CN118335668A - 一种全自动硅片插片机 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种全自动硅片插片机,涉及硅片生产技术领域,包括机架,还包括输送机构,所述机架一端安装有升降托盘,该升降托盘顶部放置有开口朝向输送机构的硅片装载盒,所述机架于硅片装载盒两侧均安装有限位架,且限位架一侧弹性嵌设有防脱件,硅片装载盒两侧均固定连接有与防脱件相匹配的若干防脱凸起,推拉机构,其弹性滑动安装于机架内,且推拉机构一端与硅片装载盒的背面相插接,夹持转运机构,其安装于机架内壁顶部,其夹持部与防脱凸起抵接配合。本发明通过设置在硅片装载盒两边的一对限位架来防止硅片装载盒抬升时发生偏移,避免输送机构将硅片输送到硅片装载盒开口处时出现卡滞现象,同时防脱件抵在相应位置的防脱凸起下方。

Description

一种全自动硅片插片机
技术领域
本发明涉及硅片生产技术领域,具体为一种全自动硅片插片机。
背景技术
硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,是太阳能电池和芯片的主要制作材料,单晶硅是从大自然丰富的硅原料中提纯制造出多晶硅,再通过区熔或直拉法生产出区熔单晶或直拉单晶硅,进一步形成硅片,在硅片生产出来后,需要将硅片一片一片的插装到特制的装片盒内对硅片进行收集存储,为了提高收集的效率,设计出来硅片插片机。
现有的专利申请的专利公开号为:CN220526872U,公开日为2024年02月23日,该专利的名称为“一种硅片插片机”,该专利包括加工平台,所述加工平台的两侧均固定设有支撑架,两个所述支撑架的下端均设有第一电机,两个所述第一电机的输出端均固定连接有螺纹杆,且两个螺纹杆分别贯穿两个支撑架的下端,两个所述支撑架的内部均开设有移动槽,且两个移动槽的上内壁分别与两个螺纹杆远离第一电机的一端贯穿连接,两个所述螺纹杆的外表面均套设有移动块,两个所述移动块相对面的一端共同连接有升降板,所述升降板的下端固定设有固定块,该实用新型通过螺纹杆和移动块,使得机器可以自动对硅片进行插片,并且通过传送带,从而使得机器可以对硅片进行移动输送。
上述申请具有不足之处,采用全自动硅片插片机来插装硅片时,硅片若在输送时自身位置或硅片盒的位置发生了偏移,不仅无法正常插入硅片盒内,还会导致两者之间发生碰撞,同时,即使多块硅片都能顺利的插入硅片盒,也会因多个硅片持续性的与硅片盒接触而导致硅片盒位置发生改变,而若硅片盒位置发生偏移,后续自动夹持并转运硅片盒的工序会收到影响。
发明内容
本发明的目的是提供一种全自动硅片插片机,以解决上述现有技术中的不足之处。
为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种全自动硅片插片机,包括机架,还包括输送机构,所述机架一端安装有升降托盘,该升降托盘顶部放置有开口朝向输送机构的硅片装载盒,所述机架于硅片装载盒两侧均安装有限位架,且限位架一侧弹性嵌设有防脱件,硅片装载盒两侧均固定连接有与防脱件相匹配的若干防脱凸起,推拉机构,其弹性滑动安装于机架内,且推拉机构一端与硅片装载盒的背面相插接,夹持转运机构,其安装于机架内壁顶部,其夹持部与防脱凸起抵接配合,当所述升降托盘持续抬升硅片装载盒时,所述防脱件以及夹持转运机构同时抵住相应位置上的防脱凸起,并且推拉机构会在弹力作用下随硅片装载盒上升。
优选的,所述硅片装载盒内设有若干个上下分布的插片槽,所述防脱凸起与插片槽的数量相应,且防脱凸起顶部设有斜槽。
优选的,所述输送机构包括与机架固定的输送台,所述输送台内安装有若干个传动辊,相邻传动辊通过一对输送线带相连。
优选的,所述限位架一侧开设有容纳槽,且其与硅片装载盒的侧面相接触,所述防脱件包括滑动安装于容纳槽内的的挡杆,所述挡杆一侧与限位架之间安装有若干个连接弹簧,所述挡杆另一侧与防脱凸起相抵。
优选的,所述推拉机构包括位于机架中的横杆,所述横杆两端分别与机架滑动连接,且两者之间固定连接有顶簧,所述横杆一侧固定连接有电动推杆,该电动推杆端部固定连接有插板,所述硅片装载盒背面固定连接有与插板相适配的插接架。
