CN118366908A - 一种晶硅对位装置以及涂膜设备 - Google Patents

Abstract

发明公开了太阳能电池制作设备技术领域的一种晶硅对位装置以及涂膜设备，其中晶硅对位装置的晶硅承载台具有相对的第一侧边和第二侧边、相对的第三侧边和第四侧边，第一侧边和第二侧边为所述晶硅承载台X轴方向的两个侧边，所述第三侧边和第四侧边为所述晶硅承载台Y轴方向的两个侧边，所述晶硅承载台用于承载沿X轴方向依次排列的多个晶硅；Xa对位组件设置于晶硅承载台的第一侧边的一侧，Xb对位组件设置于晶硅承载台的第二侧边的一侧；Ya对位组件设置于晶硅承载台的第三侧边的一侧，Yb对位组件设置于晶硅承载台的第四侧边的一侧。本发明能够实现在X轴方向和Y轴方向分别对晶硅的对位。

Description

一种晶硅对位装置以及涂膜设备

技术领域

本发明涉及太阳能电池制作设备技术领域，尤其涉及一种晶硅对位装置以及涂膜设备。

背景技术

由于钙钛矿和晶硅吸收波长的差别，组合后可以提高吸收波长范围，进而提高光电效率，钙钛矿/晶硅叠层太阳能电池也受到了更多的关注和研究。

由于不同厂家、不同批次（GB/T26071-2018太阳能电池用硅单晶片）的晶硅都会存在制造误差，制造误差最终会反馈到晶硅的定位和涂膜效果上。因此，在制作钙钛矿/晶硅叠层太阳能电池过程中需要对晶硅进行对位。

目前，主要通过肉眼观察、调整晶硅位置，手动调整方法需要高度熟练的操作员，并且会导致晶硅的位置不可靠，最终造成涂膜质量不稳定，生产效率不高。此外，硅片在涂膜前厚度只有100μm左右，人工操作力度不易控制，容易导致破损，增加无效成本。

因此，本发明提出一种晶硅对位装置以及涂膜设备。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶硅对位装置以及涂膜设备，能够通过设备实现在X轴方向和Y轴方向分别对晶硅的对位。

本发明的目的采用以下技术方案实现：

一方面，本发明提供一种晶硅对位装置，包括：

晶硅承载台，所述晶硅承载台具有相对的第一侧边和第二侧边、相对的第三侧边和第四侧边，所述第一侧边和第二侧边为所述晶硅承载台X轴方向的两个侧边，所述第三侧边和第四侧边为所述晶硅承载台Y轴方向的两个侧边，所述晶硅承载台用于承载沿X轴方向依次排列的多个晶硅；

X轴对位组件，所述X轴对位组件包括Xa对位组件和Xb对位组件，所述Xa对位组件设置于晶硅承载台的第一侧边的一侧，所述Xb对位组件设置于晶硅承载台的第二侧边的一侧，所述Xa对位组件和Xb对位组件用于使多个晶硅在X轴方向上紧贴；

Y轴对位组件，所述Y轴对位组件包括Ya对位组件和Yb对位组件，所述Ya对位组件设置于晶硅承载台的第三侧边的一侧，所述Yb对位组件设置于晶硅承载台的第四侧边的一侧，所述Ya对位组件和Yb对位组件用于使多个晶硅在Y轴方向上对齐和限位，X轴方向和Y轴方向交叉。

