CN118173481A - 一种导片设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种导片设备，包括转载装置、第一上料装置、第一下料装置、第二上料装置、第二下料装置及机架，在工作过程中，两组三列的硅片沿X方向进入变轨区，其中，位于第一输送线上的硅片由变轨组件移动至相邻的第二输送线，经过变轨区后，两个第一输出组及一个第二输出组共同沿X方向输出三组两列的硅片，三组两列的硅片分别输出至三个干法花篮中，从而实现硅片从湿法花篮至干法花篮的自动化转载，无需人工操作，能够缩短转载所需的工时，提升生产效率，且能够避免作业人员接触硅片，从而能够避免硅片被污染，还能够避免由于作业人员手持不稳而导致的硅片掉落，有利于保证良品率，降低生产成本。

Description

一种导片设备

技术领域

本发明涉及光伏电池片自动化生产设备技术领域，尤其是涉及一种导片设备。

背景技术

制造太阳能电池片的生产工艺中包括多种不同的工序，在不同的工序中可能需要不同规格的花篮作为硅片的载具，例如，制绒、碱抛等湿法工序中使用湿法花篮装载硅片，湿法花篮的每层可存储三个硅片，而干法工序中使用干法花篮装载硅片，干法花篮的每层仅能够存储两个硅片，因此在湿法工序结束后，需将硅片转载至干法花篮中才能进行后续的干法工序。若采用人工操作来实现硅片在不同规格的花篮之间的转载，一方面，人工操作所需的工时较长，会导致生产效率降低，另一方面，作业人员在转载硅片的过程中，可能因接触硅片而污染硅片，还可能因为手持不稳而导致硅片掉落，会导致良品率降低，生产成本较高。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种导片设备，能够实现硅片从湿法花篮至干法花篮的自动化转载，无需人工操作，能够缩短转载所需的工时，提升生产效率，且能够避免作业人员接触硅片，从而能够避免硅片被污染，还能够避免由于作业人员手持不稳而导致的硅片掉落，有利于保证良品率，降低生产成本。

本发明实施例提供的一种导片设备，用于将硅片从湿法花篮转移至干法花篮，所述湿法花篮中能够放置三列所述硅片，所述干法花篮中能够放置两列所述硅片，所述导片设备包括：

转载装置，具有沿X方向依次设置的输入区、变轨区及输出区，所述转载装置包括两个变轨输送机构，所述变轨输送机构包括第一输送线、第二输送线及变轨组件，所述第一输送线与所述第二输送线均沿X方向延伸且均能够放置并沿X方向输送单片的硅片，所述第一输送线自所述输入区延伸至所述变轨区，所述第二输送线自所述变轨区延伸至所述输出区，在所述变轨区内，所述第一输送线与所述第二输送线在Y方向上错开设置，所述变轨组件位于所述变轨区，所述变轨组件用于将硅片从所述第一输送线移动至相邻的所述第二输送线；所述转载装置还包括四个第三输送线，所述第三输送线沿X方向延伸且能够放置并沿X方向输送单片的硅片，所述第三输送线自所述输入区延伸至所述输出区，在所述输入区内，两个所述第三输送线与一个所述第一输送线沿Y方向并排设置形成一输入组，所述输入组设置有两个；在所述输出区内，两个所述第三输送线沿Y方向并排设置形成一第一输出组，所述第一输出组设置有两个，两个所述第二输送线沿Y方向并排设置形成一第二输出组，两个所述第一输出组分设于所述第二输出组在Y方向上的两侧；所述Y方向与所述X方向垂直；

第一上料装置，对接于所述输入区远离所述变轨区的一端以向所述转载装置供给装有所述硅片的所述湿法花篮；

第一下料装置，对接于所述输入区远离所述变轨区的一端以输出空的所述湿法花篮；

第二上料装置，对接于所述输出区远离所述变轨区的一端以向所述转载装置供给空的所述干法花篮；

第二下料装置，对接于所述输出区远离所述变轨区的一端以输出装有所述硅片的干法花篮；

机架，所述转载装置、所述第一上料装置、所述第一下料装置、所述第二上料装置及所述第二下料装置均安装于所述机架。

本发明实施例提供的一种导片设备，至少具有如下有益效果：

本发明实施例提供的导片设备在工作过程中，由第一上料装置向转载装置的输入区供给两个装有硅片的湿法花篮，由第二上料装置向转载装置的输出区供给三个空的干法花篮，两个湿法花篮中的硅片分别输出至两个输入组，两组三列的硅片沿X方向进入变轨区，其中，位于第一输送线上的硅片由变轨组件移动至相邻的第二输送线，经过变轨区后，两个第一输出组及一个第二输出组共同沿X方向输出三组两列的硅片，三组两列的硅片分别输出至三个干法花篮中，第一下料装置输出空的湿法花篮，第二下料装置输出装有硅片的干法花篮，从而实现硅片从湿法花篮至干法花篮的自动化转载，无需人工操作，能够缩短转载所需的工时，提升生产效率，且能够避免作业人员接触硅片，从而能够避免硅片被污染，还能够避免由于作业人员手持不稳而导致的硅片掉落，有利于保证良品率，降低生产成本。

在本发明的一些实施例中，在所述变轨区内，所述第一输送线与所述第二输送线沿Y方向并排设置，所述变轨组件用于沿Y方向移动硅片以使硅片从所述第一输送线移动至所述第二输送线。

在本发明的一些实施例中，所述第一输送线包括两个第一带式输送结构，所述第一带式输送结构沿X方向设置，所述第一带式输送结构的上表面用于承载工件并沿X方向输送工件，所述第一带式输送结构沿X方向具有第一输送部及第一对接部，两个所述第一对接部之间限定有第一间隔；

所述第二输送线包括两个第二带式输送结构，所述第二带式输送结构沿X方向设置，所述第二带式输送结构的上表面用于承载工件并沿X方向输送工件，所述第二带式输送结构沿X方向具有第二输送部及第二对接部，两个所述第二对接部之间限定有第二间隔，所述第一对接部与所述第二对接部沿Y方向依次设置；

所述变轨组件包括横移滑轨、升降驱动件及承载件，所述横移滑轨位于所述第一输送线及所述第二输送线的下方，所述升降驱动件沿Y方向滑动连接于所述横移滑轨，所述升降驱动件的输出端连接于所述承载件以驱动所述承载件沿竖直方向移动，所述承载件能够穿过所述第一间隔以移动至所述第一输送线的上方或下方，所述承载件能够穿过所述第二间隔以移动至所述第二输送线的上方或下方；

其中，所述X方向、所述Y方向及竖直方向两两垂直；

所述第一对接部具有第一横移间隔，所述第二对接部具有第二横移间隔，所述第一横移间隔与所述第二横移间隔均沿Y方向延伸，所述第一横移间隔与所述第二横移间隔沿Y方向依次设置，所述升降驱动件能够沿Y方向在所述第一横移间隔及所述第二横移间隔中移动；

或，所述第一对接部与所述第一输送部之间具有沿Y方向延伸的第一横移间隔，所述第一横移间隔与所述第二对接部远离所述第二输送部的一侧边缘沿Y方向依次设置，所述升降驱动件能够沿Y方向在所述第一横移间隔以及所述第二对接部远离所述第二输送部的一侧移动；

或，所述第二对接部与所述第二输送部之间具有沿Y方向延伸的第二横移间隔，所述第二横移间隔与所述第一对接部远离所述第一输送部的一侧边缘沿Y方向依次设置，所述升降驱动件能够沿Y方向在所述第二横移间隔以及所述第一对接部远离所述第一输送部的一侧移动。

在本发明的一些实施例中，所述湿法花篮包括两个第一端板及多个第一支撑柱，两个所述第一端板间隔设置，所述第一支撑柱的两端分别连接于两个所述第一端板，多个所述第一支撑柱在两个所述第一端板之间限定出三个第一容纳腔，所述第一端板具有三个卡槽，每一所述第一端板的三个所述卡槽分别对应于三个所述第一容纳腔，在所述湿法花篮输入所述第一上料装置前，两个所述第一端板上安装有三个压杆，所述压杆的两端分别卡接于同一所述第一容纳腔对应的两个所述卡槽，所述压杆用于阻止硅片从所述第一容纳腔中脱出；

所述第一上料装置包括压杆拆卸组件及压杆回收组件，所述压杆拆卸组件用于将所述压杆从所述湿法花篮上拆下，所述压杆回收组件包括回收箱，所述回收箱用于容纳所述压杆。

在本发明的一些实施例中，所述卡槽在所述第一端板的边缘形成开口，所述卡槽包括插入段及卡接段，所述卡接段位于所述插入段远离所述开口的一侧，所述插入段的宽度为a，所述卡接段的宽度为b，所述卡接段的长度为c；所述压杆的端部设置有卡接部，所述卡接部的宽度为w，所述卡接部的厚度为h，w＞h，h＜a＜w，b＞w，c＞w；在所述湿法花篮输入所述第一上料装置前，所述卡接部容纳于所述卡接段；

