CN118360576B - 一种掩膜装置及镀膜玻璃的掩膜方法 - Google Patents

一种掩膜装置及镀膜玻璃的掩膜方法

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Abstract

本发明提供了一种掩膜装置及镀膜玻璃的掩膜方法，其中，所述掩膜装置包括承托件组件和盖板组件，所述承托件组件包括承托板和设置于承托板边缘的卡槽，所述盖板组件包括空心盖板和定位销；所述定位销和所述卡槽相配合，以使所述空心盖板固定连接于所述承托板上。使用本发明提供的该掩膜装置可实现厚度为0.5‑2.1mm的薄玻璃的镀膜和掩膜，并能保证除膜位置波动小于±0.5mm，重影宽度在1mm以内。

Description

一种掩膜装置及镀膜玻璃的掩膜方法
技术领域
本发明涉及一种掩膜装置及镀膜玻璃的掩膜方法，属于镀膜玻璃镀膜及除膜技术领域。
背景技术
车联网(C-V2X，Cellular-Vehicle to Everything)是人、车、路及互联网之间进行无线通讯和信息交换的蜂窝网络，根据通信对象的不同，车联网通讯可分为V2V(车对车)、V2I(车对基础设施)、V2P(车对人)和V2N(车对互联网)等。随着汽车日渐普及，用车场景不断丰富，汽车正在逐渐进化成为类似于手机的智能终端，车联网系统开始成为改善汽车座舱体验的重要配置。车联网是通信、电子、汽车、交通、能源等跨行业多领域深度交互的新型产业形态。车联网以专用/蜂窝通信网络为基础，按照约定的通信协议和数据交互标准，在V和X(人、车、路)之间，进行无线通讯和信息交换的大系统网络，实现智能化交通管理、智能动态信息服务和车辆智能化控制的一体化。V-X将人、车、路三要素连接在一期，实现数据互通、信息共享，并最终实现智能交通、智能汽车、智能驾驶等功能。不仅能够支持汽车感知更多信息并且促进自动驾驶技术创新和应用；还有助于构建智慧交通体系，促进汽车和交通服务的新模式新业态发展。
车端OBU是目前车联网主要的解决方案。目前车端OBU主要产品以T-Box为主，T-BOX，全称Telematics-BOX(车联网控制单元)，指安装在汽车上用于控制跟踪汽车的嵌入式系统，主要由移动通信单元(4G/5G)、C-V2X通信单元、GNSS高精度定位模块、微处理器、车内总线控制器及存储器等部分组成。T-BOX肩负着监控和控制车身状态的使命。有了T-BOX，我们就可以通过4G或5G远程无线通讯、GPS卫星定位和加速度传感等关键器件为整车提供包括行车数据采集、行驶轨迹记录、车辆故障监控、车辆远程查询和控制等功能。未来，T-BOX功能将更加强大。可以实现车与云平台、车与车、车与道路设施等各个交通参与方的实时通信。
2016年特斯拉在旗下model3和models车型上首先引入了全景天幕的设计，极大改善了车顶的视野，引领了天幕风潮。随后各整车厂都跟进了这一设计。全景天幕与全景天窗的主要区别在于：①全景天窗可以开启，而全景天幕不可开启，天幕结构更加简化。②为了安装开启结构，全景天窗的面积一般不超过车顶的三分之二，而全景天幕可以做成整个车顶，面积更大，从而能够带来更好的车顶视野。根据我们的估算，当前全景天幕的渗透率约为5％，随着更多重磅车型采用天幕设计，有望进一步推动天幕热潮。
天幕玻璃在使用中，也需要考虑其隔热的功能。最初的方式采用简单的遮阳帘，但是实际效果并不理想。最新的技术方案是采用隔热玻璃(低辐射玻璃/LOW-E玻璃)，通过在玻璃上镀膜技术(一般为镀银)，使玻璃通过可见光，但是可以大量反射红外线(热量来源)和紫外线，在夏季阻止外界热量传递到车内，而在冬季可以防止车内热量散发到车外，实现冬暖夏凉的效果。这种隔热玻璃技术已在建筑玻璃上推广应用，整车厂也在尝试将此技术应用到天幕玻璃上，蔚来EC6、小鹏P7、比亚迪宋MAX等车型均采用了镀膜的LOW-E玻璃作为天幕玻璃，可以隔绝约80％的热量和90％以上的紫外线，效果显著。