进一步的，所述Xa对位组件和所述Xb对位组件均包括：

安装台，所述安装台外周的一侧形成第一容置空间；

对位轮，所述对位轮用于抵接和驱动晶硅移动；

对位调整结构件，所述对位轮安装在所述对位调整结构件上；

对位电机，所述对位电机连接所述对位调整结构件，用于使所述对位调整结构件沿X轴方向能够往复移动。

进一步的，所述Xa对位组件和所述Xb对位组件均还包括：

侧轨气动滑台气缸，所述侧轨气动滑台气缸容纳并安装在所述第一容置空间内；所述侧轨气动滑台气缸连接所述对位电机，用于使所述对位电机沿Z轴方向移动；

Z向滑轨，所述Z向滑轨滑动连接所述侧轨气动滑台气缸；

X向滑轨，所述对位调整结构件沿X轴方向滑动安装在所述X向滑轨上，所述X向滑轨安装在所述Z向滑轨上并连接所述侧轨气动滑台气缸的驱动轴，所述侧轨气动滑台气缸的驱动轴用于驱动所述X向滑轨在所述Z向滑轨的导向作用下沿Z轴方向移动，X轴方向、Y轴方向和Z轴方向相互垂直；

掩膜板吸附固定平台，所述掩膜板吸附固定平台安装在所述安装台上并用于固定所述掩膜板，所述掩膜板吸附固定平台外周的一侧形成第二容置空间，所述第二容置空间与第一容置空间联通，所述对位轮容纳在所述第二容置空间内。

进一步的，所述Xa对位组件和所述Xb对位组件均还包括：

X压力传感器，所述X压力传感器连接所述对位调整结构件；和/或，

三个精密调平螺杆，三个所述精密调平螺杆连接所述安装台的不同位置对位电机，所述精密调平螺杆用于调整所述安装台的角度。

进一步的，所述Xa对位组件和所述Xb对位组件均还包括弹簧；

所述精密调平螺杆的一端设置有调整螺丝，所述调整螺丝螺纹穿过所述安装台以调整安装台的倾斜角度，所述精密调平螺杆上设置有支柱，所述弹簧的两端分别连接所述支柱和所述安装台以使所述调整螺丝调整安装台的倾斜角度时使所述安装台被拉向所述支柱。

进一步的，所述Ya对位组件和所述Yb对位组件均包括：

多个对位导轮，用于抵接和驱动晶硅移动；

对位导轮安装板，多个对位导轮间隔分布在所述对位导轮安装板上；

电动推杆，所述电动推杆连接所述对位导轮安装板，使所述对位导轮安装板沿Y轴方向移动。

进一步的，所述Ya对位组件和所述Yb对位组件均还包括：

两个滑轨支座，分别设置在所述电动推杆两侧；

推杆固定板，所述推杆固定板两端分别连接一个滑轨支座，所述电动推杆设置在所述推杆固定板上；

Y压力传感器，所述Y压力传感器连接所述对位导轮安装板；

两个直线滑轨，各所述直线滑轨一侧滑动连接所述滑轨支座，所述直线滑轨另一侧连接所述对位导轮安装板。

进一步的，所述的晶硅对位装置包括：掩膜板间隙调整组件；

所述掩膜板间隙调整组件包括：

支撑架，所述支撑架设置于所述Xb对位组件和晶硅承载台之间；

驱动单元，所述驱动单元安装在所述支撑架上；

掩膜板，所述驱动单元连接掩模板，用于使掩模板沿X轴方向移动，所述掩膜板的一段吸附在所述Xb对位组件的所述掩膜板吸附固定平台上；

距离传感器，所述驱动单元上设有距离传感器。

进一步的，所述驱动单元包括：

驱动机构，所述驱动机构安装在所述支撑架上；

驱动轮，所述驱动机构连接所述驱动轮，用于使驱动轮沿X轴方向移动，所述驱动轮连接掩模板。

另一方面，本发明还提供一种涂膜设备，包括：

上述的晶硅对位装置；

狭缝涂膜装置，所述狭缝涂膜装置设置于所述晶硅承载台一侧。

与现有技术相比，本发明的有益效果至少包括：

利用相对设置的Xa对位组件和Xb对位组件从两个相对的方向对晶硅进行X轴方向的对位，利用相对设置的Ya对位组件和Yb对位组件从两个相对的方向对晶硅进行Y轴方向的对位，提高了对位的稳定性和可靠性，增强了装置的对位能力，同时，能够确保后续涂布步骤中晶硅满涂，提高产品质量。