所述压杆拆卸组件包括底座及两个拆卸机构，所述底座安装于所述机架，所述底座具有用于放置所述湿法花篮的放置区，两个所述拆卸机构分设于所述放置区的两侧，所述拆卸机构包括第一支架及三个卡接件，所述第一支架沿水平方向滑动连接于所述底座，所述卡接件转动连接于所述第一支架，三个所述卡接件依次间隔排列，所述卡接件具有插接槽，当所述湿法花篮放置于所述放置区时，所述湿法花篮处于横卧状态，所述压杆沿水平方向延伸且所述卡槽的开口朝上，两个所述拆卸机构的所述第一支架均能够向靠近所述湿法花篮的方向移动，以使每一所述压杆两端的所述卡接部分别对应插接于一所述插接槽，所述卡接件能够相对所述第一支架转动以带动所述压杆转动。

在本发明的一些实施例中，所述第一支架还沿竖直方向活动连接于所述底座，当所述卡接件相对所述第一支架转动使得所述卡接部的厚度方向与所述插入段的宽度方向平行时，所述第一支架能够相对所述底座向上移动以使所述压杆退出所述卡槽。

在本发明的一些实施例中，所述第一上料装置还包括机械臂，所述机械臂连接于所述机架，所述机械臂能够将装有硅片的所述湿法花篮放置于所述压杆拆卸组件中，且所述机械臂能够将所述压杆放置于所述回收箱中。

在本发明的一些实施例中，所述回收箱包括两个相对的限位壁及一个侧壁，所述侧壁垂直于所述限位壁，所述侧壁的两端分别连接于两个所述限位壁，两个所述限位壁均具有三个沿竖直方向延伸的限位槽，所述限位槽用于容纳所述压杆的端部；

所述第一上料装置还包括升降组件，所述升降组件包括升降支撑件及承托件，所述升降支撑件连接于所述机架，所述承托件沿竖直方向滑动连接于所述升降支撑件，所述承托件能够自两个所述限位壁之间伸入所述回收箱的内部，所述承托件用于承载所述压杆。

在本发明的一些实施例中，所述第一上料装置还包括翻转组件，所述翻转组件用于接收已拆卸所述压杆的所述湿法花篮，并调整所述湿法花篮的姿态以使所述湿法花篮切换为直立状态；所述翻转组件包括翻转支撑件及翻转夹具，所述翻转支撑件安装于所述机架，所述翻转夹具转动连接于所述翻转支撑件，所述翻转夹具能够对接于所述压杆拆卸组件以承接已拆卸所述压杆的所述湿法花篮，所述翻转夹具能够夹持所述湿法花篮并带动所述湿法花篮转动，以使所述湿法花篮由横卧状态切换为直立状态。

在本发明的一些实施例中，所述转载装置还包括两个第一升降组件及三个第二升降组件，两个所述第一升降组件分别位于两个所述输入组远离所述变轨区的一侧，所述第一升降组件包括第一升降支架、第一承接件及第一压紧件，所述第一升降支架连接于所述机架，所述第一承接件与所述第一压紧件均沿竖直方向滑动连接于所述第一升降支架，所述第一承接件用于接收自所述第一上料装置输送来的装有硅片的所述湿法花篮，所述第一压紧件用于将所述湿法花篮压紧于所述第一承接件，所述第一压紧件与所述第一承接件能够夹紧所述湿法花篮并带动所述湿法花篮沿竖直方向移动以使所述湿法花篮中的硅片逐层输送至所述输入组；

三个所述第二升降组件分别位于两个所述第一输出组及一个所述第二输出组远离所述变轨区的一侧，所述第二升降组件包括第二升降支架、第二承接件及第二压紧件，所述第二升降支架连接于所述机架，所述第二承接件与所述第二压紧件均沿竖直方向滑动连接于所述第二升降支架，所述第二承接件用于接收自所述第二上料装置输送来的空的所述干法花篮，所述第二压紧件用于将所述干法花篮压紧于所述第二承接件，所述第二压紧件与所述第二承接件能够夹紧所述干法花篮并带动所述干法花篮沿竖直方向移动以使自两个所述第一输出组及一个所述第二输出组输出的硅片逐层插入所述干法花篮中。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，其中：

图1为本发明的一些实施例提供的导片设备的立体示意图；

图2为图1所示的导片设备在另一角度的立体示意图；

图3为图1所示的导片设备的俯视图；

图4为图1所示的导片设备的转载装置的变轨输送机构及第三输送线的布局示意图；

图5为图4所示的转载装置的变轨输送机构及第三输送线的立体示意图；

图6为图5所示的变轨输送机构及第三输送线的俯视图；

图7为图5所示的转载装置的第一输送线、第二输送线及第三输送线在工作过程中的一个状态的示意图；

图8为图5所示的转载装置的第一输送线、第二输送线及第三输送线在工作过程中的另一个状态的示意图；

图9为另一些实施例提供的转载装置的第一输送线、第二输送线及第三输送线的布局示意图；

图10为图5所示的变轨输送机构的俯视图；

图11为图10所示的变轨输送机构的第一输送线与第二输送线的布局示意图；

图12为另一些实施例提供转载装置的变轨输送机构的第一输送线与第二输送线的布局示意图；

图13为另一些实施例提供转载装置的变轨输送机构的第一输送线与第二输送线的布局示意图；

图14为另一些实施例提供转载装置的变轨输送机构的第一输送线与第二输送线的布局示意图；

图15为另一些实施例提供转载装置的变轨输送机构的第一输送线与第二输送线的布局示意图；

图16为另一些实施例提供转载装置的变轨输送机构的第一输送线与第二输送线的布局示意图；

图17为图10所示的变轨输送机构的变轨组件的立体示意图；

图18为图10所示的变轨输送机构的第一输送线的立体示意图；

图19为图1所示的导片设备的转载装置的第一升降组件的立体示意图；

图20为图1所示的导片设备的转载装置的第二升降组件的立体示意图；

图21为图1所示的导片设备的转载装置的剔除组件的立体示意图；

图22为图1所示的导片设备的转载装置的缓存组件的立体示意图；

图23为图1所示的导片设备的转载装置的整片组件的立体示意图；

图24为图1所示的导片设备的第一上料装置的升降组件的立体示意图；

图25为图1所示的导片设备的第一上料装置的压杆回收组件的立体示意图；

图26为图1所示的导片设备的第一上料装置的压杆拆卸组件的立体示意图；

图27为图26中G处的放大图；

图28为图27所示的区域的侧视图；

图29为图1所示的导片设备的第一上料装置的翻转组件的翻转支撑件、翻转夹具及第一横移轨道的立体示意图；

图30为图1所示的导片设备的第一上料装置的翻转组件的旋转支撑件、旋转件及第二横移轨道的立体示意图。

附图标记：

转载装置100，输入区A，变轨区B，输出区C，输入组D，第一输出组E，第二输出组F，变轨输送机构110，第一输送线111，第一带式输送结构1111，第一输送部11111，第一对接部11112，第一间隔11113，第一横移间隔11114，输送带11115，主动轮11116，从动轮11117，固定架11118，支撑件11119，第二输送线112，第二带式输送结构1121，第二输送部11211，第二对接部11212，第二间隔11213，第二横移间隔11214，变轨组件113，横移滑轨1131，升降驱动件1132，承载件1133，吸附口11331，第一承载部11332，第二承载部11333，第三输送线120，第三带式输送结构121，第一输送段1211，第二输送段1212，第三输送段1213，第一升降组件130，第一升降支架131，第一承接件132，第一压紧件133，第二升降组件140，第二升降支架141，第二承接件142，第二压紧件143，剔除组件150，剔除滑轨151，吸附件152，第一检测件153，缓存组件160，缓存升降支架161，缓存架162，缓存卡接齿163，缓存腔164，整片组件170，整片支架171，第一整片件172，第一整片活动件173，第二整片件174，第二整片活动件175；

第一上料装置200，压杆拆卸组件210，底座211，拆卸机构212，第一支架2121，卡接件2122，插接槽2123，水平驱动件2124，抬升驱动件2125，定位机构213，第二支架2131，定位件2132，第一输出线214，压杆回收组件220，回收箱221，限位壁2211，侧壁2212，限位槽2213，回收输送线222，转运车223，机械臂230，花篮夹具231，压杆夹具232，升降组件240，升降支撑件241，承托件242，活动件243，翻转组件250，翻转支撑件251，翻转夹具252，支撑部2521，夹持部2522，承接线2523，第二输出线2524，第一横移轨道253，旋转横移组件260，旋转支撑件261，旋转件262，凸起部2621，第二横移轨道263，第二检测件264，承接输出线265；

第一下料装置300，空篮下料输送线310，不良品下料输送线320，第一横移线330，升降对接组件340，不良品对接线350，空篮对接线360；

第二上料装置400，上料输送线410，第二横移线420；

第二下料装置500，下料输送线510，第三横移线520；

机架600；

湿法花篮700，第一端板710，卡槽711，插入段7111，卡接段7112，定位孔712，第一支撑柱720，第一卡接齿721，压杆730，卡接部731；

干法花篮800，第二端板810，第二支撑柱820，第二卡接齿821；

硅片900。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。

本发明的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

制造太阳能电池片的生产工艺中包括多种不同的工序，在不同的工序中可能需要不同规格的花篮作为硅片的载具，例如，制绒、碱抛等湿法工序中使用湿法花篮装载硅片，湿法花篮的每层可存储三个硅片，而干法工序中使用干法花篮装载硅片，干法花篮的每层仅能够存储两个硅片，因此在湿法工序结束后，需将硅片转载至干法花篮中才能进行后续的干法工序。若采用人工操作来实现硅片在不同规格的花篮之间的转载，一方面，人工操作所需的工时较长，会导致生产效率降低，另一方面，作业人员在转载硅片的过程中，可能因接触硅片而污染硅片，还可能因为手持不稳而导致硅片掉落，会导致良品率降低，生产成本较高。