利用化学气相沉积技术(CVD)或物理气相沉积技术(PVD)在玻璃基板的表面上沉积透明导电膜形成的镀膜玻璃已经被广泛地应用在车辆和建筑上，基于透明导电膜中的金属层、金属合金层或透明导电氧化物层的良好导电性和能够反射红外线的特性，使这样的镀膜玻璃具有电加热功能和/或隔热功能，目前此类技术已经可以使用在汽车玻璃上。平直玻璃板被加热的方式主要是在加热炉内通过加热元件对玻璃表面进行热辐射；而与玻璃板相比，透明导电膜对热辐射具有更高的反射和更低的吸收，如果平直玻璃板上的透明导电膜在被加热弯曲成型前形成无透明导电膜区域，那么在接下来的被加热软化的过程中，平直玻璃板上的无透明导电膜区域的温度比覆盖有透明导电膜的区域的温度更高，甚至在平直玻璃板的不同区域形成几十或上百摄氏度的温度梯度，导致在后续的弯曲成型过程中存在动力学差异，使最终得到的弯曲玻璃板局部光学失真，特别是无透明导电膜区域及其边界区域更为明显，因此可能会带来与设计的形状匹配性差、在视野区域产生透视变形、导致图像不能满足要求等问题。因两片玻璃的特性差异较大，通常采用双片压制成型工艺进行生产，因为透明导电层没有经过高温结晶，其表面的抗压能力较差，故对两片玻璃之间的隔离层的要求越发严苛。
为了避免离线镀膜的低辐射LOW-E玻璃与空气、水等接触，一般在镀膜完成后，对镀膜玻璃进行除膜处理，然后在48小时内合成中空玻璃使用，这样可以保护功能膜，使其长久保持低辐射性能。
由此可知，一方面镀膜隔热玻璃天幕成为中高端新能源汽车的基本配置，另一方面智能网联汽车正深入发展，需要在天幕下安装多类型收发天线模组。然而现有镀膜隔热玻璃天幕缺乏电磁信号交换窗口，阻隔信息交换。客户要求在保留隔热的性能和美观下，在天幕上开辟天窗收发的窗口，这对除膜技术的位置精度提出了极高的要求。
因此，提供一种新型的掩膜装置及镀膜玻璃的掩膜方法已经成为本领域亟需解决的技术问题。
发明内容
为了解决上述的缺点和不足，本发明的一个目的在于提供一种掩膜装置。
本发明的另一个目的还在于提供一种镀膜玻璃的掩膜方法，其是利用以上所述掩膜装置实现的。
为了实现以上目的，一方面，本发明提供了一种掩膜装置，其中，所述掩膜装置包括承托件组件和盖板组件，所述承托件组件包括承托板和设置于承托板边缘的卡槽，所述盖板组件包括空心盖板和定位销；所述定位销和所述卡槽相配合，以使所述空心盖板固定连接于所述承托板上。
本发明中，所述定位销和所述卡槽相配合是指定位销和卡槽的轮廓(即二者凹凸配合)、数量和位置等均相配合，以通过将定位销嵌入卡槽内，使所述空心盖板固定连接于所述承托板上。
为保证更好地进行水平定位，掩膜装置中的定位销和卡槽的数量至少分别为2个。例如在本发明的一些具体实施例中，定位销和卡槽的数量均为2个，或者定位销和卡槽的数量均为3个。
本发明提供的掩膜装置中，所述空心盖板具有内框区(即空心区域)，该内框区根据产品的除膜区域进行设计。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述承托板为2-6mm厚的板材。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述承托板包括铝板、铝合金板、不锈钢板、亚克力板或者PC板等。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述承托板朝向空心盖板的一面，即承托板与待镀膜玻璃接触的一面贴有防滑胶带。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述卡槽和所述定位销的材质分别包括聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚苯醚树脂、聚碳酸酯、聚酰胺、聚四氟乙烯及聚苯醚等中的一种。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述空心盖板的厚度为2-6mm。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述空心盖板包括单片式盖板或者双片式盖板。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述单片式盖板包括铝板、铝合金板、不锈钢板、亚克力板或者PC板等。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述单片式盖板的内框区的任一面或者多个面设置有圆角、斜角或者台阶结构，即单片式盖板的内框区的任一侧面或者多个侧面的上、下表面通过圆角、斜角或者台阶结构相连。于单片式盖板的内框区设置圆角、斜角或者台阶结构可以有效降低重影宽度。