进一步的，掩膜板间隙调整组件用于调整掩膜板的位置，以补偿晶硅的X轴的实际坐标与X轴理论坐标的误差，从而提高最终太阳能电池的性能。

进一步的，本发明能够将多个晶硅放置在晶硅承载台上，以对多个晶硅对位，以便于涂布步骤时也能够实现连续涂布多个晶硅，有效提高做工效率，节约成本。

附图说明

图1是本发明实施例的涂膜设备的结构示意图。

图2是本发明实施例的晶硅对位装置的结构示意图。

图3A是本发明实施例的X轴对位组件的结构示意图。

图3B是图3A中S部分的放大图。

图4是本发明实施例的X轴对位组件的部分结构示意图。

图5是本发明实施例的X轴对位组件的侧视示意图。

图6是本发明实施例的Y轴对位组件的结构示意图。

图7是本发明实施例的掩膜板间隙调整组件的结构示意图。

图中：1、晶硅承载台；2、X轴对位组件；3、Y轴对位组件；4、掩膜板间隙调整组件；5、狭缝涂膜装置；6、基台；21、对位轮；22、对位调整结构件；23、对位电机；24、精密调平螺杆；25、掩膜板吸附固定平台；26、侧轨气动滑台；27、安装台；28、Z向滑轨；29、X向滑轨；201、Xa对位组件；202、Xb对位组件；210、弹簧；241、调整螺丝；242、支柱；31、对位导轮；32、对位导轮安装板；33、Y压力传感器；34、直线滑轨；35、滑轨支座；36、电动推杆；37、连接板；38、推杆固定板；301、Ya对位组件；302、Yb对位组件；41、支撑架；42、驱动机构；43、驱动轮；44、掩膜板；46、主动轮；47、辅助轮。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明更全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。

本发明中所描述的表达位置与方向的词，均是以附图为例进行的说明，但根据需要也可以做出改变，所做改变均包含在本发明保护范围内。

在钙钛矿/晶硅叠层太阳能电池制造过程中，晶硅的位置偏差是一种常见的现象，可能会导致制造出的太阳能电池性能不佳或不合格，为了补偿这种偏差，可以通过调整晶硅的位置来实现。具体的，本发明通过一种晶硅对位装置和涂膜设备来实现。

本发明的晶硅对位装置包括：晶硅承载台1、X轴对位组件2、Y轴对位组件3、掩膜板间隙调整组件4。

其中，晶硅承载台1具有相对的第一侧边和第二侧边、相对的第三侧边和第四侧边。晶硅承载台1的第一侧边和第二侧边为晶硅承载台1X轴方向的两个侧边，第三侧边和第四侧边为晶硅承载台1Y轴方向的两个侧边，晶硅承载台1用于承载沿X轴方向依次排列的多个晶硅。

参考图1和图2，应用时，晶硅承载台1用于固定和承载晶硅，以便进行后续的处理步骤，如对位、涂布等，晶硅承载台1可以通过吸附方式固定晶硅。

实际应用时，晶硅承载台1上承载多个晶硅，且各晶硅沿X轴方向依次排列。各晶硅可以呈片状的方形结构，例如正方形或长方形，各晶硅具有相对的第一侧边和第二侧边、相对的第三侧边和第四侧边。晶硅的第一侧边和第二侧边为晶硅X轴方向的两个侧边，第三侧边和第四侧边为晶硅Y轴方向的两个侧边。

晶硅钙钛矿叠层组件涂布设备中的X轴对位组件2负责在X轴方向上精确地对准和定位晶硅。

参考图2，X轴对位组件2包括相对设置的Xa对位组件201和Xb对位组件202。Xa对位组件201设置于晶硅承载台1的第一侧边的一侧，Xb对位组件202设置于晶硅承载台1的第二侧边的一侧。Xa对位组件201和Xb对位组件202用于使多个晶硅在X轴方向上紧贴。