优选的,所述夹持转运机构包括安装于机架中的导轨,所述导轨中安装有电控滑动模组,所述电控滑动模组底部固定连接有连接座,所述连接座底部弹性连接有一对夹爪,且一对夹爪底部分别与两边防脱凸起的顶部倾斜相抵。
优选的,所述夹爪与连接座滑动连接,所述连接座的中部安装有传动齿轮,一对所述夹爪上分别开设有与传动齿轮两侧相啮合的齿条,所述传动齿轮顶部固定连接有贯穿连接座的轴杆,所述轴杆顶部固定连接有凸轮,所述凸轮与连接座之间安装有扭簧,所述机架顶部安装有抵接架,所述抵接架底部开设有与凸轮相适配的半圆形槽。
优选的,所述机架于导轨下方安装有转运台,所述转运台中安装有输送带,所述输送带的顶面与限位架的顶面处在同一水平面上。
优选的,所述输送台顶部安装有支架,所述支架顶部对称安装有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆一端固定连接有纠偏挡板。
优选的,其中一所述传动辊位于硅片装载盒内,且该传动辊两端均套接有吹尘扇叶。
在上述技术方案中,通过设置在硅片装载盒两边的一对限位架来防止硅片装载盒抬升时发生偏移,避免输送机构将硅片输送到硅片装载盒开口处时出现卡滞现象,同时限位架中的防脱件能够在弹力作用下抵在相应位置的防脱凸起下方,而夹持转运机构的夹持部则从该防脱凸起的上方对其进行抵压,并且该防脱凸起上方一防脱凸起会卡入夹持部中,以从多方面来避免硅片装载盒意外脱落或倾斜,也方便后续对装满硅片的硅片装载盒快速转运,并且推拉机构不仅能够水平推拉硅片装载盒方便安装和褪出,也能够随硅片装载盒一起上升,能对硅片装载盒起到支护的作用。
应当理解,前面的一般描述和以下详细描述都仅是示例性和说明性的,而不是用于限制本公开。
本申请文件提供本公开中描述的技术的各种实现或示例的概述,并不是所公开技术的全部范围或所有特征的全面公开。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一种全自动硅片插片机的整体结构示意图;
图2为本发明一种全自动硅片插片机的整体结构示意图;
图3为本发明一种全自动硅片插片机中输送机构的结构示意图;
图4为本发明一种全自动硅片插片机中A处放大图;
图5为本发明一种全自动硅片插片机的限位架和防脱件的连接示意图;
图6为本发明一种全自动硅片插片机的B处放大图;
图7为本发明一种全自动硅片插片机中硅片装载盒的结构示意图;
图8为本发明一种全自动硅片插片机中推拉机构的结构示意图;
图9为本发明一种全自动硅片插片机中夹持转运机构的结构示意图;
图10为本发明一种全自动硅片插片机中夹持转运机构的结构示意图。
附图标记说明:
1、机架;101、升降托盘;102、限位架;103、容纳槽;104、抵接架;105、半圆形槽;106、电推杆;2、输送机构;201、输送台;202、传动辊;203、输送线带;204、吹尘扇叶;205、第一皮带辊;206、第二皮带辊;207、防撞传动皮带;208、传动带;209、连接架;3、硅片装载盒;301、防脱凸起;302、插片槽;303、斜槽;304、插接架;4、防脱件;401、挡杆;402、连接弹簧;5、推拉机构;501、横杆;502、顶簧;503、电动推杆;504、插板;6、夹持转运机构;601、导轨;602、电控滑动模组;603、连接座;604、夹爪;605、传动齿轮;606、齿条;607、轴杆;608、凸轮;609、扭簧;7、转运台;701、输送带;8、支架;801、电动伸缩杆;802、纠偏挡板。
具体实施方式
为使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本公开实施例的附图,对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本公开的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例,本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本公开保护的范围。