基于此，参照图1至图3，本发明实施例提供了一种用于将硅片900从湿法花篮700转移至干法花篮800的导片设备，其中湿法花篮700能够放置三列硅片900，即每层中放置三个硅片900；干法花篮800个放置两列硅片，即每层中放置两个硅片900。导片设备包括转载装置100、第一上料装置200、第一下料装置300、第二上料装置400、第二下料装置500及机架600，转载装置100、第一上料装置200、第一下料装置300、第二上料装置400及第二下料装置500均安装于机架600。

参照图4，转载装置100具有沿X方向依次设置的输入区A、变轨区B及输出区C，转载装置100包括两个变轨输送机构110，参照图5至图16，变轨输送机构110包括第一输送线111、第二输送线112及变轨组件113，第一输送线111与第二输送线112均沿X方向延伸且均能够放置并沿X方向输送单片的硅片900，第一输送线111自输入区A延伸至变轨区B，第二输送线112自变轨区B延伸至输出区C，在变轨区B内，第一输送线111与第二输送线112在Y方向上错开设置，变轨组件113位于变轨区B，变轨组件113用于将硅片900从第一输送线111移动至相邻的第二输送线112；参照图4至图9，转载装置100还包括四个第三输送线120，第三输送线120沿X方向延伸且能够放置并沿X方向输送单片的硅片900，参照图4，第三输送线120自输入区A延伸至输出区C，在输入区A内，两个第三输送线120与一个第一输送线111沿Y方向并排设置形成一输入组D，输入组D设置有两个；在输出区C内，两个第三输送线120沿Y方向并排设置形成一第一输出组E，第一输出组E设置有两个，两个第二输送线112沿Y方向并排设置形成一第二输出组F，两个第一输出组E分设于第二输出组F在Y方向上的两侧；Y方向与X方向垂直。

参照图1至图3，第一上料装置200对接于输入区A远离变轨区B的一端以向转载装置100供给装有硅片900的湿法花篮700；第一下料装置300对接于输入区A远离变轨区B的一端以输出空的湿法花篮700；第二上料装置400对接于输出区C远离变轨区B的一端以向转载装置100供给空的干法花篮800；第二下料装置500对接于输出区C远离变轨区B的一端以输出装有硅片900的干法花篮800。

进一步地，参照图4至图9，在变轨区B内，第一输送线111与第二输送线112沿Y方向并排设置，变轨组件113用于沿Y方向移动硅片900以使硅片900从第一输送线111移动至第二输送线112，变轨组件113仅需沿一个方向移动硅片900，有利于简化变轨组件113的动作逻辑，降低变轨组件113的控制难度，提升变轨组件113移动硅片900的效率，从而提高生产效率。

参照图17至图23、图25，第一输送线111包括两个第一带式输送结构1111，第一带式输送结构1111沿X方向设置，第一带式输送结构1111的上表面用于承载硅片900并沿X方向输送硅片900，第一带式输送结构1111沿X方向具有第一输送部11111及第一对接部11112，两个第一对接部11112之间限定有第一间隔11113；

参照图17至图23，第二输送线112包括两个第二带式输送结构1121，第二带式输送结构1121沿X方向设置，第二带式输送结构1121的上表面用于承载硅片900并沿X方向输送硅片900，第二带式输送结构1121沿X方向具有第二输送部11211及第二对接部11212，两个第二对接部11212之间限定有第二间隔11213，第一对接部11112与第二对接部11212沿Y方向依次设置；

参照图17及图24，变轨组件113包括横移滑轨1131、升降驱动件1132及承载件1133，横移滑轨1131位于第一输送线111及第二输送线112的下方，升降驱动件1132沿Y方向滑动连接于横移滑轨1131，升降驱动件1132的输出端连接于承载件1133以驱动承载件1133沿竖直方向(即Z方向)移动，承载件1133能够穿过第一间隔11113以移动至第一输送线111的上方或下方，承载件1133能够穿过第二间隔11213以移动至第二输送线112的上方或下方；

其中，X方向、Y方向及竖直方向(即Z方向)两两垂直。

第一输送线111与第二输送线112中需要设置能够供升降驱动件1132与承载件1133沿Y方向移动的空间，具体的设置形式有多种，示例性地：

实施例1

参照图17、图18、图21至图23，第一对接部11112具有第一横移间隔11114，第二对接部11212具有第二横移间隔11214，第一横移间隔11114与第二横移间隔11214均沿Y方向延伸，第一横移间隔11114与第二横移间隔11214沿Y方向依次设置，升降驱动件1132能够沿Y方向在第一横移间隔11114及第二横移间隔11214中移动。

第一输送部11111沿X方向输送硅片900，使硅片900到达第一对接部11112时，升降驱动件1132驱动位于第一对接部11112下方的承载件1133上升并穿过第一间隔11113，将第一对接部11112上的硅片900顶起，而后升降驱动件1132带动承载件1133相对横移滑轨1131沿Y方向移动，从第一横移间隔11114移动至第二横移间隔11214，直至承载件1133到达第二间隔11213的正上方后，升降驱动件1132驱动承载件1133下降并穿过第二间隔11213到达第二对接部11212的下方，将承载件1133上所承载的硅片900放置在第二对接部11212上，由第二对接部11212将硅片900输送至第二输送部11211。

实施例2

参照图19，第一对接部11112与第一输送部11111之间具有沿Y方向延伸的第一横移间隔11114，第一横移间隔11114与第二对接部11212远离第二输送部11211的一侧边缘沿Y方向依次设置，升降驱动件1132能够沿Y方向在第一横移间隔11114以及第二对接部11212远离第二输送部11211的一侧移动。与上一实施例的区别在于，承载件1133将第一对接部11112上的硅片900顶起后，升降驱动件1132带动承载件1133相对横移滑轨1131沿Y方向移动，从第一横移间隔11114移动至第二对接部11212远离第二输送部11211的一侧。

实施例3

参照图20，第二对接部11212与第二输送部11211之间具有沿Y方向延伸的第二横移间隔11214，第二横移间隔11214与第一对接部11112远离第一输送部11111的一侧边缘沿Y方向依次设置，升降驱动件1132能够沿Y方向在第二横移间隔11214以及第一对接部11112远离第一输送部11111的一侧移动。与上一实施例的区别在于，承载件1133将第一对接部11112上的硅片900顶起后，升降驱动件1132带动承载件1133相对横移滑轨1131沿Y方向移动，从第一对接部11112远离第一输送部11111的一侧移动至第二横移间隔11214。

本发明第一方面实施例提供的变轨输送机构110中设置有第一输送线111、第二输送线112及变轨组件113，第一输送线111用于沿X方向输送硅片900，变轨组件113中的升降驱动件1132能够驱动承载件1133沿竖直方向(即Z方向)移动，且能够带动承载件1133沿Y方向移动，实际使用中，第一输送部11111将硅片900沿X方向输送至第一对接部11112，承载件1133将硅片900从第一输送线111的第一对接部11112上所放置的硅片900顶起，而后沿Y方向移动至硅片900到达第二对接部11212上方后，承载件1133下降直至硅片900放置于第二对接部11212上，第二对接部11212将硅片900沿X方向输送至第二输送部11211，实现硅片900的变轨输送。通过上述结构在不同的轨道之间搬运硅片900，有利于减少输送线的断口位置，简化输送带11115的绕设方式，从而简化变轨输送机构110的结构布局，以便于调试及维护。

此外，相比于在第一对接部11112及第二对接部11212的上方设置拾取部件，拾取部件自第一对接部11112的上方下降，拾取硅片900后上升并带动硅片900沿Y方向横移，到达第二对接部11212上方后再下降使硅片900放置于第二对接部11212上的方案而言，本发明实施例提供的变轨输送机构中，通过在第一对接部11112设置第一间隔11113、在第二对接部11212设置第二间隔11213，并设置第一横移间隔11114和/或第二横移间隔11214，能够实现硅片900的顶升、横移、下降动作，且顶升及下降动作中硅片900不会被挤压，有利于降低硅片900在变轨输送过程中出现裂痕甚至断裂的可能性，从而有利于保证硅片900的良品率。

承载件1133带动硅片900移动时，若移动速度过快，硅片900与承载件1133之间可能发生相对移动，一方面可能导致硅片900的表面产生划痕，影响硅片900的质量；另一方面可能导致硅片900从承载件1133上掉落，使硅片900报废。

基于此，参照图24，承载件1133具有吸附口11331，吸附口11331能够产生负压以吸附硅片900，当第一输送部11111将硅片900沿X方向输送至第一对接部11112后，承载件1133上升并接触位于第一对接部11112的硅片900，吸附口11331产生负压，使硅片900吸附于承载件1133上，而后承载件1133带动硅片900沿Y方向移动，吸附口11331持续产生负压，直至承载件1133带动硅片900到达第二对接部11212，并下降至硅片900接触或即将接触第二对接部11212的上表面时，吸附口11331停止产生负压。