参考图3A和3B，本发明的Xa对位组件201和Xb对位组件202均包括：安装台27、对位轮21、对位调整结构件22、对位电机23、掩膜板吸附固定平台25、侧轨气动滑台气缸26、Z向滑轨28、X向滑轨29、X压力传感器、精密调平螺杆24以及弹簧210。其中，对位电机23为力反馈电机。

参考图3B，安装台27呈平板状，安装台27外周的一侧凹陷形成第一容置空间，第一容置空间用于容纳并安装侧轨气动滑台气缸26。侧轨气动滑台气缸26的缸体安装在第一容置空间的底部，侧轨气动滑台气缸26驱动连接对位电机23，用于使对位电机23沿Z轴方向能够往复移动。对位电机23驱动连接对位调整结构件22，用于使对位调整结构件22沿X轴方向能够往复移动。对位调整结构件22用于安装对位轮21，对位轮21与晶硅承载台1相对设置，对位轮21用于抵接和驱动晶硅移动，以使晶硅对位。

应用时，对位调整结构件22为对位轮21提供支撑和定位，允许对位轮21进行精确的移动和调整，以满足对准需求。对位轮21通常用于初始的对准过程，可以自动调整，以确保晶硅之间的初步对齐。

参考图3A，掩膜板吸附固定平台25安装在安装台27上并用于固定和支撑掩膜板44，以确保掩膜板44的稳定性和位置准确性。掩膜板吸附固定平台25配备有吸附装置，如真空吸附，以防止掩膜板44在涂布过程中移动。此外，掩膜板吸附固定平台25外周的一侧形成第二容置空间，第二容置空间与第一容置空间联通，对位轮21容纳在第二容置空间内。

参考图4，对位调整结构件22沿X轴方向滑动安装在X向滑轨29上，X向滑轨29安装在Z向滑轨28上并连接侧轨气动滑台气缸26的驱动轴，侧轨气动滑台气缸26的驱动轴可以是伸缩轴并用于驱动X向滑轨29在Z向滑轨28的导向作用下沿Z轴方向能够往复移动，X轴方向、Y轴方向和Z轴方向相互垂直。

X压力传感器连接对位调整结构件22，通过X压力传感器获得对位轮21施加的对位作用力并做出调整，避免损坏厚度极薄的晶硅。三个精密调平螺杆24连接安装台27的不同位置，并呈三角形布置，精密调平螺杆24用于调整安装台27的角度。

参考图5，精密调平螺杆24一侧连接安装台27，精密调平螺杆24另一侧安装在外置的基台6上。精密调平螺杆24用于微调安装台27的水平位置，以在涂布过程中保持安装台27的上表面的水平度。

参考图5，精密调平螺杆24的一端设置有调整螺丝241，调整螺丝241螺纹穿过安装台27以调整安装台27的倾斜角度，精密调平螺杆24上设置有支柱242，弹簧210的两端分别连接支柱242和安装台27以使调整螺丝241调整安装台27的倾斜角度时使安装台27被拉向支柱242，参考图5，这样通过调整螺丝241调整安装台27的倾斜角度过程中，安装台27始终处于被向下拉的状态，使得安装台27的倾斜角度的调节更加精准。

综上，通过侧轨气动滑台气缸26能够实现对位调整结构件22以及对位轮21升降避让；通过对位电机23驱动对位调整结构件22，实现对速度、位置的控制，通过推动对位轮21保证晶硅紧密贴紧并可靠定位；通过对位调整结构件22调整对位轮21的相对位置，保证两组对位轮21的平行关系；通过精密调平螺杆24调整掩膜板吸附固定平台25，确保掩膜板44上平面和晶硅上平面高度在核实公差范围内。

Y轴对位组件3在太阳能电池制造设备中，扮演着与X轴对位组件2相似的角色，但通常在Y轴上提供对准和定位功能。

参考图2和图6，Y轴对位组件3包括对称设置的Ya对位组件301和Yb对位组件302，Ya对位组件301设置于晶硅承载台1的第三侧边的一侧，Yb对位组件302设置于晶硅承载台1的第四侧边的一侧。Ya对位组件301和Yb对位组件302用于使多个晶硅在Y轴方向上对齐和限位，X轴方向和Y轴方向交叉，优选垂直。