请参阅图1-10,本发明实施例提供的一种全自动硅片插片机,包括机架1,还包括输送机构2,机架1一端安装有升降托盘101,该升降托盘101顶部放置有开口朝向输送机构2的硅片装载盒3,机架1于硅片装载盒3两侧均安装有限位架102,且限位架102一侧弹性嵌设有防脱件4,硅片装载盒3两侧均固定连接有与防脱件4相匹配的若干防脱凸起301,推拉机构5,其弹性滑动安装于机架1内,且推拉机构5一端与硅片装载盒3的背面相插接,夹持转运机构6,其安装于机架1内壁顶部,其夹持部与防脱凸起301抵接配合,当升降托盘101持续抬升硅片装载盒3时,防脱件4以及夹持转运机构6同时抵住相应位置上的防脱凸起301,并且推拉机构5会在弹力作用下随硅片装载盒3上升。
具体的,输送机构2用来将多个硅片依次输送到硅片装载盒3内,输送机构2一端为进料端,另一端为放料端,升降托盘101位于放料端,升降托盘101与机架1之间竖直固定连接有一对电推杆106,在前一硅片完全插入硅片装载盒3后,通过电推杆106来向上抬升升降托盘101,使硅片装载盒3内空出的区域对应上输送机构2中的硅片,一对限位架102也处在放料端,并位于升降托盘101的上方,当硅片装载盒3向上移动时,两边限位架102配合限制硅片装载盒3的上升轨迹,让硅片装载盒3的开口始终对应上输送机构2的放料端,同时,硅片装载盒3上升过程中,其两边的多个防脱凸起301能够依次顶开限位架102内的防脱件4,让防脱件4能够挡在相应的防脱凸起301下方,避免硅片装载盒3意外掉落,能够从插好硅片的位置灵活的限制硅片装载盒3下降,并且不仅防脱件4能够从该被阻挡的防脱凸起301下方阻挡其下降,夹持转运机构6的夹持部又会从该防脱凸起301的上方对其进行挤压,也就是说,每次插片过程中,硅片装载盒3两边的防脱凸起301都被抵紧,再配合上从后方对硅片装载盒3进行推压的推拉机构5,能完全保证插片过程中硅片装载盒3的稳定,避免正常输送的硅片碰撞到硅片装载盒3,并且推拉机构5能够方便硅片装载盒3的放置和褪出,在输送机构2上具有不良品时,可以通过推拉机构5拉出硅片装载盒3,避免不良品因硅片装载盒3阻挡而不便处理。
与现有技术相比,本发明实施例通过设置在硅片装载盒3两边的一对限位架102来防止硅片装载盒3抬升时发生偏移,避免输送机构2将硅片输送到硅片装载盒3开口处时出现卡滞现象,同时限位架102中的防脱件4能够在弹力作用下抵在相应位置的防脱凸起301下方,而夹持转运机构6的夹持部则从该防脱凸起301的上方对其进行抵压,并且该防脱凸起301上方一防脱凸起301会卡入夹持部中,以从多方面来避免硅片装载盒3意外脱落或倾斜,也方便后续对装满硅片的硅片装载盒3快速转运,并且推拉机构5不仅能够水平推拉硅片装载盒3方便安装和褪出,也能够随硅片装载盒3一起上升,能对硅片装载盒3起到支护的作用。
本发明进一步的实施例中,硅片装载盒3内设有若干个上下分布的插片槽302,防脱凸起301与插片槽302的数量相应,防脱凸起301处在插片槽302的外部,且防脱凸起301顶部设有斜槽303,具体的,插片槽302密集的上下分布在硅片装载盒3中,通过输送机构2输送硅片,硅片装载盒3中的上一插片槽302插上硅片后,通过升降托盘101抬起硅片装载盒3让下一插片槽302移至上一插片槽302的位置,使硅片装载盒3中总有一层插片槽302的槽口和输送机构2放料端相对应,以实现快速自动化插片,而防脱凸起301上设置斜槽303,能方便其顶开防脱件4,快速便捷,也方便硅片装载盒3向上时通过防脱凸起301顶开夹持转运机构6中的夹持部,方便其后续对硅片装载盒3进行夹持。
