个组。
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