参考图6，本发明的Ya对位组件301和Yb对位组件302均包括：多个对位导轮31、对位导轮安装板32、电动推杆36、两个滑轨支座35、推杆固定板38、Y压力传感器33、两个直线滑轨34以及连接板37。其中，电动推杆36为力反馈电机的推杆。

参考图6，对位导轮安装板32呈长条状，多个对位导轮31沿对位导轮安装板32的长度方向均匀间隔分布在对位导轮安装板32的上表面且位于同一直线上，对位导轮31与晶硅承载台1上的晶硅相对设置，对位导轮安装板32用于固定对位导轮31并提供稳定的支撑，确保对位导轮31在移动过程中保持正确的位置和方向。对位导轮31用于引导和支持晶硅在Y轴上的移动，能够精确地控制移动轨迹，确保对准的准确性。

主要由直线滑轨34、滑轨支座35以及推杆固定板38构成的安装座上设有电动推杆36，电动推杆36驱动连接对位导轮安装板32，使对位导轮安装板32沿Y轴方向能够往复移动，进而带动多个对位导轮31沿Y轴方向能够往复移动，通过多个对位导轮31接触多个晶硅，实现Y轴方向上的移动和对位。

在一些优选的实施例中，电动推杆36驱动连接连接板37，连接板37连接Y压力传感器33，Y压力传感器33连接对位导轮安装板32。

参考图6，两个滑轨支座35分别设置在电动推杆36两侧，电动推杆36安装在推杆固定板38中部，推杆固定板38为固定电动推杆36提供稳定的支撑。此外，推杆固定板38与连接板37一起工作，确保电动推杆36的正确安装和位置调整。

应用时，推杆固定板38两端分别连接一个滑轨支座35，各滑轨支座35底部安装在外部基台6上，滑轨支座35顶部与直线滑轨34一侧滑动连接，直线滑轨34另一侧连接对位导轮安装板32。直线滑轨34为晶硅在Y轴方向上的移动提供精确的导向，确保移动平稳、顺畅，并减少摩擦和振动，以提高对准的精度。

实际应用时，当电动推杆36驱动对位导轮安装板32沿Y轴方向移动时，对位导轮安装板32带动直线滑轨34沿Y轴方向移动，此时，两侧的滑轨支座35能够辅助限定直线滑轨34沿Y轴方向移动。此外，通过设置两个直线滑轨34辅助支撑对位导轮安装板32，能够提高Y轴对位组件3的刚性和稳定性。

综上，对位过程中，通过Y压力传感器33将压力信息反馈给电动推杆36，实现对位的力控功能，避免损坏厚度极薄的晶硅；电动推杆36固定在推杆固定板38上，并通过连接板37连接到Y压力传感器33上，直线滑轨34固定在滑轨支座35上，实现对位导轮31的Y轴方向的限位。

掩膜板44用于在晶硅X轴向和Y轴向对位调整完成后与X轴方向两侧的晶硅贴紧，在狭缝涂膜装置5在晶硅上涂布浆料前，先在掩膜板44上进行预涂，然后再沿X轴方向移动并对多个晶硅进行涂布，由此避免晶硅边缘液膜厚度均一性受到影响，提高太阳能电池的性能。掩膜板间隙调整组件4用于调整掩膜板44的位置，以补偿晶硅的X轴的实际坐标与X轴理论坐标的误差，从而提高制备的太阳能电池的性能。

本实施例的掩膜板间隙调整组件4包括：支撑架41、驱动单元、掩膜板44以及距离传感器，参考图7。

Xb对位组件202和晶硅承载台1之间设有支撑架41，支撑架41上安装有一个或多个驱动单元，驱动单元驱动连接掩膜板44，使掩膜板44沿X轴方向移动，掩膜板44的一段吸附在Xb对位组件202的掩膜板吸附固定平台25上。