本发明进一步的实施例中,输送机构2包括与机架1固定的输送台201,输送台201内安装有若干个传动辊202,相邻传动辊202通过一对输送线带203相连,其中一传动辊202的端部安装有驱动电机,输送台201内壁两侧均安装有第一皮带辊205和第二皮带辊206,第一皮带辊205和第二皮带辊206之间通过防撞传动皮带207连接,防撞传动皮带207与输送线带203运行方向一致,第一皮带辊205与传动辊202通过传动带208传动连接,第二皮带辊206的直径大于第一皮带辊205的直径,具体的,通过多个传动辊202和多对输送线带203来对硅片进行输送,能够减少硅片与输送机构2之间的摩擦,使硅片插入硅片装载盒3中的过程更顺畅,加装多个传动辊202,能够避免两个传动辊202之间的输送线带203中部下坠,保证硅片的正常稳定输送,输送带701两边的防撞传动皮带207与输送台201中的输送线带203一起朝着同一方向运行,若硅片在输送过程中出现偏移,即使抵在输送台201边缘也不会造成硬性摩擦,同时防撞传动皮带207能避免硅片输送过程中从输送台201上掉落,因为防撞传动皮带207始终处在运行的状态,硅片抵到防撞传动皮带207后,两者之间的接触面位置不会发生大幅度的变化,也就不会因为摩擦对硅片边缘造成损坏的问题,第二皮带辊206靠近硅片装载盒3,并且其直径大于第一皮带辊205的直径,使防撞传动皮带207内侧倾斜,一对防撞传动皮带207之间的间距逐渐变窄,当硅片在输送线带203上朝着硅片装载盒3移动时,硅片就会经过变窄的区域,利用防撞传动皮带207来提前初步纠正硅片的姿态,以防止硅片偏移幅度过大导致后续调整麻烦。
本发明进一步的实施例中,限位架102一侧开设有容纳槽103,且其与硅片装载盒3的侧面相接触,防脱件4包括滑动安装于容纳槽103内的的挡杆401,挡杆401两端均固定连接有滑块,容纳槽103内壁两侧均水平开设有与滑块相匹配的滑槽,挡杆401一侧与限位架102之间安装有若干个连接弹簧402,挡杆401另一侧与防脱凸起301相抵,且该侧设有抵接斜面,具体的,两个限位架102分别和硅片装载盒3的两边进行接触,能够避免硅片装载盒3在承接硅片时出现偏移,挡杆401在连接弹簧402的作用力下抵触硅片装载盒3的外侧壁,由于受滑槽长度的限制,挡杆401并不会抵紧硅片装载盒3,而是始终在容纳槽103内活动,也就是说,即使硅片装载盒3从两个限位架102之间移走,挡杆401也不会在连接弹簧402的作用力下移出容纳槽103,从而方便放入另一硅片装载盒3,并且就算挡杆401只能够在容纳槽103内活动,在硅片装载盒3逐渐上升的过程中,各防脱凸起301在穿过容纳槽103时都会顶开防脱件4,接着防脱件4再在弹力作用下挡在该穿过容纳槽103的防脱凸起301的下方,这时硅片进行插接动作,防止硅片插入时硅片装载盒3意外晃动或脱落,并且在每个插片槽302插入硅片时都具有防脱件4的保护,使整个插片流程更加稳定可靠。
本发明进一步的实施例中,推拉机构5包括位于机架1中的横杆501,横杆501两端分别与机架1滑动连接,且两者之间固定连接有顶簧502,横杆501一侧固定连接有电动推杆503,该电动推杆503端部固定连接有插板504,硅片装载盒3背面固定连接有与插板504相适配的插接架304,所述插接架304位于插板504的上方,具体的,当将硅片装载盒3放置在升降托盘101上时,先让硅片装载盒3背面的插接架304卡在电动推杆503的插板504上,通过电动推杆503来将硅片装载盒3完全推入到两个限位架102之间,接着保持电动推杆503伸出的长度,这时只要升降托盘101不抬升硅片装载盒3,防脱件4就会配合硅片装载盒3侧边的防脱凸起301来对硅片装载盒3进行固定,当后续升降托盘101正常抬升硅片装载盒3时,推拉机构5中的电动推杆503始终保持同一长度,其又在顶簧502的作用力下随硅片装载盒3同步上升,能有效的避免硅片装载盒3在承接硅片时后移,减少冲击力的同时对整个硅片装载盒3起到支护保护的作用,即使防脱件4未起到作用,推拉机构5也能够避免硅片装载盒3直接掉落。
本发明进一步的实施例中,夹持转运机构6包括安装于机架1中的导轨601,导轨601中安装有电控滑动模组602,输送机构2的输送方向为X轴,电控滑动模组602的移动方向为Y轴,电控滑动模组602底部固定连接有连接座603,连接座603位于硅片装载盒3的上方,连接座603底部弹性连接有一对夹爪604,且一对夹爪604底部分别与两边防脱凸起301的顶部倾斜相抵,具体的,电控滑动模组602能够带着连接座603沿导轨601自由移动,当硅片装载盒3中装满硅片并抬升至合适位置后,一对夹爪604的底部会夹住位于其上方的防脱凸起301,从而利用防脱凸起301来保证一对夹爪604夹持的稳定,而一对夹爪604在不进行夹持时,又能够通过抵压防脱凸起301来保证硅片装载盒3的稳定,避免硅片转运过程中因晃动幅度过大导致硅片受损。