在承载件1133上设置能够产生负压的吸附口11331，能够在搬运硅片900的过程中使硅片900稳定地吸附于承载件1133，降低硅片900相对承载件1133移动的可能性，从而降低硅片900在搬运过程中产生划痕或掉落报废的可能性，有利于保证硅片900的良品率；此外，还有利于提升承载件1133带动硅片900沿Y方向移动的速度，以加快生产节拍，提升生产效率。

在上述的实施例1的基础上，进一步地，参照图24，承载件133包括沿X方向依次连接的第一承载部1332及第二承载部1333，第一承载部1332与第二承载部1333分别位于升降驱动件1132的输出端在X方向上的两侧。当承载件1133位于第一输送线111或第二输送线112的上方时，第一承载部11332与第二承载部11333均能够承载硅片900。

相比于仅在升降驱动件1132的输出端在X方向上的一侧设置承载件1133而言，设置第一承载部11332与第二承载部11333分别位于升降驱动件1132的输出端在X方向上的两侧能够使升降驱动件1132的输出端的受力更为平衡，进一步地，第一承载部11332与第二承载部11333在升降驱动件1132的输出端在X方向上的两侧对称设置，能够进一步使升降驱动件1132的输出端的受力更为平衡。此外，第一承载部11332与第二承载部11333可以同时承载一沿X方向尺寸较大的硅片900，以提升硅片900变轨的可靠性；也可分别承载不同的硅片900，实现多个硅片900的同时变轨，以提升硅片900变轨的效率。

进一步地，参照图24，第一承载部11332与第二承载部11333均具有吸附口11331，吸附口11331能够产生负压以吸附硅片900。在第一承载部11332与第二承载部11333同时承载一沿X方向尺寸较大的硅片900时，能够使硅片900的多处位置受到吸附力；在第一承载部11332与第二承载部11333各自承载不同的硅片900时，能够使第一承载部11332与第二承载部11333上的硅片900均受到吸附力，能够提升硅片900变轨的可靠性。

进一步地，参照图24，第一承载部11332与第二承载部11333均具有多个吸附口11331，多个吸附口11331能够共同提供用于吸附硅片900的吸附力，以进一步提升承载件1133吸附硅片900的可靠性，从而进一步提升硅片900变轨的可靠性。

进一步地，在一些实施例中，参照图22，第一对接部11112与第一输送部11111间隔设置，第一对接部11112在第一横移间隔11114靠近第一输送部11111的一侧的部分长度为L1，第二对接部11212在第二横移间隔11214远离第二输送部11211的一侧的部分长度为L2，L1＝L2，即，第一对接部11112在第一横移间隔11114靠近第一输送部11111的一侧的部分以及第二对接部11212在第二横移间隔11214远离第二输送部11211的一侧的部分中的输送带11115沿X方向的长度相同，便于控制输送速度，有利于提升硅片900在第一对接部11112与第二对接部11212上输送速度的一致性，使变轨输送机构100的动作节拍更为稳定。

在一些实施例中，参照图19，第二对接部11212与第二输送部11211间隔设置，第一对接部11112在第一横移间隔11114远离第一输送部11111的一侧的部分长度为L3，第二对接部11212在第二横移间隔11214靠近第二输送部11211的一侧的部分长度为L4，L3＝L4，即，第一对接部11112在第一横移间隔11114远离第一输送部11111的一侧的部分以及第二对接部11212在第二横移间隔11214靠近第二输送部11211的一侧的部分中的输送带11115沿X方向的长度相同，便于控制输送速度，有利于提升硅片900在第一对接部11112与第二对接部11212上输送速度的一致性，使变轨输送机构110的动作节拍更为稳定。

在一些实施例中，参照图23，第一对接部11112与第一输送部11111间隔设置，且第二对接部11212与第二输送部11211间隔设置，L1＝L2且L3＝L4，能够更大程度地提升硅片900在第一对接部11112与第二对接部11212上输送速度的一致性，使变轨输送机构110的动作节拍更为稳定。

进一步地，参照图25，第一带式输送结构1111及第二带式输送结构1121均包括输送带11115、主动轮11116、从动轮11117、固定架11118及支撑件11119，主动轮11116、从动轮11117均转动连接于固定架11118，支撑件11119连接于固定架11118，输送带11115绕设于主动轮11116及从动轮11117，第一对接部11112及第二对接部11212中的输送带11115的下方均设置有支撑件11119。当硅片900从输送带11115上抬起或放下时，在支撑件11119对第一对接部11112及第二对接部11212中的输送带11115的支撑作用下，输送带11115的抖动幅度较小，能够降低由于输送带11115的抖动导致硅片900与输送带11115之间发生摩擦的可能性，从而能够降低硅片900表面产生划痕的可能性，有利于提升硅片900的良品率。

参照图5至图9，第三输送线120包括两个第三带式输送结构121，第三带式输送结构121沿X方向设置，第三带式输送结构121的上表面用于承载硅片900并沿X方向输送硅片900。多个硅片900先放置于第三输送线120及第一输送线111上，第三输送线120与第一输送线111沿X方向输送硅片900，直至第一输送线111上的硅片900到达第一对接部11112，由变轨组件113将第一对接部11112上的硅片900移动至第二对接部11212，使得部分硅片900转移至第二输送线112上继续沿X方向输送，实现对多个硅片900的分轨输送。

参照图5至图9，变轨输送机构110设置有两个，两个变轨输送机构110的组合体在Y方向上的两侧各设置有两个第三输送线120，在X方向上，在第一对接部11112及第二对接部11212的一侧，两个第一输送线111与四个第三输送线120排布成两组三列，在第一对接部11112及第二对接部11212的另一侧，两个第二输送线112与四个第三输送线120排布成三组两列，能够实现硅片900的重新分组。

以下以图7及图8为例，说明转载装置100的动作过程：

本发明实施例提供的导片设备在工作过程中，第一上料装置200将两个湿法花篮700输送至转载装置100的输入区A，第二上料装置400将三个空的干法花篮800输送至转载装置100的输出区C；参照图7，每一湿法花篮700中的硅片900逐层地对应输出至一输入组D中，同一输出组D的两个第三输送线120及一个第一输送线111上同时输送三列硅片900，两组三列硅片900沿X方向进入变轨区B；再参照图8，在变轨区B中，当第一输送线111上有硅片900到达第一对接部11112时，升降驱动件1132驱动位于第一对接部11112下方的承载件1133上升，使承载件1133将第一对接部11112上的硅片900顶起，而后升降驱动件1132带动承载件1133沿Y方向移动至第二对接部11212的上方，升降驱动件1132驱动承载件1133下降，将硅片900放置于第二对接部11212上，第二对接部11212继续沿X方向输送硅片900，使第二输出组F中的两个第二输送线112上同时输送两列硅片900，同时，在两个第二输送线112在Y方向上的两侧，两个第一输出组E中各有两个第三输送线120在同时输送两列硅片900，由此实现了两组三列硅片900转为三组两列硅片900的输送，三组两列的硅片900分别输出至三个干法花篮800中，第一下料装置300输出空的湿法花篮700，第二下料装置500输出装有硅片900的干法花篮800，从而实现硅片900从湿法花篮700至干法花篮800的自动化转载，无需人工操作，能够缩短转载所需的工时，提升生产效率，且能够避免作业人员接触硅片900，从而能够避免硅片900被污染，还能够避免由于作业人员手持不稳而导致的硅片900掉落，有利于保证良品率，降低生产成本。

进一步地，参照图5至图9，第三带式输送结构121沿X方向具有相互分离的第一输送段1211、第二输送段1212及第三输送段1213。

在一些实施例中，参照图5至图8，第一对接部11112具有第一横移间隔11114，第二对接部11212具有第二横移间隔11214，第一横移间隔11114与第二横移间隔11214均沿Y方向延伸，第一横移间隔11114与第二横移间隔11214沿Y方向依次设置，升降驱动件1132能够沿Y方向在第一横移间隔11114及第二横移间隔11214中移动，第一对接部11112在第一横移间隔11114远离第一输送部11111的部分的沿X方向的尺寸为L3，第二输送段1212沿X方向的尺寸为L5，L3＝L5，第一对接部11112在第一横移间隔11114远离第一输送部11111的部分与第二输送段1212沿Y方向并排设置且同轴驱动，第一对接部11112在第一横移间隔11114远离第一输送部11111的部分以及第二输送段1212中的输送带11115沿X方向的长度相同，且同轴驱动，便于控制输送速度，有利于提升硅片900在第一对接部11112与第三输送线120上的输送速度的一致性。

在另一些实施例中，参照图9，第一对接部11112与第一输送部11111之间具有沿Y方向延伸的第一横移间隔11114，第一横移间隔11114与第二对接部11212远离第二输送部11211的一侧边缘沿Y方向依次设置，升降驱动件1132能够沿Y方向在第一横移间隔11114以及第二对接部11212远离第二输送部11211的一侧移动，第一对接部11112沿X方向的尺寸为L6，第二输送段1212沿X方向的尺寸为L5，L6＝L5，第一对接部11112与第二输送段1212沿Y方向并排设置且同轴驱动。第一对接部11112以及第二输送段1212中的输送带11115沿X方向的长度相同，且同轴驱动，便于控制输送速度，有利于提升硅片900在第一对接部11112与第三输送线120上的输送速度的一致性。