在一些优选的实施例中，驱动单元包括：驱动机构42以及驱动轮43，参考图7。

支撑架41上安装有一个或多个驱动机构42，各驱动机构42驱动连接一个驱动轮43，驱动机构42可以是力反馈电机，驱动机构42的伸缩轴直接或间接地连接驱动轮43，使驱动轮43沿X轴方向移动。掩膜板44呈扁平的环形带状结构，支撑架41上还可以设置循环电机（未示出）、主动轮46和多个辅助轮47，掩膜板44绕设在间隔分布的驱动轮43、主动轮46和辅助轮47上，主动轮46驱动连接掩膜板44，循环电机驱动主动轮46旋转并使掩膜板44在YOZ平面内循环转动。驱动轮43上设有距离传感器，用于检测驱动轮43上掩膜板44的位置，参考图7。

具体工作过程为，当X轴对位组件2和Y轴对位组件3完成晶硅的对位后，晶硅被固定在晶硅承载台1上，接着，侧轨气动滑台气缸26驱动对位调整结构件22以及对位轮21下降并容纳在掩膜板吸附固定平台25的第二容置空间内以避让掩膜板44；接着，循环电机驱动主动轮46旋转并使掩膜板44在YOZ平面内循环转动，此时可以对掩膜板44进行清洗；循环电机停止后，掩膜板44的一段位于掩膜板吸附固定平台25上，通过驱动机构42使驱动轮43沿X轴方向移动，带动掩膜板44与晶硅贴紧，从而调整掩膜板44与晶硅之间的间隙，间隙调整完毕，掩膜板吸附固定平台25吸附住掩膜板44，接着可以通过狭缝涂膜装置5对掩膜板44和晶硅进行涂布。

本发明的一种涂膜设备，包括上述的晶硅对位装置以及狭缝涂膜装置5。

参考图1，狭缝涂膜装置5设置于晶硅承载台1一侧。狭缝涂膜装置5可以包括龙门架和涂布头，涂布头安装在龙门架上，狭缝涂膜装置5可以采用已知结构，具体不再赘述。

在实际使用时，本发明装置能够结合控制单元使用，例如可编程逻辑控制器（Programmable Logic Controller，PLC），结合PLC使用时，能够提高本发明的自动化程度。

具体工作过程可以是，检测到晶硅放置于晶硅承载台1后，Xa对位组件201移动到预设的零位位置，提供X轴固定的基准，即靠近Xa对位组件201的晶硅的第二侧边的X轴坐标为零位坐标。Xb对位组件202通过三段式移动，即力反馈检测到已经接触晶硅并达到设定的压力范围，并记录当前力反馈位置为靠近Xb对位组件202的晶硅的第一侧边的X轴实际坐标，并将相关信号传递给掩膜板间隙调整组件4。

具体的，Xb对位组件202通过三段式移动包括：

第一段：X压力信号＜预设X压力信号，且Xb对位组件202高速移动，一般速度小于400mm/s，这减少了不必要的移动时间，提高了效率。

第二段：X压力信号＜预设X压力信号，且Xb对位组件202低速速移动，一般速度小于6mm/s，能够确保对位的精确性，避免由于高速移动产生的惯性导致的位置偏差。

第三段：X压力信号≥预设X压力信号，Xb对位组件202不再继续移动。

在Xb对位组件202对位完成后，Ya对位组件301、Yb对位组件302动作参照Xb对位组件202的动作逻辑，测算出晶硅的Y轴实际坐标，并将相关信号传递给PLC。同时，Ya对位组件301、Yb对位组件302相同方向运动，直到Y轴实际坐标与Y轴理论坐标重合。

晶硅承载台1吸附并固定晶硅。完成固定后，Xa 对位组件、Xb 对位组件、Ya 对位组件以及Yb对位组件302的电机均回到原工位。Xa对位组件201和Xb对位组件202的侧轨气动滑台气缸26下降避让。掩膜板间隙调整组件4移动到X轴实际坐标-0.5mm处，掩膜板44固定吸附在掩膜板吸附固定平台25上。