本发明提供的掩膜装置中，空心盖板的内框区可以为规则形状，也可以为不规则形状，可根据现场实际作业情况进行合理选择。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述双片式盖板的内框区的任一面或者多个面设置有台阶结构。对于双片式盖板，其较容易实现台阶结构，如其可以通过使不同尺寸大小的上盖板和下盖板相配合实现。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述圆角的半径为2-8mm，所述斜角的角度为30°-60°，所述台阶结构的高度为0.3-1mm。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述双片式盖板由上盖板和下盖板胶合而成，所述下盖板包括不锈钢板、铝合金板、聚四氟乙烯板、聚乙烯板和聚丙烯板等韧性较好的板材中的一种，所述上盖板包括铝合金板、聚对苯二甲酸乙二酯板、聚乙烯板和聚丙烯板等中的一种。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述下盖板的厚度为0.3-1mm，所述上盖板的厚度为2-5mm。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述下盖板的内框区的宽度比所述上盖板的内框区的宽度小3-5mm。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，取样长度为0.08mm时，所述空心盖板的上表面的表面粗糙度为10-75μm。其中，当所述空心盖板为双片式盖板时，双片式盖板中的上盖板的上表面的表面粗糙度为10-75μm(取样长度为0.08mm)。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述空心盖板的上表面黏附有改性膜层，其中，所述改性膜层的材质为附着力促进剂，即所述空心盖板为上表面经附着力促进剂表面改性处理的盖板。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述附着力促进剂包括有机硅烷粘附促进剂、有机钛酸粘附促进剂、锆石附着力促进剂、氧化锆铝酸酯附着力促进剂及磷酸酯粘附促进剂等中的一种或几种的组合。在本发明的一些实施例中，所述磷酸酯粘附促进剂例如可为烷基磷酸酯等。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述改性膜层的制备方法，即附着力促进剂表面改性处理包括：
步骤(1)：将附着力促进剂溶液均匀地喷洒在空心盖板的上表面；
步骤(2)：对步骤(1)所得盖板进行烘烤，烘烤结束后改性膜层黏附于空心盖板的上表面。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，步骤(1)还包括：先对空心盖板的上表面进行粗糙化处理，再将附着力促进剂溶液均匀地喷洒在空心盖板的上表面。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，以所述附着力促进剂溶液的总重量为100％计，其包含1-10wt％的附着力促进剂和90-99wt％的溶剂。其中，本发明对所用溶剂的具体物质不做具体要求，可根据现场实际作业需要进行合理选择。例如在本发明的一些实施例中，所述溶剂包括丙二醇甲醚或者乙醇等。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，所述烘烤为于80-180℃的烘箱中烘烤8-16h，或者为使用温度为800-1500℃的火焰进行烘烤。