进一步地，参照图1，转载装置100还包括两个第一升降组件130，两个第一升降组件130分别位于两个输入组D远离变轨区B的一侧，参照图19，第一升降组件130包括第一升降支架131、第一承接件132及第一压紧件133，第一升降支架131连接于机架600，第一承接件132与第一压紧件133均沿竖直方向(即Z方向)滑动连接于第一升降支架131，第一承接件132用于接收自第一上料装置200输送来的装有硅片900的湿法花篮700，第一压紧件133用于将湿法花篮700压紧于第一承接件132，第一压紧件133与第一承接件132能够夹紧湿法花篮700并带动湿法花篮700沿竖直方向移动以使湿法花篮700中的硅片900逐层输送至输入组D。

进一步地，参照图1，转载装置100还包括三个第二升降组件140，三个第二升降组件140分别位于两个第一输出组E及一个第二输出组F远离变轨区B的一侧，参照图20，第二升降组件140包括第二升降支架141、第二承接件142及第二压紧件143，第二升降支架141连接于机架600，第二承接件142与第二压紧件143均沿竖直方向(即Z方向)滑动连接于第二升降支架141，第二承接件142用于接收自第二上料装置400输送来的空的干法花篮800，第二压紧件143用于将干法花篮800压紧于第二承接件142，第二压紧件143与第二承接件142能够夹紧干法花篮800并带动干法花篮800沿竖直方向移动以使自两个第一输出组E及一个第二输出组F输出的硅片900逐层插入干法花篮800中。

参照图20，干法花篮800包括两个第二端板810及多个第二支撑柱820，两个第二端板810间隔设置，第二支撑柱820的两端分别连接于两个第二端板810，多个第二支撑柱820在两个第二端板810之间限定出两个第一容纳腔；进一步地，第二支撑柱820靠近第二容纳腔的一侧连接有多个第二卡接齿821，多个第二卡接齿821沿第二支撑柱820的延伸方向依次布置，硅片900的边缘能够容纳于相邻的两个第二卡接齿821之间，硅片900在第二容纳腔内能够依次间隔排列。

进一步地，参照图2，转载装置100还包括剔除组件150，参照图21，剔除组件150包括剔除滑轨151、吸附件152及第一检测件153，剔除滑轨151位于第一输出组E及第二输出组F的上方且沿Y方向延伸，吸附件152沿Y方向滑动连接于剔除滑轨151且能够相对剔除滑轨151沿竖直方向移动，第一输出组E及第二输出组F的上方各设置有一第一检测件153。第一检测件153用于检测第一输出组E及第二输出组F所输送的硅片900是否存在缺陷，若第一检测件153检测到硅片900存在缺陷，则吸附件152移动至该存在缺陷的硅片900所在的位置，下降并吸附该存在缺陷的硅片900，而后上升并沿Y方向移动以将该存在缺陷的硅片900从第一输出组E或第二输出组F中剔除。进一步地，剔除组件150还包括叠片盒，叠片盒位于剔除滑轨151的下方，吸附件152能够将存在缺陷的硅片900放置于叠片盒中。

设置剔除组件150能够及时检测硅片900的质量，并将存在缺陷的硅片900及时从第一输出组E及第二输出组F中剔除，以降低存在缺陷的硅片900转载至干法花篮800的可能性，从而提升良品率。

进一步地，参照图2，转载装置100还包括缓存组件160，参照图22，缓存组件160包括缓存升降支架161及缓存架162，缓存架162具有两个沿Y方向依次设置的缓存腔164，缓存架162连接有多组向缓存腔164内延伸的缓存卡接齿163，同一组的多个缓存卡接齿163沿竖直方向(即Z方向)依次间隔设置，硅片900的边缘能够容纳于相邻的两个第二卡接齿821之间，硅片900在缓存腔164内能够依次间隔排列。第一输出组E及第二输出组F均安装有缓存组件160，在第一输出组E中，两个第三输送线120分别沿X方向穿过两个缓存腔164；在第二输出组F中，两个第二输送线112分别沿X方向穿过两个缓存腔164。

在不需要对硅片900进行缓存时，硅片900能够穿过缓存腔164进入干法花篮800中；在空的干法花篮800未及时供应或装有硅片900的干法花篮800未及时输出的情况下，每当一对并排的硅片900分别进入两个缓存腔164，缓存架162便相对缓存升降支架161上升一定高度，使下一对硅片900能够插入上一对硅片900的下方重复上述动作，使硅片900暂时存放于缓存腔164中；在硅片900输入不及时的情况下，缓存架162相对缓存升降支架161下降，使并排的一对硅片900放置于第一输出组E或第二输出组F上，该一对硅片900输送走后，缓存架162再相对缓存升降支架161下降一定高度，使下一对硅片900放置于第一输出组E或第二输出组F上并输送走。

设置缓存组件160能够实现硅片900的自动缓存及自动去缓存，有利于降低硅片900堆积或掉落的可能性，从而降低导片设备的故障率。

进一步地，参照图2，转载装置100还包括整片组件170，参照图23，整片组件170包括整片支架171、第一整片件172、第一整片活动件173、第二整片件174及第二整片活动件175，第一输出组E及第二输出组F上均设置有整片组件170，整片支架171位于第一输出组E或第二输出组F的上方，第一整片活动件173与第二整片活动件175均沿Y方向活动连接于整片支架171，第一整片活动件173的下表面连接有多个第一整片件172，多个第一整片件172分设于第一整片活动件173在Y方向上的两侧；第二整片活动件175的下表面连接有多个第二整片件174，多个第二整片件174分设于第二整片活动件175在Y方向上的两侧，在X方向上，第一整片件172与第二整片件174错开设置。

在设置于第一输出组E的整片组件170中，其中一个第三输送线120沿X方向自分设于第一整片活动件173在Y方向上的两侧的两组第一整片件172之间穿过，另一个第三输送线120沿X方向自分设于第二整片活动件175在Y方向上的两侧的两组第二整片件174之间穿过；在设置于第二输出组F的整片组件170中，其中一个第二输送线112沿X方向自分设于第一整片活动件173在Y方向上的两侧的两组第一整片件172之间穿过，另一个第二输送线112沿X方向自分设于第二整片活动件175在Y方向上的两侧的两组第二整片件174之间穿过。

第一整片活动件173与第二整片活动件175能够相互靠近或远离，为了便于说明，在Y方向上，以第一整片活动件173所在的一侧为左侧，以第二整片活动件175所在的一侧为右侧。以下以设置于第一输出组E的整片组件170为示例说明整片组件170的动作：

当一对硅片900经过整片组件170时，第一整片活动件173与第二整片活动件175先相互靠近，位于第二整片活动件175的左侧的第二整片件174与位于第一整片活动件173的左侧的第一整片件172相互靠近，并分别接触于其中一个第三输送线120上所输送的硅片900在Y方向上的相对两侧，位于第二整片活动件175的右侧的第二整片件174与位于第一整片活动件173的右侧的第一整片件172相互靠近，并分别接触于另一个第三输送线120上所输送的硅片900在Y方向上的相对两侧，由此实现对一对并列的硅片900角度的校正；而后第一整片活动件173与第二整片活动件175相互远离，使得位于第二整片活动件175的左侧的第二整片件174与位于第一整片活动件173的左侧的第一整片件172相互远离，位于第二整片活动件175的右侧的第二整片件174与位于第一整片活动件173的右侧的第一整片件172相互远离，使该一对并列的硅片900能够顺利通过整片组件170。重复上述动作，即可实现对到达干法花篮800前的每一对并列的硅片900进行整理，使硅片900以合适的角度进入干法花篮800，降低硅片900与干法花篮800之间发生磕碰的可能性，以保证良品率。

参照图26，湿法花篮700包括两个第一端板710及多个第一支撑柱720，两个第一端板710间隔设置，第一支撑柱720的两端分别连接于两个第一端板710，多个第一支撑柱720在两个第一端板710之间限定出三个第一容纳腔，第一端板710具有三个卡槽711，每一第一端板710的三个卡槽711分别对应于三个第一容纳腔；进一步地，第一支撑柱720靠近第一容纳腔的一侧连接有多个第一卡接齿721，多个第一卡接齿721沿第一支撑柱720的延伸方向依次布置，硅片900的边缘能够容纳于相邻的两个第一卡接齿721之间，硅片900在第一容纳腔内能够依次间隔排列。在湿法工序中，为了避免硅片900脱离湿法花篮700，两个第一端板710上安装有三个压杆730，压杆730的两端分别卡接于同一第一容纳腔对应的两个卡槽711，压杆730用于阻止硅片900从第一容纳腔中脱出。因此，在湿法花篮700输入第一上料装置200前，湿法花篮700上安装有压杆730。