最后，狭缝涂膜装置5开始工作完成涂膜步骤。

综上可知，本发明通过将晶硅承载台1明确划分为具有相对的第一侧边、第二侧边、第三侧边和第四侧边的结构，为晶硅提供了一个清晰的空间定位基准。这种布局设计使得对位操作更加准确，有助于减少误差。

进一步的，本发明利用相对设置的Xa对位组件201和Xb对位组件202，从两个相对的方向对晶硅进行X轴方向的对位，利用相对设置的Ya对位组件301和Yb对位组件302从两个相对的方向对晶硅进行Y轴方向的对位，提高了对位的稳定性和可靠性，增强了装置的对位能力，进一步减少了生产过程中的等待时间和操作复杂性，从而提高了整体生产效率。此外，由于对位组件优选是镜像设置的，这种布局设计允许根据生产需求进行灵活的扩展。例如，如果需要增加对位精度或处理更多的晶硅，可以在现有的基础上增加更多的对位组件，而无需对整个系统进行大规模改动。

进一步的，本发明的掩膜板间隙调整组件4用于调整掩膜板44的位置，以补偿晶硅的X轴的实际坐标与X轴理论坐标的误差，从而提高最终太阳能电池的性能。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下，在发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，所有的这些改变都应该属于本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶硅对位装置，其特征在于，包括：

晶硅承载台（1），所述晶硅承载台（1）具有相对的第一侧边和第二侧边、相对的第三侧边和第四侧边，所述第一侧边和第二侧边为所述晶硅承载台（1）X轴方向的两个侧边，所述第三侧边和第四侧边为所述晶硅承载台（1）Y轴方向的两个侧边，所述晶硅承载台（1）用于承载沿X轴方向依次排列的多个晶硅；

X轴对位组件（2），所述X轴对位组件包括Xa对位组件（201）和Xb对位组件（202），所述Xa对位组件（201）设置于晶硅承载台（1）的第一侧边的一侧，所述Xb对位组件（202）设置于晶硅承载台（1）的第二侧边的一侧，所述Xa对位组件（201）和Xb对位组件（202）用于使多个晶硅在X轴方向上紧贴；

Y轴对位组件（3），所述Y轴对位组件（3）包括Ya对位组件（301）和Yb对位组件（302），所述Ya对位组件（301）设置于晶硅承载台（1）的第三侧边的一侧，所述Yb对位组件（302）设置于晶硅承载台（1）的第四侧边的一侧，所述Ya对位组件（301）和Yb对位组件（302）用于使多个晶硅在Y轴方向上对齐和限位，X轴方向和Y轴方向交叉。

2.根据权利要求1所述的晶硅对位装置，其特征在于，所述Xa对位组件（201）和所述Xb对位组件（202）均包括：

安装台（27），所述安装台（27）外周的一侧形成第一容置空间；

对位轮（21），所述对位轮（21）用于抵接和驱动晶硅移动；

对位调整结构件（22），所述对位轮（21）安装在所述对位调整结构件（22）上；

对位电机（23），所述对位电机（23）连接所述对位调整结构件（22），用于使所述对位调整结构件（22）沿X轴方向能够往复移动。

3.根据权利要求2所述的晶硅对位装置，其特征在于，所述Xa对位组件（201）和所述Xb对位组件（202）均还包括：

侧轨气动滑台气缸（26），所述侧轨气动滑台气缸（26）容纳并安装在所述第一容置空间内；所述侧轨气动滑台气缸（26）连接所述对位电机（23），用于使所述对位电机（23）沿Z轴方向移动；

Z向滑轨（28），所述Z向滑轨（28）滑动连接所述侧轨气动滑台气缸（26）；

X向滑轨（29），所述对位调整结构件（22）沿X轴方向滑动安装在所述X向滑轨（29）上，所述X向滑轨（29）安装在所述Z向滑轨（28）上并连接所述侧轨气动滑台气缸（26）的驱动轴，所述侧轨气动滑台气缸（26）的驱动轴用于驱动所述X向滑轨（29）在所述Z向滑轨（28）的导向作用下沿Z轴方向移动，X轴方向、Y轴方向和Z轴方向相互垂直；