本发明进一步的实施例中,夹爪604与连接座603滑动连接,连接座603的中部安装有传动齿轮605,一对夹爪604上分别开设有与传动齿轮605两侧相啮合的齿条606,传动齿轮605顶部固定连接有贯穿连接座603的轴杆607,轴杆607顶部固定连接有凸轮608,凸轮608与连接座603之间安装有扭簧609,机架1顶部安装有抵接架104,抵接架104底部开设有与凸轮608相适配的半圆形槽105,具体的,通过在凸轮608和连接座603之间安装扭簧609能够让两边的夹爪604在弹力作用下相互靠拢,使一对夹爪604能够自动夹持住硅片装载盒3,同时又能够在硅片装载盒3向上抬升时连续避开上移的多个防脱凸块,并且当被夹持的硅片装载盒3通过电控滑动模组602移出机架1时,其轴杆607上的凸轮608会在进入半圆形槽105中,迫使凸轮608发生转动,通过传动齿轮605和齿条606的啮合传动来带动两边的夹爪604相互远离,从而在合适工位松开被夹持的硅片装载盒3,即无需复杂的数控程序,也能够保证转运的速度。
本发明进一步的实施例中,机架1于导轨601下方安装有转运台7,转运台7中安装有输送带701,输送带701的顶面与限位架102的顶面处在同一水平面上,抵接架104位于输送带701上方,具体的,由于抵接架104位于输送带701的上方,其底部的半圆形槽105也处在输送带701上方,所以一对夹爪604会在输送带701上方松开硅片装载盒3,让硅片装载盒3能够快速的转运到合适工位,提高加工的效率。
本发明进一步的实施例中,输送台201顶部安装有支架8,支架8靠近硅片装载盒3,支架8位于输送线带203上方,支架8顶部对称安装有电动伸缩杆801,电动伸缩杆801一端固定连接有纠偏挡板802,纠偏挡板802与电动伸缩杆801之间通过滑套相固定,滑套滑动套接于支架8中,具体的,当硅片移动到两个纠偏挡板802之间时,两边的电动伸缩杆801带动两个纠偏挡板802相互靠拢,配合调整硅片的方位,防止硅片歪斜过度无法插入插片槽302。
本发明进一步的实施例中,其中一传动辊202位于硅片装载盒3内,该传动辊202与输送台201之间固定连接有连接架209,且该传动辊202两端均套接有吹尘扇叶204,吹尘扇叶204与传动轴同轴转动,具体的,只要输送机构2处在运行的状态,由于加装有吹尘扇叶204的传动辊202处在硅片装载盒3中,能够通过传动辊202带动吹尘扇叶204转动来清理吹落掉硅片装载盒3内的灰尘,虽然传动辊202的高度没有改变,但是因为在插片过程中硅片装载盒3时持续上升的,故吹尘扇叶204能够提前对未插片的插片槽302进行依次吹尘处理,无需担心除尘效果。
以上只通过说明的方式描述了本发明的某些示范性实施例,毋庸置疑,对于本领域的普通技术人员,在不偏离本发明的精神和范围的情况下,可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此,上述附图和描述在本质上是说明性的,不应理解为对本发明权利要求保护范围的限制。

Claims (10)

1.一种全自动硅片插片机,包括机架(1),其特征在于,还包括:
输送机构(2),所述机架(1)一端安装有升降托盘(101),该升降托盘(101)顶部放置有开口朝向输送机构(2)的硅片装载盒(3),所述机架(1)于硅片装载盒(3)两侧均安装有限位架(102),且限位架(102)一侧弹性嵌设有防脱件(4),硅片装载盒(3)两侧均固定连接有与防脱件(4)相匹配的若干防脱凸起(301);
推拉机构(5),其弹性滑动安装于机架(1)内,且推拉机构(5)一端与硅片装载盒(3)的背面相插接;
夹持转运机构(6),其安装于机架(1)内壁顶部,其夹持部与防脱凸起(301)抵接配合;