基于此，在湿法花篮700到达转载装置100之前，需要先将压杆730从湿法花篮700上拆除，以使湿法花篮700中的硅片900能够顺利输出至转载装置100中。参照图1至图3，第一上料装置200包括压杆拆卸组件210及压杆回收组件220，压杆拆卸组件210用于将压杆730从湿法花篮700上拆下，压杆回收组件220包括回收箱221，回收箱221用于容纳从湿法花篮700上拆下的压杆730。

进一步地，参照图27及图28，卡槽711在第一端板710的边缘形成开口，卡槽711包括插入段7111及卡接段7112，卡接段7112位于插入段7111远离开口的一侧，插入段7111的宽度为a，卡接段7112的宽度为b，卡接段7112的长度为c；压杆730的端部设置有卡接部731，卡接部731的宽度为w，卡接部731的厚度为h，w＞h，h＜a＜w，b＞w，c＞w。需要将压杆730安装至湿法花篮700上时，可先使卡接部731的厚度方向与插入段7111的宽度方向平行或大致平行，使卡接部731穿过插入段7111进入卡接段7112；而后转动压杆730，使卡接部731的宽度方向与卡接段7112的宽度方向平行或大致平行，由于卡接部731的宽度w大于插入段7111的宽度a，在压杆730不被转动的情况下，卡接部731不会从卡接段7112中脱出，由此能够实现压杆730与湿法花篮700之间的安装。

在湿法花篮700输入第一上料装置200前，卡接部731容纳于卡接段7112，参照图26，压杆拆卸组件210包括底座211及两个拆卸机构212，底座211安装于机架600，底座211具有用于放置湿法花篮700的放置区，两个拆卸机构212分设于放置区的两侧。拆卸机构212包括第一支架2121及三个卡接件2122，第一支架2121沿水平方向活动连接于底座211，在一些具体的实施例中，第一支架2121通过水平驱动件2124活动连接于底座211，水平驱动件2124的输出端连接于第一支架2121以驱动第一支架2121沿水平方向移动；卡接件2122转动连接于第一支架2121靠近放置区的一侧，三个卡接件2122依次间隔排列，在一些具体的实施例中，至少一个拆卸机构212的三个卡接件2122上绕设有同步带，驱动该拆卸机构212上的其中一个卡接件2122转动即可带动另外两个卡接件2122同步转动；卡接件2122具有插接槽2123。

当湿法花篮700放置于放置区时，湿法花篮700处于横卧状态，压杆730沿水平方向延伸且卡槽711的开口朝上，两个拆卸机构212的第一支架2121均向靠近湿法花篮700的方向移动，以使每一压杆730两端的卡接部731分别对应插接于一插接槽2123，卡接件2122能够相对第一支架2121转动以带动压杆731转动，使得卡接部731的厚度方向与插入段7111的宽度方向平行或大致平行，以使压杆731能够从卡槽711中取出。

进一步地，第一支架2121还沿竖直方向(即Z方向)活动连接于底座211，在一些具体的实施例中，底座211上安装有抬升驱动件2125，抬升驱动件2125的输出端连接于水平驱动件2124与第一支架2121的组合体，当卡接件2122带动压杆730转动至卡接部731的厚度方向与插入段7111的宽度方向平行或大致平行后，抬升驱动件2125带动第一支架2121上升，以使卡接件2122带动压杆730脱离湿法花篮700。

进一步地，参照图26，第一端板710还具有定位孔712，压杆拆卸组件210还包括两个定位机构213，两个定位机构213分设于放置区的两侧，定位机构213包括第二支架2131及定位件2132，第二支架2131沿水平方向活动连接于底座211，定位件2132连接于第二支架2131靠近放置区的一侧，当湿法花篮700放置于放置区时，两个定位机构213的第二支架2131均向靠近湿法花篮700的方向移动，直至定位件2132嵌入定位孔712，而后再使两个拆卸机构212的第一支架2121均向靠近湿法花篮700的方向移动，以使每一压杆730两端的卡接部731分别对应插接于一插接槽2123。定位机构213能够在拆卸机构212动作之前对湿法花篮700进行定位，使卡接部731对正于插接槽2123，降低由于湿法花篮700的位置不准确而导致卡接部731与卡接件2122发生结构干涉的可能性，从而提升动作的流畅程度，降低故障率。

进一步地，参照图1至图3，第一上料装置200还包括机械臂230，机械臂230连接于机架600，机械臂230能够将装有硅片900的湿法花篮700放置于压杆拆卸组件210中，且机械臂230能够将压杆730放置于回收箱221中。在一些具体的实施例中，参照图1至图3，机械臂230上设置有花篮夹具231及压杆夹具232，实际使用中，机械臂230带动花篮夹具231夹持装有硅片900的湿法花篮700并将湿法花篮700搬运至压杆拆卸组件210的放置区中，待两个拆卸机构212将压杆730从湿法花篮700上拆下后，机械臂230带动压杆夹具232抓取压杆730，并将压杆730放置于回收箱221中。

进一步地，参照图25，回收箱221包括两个相对的限位壁2211及一个侧壁2212，侧壁2212垂直于限位壁2211，侧壁2212的两端分别连接于两个限位壁2211，两个限位壁2211均具有三个沿竖直方向(即Z方向)延伸的限位槽2213，限位槽2213用于容纳压杆730的端部，压杆730在回收箱221内能够排列为三列，每层放置三个压杆730，回收箱221中装满压杆730后可直接整体输送至湿法工序之前，湿法工序之前的设备可便捷地一次性取用一层中的三个压杆730并安装至湿法花篮700上，有利于提升压杆730安装的效率。

参照图1及图2，第一上料装置200还包括升降组件240，参照图24，升降组件240包括升降支撑件241及承托件242，升降支撑件241连接于机架600，承托件242沿竖直方向(即Z方向)滑动连接于升降支撑件241，承托件242能够自两个限位壁2211之间伸入回收箱221的内部，承托件242沿水平方向延伸，承托件242用于承载压杆730。在回收箱221中未承载压杆730时，承托件242伸入回收箱221的内部，且在竖直方向(即Z方向)上，承托件242的顶部与限位壁2211的顶部之间至少具有能够容纳一个压杆730的空间；当同一湿法花篮700上所安装的三个压杆730被机械臂230放置于承托件242上后，承托件242向下移动一个压杆730直径的距离，以供下一湿法花篮700上所安装的三个压杆730继续放入回收箱221，循环上述过程直至回收箱221装满压杆730后，输出该回收箱221并输入一个空的回收箱221，继续重复上述步骤，对压杆730进行回收。

承托件242能够随着压杆730的装入逐渐下降，使每一组压杆730均能够稳定地被承托，有利于避免回收过程中压杆730在竖直方向自由落体，从而避免压杆730与回收箱221之间发生磕碰而导致的压杆730和/或回收箱221损坏。

进一步地，参照图24，承托件242设置有多个，升降组件240还包括活动件243，多个承托件242均连接于活动件243并沿水平方向间隔设置，活动件243沿竖直方向(即Z方向)滑动连接于升降支撑件241，活动件243能够带动多个承托件242同步在竖直方向(即Z方向)上移动，多个承托件242能够共同支撑压杆730，有利于减小单个承托件242的受力。

进一步地，参照图1至图3及图25，压杆回收组件220还包括回收输送线222及转运车223，转运车223用于承载回收箱221，转运车223能够带动已经装有压杆730的回收箱221移动至湿法工序之前的设备中，也能够带动空的回收箱221进入压杆回收组件220；一个升降组件240对应于两个回收输送线222，两个平行且间隔设置的回收输送线222用于共同承载并输送一个回收箱221，升降组件240在水平方向上位于两个回收输送线222之间。

实际使用中，转运车223带动空的回收箱221移动至两个回收输送线222之间，并使空的回收箱221的两侧分别接触于两个回收输送线222，两个回收输送线222能够将回收箱221从转运车223上输送至升降组件240处，使承托件242伸入空的回收箱221中；待回收箱221装满压杆730后，两个回收输送线222再将装有压杆730的回收箱221从升降组件240处输送至转运车223上，由转运车223输送至湿法工序之前的设备中。需要说明的是，在回收箱221中逐渐装入压杆730的过程中，转运车223无需始终停靠于两个回收输送线222之间，转运车223只需要在需接收装有压杆730的回收箱221时以及需提供空的回收箱221时停靠于两个回收输送线222之间即可。

拆卸压杆730后，湿法花篮700处于横卧状态，而在转载装置100中，需要使湿法花篮700处于直立状态，以便于将硅片900输出至输入区A中。基于此，参照图3，第一上料装置200还包括翻转组件250，翻转组件250位于压杆拆卸组件210的下游，具体地，翻转组件250位于压杆拆卸组件210在X方向上靠近转载装置100的一侧，翻转组件250用于接收已拆卸压杆730的湿法花篮700，并调整湿法花篮700的姿态以使湿法花篮700切换为直立状态。参照图29，翻转组件250包括翻转支撑件251及翻转夹具252，翻转支撑件251安装于机架600，翻转夹具252转动连接于翻转支撑件251，翻转夹具252能够对接于压杆拆卸组件210以承接已拆卸压杆的湿法花篮700，翻转夹具252能够夹持湿法花篮700并带动湿法花篮700转动，以使湿法花篮700由横卧状态切换为直立状态，以便于后续硅片900的转载。