作为本发明以上所述掩膜装置的一具体实施方式，其中，当所述单片式盖板或者所述双片式盖板的上盖板的材质为金属时，所述烘烤包括利用液化天然气和/或石油气高温火焰来回烘烤，以在盖板的上表面快速形成一层渗碳氧化层；当所述单片式盖板或者所述双片式盖板的上盖板的材质为金属外的其他材质时，所述烘烤可于烘箱中进行。
对于具有减反射和热反射双重功能的ITO膜系，其首层膜系一般是氧化硅或者氮化硅，但氧化硅和氮化硅与金属及有机材质不亲和，从而会导致镀在盖板上的膜会随着溅射气流飘落到待镀膜玻璃上，进而导致成品存在外观缺陷。对于此本发明对空心盖板(上盖板)的上表面进行附着力促进剂表面改性处理，以于上表面上形成附着膜层，即该附着膜层有效地黏附在盖板的上表面，使用胶带都无法粘掉，从而镀在盖板上的膜不会随着溅射气流飘落到待镀膜玻璃上，进而即可避免生产出的镀膜玻璃出现因盖板掉渣而导致的缺陷。
另一方面，本发明还提供了一种镀膜玻璃的掩膜方法，其中，所述方法是利用以上所述掩膜装置实现的，包括：
步骤1)：将待镀膜玻璃置于承托板上，然后使定位销嵌入卡槽内以将空心盖板固定于承托板上；
步骤2)：对待镀膜玻璃进行镀膜处理；
步骤3)：镀膜处理结束后，从卡槽内拔出定位销并取下空心盖板，完成对待镀膜玻璃的镀膜和掩膜。
作为本发明以上所述掩膜方法的一具体实施方式，其中，所述承托板的尺寸至少要大于或者等于待镀膜玻璃的尺寸。
作为本发明以上所述掩膜方法的一具体实施方式，其中，待镀膜玻璃为钠钙基或硅硼基玻璃等，所述镀膜处理为采用磁控溅射方法镀膜，最终所得成品玻璃为ITO镀膜玻璃。
与现有技术相比，本发明所能达成的有益技术效果包括：
(1)当前使用的金属掩膜装置仅包含盖板，这种盖板只能用于厚度大于2mm的待镀膜玻璃的掩膜，对于厚度为2mm以下的待镀膜玻璃无法使用，这是因为装置运行时只靠较薄的待镀膜玻璃承托盖板，以使其在镀膜辊道上运行，玻璃将会被压碎；而本发明提供的掩膜装置包括承托件组件和盖板组件，对于厚度为2mm以下的待镀膜玻璃，可将其置于承托组件上，无需承受辊道的压力，从而使用该掩膜装置可实现厚度为0.5-2.1mm的薄玻璃的镀膜和掩膜。
(2)当前使用的金属掩膜装置大多通过人工卡位的方式将盖板和待镀膜玻璃进行对齐定位，人工操作波动大，位置波动达到±3mm，导致除膜位置无法保证；而本发明提供的掩膜装置的承托件组件和盖板组件分别包括卡槽和定位销，并通过使定位销嵌入卡槽内以将空心盖板固定于承托板上，从而可保证除膜位置波动小于±0.5mm；
(3)使用本发明提供的掩膜装置进行镀膜和掩膜时，重影宽度可以控制在1mm以内。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例1提供的掩膜装置的结构示意图。
图2为本发明实施例2提供的掩膜装置的结构示意图。
图3为本发明实施例3提供的掩膜装置的结构示意图。
主要附图标号说明：
1、承托板；
11、卡槽；
2、空心盖板；
21、定位销；
22、内框区；
3、待镀膜玻璃。
具体实施方式
需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“包括”以及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
本发明所公开的“范围”以下限和上限的形式给出。可以分别为一个或多个下限，和一个或多个上限。给定的范围是通过选定一个下限和一个上限进行限定的。选定的下限和上限限定了特别范围的边界。所有以这种方式进行限定的范围是可组合的，即任何下限可以与任何上限组合形成一个范围。例如，针对特定参数列出了60-120和80-110的范围，理解为60-110和80-120的范围也是可以预料到的。此外，如果列出的最小范围值为1和2，列出的最大范围值为3，4和5，则下面的范围可全部预料到：1-3、1-4、1-5、2-3、2-4和2-5。
在本发明中，除非有其他说明，数值范围“a-b”表示a到b之间的任意实数组合的缩略表示，其中a和b都是实数。例如数值范围“0-5”表示本发明中已经全部列出了“0-5”之间的全部实数，“0-5”只是这些数值组合的缩略表示。