当所述升降托盘(101)持续抬升硅片装载盒(3)时,所述防脱件(4)以及夹持转运机构(6)同时抵住相应位置上的防脱凸起(301),并且推拉机构(5)会在弹力作用下随硅片装载盒(3)上升。
2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于,所述硅片装载盒(3)内设有若干个上下分布的插片槽(302),所述防脱凸起(301)与插片槽(302)的数量相应,且防脱凸起(301)顶部设有斜槽(303)。
3.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于,所述输送机构(2)包括与机架(1)固定的输送台(201),所述输送台(201)内安装有若干个传动辊(202),相邻传动辊(202)通过一对输送线带(203)相连。
4.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于,所述限位架(102)一侧开设有容纳槽(103),且其与硅片装载盒(3)的侧面相接触,所述防脱件(4)包括滑动安装于容纳槽(103)内的的挡杆(401),所述挡杆(401)一侧与限位架(102)之间安装有若干个连接弹簧(402),所述挡杆(401)另一侧与防脱凸起(301)相抵。
5.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于,所述推拉机构(5)包括位于机架(1)中的横杆(501),所述横杆(501)两端分别与机架(1)滑动连接,且两者之间固定连接有顶簧(502),所述横杆(501)一侧固定连接有电动推杆(503),该电动推杆(503)端部固定连接有插板(504),所述硅片装载盒(3)背面固定连接有与插板(504)相适配的插接架(304)。
6.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于,所述夹持转运机构(6)包括安装于机架(1)中的导轨(601),所述导轨(601)中安装有电控滑动模组(602),所述电控滑动模组(602)底部固定连接有连接座(603),所述连接座(603)底部弹性连接有一对夹爪(604),且一对夹爪(604)底部分别与两边防脱凸起(301)的顶部倾斜相抵。
7.根据权利要求6所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于,所述夹爪(604)与连接座(603)滑动连接,所述连接座(603)的中部安装有传动齿轮(605),一对所述夹爪(604)上分别开设有与传动齿轮(605)两侧相啮合的齿条(606),所述传动齿轮(605)顶部固定连接有贯穿连接座(603)的轴杆(607),所述轴杆(607)顶部固定连接有凸轮(608),所述凸轮(608)与连接座(603)之间安装有扭簧(609),所述机架(1)顶部安装有抵接架(104),所述抵接架(104)底部开设有与凸轮(608)相适配的半圆形槽(105)。
8.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于,所述机架(1)于导轨(601)下方安装有转运台(7),所述转运台(7)中安装有输送带(701),所述输送带(701)的顶面与限位架(102)的顶面处在同一水平面上。
9.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于,所述输送台(201)顶部安装有支架(8),所述支架(8)顶部对称安装有电动伸缩杆(801),所述电动伸缩杆(801)一端固定连接有纠偏挡板(802)。
10.根据权利要求3所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于,其中一所述传动辊(202)位于硅片装载盒(3)内,且该传动辊(202)两端均套接有吹尘扇叶(204)。
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