进一步地，参照图26，压杆拆卸组件210还包括第一输出线214，第一输出线214安装于底座211，第一输出线214沿X方向延伸；参照图29，翻转夹具252包括支撑部2521、夹持部2522、承接线2523及第二输出线2524，夹持部2522设置有两个且至少一个活动连接于支撑部2521，两个夹持部2522用于分别抵接于湿法花篮700的两个第一端板710以夹持湿法花篮700；承接线2523安装于支撑部2521，承接线2523沿X方向延伸，承接线2523用于与第一输出线214对接；第二输出线2524安装于翻转后位于下方的夹持部2522，第二输出线2524沿X方向延伸，第二输出线2524用于沿X方向输出翻转后的湿法花篮700。

湿法花篮700拆除压杆730后，第一输出线214与承接线2523同时动作，使拆除压杆730的湿法花篮700由底座211上输送至支撑部2521上后，夹持部2522夹紧湿法花篮700，而后翻转夹具252整体相对翻转支撑件251转动，使湿法花篮700由横卧状态切换为直立状态后，第二输出线2524动作以使湿法花篮700沿X方向输出。

进一步地，参照图29，翻转组件250还包括第一横移轨道253，第一横移轨道253沿Y方向延伸，第一横移轨道253安装于机架600，翻转支撑件251沿Y方向滑动连接于第一横移轨道253，翻转支撑件251与翻转夹具252的组合体能够在Y方向上移动，以实现翻转夹具252与上游、下游部件的对接，示例性地，在一些具体的实施例中，压杆拆卸组件210设置有多个，翻转支撑件251与翻转夹具252的组合体能够在Y方向上移动以实现翻转夹具252与不同的压杆拆卸组件210的对接，从而对不同的压杆拆卸组件210所输出的湿法花篮700进行翻转。

进一步地，参照图3，第一上料装置200还包括旋转横移组件260，参照图30，旋转横移组件260包括旋转支撑件261、旋转件262、第二横移轨道263及承接输出线265，旋转支撑件261滑动连接于第二横移轨道263，旋转件262转动连接于旋转支撑件261且能够相对旋转支撑件261沿竖直方向移动，承接输出线265安装于旋转支撑件261。

翻转组件250将湿法花篮700切换为直立状态后，湿法花篮700能够供硅片900出入的一侧朝向Y方向上的一侧，承接输出线265与翻转组件250的第二输出线2524对接以承接直立状态的湿法花篮700，旋转件262上升并与湿法花篮700卡接并带动湿法花篮700转动，以使湿法花篮700能够供硅片900出入的一侧朝向X方向上靠近转载装置100的一侧，而后旋转件262下降并脱离湿法花篮700，旋转支撑件261带动湿法花篮700沿Y方向移动以与第一升降组件130的第一承接件132对接，而后承接输出线265与第一承接件132共同动作使湿法花篮700从承接输出线265上移动至第一承接件132上。

进一步地，参照图30，旋转件262的上表面设置有多个凸起部2621，多个凸起部2621能够在旋转件262上升时卡接于湿法花篮700的第一端板710，以实现旋转件262与湿法花篮700的同步转动。

进一步地，参照图1及图3，旋转横移组件260还包括第二检测件264，第二检测件264位于第二横移轨道263在X方向上靠近转载装置100的一侧，旋转支撑件261能够带动湿法花篮700沿Y方向移动，以使湿法花篮700对正于第二检测件264，第二检测件264能够对湿法花篮700中的硅片900进行检测，以供处理器判断硅片900是否合格，若湿法花篮700中的硅片900合格，旋转支撑件261带动湿法花篮700沿Y方向移动至与第一升降组件130的第一承接件132对接，使承载有合格的硅片900的湿法花篮700输送至第一承接件132上，以对硅片900进行转载；若湿法花篮700中的硅片900不合格，旋转支撑件261带动湿法花篮700沿Y方向移动至输出位置，以将承载有不合格的硅片900的湿法花篮700输出至导片设备外部，以备后续返工。

参照图1至图3，第一下料装置300包括空篮下料输送线310及不良品下料输送线320，不良品下料输送线320位于空篮下料输送线310的上方，空篮下料输送线310及不良品下料输送线320均沿X方向延伸且在Y方向上与转载装置100错开。第一升降组件130能够将已经将硅片900输出至输入区A的湿法花篮700输送至空篮下料输送线310，以使空篮下料输送线310向外输出空的湿法花篮700；旋转横移组件260能够将承载有不合格的硅片900的湿法花篮700输出至不良品下料输送线320，以使不良品下料输送线320向外输出承载有不合格的硅片900的湿法花篮700。

进一步地，参照图1至图3，第一下料装置300还包括第一横移线330、升降对接组件340、不良品对接线350及空篮对接线360，第一横移线330位于空篮下料输送线310在X方向上靠近旋转横移组件260的一侧，第一横移线330沿Y方向延伸；升降对接组件340在X方向上位于第一横移线330与空篮下料输送线310之间，升降对接组件340能够带动湿法花篮700沿竖直方向(即Z方向)移动以对接于空篮下料输送线310或不良品下料输送线320，以使湿法花篮700输送至对应的输送线；不良品对接线350在X方向上位于旋转横移组件260的输出位置与第一横移线330之间，用于将旋转横移组件260所输出的承载有不合格的硅片900的湿法花篮700由输出位置输送至第一横移线330上；空篮对接线360在X方向上位于第一升降组件130与第一横移线330之间，用于将空的湿法花篮700由第一升降组件130输送至第一横移线330上。其中，旋转横移组件260、空篮下料输送线310、第一横移线330、不良品对接线350及空篮对接线360位于同一高度，在竖直方向上，转载装置100与不良品下料输送线320均位于旋转横移组件260、空篮下料输送线310、第一横移线330、不良品对接线350及空篮对接线360的上方。

当第二检测件264检测到湿法花篮700中的硅片900合格时，旋转支撑件261带动承载有合格的硅片900的湿法花篮700(以下简称合格的湿法花篮700)沿Y方向移动至与第一升降组件130的第一承接件132对接，使合格的湿法花篮700输送至第一承接件132上，第一升降组件130先带动合格的湿法花篮700上移至合格的湿法花篮700最下层的硅片900与输入区A对接，而后逐层带动合格的湿法花篮700下降，直至合格的湿法花篮700中的全部硅片900均输出至输入区A中；待输出完成后，第一升降组件130带动空的湿法花篮700下降至与空篮对接线360对接，并将空的湿法花篮700输出至空篮对接线360上，由空篮对接线360将空的湿法花篮700输出至第一横移线330，第一横移线330使空的湿法花篮700沿Y方向移动至对接于位于下层的升降对接组件340，由升降对接组件340将空的湿法花篮700输送至空篮下料输送线310上；

当第二检测件264检测到湿法花篮700中的硅片900不合格时，旋转支撑件261带动承载有不合格的硅片900的湿法花篮700(以下简称不合格的湿法花篮700)沿Y方向移动至输出位置并与不良品对接线350对接，使不合格的湿法花篮700输送至不良品对接线350上，由不良品对接线350将不合格的湿法花篮700输出至第一横移线330，第一横移线330使不合格的湿法花篮700对接于位于下层的升降对接组件340，升降对接组件340带动不合格的湿法花篮700上升至与不良品下料输送线320对接，由升降对接组件340将不合格的湿法花篮700输送至不良品下料输送线320上。

参照图2至图3，第二上料装置400包括上料输送线410及第二横移线420，第二下料装置500包括下料输送线510及第三横移线520，上料输送线410位于下料输送线510的上方，上料输送线410用于向三个第二升降组件140供给空的干法花篮800，第二横移线420位于上料输送线410与第二升降组件140之间，第二横移线420沿Y方向延伸，能够承接由上料输送线410输送来的空的干法花篮800，并将空的干法花篮800供给至未承载干法花篮800的第二升降组件140；下料输送线510用于承接三个第二升降组件140所输出的装有硅片900的干法花篮800，第三横移线520位于下料输送线510与第二升降组件140之间，第三横移线520沿Y方向延伸，能够承接由第二升降组件140输出的装有硅片900的干法花篮800，并将装有硅片900的干法花篮800输送至下料输送线510上。

上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.一种导片设备，用于将硅片从湿法花篮转移至干法花篮，所述湿法花篮中能够放置三列所述硅片，所述干法花篮中能够放置两列所述硅片，其特征在于，所述导片设备包括：

转载装置，具有沿X方向依次设置的输入区、变轨区及输出区，所述转载装置包括两个变轨输送机构，所述变轨输送机构包括第一输送线、第二输送线及变轨组件，所述第一输送线与所述第二输送线均沿X方向延伸且均能够放置并沿X方向输送单片的硅片，所述第一输送线自所述输入区延伸至所述变轨区，所述第二输送线自所述变轨区延伸至所述输出区，在所述变轨区内，所述第一输送线与所述第二输送线在Y方向上错开设置，所述变轨组件位于所述变轨区，所述变轨组件用于将硅片从所述第一输送线移动至相邻的所述第二输送线；所述转载装置还包括四个第三输送线，所述第三输送线沿X方向延伸且能够放置并沿X方向输送单片的硅片，所述第三输送线自所述输入区延伸至所述输出区，在所述输入区内，两个所述第三输送线与一个所述第一输送线沿Y方向并排设置形成一输入组，所述输入组设置有两个；在所述输出区内，两个所述第三输送线沿Y方向并排设置形成一第一输出组，所述第一输出组设置有两个，两个所述第二输送线沿Y方向并排设置形成一第二输出组，两个所述第一输出组分设于所述第二输出组在Y方向上的两侧；所述Y方向与所述X方向垂直；