在本发明中，如果没有特别的说明，本发明所提到的所有实施方式以及优选实施方式可以相互组合形成新的技术方案。
在本发明中，如果没有特别的说明，本发明所提到的所有技术特征以及优选特征可以相互组合形成新的技术方案。
在本发明中，如果没有特别指出，本说明书所用的术语“两种”指“至少两种”。
在本发明中，如果没有特别的说明，本文所提到的所有步骤可以顺序进行，也可以随机进行，但是优选是顺序进行的。例如，所述方法包括步骤(a)和(b)，表示所述方法可包括顺序进行的步骤(a)和(b)，也可以包括顺序进行的步骤(b)和(a)。例如，所述提到所述方法还可包括步骤(c)，表示步骤(c)可以任意顺序加入到所述方法，例如，所述方法可以包括步骤(a)、(b)和(c)，也可包括步骤(a)、(c)和(b)，也可以包括步骤(c)、(a)和(b)等。
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附表、附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。下列所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，仅用于说明本发明，而不应视为限制本发明的范围。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
实施例1
本实施例提供了一种掩膜装置，其结构示意图如图1所示，从图1中可以看出，所述掩膜装置包括：
承托件组件和盖板组件，所述承托件组件包括承托板1和分别设置于承托板相邻两边边缘的两个卡槽11，所述盖板组件包括空心盖板2和两个定位销21；所述定位销21和所述卡槽11相配合，以使所述空心盖板2固定连接于所述承托板1上；
其中，所述承托板1为2mm厚的铝合金板，承托板1的尺寸比待镀膜玻璃3大10mm，即承托板1的长度和宽度分别比待镀膜玻璃3的长度和宽度大10mm，承托板1与待镀膜玻璃3接触的一面贴有防滑胶带；两个所述卡槽11的材质为聚甲基丙烯酸甲酯；
其中，所述空心盖板2为2.5mm厚的不锈钢单片式盖板，所述空心盖板2的内框区22的其中一面，即图1中所示内框区不规则一面设置有台阶结构(图中未示出)，台阶结构的高度为0.3mm，宽度为4mm，所述空心盖板2的上表面经过有机钛酸粘附促进剂表面改性处理，即所述空心盖板2的上表面黏附有改性膜层，该改性膜层的材质为有机钛酸粘附促进剂；所述定位销21的材质为聚甲基丙烯酸甲酯；
其中，所述表面改性处理包括：将含有2wt％的有机钛酸粘附促进剂和98wt％的乙醇溶剂的附着力促进剂溶液均匀地喷洒在空心盖板的上表面；随后将盖板置于80℃烘箱内烘烤8h。
实施例2
本实施例提供了一种掩膜装置，其结构示意图如图2所示，从图2中可以看出，所述掩膜装置包括：
承托件组件和盖板组件，所述承托件组件包括承托板1和三个卡槽11，其中两个卡槽11设置于承托板1长度方向的一条边的边缘，另一个卡槽11设置于宽度方向的一条边的边缘，所述盖板组件包括空心盖板2和三个定位销21；三个所述定位销21和三个所述卡槽11相配合，以使所述空心盖板2固定连接于所述承托板1上；
其中，所述承托板1为2mm厚的不锈钢板，承托板1的尺寸比待镀膜玻璃3大5mm，即承托板1的长度和宽度分别比待镀膜玻璃3的长度和宽度大5mm，承托板1与待镀膜玻璃3接触的一面贴有防滑胶带；两个所述卡槽11的材质为聚四氟乙烯；
其中，所述空心盖板2为3mm厚的双片式盖板，所述双片式盖板的上盖板为2.5mm厚的铝合金板，下盖板为0.5mm厚的聚丙烯板，所述空心盖板2的内框区22的其中一面，即图2中所示内框区不规则一面设置有台阶结构(图中未示出)，台阶结构的高度为0.5mm，宽度为5mm，所述空心盖板2的上表面，即上盖板的上表面经过有机硅烷粘附促进剂表面改性处理，即所述空心盖板2的上表面黏附有改性膜层，该改性膜层的材质为有机硅烷粘附促进剂；所述定位销21的材质为聚四氟乙烯；