掩膜板吸附固定平台（25），所述掩膜板吸附固定平台（25）安装在所述安装台（27）上并用于固定所述掩膜板（44），所述掩膜板吸附固定平台（25）外周的一侧形成第二容置空间，所述第二容置空间与第一容置空间联通，所述对位轮（21）容纳在所述第二容置空间内。

4.根据权利要求2所述的晶硅对位装置，其特征在于，所述Xa对位组件（201）和所述Xb对位组件（202）均还包括：

X压力传感器，所述X压力传感器连接所述对位调整结构件（22）；和/或，

三个精密调平螺杆（24），三个所述精密调平螺杆（24）连接所述安装台（27）的不同位置并呈三角形布置，所述精密调平螺杆（24）用于调整所述安装台（27）的角度。

5.根据权利要求4所述的晶硅对位装置，其特征在于，所述Xa对位组件（201）和所述Xb对位组件（202）均还包括弹簧（210）；

所述精密调平螺杆（24）的一端设置有调整螺丝（241），所述调整螺丝（241）螺纹穿过所述安装台（27）以调整安装台（27）的倾斜角度，所述精密调平螺杆（24）上设置有支柱（242），所述弹簧（210）的两端分别连接所述支柱（242）和所述安装台（27）以使所述调整螺丝（241）调整安装台（27）的倾斜角度时使所述安装台（27）被拉向所述支柱（242）。

6.根据权利要求1所述的晶硅对位装置，其特征在于，所述Ya对位组件（301）和所述Yb对位组件（302）均包括：

多个对位导轮（31），用于抵接和驱动晶硅移动；

对位导轮安装板（32），多个对位导轮（31）间隔分布在所述对位导轮安装板（32）上；

电动推杆（36），所述电动推杆（36）连接所述对位导轮安装板（32），用于使所述对位导轮安装板（32）沿Y轴方向移动。

7.根据权利要求6所述的晶硅对位装置，其特征在于，所述Ya对位组件（301）和所述Yb对位组件（302）均还包括：

两个滑轨支座（35），分别设置在所述电动推杆（36）两侧；

推杆固定板（38），所述推杆固定板（38）两端分别连接一个滑轨支座（35），所述电动推杆（36）设置在所述推杆固定板（38）上；

Y压力传感器（33），所述Y压力传感器（33）连接所述对位导轮安装板（32）；

两个直线滑轨（34），各所述直线滑轨（34）一侧滑动连接所述滑轨支座（35），所述直线滑轨（34）另一侧连接所述对位导轮安装板（32）。

8.根据权利要求3所述的晶硅对位装置，其特征在于，还包括：掩膜板间隙调整组件（4）；

所述掩膜板间隙调整组件（4）包括：

支撑架（41），所述支撑架（41）设置于所述Xb对位组件（202）和晶硅承载台（1）之间；

驱动单元，所述驱动单元安装在所述支撑架（41）上；

掩膜板（44），所述驱动单元连接掩模板（44），用于使掩模板（44）沿X轴方向移动，所述掩膜板（44）的一段吸附在所述Xb对位组件（202）的所述掩膜板吸附固定平台（25）上；

距离传感器，所述驱动单元上设有距离传感器。

9.根据权利要求8所述的晶硅对位装置，其特征在于，所述驱动单元包括：

驱动机构（42），所述驱动机构（42）安装在所述支撑架（41）上；

驱动轮（43），所述驱动机构（42）连接所述驱动轮（43），用于使驱动轮（43）沿X轴方向移动，所述驱动轮（43）连接掩模板（44）。

10.一种涂膜设备，其特征在于，包括：

晶硅对位装置，所述晶硅对位装置为权利要求1-9任一项所述的晶硅对位装置；

狭缝涂膜装置（5），所述狭缝涂膜装置（5）设置于所述晶硅承载台（1）一侧。