第一上料装置，对接于所述输入区远离所述变轨区的一端以向所述转载装置供给装有所述硅片的所述湿法花篮；

第一下料装置，对接于所述输入区远离所述变轨区的一端以输出空的所述湿法花篮；

第二上料装置，对接于所述输出区远离所述变轨区的一端以向所述转载装置供给空的所述干法花篮；

第二下料装置，对接于所述输出区远离所述变轨区的一端以输出装有所述硅片的干法花篮；

机架，所述转载装置、所述第一上料装置、所述第一下料装置、所述第二上料装置及所述第二下料装置均安装于所述机架。

2.根据权利要求1所述的导片设备，其特征在于，在所述变轨区内，所述第一输送线与所述第二输送线沿Y方向并排设置，所述变轨组件用于沿Y方向移动硅片以使硅片从所述第一输送线移动至所述第二输送线。

3.根据权利要求2所述的导片设备，其特征在于，所述第一输送线包括两个第一带式输送结构，所述第一带式输送结构沿X方向设置，所述第一带式输送结构的上表面用于承载工件并沿X方向输送工件，所述第一带式输送结构沿X方向具有第一输送部及第一对接部，两个所述第一对接部之间限定有第一间隔；

所述第二输送线包括两个第二带式输送结构，所述第二带式输送结构沿X方向设置，所述第二带式输送结构的上表面用于承载工件并沿X方向输送工件，所述第二带式输送结构沿X方向具有第二输送部及第二对接部，两个所述第二对接部之间限定有第二间隔，所述第一对接部与所述第二对接部沿Y方向依次设置；

所述变轨组件包括横移滑轨、升降驱动件及承载件，所述横移滑轨位于所述第一输送线及所述第二输送线的下方，所述升降驱动件沿Y方向滑动连接于所述横移滑轨，所述升降驱动件的输出端连接于所述承载件以驱动所述承载件沿竖直方向移动，所述承载件能够穿过所述第一间隔以移动至所述第一输送线的上方或下方，所述承载件能够穿过所述第二间隔以移动至所述第二输送线的上方或下方；

其中，所述X方向、所述Y方向及竖直方向两两垂直；

所述第一对接部具有第一横移间隔，所述第二对接部具有第二横移间隔，所述第一横移间隔与所述第二横移间隔均沿Y方向延伸，所述第一横移间隔与所述第二横移间隔沿Y方向依次设置，所述升降驱动件能够沿Y方向在所述第一横移间隔及所述第二横移间隔中移动；

或，所述第一对接部与所述第一输送部之间具有沿Y方向延伸的第一横移间隔，所述第一横移间隔与所述第二对接部远离所述第二输送部的一侧边缘沿Y方向依次设置，所述升降驱动件能够沿Y方向在所述第一横移间隔以及所述第二对接部远离所述第二输送部的一侧移动；

或，所述第二对接部与所述第二输送部之间具有沿Y方向延伸的第二横移间隔，所述第二横移间隔与所述第一对接部远离所述第一输送部的一侧边缘沿Y方向依次设置，所述升降驱动件能够沿Y方向在所述第二横移间隔以及所述第一对接部远离所述第一输送部的一侧移动。

4.根据权利要求1所述的导片设备，其特征在于，所述湿法花篮包括两个第一端板及多个第一支撑柱，两个所述第一端板间隔设置，所述第一支撑柱的两端分别连接于两个所述第一端板，多个所述第一支撑柱在两个所述第一端板之间限定出三个第一容纳腔，所述第一端板具有三个卡槽，每一所述第一端板的三个所述卡槽分别对应于三个所述第一容纳腔，在所述湿法花篮输入所述第一上料装置前，两个所述第一端板上安装有三个压杆，所述压杆的两端分别卡接于同一所述第一容纳腔对应的两个所述卡槽，所述压杆用于阻止硅片从所述第一容纳腔中脱出；

所述第一上料装置包括压杆拆卸组件及压杆回收组件，所述压杆拆卸组件用于将所述压杆从所述湿法花篮上拆下，所述压杆回收组件包括回收箱，所述回收箱用于容纳所述压杆。

5.根据权利要求4所述的导片设备，其特征在于，所述卡槽在所述第一端板的边缘形成开口，所述卡槽包括插入段及卡接段，所述卡接段位于所述插入段远离所述开口的一侧，所述插入段的宽度为a，所述卡接段的宽度为b，所述卡接段的长度为c；所述压杆的端部设置有卡接部，所述卡接部的宽度为w，所述卡接部的厚度为h，w＞h，h＜a＜w，b＞w，c＞w；在所述湿法花篮输入所述第一上料装置前，所述卡接部容纳于所述卡接段；

所述压杆拆卸组件包括底座及两个拆卸机构，所述底座安装于所述机架，所述底座具有用于放置所述湿法花篮的放置区，两个所述拆卸机构分设于所述放置区的两侧，所述拆卸机构包括第一支架及三个卡接件，所述第一支架沿水平方向滑动连接于所述底座，所述卡接件转动连接于所述第一支架，三个所述卡接件依次间隔排列，所述卡接件具有插接槽，当所述湿法花篮放置于所述放置区时，所述湿法花篮处于横卧状态，所述压杆沿水平方向延伸且所述卡槽的开口朝上，两个所述拆卸机构的所述第一支架均能够向靠近所述湿法花篮的方向移动，以使每一所述压杆两端的所述卡接部分别对应插接于一所述插接槽，所述卡接件能够相对所述第一支架转动以带动所述压杆转动。

6.根据权利要求5所述的导片设备，其特征在于，所述第一支架还沿竖直方向活动连接于所述底座，当所述卡接件相对所述第一支架转动使得所述卡接部的厚度方向与所述插入段的宽度方向平行时，所述第一支架能够相对所述底座向上移动以使所述压杆退出所述卡槽。

7.根据权利要求4所述导片设备，其特征在于，所述第一上料装置还包括机械臂，所述机械臂连接于所述机架，所述机械臂能够将装有硅片的所述湿法花篮放置于所述压杆拆卸组件中，且所述机械臂能够将所述压杆放置于所述回收箱中。

8.根据权利要求4所述的导片设备，其特征在于，所述回收箱包括两个相对的限位壁及一个侧壁，所述侧壁垂直于所述限位壁，所述侧壁的两端分别连接于两个所述限位壁，两个所述限位壁均具有三个沿竖直方向延伸的限位槽，所述限位槽用于容纳所述压杆的端部；

所述第一上料装置还包括升降组件，所述升降组件包括升降支撑件及承托件，所述升降支撑件连接于所述机架，所述承托件沿竖直方向滑动连接于所述升降支撑件，所述承托件能够自两个所述限位壁之间伸入所述回收箱的内部，所述承托件用于承载所述压杆。

9.根据权利要求4所述的导片设备，其特征在于，所述第一上料装置还包括翻转组件，所述翻转组件用于接收已拆卸所述压杆的所述湿法花篮，并调整所述湿法花篮的姿态以使所述湿法花篮切换为直立状态；所述翻转组件包括翻转支撑件及翻转夹具，所述翻转支撑件安装于所述机架，所述翻转夹具转动连接于所述翻转支撑件，所述翻转夹具能够对接于所述压杆拆卸组件以承接已拆卸所述压杆的所述湿法花篮，所述翻转夹具能够夹持所述湿法花篮并带动所述湿法花篮转动，以使所述湿法花篮由横卧状态切换为直立状态。

10.根据权利要求1所述的导片设备，其特征在于，所述转载装置还包括两个第一升降组件及三个第二升降组件，两个所述第一升降组件分别位于两个所述输入组远离所述变轨区的一侧，所述第一升降组件包括第一升降支架、第一承接件及第一压紧件，所述第一升降支架连接于所述机架，所述第一承接件与所述第一压紧件均沿竖直方向滑动连接于所述第一升降支架，所述第一承接件用于接收自所述第一上料装置输送来的装有硅片的所述湿法花篮，所述第一压紧件用于将所述湿法花篮压紧于所述第一承接件，所述第一压紧件与所述第一承接件能够夹紧所述湿法花篮并带动所述湿法花篮沿竖直方向移动以使所述湿法花篮中的硅片逐层输送至所述输入组；

三个所述第二升降组件分别位于两个所述第一输出组及一个所述第二输出组远离所述变轨区的一侧，所述第二升降组件包括第二升降支架、第二承接件及第二压紧件，所述第二升降支架连接于所述机架，所述第二承接件与所述第二压紧件均沿竖直方向滑动连接于所述第二升降支架，所述第二承接件用于接收自所述第二上料装置输送来的空的所述干法花篮，所述第二压紧件用于将所述干法花篮压紧于所述第二承接件，所述第二压紧件与所述第二承接件能够夹紧所述干法花篮并带动所述干法花篮沿竖直方向移动以使自两个所述第一输出组及一个所述第二输出组输出的硅片逐层插入所述干法花篮中。