其中，所述表面改性处理包括：将含有5wt％的有机硅烷粘附促进剂和95wt％的丙二醇甲醚溶剂的附着力促进剂溶液均匀地喷洒在空心盖板的上表面；随后将盖板置于150℃烘箱内烘烤10h。
实施例3
本实施例提供了一种掩膜装置，其结构示意图如图3所示，从图3中可以看出，所述掩膜装置包括：
承托件组件和盖板组件，所述承托件组件包括承托板1和两个卡槽11，其中两个卡槽11分别设置于承托板1相邻两边边缘，所述盖板组件包括空心盖板2和两个定位销21；两个所述定位销21和两个所述卡槽11相配合，以使所述空心盖板2固定连接于所述承托板1上；
其中，所述承托板1为2mm厚的不锈钢板，承托板1的尺寸比待镀膜玻璃3大5mm，即承托板1的长度和宽度分别比待镀膜玻璃3的长度和宽度大5mm，承托板1与待镀膜玻璃3接触的一面贴有防滑胶带；两个所述卡槽11的材质为聚四氟乙烯；
其中，所述空心盖板2为3mm厚的PC板，所述空心盖板2的内框区22的其中一面，即图3中所示内框区不规则一面设置有倒角(图中未示出)，角度为45度，所述空心盖板2的上表面经过磷酸酯粘附促进剂表面改性处理，即所述空心盖板2的上表面黏附有改性膜层，该改性膜层的材质为磷酸酯粘附促进剂；所述定位销21的材质为聚四氟乙烯；
其中，所述表面改性处理包括：将含有4wt％的磷酸酯促进剂和96wt％的丙二醇甲醚的附着力促进剂溶液均匀地喷洒在空心盖板的上表面；随后将盖板置于150℃烘箱内烘烤10h。
实施例4
本实施例提供了一种镀膜玻璃的掩膜方法，其中，所述方法是利用实施例1提供的掩膜装置实现的，包括：
步骤1)：将待镀膜玻璃置于承托板上，然后使定位销嵌入卡槽内以将空心盖板固定于承托板上；
步骤2)：对待镀膜玻璃进行镀膜处理；
步骤3)：镀膜处理结束后，从卡槽内拔出定位销并取下空心盖板，完成对待镀膜玻璃的镀膜和掩膜。
实施例5
本实施例提供了一种镀膜玻璃的掩膜方法，其中，所述方法是利用实施例2提供的掩膜装置实现的，包括：
步骤1)：将待镀膜玻璃置于承托板上，然后使定位销嵌入卡槽内以将空心盖板固定于承托板上；
步骤2)：对待镀膜玻璃进行镀膜处理；
步骤3)：镀膜处理结束后，从卡槽内拔出定位销并取下空心盖板，完成对待镀膜玻璃的镀膜和掩膜。
实施例6
本实施例提供了一种镀膜玻璃的掩膜方法，其中，所述方法是利用实施例3提供的掩膜装置实现的，包括：
步骤1)：将待镀膜玻璃置于承托板上，然后使定位销嵌入卡槽内以将空心盖板固定于承托板上；
步骤2)：对待镀膜玻璃进行镀膜处理；
步骤3)：镀膜处理结束后，从卡槽内拔出定位销并取下空心盖板，完成对待镀膜玻璃的镀膜和掩膜。
本发明实施例提供的掩膜装置和现有传统盖板所能获得的可掩膜最薄玻璃数据、掩膜过程中的位置波动数据和重影宽度数据均如下表1所示。
表1
可掩膜最薄玻璃 位置波动 重影宽度
传统盖板 2mm ±2mm >3mm
实施例1 0.5mm ±0.5mm 0.5mm
实施例2 0.5mm ±0.5mm 0.5mm
实施例3 0.5mm ±0.5mm 1mm
注：传统盖板仅包含盖板并通过人工卡位的方式将盖板和待镀膜玻璃进行对齐定位。
从表1中可以看出，相较于传统盖板，本实施例4-实施例6分别利用实施例1-实施例3提供的掩膜装置进行镀膜玻璃的掩膜，成功实现了厚度为0.5mm厚的薄玻璃的镀膜和掩膜，并且除膜位置波动小于±0.5mm，重影宽度在1mm以内；与此同时，实施例中使用的掩膜装置的空心盖板(上盖板)的上表面经过了附着力促进剂表面改性处理，于上表面上形成了附着膜层，使用胶带都无法粘掉，从而镀在盖板上的膜不会随着溅射气流飘落到待镀膜玻璃上，进而可避免生产出的镀膜玻璃出现因盖板掉渣而导致的缺陷。
此外，对比实施例1和实施例3提供的掩膜装置的实验数据可知，实施例1提供的掩膜装置的重影宽度更小，这说明相较于倒角结构，台阶结构更加有利于掩膜性能的提升。
以上所述，仅为本发明的具体实施例，不能以其限定发明实施的范围，所以其等同组件的置换，或依本发明专利保护范围所作的等同变化与修饰，都应仍属于本专利涵盖的范畴。另外，本发明中的技术特征与技术特征之间、技术特征与技术发明之间、技术发明与技术发明之间均可以自由组合使用。

Claims (19)

1.一种掩膜装置，其特征在于，所述掩膜装置包括承托件组件和盖板组件，所述承托件组件包括承托板和设置于承托板边缘的卡槽，所述盖板组件包括空心盖板和定位销；所述定位销和所述卡槽相配合，以使所述空心盖板固定连接于所述承托板上；
所述空心盖板的上表面黏附有改性膜层，其中，所述改性膜层的材质为附着力促进剂，所述附着力促进剂包括有机硅烷粘附促进剂、有机钛酸粘附促进剂、锆石附着力促进剂、氧化锆铝酸酯附着力促进剂及磷酸酯粘附促进剂中的一种或几种的组合。
2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述承托板为2-6mm厚的板材。
3.根据权利要求1或2所述的掩膜装置，其特征在于，所述承托板包括铝板、铝合金板、不锈钢板、亚克力板或者PC板。
4.根据权利要求1或2所述的掩膜装置，其特征在于，所述承托板朝向空心盖板的一面贴有防滑胶带。
5.根据权利要求1或2所述的掩膜装置，其特征在于，所述卡槽和所述定位销的材质分别包括聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚苯醚树脂、聚碳酸酯、聚酰胺、聚四氟乙烯及聚苯醚中的一种。
6.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述空心盖板的厚度为2-6mm。
7.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述空心盖板包括单片式盖板或者双片式盖板。
8.根据权利要求7所述的掩膜装置，其特征在于，所述单片式盖板包括铝板、铝合金板、不锈钢板、亚克力板或者PC板。
9.根据权利要求7或8所述的掩膜装置，其特征在于，所述单片式盖板的内框区的任一面或者多个面设置有圆角、斜角或者台阶结构。
10.根据权利要求9所述的掩膜装置，其特征在于，所述圆角的半径为2-8mm，所述斜角的角度为30°-60°，所述台阶结构的高度为0.3-1mm。
11.根据权利要求7所述的掩膜装置，其特征在于，所述双片式盖板由上盖板和下盖板胶合而成，所述下盖板包括不锈钢板、铝合金板、聚四氟乙烯板、聚乙烯板和聚丙烯板中的一种，所述上盖板包括铝合金板、聚对苯二甲酸乙二酯板、聚乙烯板和聚丙烯板中的一种。
12.根据权利要求11所述的掩膜装置，其特征在于，所述下盖板的厚度为0.3-1mm，所述上盖板的厚度为2-5mm。
13.根据权利要求7所述的掩膜装置，其特征在于，所述双片式盖板的内框区的任一面或者多个面设置有台阶结构。
14.根据权利要求11或12所述的掩膜装置，其特征在于，所述下盖板的内框区的宽度比所述上盖板的内框区的宽度小3-5mm。
15.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，取样长度为0.08mm时，所述空心盖板的上表面的表面粗糙度为10-75μm。
16.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，改性膜层的制备方法包括：
步骤（1）：将附着力促进剂溶液均匀地喷洒在空心盖板的上表面；
步骤（2）：对步骤（1）所得盖板进行烘烤，烘烤结束后改性膜层黏附于空心盖板的上表面。
17.根据权利要求16所述的掩膜装置，其特征在于，以所述附着力促进剂溶液的总重量为100%计，其包含1-10wt%的附着力促进剂和90-99wt%的溶剂。
18.根据权利要求16所述的掩膜装置，其特征在于，所述烘烤为于80-180℃的烘箱中烘烤8-16h，或者为使用温度为800-1500℃的火焰进行烘烤。
19.一种镀膜玻璃的掩膜方法，其特征在于，所述方法是利用权利要求1-18任一项所述掩膜装置实现的，包括：
步骤1）：将待镀膜玻璃置于承托板上，然后使定位销嵌入卡槽内以将空心盖板固定于承托板上；
步骤2）：对待镀膜玻璃进行镀膜处理；
步骤3）：镀膜处理结束后，从卡槽内拔出定位销并取下空心盖板，完成对待镀膜玻璃的镀膜和掩膜。
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